JPS61107141A - 液体品質モニタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、液体品質モニタ、特に発電所のボイラ復水の
ためのモニタに関する。

［従来の技術］ ボイラ供給水に混入する油の主な油源は、シーリング部
分からのタービンｍ滑油である。５００ＭＷ化石燃焼装
置において、０．５０Ｄｍの油（１１度）レベルが容認
される最大値である。油レベルが高いと、復水ポリッシ
ングプラント、給水加熱器の汚染によりコスト的な不利
が生じ、またボイラ管故障の危険性が増すことも考えら
れる。

本発明の出願人による出願番号Ｎｏ、８１２６１７５号
（Ｓｅｒｉａｌ　　Ｎｏ、２１０５０２８）の明細書に
おいて、そのようなボイラ復水に使用される基本的な水
中油モニタが開示されているが、本発明は特に低油温度
たとえばＯ乃至２ｐｐｍのボイラ復水のモニタに関する
ものである。

［問題点を解決するための手段およびその作用］本発明
に係る液体品質モニタは、モニタされる液体が通って流
れることのできるセルと、上記セルの一側面に設置され
た光源と、上記光源から出て上記セルを横切る゛ように
向けられた光ビーム出力に対してそれぞれの角度に設置
され、モニタされる液体が上記セル内を流れた際にその
液体中の混入物から散乱される光を検出し、そしてそれ
ぞれ対応する１Ｊ：Ｘ上の検出器出力を与える１以上の
検出器と、上記セルを清浄な液体でフラッシュし、その
バックグラウンド光レベルに対応する１以上の検出器出
力を得て、そして１以上のオフセット電圧を与える手段
と、上記１以上のオフセット電圧を、上記モニタされる
液体と清浄な液体の閣の温度差に応じて補償する手段と
、始めに述べた１以上の検出器出力と上記補償された１
以上のオフセット電圧とから、上記混入物のレベルを゛
計算する処理手段とを備えている。

［実施例］ 以下添附図面を参照して本発明の一実施例を説明する。

本発明のモニタは、第１図および第２図に概略を示した
ような多角度分散セルを使用している。

このモニタは、細いビームのり、ＥＤ（発光ダイオード
）からのパルス化された近赤外光たとえば９００ｎｍの
光の、懸濁物中の油滴による散乱を利用する。この代わ
りに他の光源、たとえば半導体レーザおよび／又は光フ
ァイバを使用してもよい。

前記出願の明細書において記述したように、ＬＥＤｌか
ら出て前方へ散乱される光は、種々のセル角度において
、複数のフォトダイオード２によって検出される。各フ
ォトダイオード２は、直接各ＡＣプリアンプリファイヤ
３　（第２図には１つのみが示されている）に結合して
いる。プリアンプリファイヤ３およびフォトダイオード
２は、ハウジング５内のセル４に設置されている。各プ
リアンプリファイヤ３は電位差計を有しており、これに
より１．各チャネル利得は校正の際に調整される。増幅
されたフォトダイオード信号は、増幅され、デジタル化
され、処理されて、油温度読取りを与える。水中の微粒
子たとえばさびによる影響は除去されることができる、
又はその信号を微粒子の含ｉ１ｍ取りのために処理する
ことができる。

各プリアンプリファイヤ３に関係して、各主増幅器段６
　（１つのみ図示）が設けられている。この主増幅器段
６は、ＡＣ利得を有する増幅器７、位相検出器８、およ
び可変ＤＣオフセット１０を伴うＤＣ利得増幅器９から
構成され、その出力は、処理手段たとえばマイクロプロ
セッサ（図示せず）に与えられる。清浄な水を用いても
、セルにおいてはその壁および窓から、いくらかの散乱
光が生じる。これによりオフセット値が生じ、その値は
り、Ｃ，増幅段中のＤＣオフセット１０で調整される。

隔壁１１がセル４を横切って延びており、光が直接フォ
トダイオード２に当たらないようにしている。セル４を
横切って直接送られてくる光は、直接検出器〈フォトダ
イオード）１２によって測定され、自動利得制御回路に
おいてＬＥＤの駆動を維持し、したがって照射を一定に
維持するために使用される。

セル４は、第３図の配管図に示されているようにして、
モニタ全体に含まれる。このモニタには、使用時は、２
つの給水が結合する。１つはモニタされる水で、サンプ
ル入口に結合し、他は清浄水供給本管で、これはフラッ
シュ入口に結合している。この本管から供給される清浄
水はモニタをフラッシュし、校正用の給水を与えるのに
使用される。供給水の選択は、入口電磁弁１３、たとえ
ば作動時にフラッシュ給水を選択するような弁によって
行なわれる。給水は、ポンプ１５および“サンプル入口
”弁１６を含む管１４を介して、セル４に結合している
。ポンプの入口圧Ｐ１および出口圧Ｐｄは、１７および
１８においてモニタされる。セル出力圧ＰＯは１９にて
モニタされる。弁２０ａおよび２０ｂ・は弁１６ととも
に、サンプル給水が、校正された量の微粒子又は油が注
入ポンプ２１によって流れに注入される地点を通り過ぎ
て流れることができるようにしている。これは、その流
れのバルク流速に関係なく、ある一定の混入物温度を維
持する５゜、こ１の注入地点は、管２２によって示した
ようにポンプ。

１５の手前に切り換えることもできる。温度を簡単に一
定に保つために、タービン流量計２３がセル４の後に設
置されており、このｌｉｔ計２３の出力から得られる制
御信号は、制御のため注入ポンプ２１にフィードバック
される ゛セルの窓を洗うため、モニタには、窓洗浄電磁弁２４
を含む窓洗浄システムが設けられている。オリフィス板
が、セル４につながる管の２５のところすなわち窓洗浄
システムへの管の後に挿入されている。これは窓洗浄管
中の水とサンプル流との間に圧力降下を与えるので、窓
洗浄電磁弁２４弁を開くと、バルク流より高速のサンプ
ル水が光学窓の上を流れ、清浄性を保つ。

排出弁２６は、正常な操作時においては部分的に閉じて
、システムに背圧を与えて、キャビテーションを防ぎ、
混入した空気を溶解させている。空気泡は、光を散乱さ
れて誤った読取りを与える。

出力電磁弁２７は、サンプル流が来たとき、これを排水
するか、ボイラ復水装置内を再循環させるか、又はこの
水からサンプルを採るかを決定する。校正用の微粒子が
ボイラ復水装置に戻るのを防ぐために、ソフトウェアを
次のように構成する。すなわちこのソフトウェアは、入
力電磁弁１３が「フラッシュ」を選択したときは弁２７
が「排水」を選択するように、そして入力弁１３が「サ
ンプル」を選択したときは、「再循環」を選択するよう
に構成する。弁１６．１９．２０および２６は、手動で
操作される弁である。ポンプ１５は遠心ポンプでもよく
、窓洗浄の圧力のためのヘッド、フラッシュ中の高流速
を与え、また大きい油粒をある程度乳化させる治きをす
る。たとえば上記ソフトウェアは、このポンプ１５が作
動するのは“フラッシュ”、′窓洗浄”の間又は散乱光
レベルが所定の限界値を越えた場合にのみ、となるよう
に構成することもできる。後者の特徴はサンプリング中
、このポンプ１５をいつでも作動させ、そして存在する
かもしれない大きい油粒を乳化させることに含まれる。

もしサンプルをモニタを通して流させる充分なヘッドが
あれば、ポンプ１５は必要ない。しかし散乱信号がある
限界値を越えた場合、ポンプはサンプルをざらに乳化さ
せるために作動し、校正にしたがって信号レベルを増加
させる。このような構成はポンプの寿命を長くし、サン
プルが再循環システムに戻されるよりも捨てられるよう
な装置のためのサンプル処理量を減らすことができる。

モニタは、さらにフォトダイオードの近くに温度センサ
を備えている。これによりオフセット電圧（清浄水によ
る散乱光レベルすなわちバックグラウンド散乱光レベル
）を、温度変化に応じて補償することができる。フラッ
シュ給水（ｌｉｌ浄水）の温度がサンプルの温度と非常
に異なる時、油又は微粒子混入量の計算値に゛誤りが生
じる。そのような温度補償のためのソフトウェアを以下
に説明する。この演算は、ルーチン校正の間に生じる利
得変化がその演算を変える必要のないようになっている
。従ってこれはプリアンプリファイヤから独立している
。これがオフセットの温度依存の工場における校正を可
能にし、これはその後変化させる必要がない。温度依存
はＬＥＤ、光検出器から、又はセル自身の幾何的大きさ
の変化によって生゛じる。

この、′演算の導出を第４図を参照して説明する。

この図はオフセット電圧２（清浄水による散乱光レベル
）と、上記のような温度センサによって感知された温度
Ｔとが直線関係にあることを示している。温度によるオ
フセットのわずかな変化Ｓは、次のように決定される。

Ｚａ（Ｔ、−’Ｉ’ａ） 任意の温度Ｔ１において、対応するｚｌは以下の式によ
り与えられる。

Ｚ１＝　Ｚａ（１＋　Ｓ（Ｔ、　−Ｔａ））他の任意の
温度Ｔ２において、それに対応するｚｌは、次の式によ
って与えられる。

Ｚ２　＝Ｚａ　（１＋　Ｓ　（Ｔ２−　Ｔａ）　）Ｚｌ
ｔｌ） ＝１−１１１１４．ユ、　　　　＼ におよびＳは、工場校正において決定されるもので、モ
ニタのマイクロブセッサに入れられる。

こうして温度Ｔ１のフラッシュ水によって、Ｔ１におけ
るオフセットＺ１を測定すると、温度Ｔ２のサンプルの
オフセットｚ２を上記展開式（１）から計算することが
できる。

ある与えられたＴにおいてはセンサの電位差計は同じ出
力を与えるとの仮定により、温度センサの出力はオフセ
ットを伴わないＴ−ｍｔ（”Ｋ）の形であり、したがう
てそのソフトウェアは変更されずに維持される。

好ましくはモニタは自動操作されるように、従ってコン
トロールスイッチを“サンプル”に切換えた場合、予め
決められた所定のサイクルがモニタが消されるまで繰返
し行なわれるようにする。

このサイクルに対する手動の割込み、たとえば“フラッ
シュ”、“窓洗浄”又は“テスト”スイッチの作動によ
り、サイクルは、この手動割込みの長さだけ延長される
。１時間の作業サイクルの構成は、清浄なフラッシュ水
によるフラッシュ４分、２０秒の、窓洗浄、最初の状態
のシステムチェック（詳細は後述）、オフセット測定、
連続的な含油量モニタリングよりなるサンプリングルー
チンとしてもよい。３０分後に、サンプリングルーチン
は、２０秒の窓洗浄によって中断される。

開始から１時間後、サイクルは再び４分間のフラッシュ
を行う。

最初のフラッシュ段階は、セルが水と温度平衡に達する
ように充分長時間にする。そしてオフセット電圧が測定
され、その測定時の温度とともに蓄えられる。サンプル
給水が自動的に選択され、散乱電圧が測定される。サン
プル水の温度を測定することにより、サンプル電圧から
減算すべきオフセット電圧が温度変化を補償するように
することができる。散乱電圧は、ノイズを除くためのデ
ジタルフィルタによって平滑にしてもよい。フィルタの
時定数はほぼ１分である。散乱信号は、この信号から油
温度および微粒子温度を計算するための演算に入力され
る。もし計算された油レベルがある警告レベルを越えた
ら、これは“油高（ｏｉｌ　ｈｉｇｈ）”警告光を点灯
させ、あるいは遠隔位置の警報装置を作動させることに
使用されることができる。

主信号処理およびシステム制ｅｒａ能は、コントロール
ボックス（図示せず）内の主印刷回路板に設置された上
記のマイクロプロセッサによって制御される。コントロ
ールボックスのフロントパネルには、モニタのルーチン
操作に必要な全ての制御器および表示器がある。内側に
は、校正操作に必要な他のスイッチ、および多数の自己
診断ＬＥＤエラー表示器がある。フロントパネルの配置
は第５図に示したようなもので、油温度を表示すること
のできるメータ２８、システムフラッシュランプ２９、
油高ランプ３０、システムエラーランプ３１、窓洗浄ス
イッチ３２、テストスイチ３３、オフ−サンプル−フラ
ッシュ　スイッチ３４、そして電源オン　ランプ３５が
ある。

正常な操作中、スイッチ３４を“サンプル”にセットす
ると、システムは上記の１時間の操作サイクルをひき続
き繰返す。スイッチ３４が“フラッシュ”の位置にある
ときは、手動フラッシュ又は校正ルーチンのために、フ
ラッシュ水入力が選択される。スイッチ３２を押すと、
ポンプが作動し、窓洗浄電磁弁が開く。これらはボタン
を離すことにより停止する。テストスイッチ３３を押す
と、全ての表示器が点灯し、メータにはセットされた警
告レベルが表示される。これはマイクロプロセッサが正
しく機能していること、および弁に欠陥がないことをチ
ェックするのに役立つ。システムフラッシュランプ２９
は、手動による場合でもマイクロプロセッサによる場合
でも“フラッシュ”が選択された時はいつでも点灯する
。校正ルーチンでない場合は、このランプ２９が点灯し
た時にはメータの読みはゼロであり、散乱光レベルは測
定されない。油高ランプ３０は、メータのレベルが内部
のセットされた警告電位差計によりセットされたレベル
を越えた時に、点灯する。好ましくはこの警告には０．
１１）ｐｍのビステリシスを組み入れ、たとえば、油高
アラームは、レベルが０．５ｐｐｍを越えた場合にセッ
トされるが、ｏ、４ｐｍ以下までは解除されないように
する。１５秒間“油高”状態が続くと、遅延アラームリ
レーが閉じ、遠隔警告信号を与える。ランプ３０はある
エラー条件では毎秒点灯する。システムエラーランプ３
１は、モニタが真の油温度の表示を妨げられる条件にな
った場合に点灯する。これの種々の原因、およびそれに
関連する自己診断を以下に説明する。ランプ３１もまた
ある条件下では毎秒点灯する。メータ２８は油温度（０
−２ｐｐｍ＞を表示する。しかし校正モードにおいては
このメータは他の値を示すことができる。前記内部スイ
ッチの一つは油あるいは粒子温度の表示を可能にする。

システムエラーランプ３１は、モニタが信頼性のある読
みを与えることが妨げられるようなエラーが発生した場
合にはいつでも点灯する。状況のなかには、故障がなく
なればモニタを続行させるものもあるが、他のものはＣ
視員からの注意が必要である。

故障診断のために、７つのＬＥＤを主印刷回路に含めて
もよい。これらは各エラー状態に対応するものである。

好ましくは、７つのＬＥＤは水平に並べて配置し、それ
ぞれ左から右へ向かって、ブリアンプリフツイヤエラー
、マイクロプロセッサ故障、校正エラー、直射ビーム故
障、ａｄｃ故障、ｔｘ故障、および流れなし、に対応さ
せる。

これらＬＥＤは、オフ（０）、オン（Ｘ）又はフラッシ
ュ（＃）である。モニタが正常に操作している時は、７
つのＬＥＤは全てオフであり、システムエラー（ＳＥ）
および油高（ＯＨ）ランプはオフである。ＳＥおよびＯ
Ｈランプは、オフ（０）、オン（Ｘ）又はフラッジ′Ｌ
（＃）である。

次の検出可能なエラーの説明においてＬＥＤの状態は、
７桁のコードで示される。

流れなしの場合、すなわち流量計からの゛パルスが、水
量は限界値たとえば２リットル／分以下であると示した
場合、ポンプは、もしこれが動いていた場合は停止し、
システムエラーランプが点灯する。これはＬＥＤにおい
てｏｏｏｏｏｏｘとして示ざ″れ゛る。従って診断は０
ＯＯＯＯＯＸ　　５Ｅ＝＝：、Ｘであ５る。もし充分な
流量に再び戻ったら、エラミー゛は解除され正常な操作
が再開される。

最初のシステムチェックは、モニタが最初サンプルにズ
イツチされた後約５分２０秒、およびその後１時間ごと
に行なわれる。パルスの回路におけるエラーの場合、す
なわちトランスミッタＬＥＤを作動するパルスが存在し
ない場合、システムエラーランプが点灯し、モニタはそ
のサイクルを停止スル。その診断Ｇ；１０００００００
　５Ｅ−Ｘである。もしトランスミッタを通る電流パル
スの振幅が予め定められたしきい値より低い時、システ
ムエラーランプが点灯し、モニタはそのサイクルを停止
する。その診断は０ＯＯＯＯＸＯＳＥ〜Ｘである。直射
ビームレベルは、正常な場合は、自動利得制御回路によ
ってほぼ一定に維持される。

このレベルは、トランスミッタからの光出力が低すぎる
場合（最大の駆動電流においても）、又は直射ビーム窓
が汚なすぎる場合、維持されることができない。後者の
場合であれば、フラッシュ時間を延長して窓を掃除する
ことができる。こうして直射ビームが低すぎたときは、
モニタはその限界フラッシュ段階を繰り返し、それから
チェックがなされる。それでも直射ビームレベルがまだ
低すぎる時はフラッシュが再び繰返される。３回のフラ
ッシュ後においてもレベルが低い時はシステムエラーラ
ンプが点灯し、モニタはそのサイクルを停止する。した
がってこの故障の徴候はフラッシュ時間の長いことであ
る。診断（最後のフラッシュ後のみ）Ｇ；ｔｏｏＯＸＯ
Ｏｏ　　５Ｅ−Ｘである。これらのチェックに続いて、
２つのオフセット電圧が測定され、予め定められたしき
い値と比較される。もしオフセット電圧がそのレベルよ
り高い場合は、モニタのダイナミックレンジ゛が制限さ
れ、校正が不正確になる。このエラーは、散乱検出窓、
それら（直射ビーム窓ではない）に接着した別の物体の
過剰な汚れにより、又はプリアンプリファイヤの故障に
よるものである。モニタは直射ビームレベルエラーのた
めと同じ基本操作を行うことにより、窓を掃除しようと
（エラーを除こうと）シ、そしてこれに失敗すると、モ
ニタはシステムエラーランプを点灯させて、止まる。そ
の診断はエラーが発見された直後はｘｏｏｏｏ。

Ｏ５Ｅ−０で、３回のフラッシュでもエラーが解除され
なかった時は、Ｘ０ＯＸＯＯＯ５Ｅ−Ｘである。

システムチェックは、サンプリングルーチンの間、実行
される。これらは、フロー、パルス回路、トランスミッ
タ回路、および直射ビームレベルチェック、そして以下
のチェックである。プリアンプリファイヤの過負荷のた
め、いずれかのチャネルが飽和した場合は、信号処理演
算は、もはや正しい油温度を与えず、しかしまだ計算さ
れる値はスケールに示された状態である。これが発生し
ていることを示すために、システムエラーランプは毎秒
１回点灯し、メータはゼロになる。電圧が飽和以下に降
下した時、エラーは取り消され、正常な操作が続行され
る。その診断は５ｏｏｏｏｏ。

ＳＥ−＃である。もし演算が負の“温度″読取りを与え
たら、メータは０を示すが、これは誤解をおこさせる。

これを解決するため、もし負の読み（非常に小さいエラ
ーを除くため設定されたしきい値以下）が発生する、ま
たは演算のどこかの段階で負の値が発生したら、システ
ムエラーランプが毎秒１回点灯する。エラーは、読みが
正になった時取り消される。その診断はＯＯ＃０Ｏ００
ＳＥ−＃である。デジタル処理を使用するシステムのた
め、いくつかの負の信号表示の手段が要求される。なぜ
なら、そうしないと、負の信号が“ゼロ゛′として処理
された場合の誤った読みが容易に生じてしまうからであ
る。また計算された油温度（又は微粒子温度）が２ｐＩ
）ｍを越えたら、もしプリアンプリファイヤが飽和され
なければメータの読みは２ｐｐｍである。読みが正しく
オーバーレンジしていることを示すために、油高および
システムエラーのランプが毎秒１回点灯する。

エラーは読みがオンスケールすなわち＜２ｐｐｍの時、
取り消される。その診断はｏｏｏｏｏｏ。

ＳＥ−＃　　ＯＨ−＃である。

他のチェックはヤイクロプロセッサ故障、ＡＤＣ故障、
および校正エラーのためのものである。主ソフトウェア
ループがサイクルしなければ、マイクロプロセッサは正
しく機能しない。これをチェックするためにハードウェ
ア回路が使用される。高電気的妨害の状態において、こ
れはエラー的状態を与えるかもしれない。その診断は０
ＸＯｏｏｏｏである。アナログデジタル変換器が操作を
停止したら、処理すべき散乱電圧がなくなる。

その診断は０ＯＯＯＸＯＯ５Ｅ−Ｘである。校正エラー
の診断はｏｏｘｏｏｏｏである。

エラー演算は次の表のように要約される。

次に校正ルーチンを説明する。これは第６図に示された
内部スイッチを使用する。ここには校正オン−オフ　ス
イッチ３６、微粒子演算に使用するスイッチ３７、信号
又はオフセットスイッチ３８．１０°と３０°に対応す
る散乱・電圧スイッチ３９、そして電位差計４０がある
。電位差計４０は、警告レベルを、たとえばｏ、ｉｐｐ
ｍと２ｐｐｍの間の任意の点に設定できるようにする。

スイッチ３１により、油演算を使用して計算されたもの
の代わりに、微粒子演算を使用して計算された信号を表
示することができる。これは、校正スイッチ３６がオフ
のときにのみ作動し、校正をチェックするのに役立つ。

ブリアンプリフツイヤ利４８１１整のためにフロントパ
ネルスイッチ３４において“フラッシュ”を選択すると
、これによりオフセットレベルが測定される。全ての信
号レベルは、オフセットレベルも散乱信号も、印刷回路
基板上のテストビンにおいて直接測定されることができ
る。同様にトランスミッタ電流も測定することができる
。利得を調整する電位差計は、ブリアンプリフツイヤ内
の散乱セルの側に位置している。

電力は、フロントパネルスイッチ３４が”フラッシュ”
にスイッチされた場合にのみ、注入ポンプ２１に供給さ
れる。これは、混入物のサンプル流への可能な注入を阻
止する。

この計器の校正の、正確度は低いが迅速なチェックを可
能にするため、内部スイッチを使用することによって、
電圧レベルがフロントパネルメータ２８に表示される。

これを行うため、校正スイッチ３６を“オン”にし、信
号又はオフセットスイッチ３８の“オフセット”位置を
選択する。Ｖ　１０／　Ｖ３０スイッチ３９を使用して
どのチャネルを選択したかによって、ＡＤＣ入力がメー
タに表示される。

もし油／微粒子が注入されたら、オフセットを含む総合
信号が表示される。′信号”位置を選択すると、メータ
は現電圧から、′オフセットレベル“信号”切換えの前
に記憶された電圧レベルを引いた値を読む。もし清浄水
が使用された場合は、これは真のオフセット減算である
。もし“校正”を゛オン”に回す前に“信号”モードを
選択すると、意味のある減算を与えるオフセットが測定
されていないから、“計算エラー″ＬＥＤが点灯する（
診断は０ＯＸＯＯＯＯ）。このモードにおいてセットさ
れたオフセットは、一時的に記憶され、“校正”がオフ
にされると同時に失われる。正確度を確実にするため、
この計器は、′オフ”に回してから短時間の後に“サン
プル”に回して、操作サイクルを再スタートさせ、新し
いオフセットレベルを記憶させなければならない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、検出セルプロファイルの概略図、第２図は、
上記セルの断面図およびこれら組み合わせた運転および
検出回路の概略図、第３図は、第１図および第２図に示
したような検出セルを含むモニタの配管の概略図、第４
図は、温度補正演算に使用される、温度によるオフセッ
トの変化を示すグラフ、第５図は、上記モニタのための
フロントコントロールパネルの配置を示す図、第６図は
、上記モニタの内部スイッチの配置を示す図である。 １・・・ＬＥＤ、２・・・フォトダイオード、３・・・
プリアンプリフツイヤ、４・・・セル、５・・・ハウジ
ング、６・・・主増幅器、７・・・増幅器、８・・・位
相感度検出器、９・・・増幅器、１３・・・電磁弁、１
５・・・ポンプ、２１・・・注入ポンプ、２３・・・流
量計、２４・・・電磁弁、２６・・・排出弁、２７・・
・出力弁、２８・・・メータ、２９・・・システムフラ
ッシュランプ、３０・・・波高ランプ、３１・・・シス
テムエラーランプ、３２・・・窓フラッシュランプ、３
３・・・テストスイッチ、３４・・・オフ−サンプル−
フラッシュ　スイッチ、３５・・・電源オンランプ、３
６・・・校正オン−オフスイッチ、３１・・・微粒子演
算スイッチ、３８・・・信号又はオフスイッチ、３９・
・・散乱電圧スイッチ、４０・・・電位差計。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）モニタされる液体が通つて流れることのできるセ
   ルと、 上記セルの一側面に設置された光源と、 上記光源から出て上記セルを横切るように向けられた光
   ビーム出力に対してそれぞれの角度に設置され、モニタ
   される液体が上記セル内を流れた際にその液体中の混入
   物から散乱される光を検出し、そしてそれぞれ対応する
   １以上の検出器出力を与える１以上の検出器と、 上記セルを清浄な液体でフラッシュし、そのバックグラ
   ウンド光レベルに対応する検出器出力を得て、そして１
   以上のオフセット電圧を与える手段と、 上記１以上のオフセット電圧を、上記モニタされる液体
   と清浄な液体の間の温度差に応じて補償する手段と、 始めに述べた１以上の検出器出力と上記補償された１以
   上のオフセット電圧とから、上記混入物のレベルを計算
   する処理手段とを備えた液体品質モニタ。
2. （２）上記検出器は、上記セル上に設置され、セル上の
   これと近い位置に設置された温度センサを有している特
   許請求の範囲第１項記載の液体品質モニタ。
3. （３）上記検出器の出力は、モニタの校正の間チャネル
   利得調整に使用するための電位差計を有する各プリアン
   プリファイヤに供給され、上記処理手段は、上記１以上
   のオフセット電圧の温度補償を各プリアンプリファイヤ
   から独立して行うための演算を使用する特許請求の範囲
   第１項又は第２項記載の液体品質モニタ。
4. （４）上記セルの側面の対面側に、上記光ビームの延長
   線上に位置させて設置された検出器を有する許請求の範
   囲第１項乃至第３項のいずれか１項記載の液体品質モニ
   タ。
5. （５）上記光源は発光ダイオード（ＬＥＤ）であり、上
   記延長線上に位置する検出器の出力はこのＬＥＤの出力
   を調節するのに使用される特許請求の範囲第４項記載の
   液体品質モニタ。
6. （６）ポンプを有し、このポンプによつて上記モニタさ
   れる液体は上記セル内へ高速度で送られ、これにより、
   上記光ビームがセルに入力し上記検出器がセルからの光
   を受けるためのセルの窓が洗われる特許請求の範囲第１
   項乃至第５項のいずれか１項記載の液体品質モニタ。
7. （７）校正の目的で、清浄な液体に、これが上記セル内
   をへ流れる前に既知量の混入物を注入する手段を有する
   特許請求の範囲第１項乃至第６項のいずれか１項記載の
   液体品質モニタ。