JPS61106459A - High density silicon carbide sintered body - Google Patents

High density silicon carbide sintered body

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JPS61106459A
JPS61106459A JP60128329A JP12832985A JPS61106459A JP S61106459 A JPS61106459 A JP S61106459A JP 60128329 A JP60128329 A JP 60128329A JP 12832985 A JP12832985 A JP 12832985A JP S61106459 A JPS61106459 A JP S61106459A
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molded body
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恵一郎 鈴木
拓郎 小野
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は高密度炭化珪素質焼結体に関するものである。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a high-density silicon carbide sintered body.

[従来の技術] 炭化珪素は従来より硬度が高く、耐摩耗性にすぐれ、熱
膨張率が小さく、また分解温度が高く、耐酸化性が大き
く、化学的に安定でかつ一般にかなりの電気伝導性を有
する有用なセラミックス材料として知られている。この
炭化珪素の高密度焼結体は上記の性質に加え、強度が高
温まで大きく、耐熱衝撃性にすぐれ、高温構造材料とし
て有望とされ、ガスタービン用をはじめとして種々の用
途にその応用が試みられている。
[Prior art] Silicon carbide has higher hardness than before, has excellent wear resistance, has a small coefficient of thermal expansion, has a high decomposition temperature, has high oxidation resistance, is chemically stable, and generally has considerable electrical conductivity. It is known as a useful ceramic material with In addition to the above-mentioned properties, this high-density sintered body of silicon carbide has high strength up to high temperatures and excellent thermal shock resistance, making it promising as a high-temperature structural material, and attempts have been made to apply it to various uses including gas turbines. It is being

炭化珪素質焼結体はホットプレス焼結、常圧焼結、反応
焼結、再結晶、化学的蒸着などの方法によって作製され
る。これらの方法のなかで工業的に最も有利な方法は常
圧焼結法と考えられる。常圧焼結法によればセラミック
ス材料の或暫ナ一般に用°いられるプレス法、泥漿鋳込
法、押出成形法、射出成形法などの方法により成形する
ことができ、複雑形状品、大寸法品、肉厚品を最も容易
に、生産性良く製造することができる。しかもこの方法
による製品には反応焼結、再結晶法による製品に比べ高
性能が期待できる。
The silicon carbide sintered body is produced by methods such as hot press sintering, pressureless sintering, reaction sintering, recrystallization, and chemical vapor deposition. Among these methods, the industrially most advantageous method is considered to be the pressureless sintering method. According to the pressureless sintering method, certain temporary materials of ceramic materials can be formed by commonly used methods such as press method, slurry casting method, extrusion molding method, injection molding method, etc., and it is possible to mold products with complex shapes and large dimensions. Thick-walled products can be manufactured easily and with high productivity. Furthermore, products produced by this method can be expected to have higher performance than products produced by reaction sintering and recrystallization methods.

しかし、炭化珪素は共有結合性の強い化合物であるため
常圧焼結法の場合、ホットプレス焼結法の場合も、同様
であるが、単独では焼結が困難であり、高密度の焼結体
を得るためには何らかの焼結助剤の添加が必要である。
However, silicon carbide is a compound with strong covalent bonding properties, so it is difficult to sinter it alone, and it is difficult to sinter it by itself, even in the case of normal pressure sintering method and hot press sintering method. The addition of some sintering aid is necessary to obtain the desired shape.

焼結助剤としてはホウ素あるいはホウ素化合物またはア
ルミニウムあるいはアルミニウム化合物などが知られて
いる。常圧焼結法の場合には、さらに、これらに炭素を
添加する。
As the sintering aid, boron or a boron compound, aluminum or an aluminum compound, etc. are known. In the case of pressureless sintering, carbon is further added to these.

[発明の解決すべき問題点] しかし、常圧焼結法の場合このような焼結助剤を加えて
も通常の方法により良好な高性能高密度焼結体を得るこ
とは難し°い、・特に焼結時に、焼結助剤4含む炭化珪
素質成形体が分解し・やすく、このために成形体が充分
に緻密化しないことが問題となる。この問題は、小さな
試料成形体を作る場合もそうであるが、複雑形状品、大
寸法量、肉厚品を均質な高密度量としてしかも生産性良
く製造しようとする時、特に大きな問題となる。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the case of pressureless sintering, even if such a sintering aid is added, it is difficult to obtain a good high-performance, high-density sintered body by a normal method. - Particularly during sintering, the silicon carbide molded body containing the sintering aid 4 is easily decomposed, which causes the problem that the molded body is not sufficiently densified. This problem is true when making small sample moldings, but it becomes a particularly big problem when trying to manufacture products with complex shapes, large dimensions, or thick walls as homogeneous, high-density products with good productivity. .

本発明はアルミニウム及び/又はアルミニウム化合物を
含む炭化珪素質成形体を常圧焼結する際に成形体が分解
し、緻密化が抑制されるのを防止してなる高密度な焼結
体を提供するものである。
The present invention provides a high-density sintered body that prevents decomposition of a silicon carbide molded body containing aluminum and/or an aluminum compound from being suppressed from being densified when the molded body is sintered under normal pressure. It is something to do.

本発明は焼結助剤としてアルミニウムあるいはアルミニ
ウム化合物を使用する場合に関する。アルミニウム化合
物としてはアルミナ、窒化アルミニウム、炭化アルミニ
ウム、アルミニウム炭化珪素、硼化アルミニウム、リン
化アルミニウムなどが使用できる。これらは酸素を含ま
ないアルミニウム、窒化アルミニウム、炭化アルミニウ
ム、アルミニウム炭化珪素、硼化アルミニウム、リン化
タリミニウムと酸素を含まないアルミナの2つに分類さ
れる。いずれも普通0.5〜5重景重量添加し、酸素を
含まない前者の系の場合には炭素を添加することもある
The present invention relates to the use of aluminum or aluminum compounds as sintering aids. As the aluminum compound, alumina, aluminum nitride, aluminum carbide, aluminum silicon carbide, aluminum boride, aluminum phosphide, etc. can be used. These are classified into two categories: oxygen-free aluminum, aluminum nitride, aluminum carbide, aluminum silicon carbide, aluminum boride, thaliminium phosphide and oxygen-free alumina. In either case, 0.5 to 5 weights of carbon is usually added, and in the case of the former system, which does not contain oxygen, carbon may be added.

なお、後者のアルミナを使用する場合については未だ、
常圧焼結法により高密度焼結体を得る方法は全く確立さ
れていない0本発明はこの場合にも高密度焼結体を提供
するものである。
In addition, regarding the latter case where alumina is used,
Although a method for obtaining a high-density sintered body by pressureless sintering has not been established at all, the present invention provides a high-density sintered body in this case as well.

アルミニウムまたはアルミニウム化合物は焼結助剤とし
て炭化珪素に加えられるが、通常の方法では焼結途中で
このアルミニウムまたはアルミニウム化合物が、蒸発、
分解し、成形体から除去され易く、このため緻密化が充
分進まず、高密度焼結体が得られにくい。
Aluminum or an aluminum compound is added to silicon carbide as a sintering aid, but in a normal method, this aluminum or aluminum compound is evaporated,
It is easily decomposed and removed from the molded body, and therefore densification does not proceed sufficiently, making it difficult to obtain a high-density sintered body.

[問題点を解決するための手段] この問題点を解決するために種々の試みを行なったとこ
ろ、アルミニウムまたはアルミニウム化合物を含む炭化
珪素質成形体をアルミニウムを成分として含む雰囲気、
すなわちアルミニウム、アルミニウム化合物の1つ又は
2つ以上を含む雰囲気のもとで焼成す4嘗とにより、よ
り高密度な焼結体を作ることができることがわかった。
[Means for solving the problem] Various attempts were made to solve this problem, and it was found that a silicon carbide molded body containing aluminum or an aluminum compound was placed in an atmosphere containing aluminum as a component,
That is, it has been found that a higher density sintered body can be produced by firing four times in an atmosphere containing one or more of aluminum and aluminum compounds.

この方法によれば成形体から除去されるアルミニウム、
またはアルミニウム化合物の量は減少し、組成、組織の
安定した高密度焼結体を得ることができる。
According to this method, aluminum is removed from the compact,
Alternatively, the amount of aluminum compound can be reduced, and a high-density sintered body with a stable composition and structure can be obtained.

また、一方、炭化珪素自体も炭化珪素成形体の焼結温度
では分解を開始する。すなわち炭化珪素は大気圧下では
溶融せず、2000℃以上になると昇華し始め、さらに
高温になると炭素と珪素リッチな蒸気に分解する。炭化
珪素の高密度焼結体を得るのに必要な成形体の焼結温度
は一般に1800〜2300℃であり、この高温度域で
は炭化珪素は昇華1分解をはじめ、Si、Si20など
の気体を発生する。そこで炭化珪素成形体をSi。
On the other hand, silicon carbide itself also begins to decompose at the sintering temperature of the silicon carbide compact. That is, silicon carbide does not melt under atmospheric pressure, begins to sublimate at temperatures above 2000° C., and decomposes into carbon and silicon-rich vapor at even higher temperatures. The sintering temperature of the molded body required to obtain a high-density sintered body of silicon carbide is generally 1800 to 2300°C, and in this high temperature range silicon carbide undergoes sublimation, decomposition, and gases such as Si and Si20. Occur. Therefore, the silicon carbide molded body is made of Si.

5i2Cなどの気体を含む雰囲気中で焼成すれば成形体
の炭化珪素の昇華、分解を抑えることができる。しかし
実際には炭化珪素の分解は単純ではない、すなわち成形
体中に含まれる焼結助剤としてのアルミニウムまたはア
ルミニウム化合物、あるいは炭化珪素粒表面のシリカl
いは他の不純物あるいは雰囲気中に含まれる微量酸素な
どとの相互反応が起こる。
By firing in an atmosphere containing gas such as 5i2C, sublimation and decomposition of silicon carbide in the molded body can be suppressed. However, in reality, the decomposition of silicon carbide is not simple; that is, aluminum or aluminum compounds are used as sintering aids in the compact, or silica on the surface of silicon carbide particles is used.
Alternatively, mutual reactions occur with other impurities or trace amounts of oxygen contained in the atmosphere.

そこで焼成中における成形体の分解を防止し、より高密
度の焼結体を作るためには成形体の分解により発生する
気体の平衡蒸気圧以上に雰囲気中のそれらの気体の分圧
を保持することが好ましい。
Therefore, in order to prevent the decomposition of the compact during firing and to produce a sintered compact with higher density, it is necessary to maintain the partial pressure of the gases in the atmosphere above the equilibrium vapor pressure of the gases generated by the decomposition of the compact. It is preferable.

アルミニウム又はアルミニウム化合物を含む炭化珪素質
成形体を焼結するとき、実際にどのような反応が起こり
、どのような気体が発生するかを調べることは難しいが
、種々試験をした結果アルミニウム及び/又はアルミニ
ウム化合物を含む炭化珪素質成形体をアルミニウムと珪
素及び/又は炭素を含む雰囲気のもとで焼成することが
高密度でかつ均一な組成、組織を有する焼結体を作る上
でより好ましいことがわかった。アルミニウム化合物と
してアルミナを使用する場合について説明する。焼結時
の成形体の分解は次のような反応が主として起こると考
え・らへ)邊 SiG+Al2(h  →Al2O+SiO◆COそこ
でこの場合には焼結時の雰囲気中のAl2O。
When sintering a silicon carbide molded body containing aluminum or an aluminum compound, it is difficult to investigate what kind of reactions actually occur and what kind of gases are generated, but various tests have shown that aluminum and/or It is more preferable to sinter a silicon carbide molded body containing an aluminum compound in an atmosphere containing aluminum, silicon and/or carbon in order to produce a sintered body having a high density and a uniform composition and structure. Understood. A case where alumina is used as an aluminum compound will be explained. The decomposition of the compact during sintering is thought to occur mainly through the following reaction: SiG + Al2 (h → Al2O + SiO◆CO) In this case, Al2O in the atmosphere during sintering.

Sin、GOの気体の分圧を、成形体の分解により発生
するこれらの気体の平衡蒸気圧以上にすれば成形体の分
解が抑制され、より高密度の焼結体が作られる。
If the partial pressure of the Sin and GO gases is made equal to or higher than the equilibrium vapor pressure of these gases generated by decomposition of the molded body, decomposition of the molded body is suppressed and a higher density sintered body is produced.

次に実施の方法について説明する。Next, the implementation method will be explained.

アルミニウムを成分として含む雰囲気、あるいは、アル
ミニウムと珪素及び/又は炭素を成分として含む雰囲気
は焼成炉中にこれら気体を導入あるいは封入して達せら
れる。アルミニウムを含むガスはAI、AICh、^1
20.AIOなどとして、珪素を含むガスはSi、5i
CIa 、EiHs 、SiOなどとして、炭素を含む
ガスは炭化水素、GOなどとして導入することができる
0通常雰囲気は窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性
ガスにこれらの気体を混合して使用される。また別の方
法として、これら気体を焼結温度において発生するよう
な粉末あるいは成形体あるいは焼結体を炭化珪素質を本
噛の一周囲に配しておくことも有効な方法である。
An atmosphere containing aluminum as a component or an atmosphere containing aluminum and silicon and/or carbon as components can be achieved by introducing or enclosing these gases into the firing furnace. Gases containing aluminum are AI, AICh, ^1
20. As AIO etc., silicon-containing gas is Si, 5i
Carbon-containing gases can be introduced as hydrocarbons, GO, etc. as CIa, EiHs, SiO, etc. The atmosphere is usually a mixture of these gases with an inert gas such as nitrogen, argon, helium, etc. Another effective method is to arrange a silicon carbide material such as powder, molded body, or sintered body around one side of the main mold which generates these gases at the sintering temperature.

即ち、 (1)雰囲気が炭化珪素質成形体の周囲に配されたアル
ミニウム粉末、アルミニウム化合物粉末の1つ以上、あ
るいはこれら粉末からなる成形体から形成されるもの (2)雰囲気が炭化珪素質成形体の周囲に配されたアル
ミニウム粉末、アルミニウム化合物粉末の1つ以上及び
珪素粉末、珪素化合物粉末、炭素粉末、炭素化合物粉末
の1つ以上。
That is, (1) the atmosphere is formed from one or more of aluminum powder or aluminum compound powder arranged around a silicon carbide molded body, or a molded body made of these powders; (2) the atmosphere is formed from a silicon carbide molded body; One or more of aluminum powder, aluminum compound powder and one or more of silicon powder, silicon compound powder, carbon powder, carbon compound powder disposed around the body.

あるいはこれら粉末からなる未焼成の成形体から形成さ
れるもの (3)雰囲気が炭化珪素質成形体の周囲に配されたアル
ミニウム及びまたはアルミニウム化合物を含む炭化珪素
質成形体を焼結して得られた焼結体から形成されるもの 又/ よい。
Or one formed from an unfired compact made of these powders (3) An atmosphere obtained by sintering a silicon carbide compact containing aluminum and/or an aluminum compound arranged around the silicon carbide compact. It is also good to be formed from a sintered body.

これらの粉末を炭化珪素質成形体の周囲に配す方法とし
ては、該粉末中に成形体を埋設する方法と該粉末を内面
に1k−6ルだ炭素製または炭化珪素製サヤ材中に成形
体を載置する方法が考えられる。該粉末中に埋設する方
法は成形体の分解をよく抑制し好ましい、しかし大寸法
、複雑形状の成形体には不適である。これに対し、該粉
末をサヤ材に塗布する方法は種々の形状の製造に適し、
また焼結体の表面状態が良好となり該粉末中に埋設する
場合と同等の高密度焼結体を得ることができる。粉末塗
布の方法においては粉末はアルコール、アセトンなどの
有機溶媒あるいは水と混合され泥漿とされサヤ材に塗布
されてもよい。
Methods for placing these powders around a silicon carbide molded body include embedding the molded body in the powder, and molding the powder into a 1k-6 sided carbon or silicon carbide sheath material. There are ways to place the body. The method of embedding in the powder is preferable because it effectively suppresses the decomposition of the molded body, but it is not suitable for molded bodies of large size and complex shapes. On the other hand, the method of applying the powder to the pod material is suitable for manufacturing various shapes,
Moreover, the surface condition of the sintered body becomes good, and a high-density sintered body equivalent to that obtained when the sintered body is embedded in the powder can be obtained. In the powder coating method, the powder may be mixed with an organic solvent such as alcohol, acetone, or water to form a slurry and then applied to the pod material.

またこの時ポリビニルアルコールなどの結合剤を泥漿に
混合することもできる。
A binder such as polyvinyl alcohol can also be mixed into the slurry at this time.

粉末埋設、塗布の方法においては粉末として上記したよ
うな種々のものを使用できるが好ましいのはアルミニウ
ムまたはアルミニウム化合物粉に炭化珪素粉及び/又は
炭素粉を混合した粉末である。この場合、ア・ルミニウ
ムまたはアルミニウム化合物粉としては焼結助剤として
用いたものと同じものを使用するこj好ましいが、必ず
しも同じものに限られる必要はない、  ゛例えば、ア
ルミナを焼結助剤として使用する場合、アルミナを使用
する他に、水酸化アルミニウム、窒化ア“ルミニウム、
炭化アルミニウムなどを使用してもよい、また粉末塗布
の場合には炭素粉の代りにフェノール樹脂、ポリメチル
フェニレンなどの残炭量の多い高分子芳香族化合物を使
用することも便利である。
In the powder embedding and coating methods, various powders such as those mentioned above can be used, but preferred is a powder obtained by mixing aluminum or aluminum compound powder with silicon carbide powder and/or carbon powder. In this case, it is preferable to use the same aluminum or aluminum compound powder as that used as the sintering aid, but it is not necessarily limited to the same powder. For example, if alumina is used as the sintering aid, In addition to alumina, aluminum hydroxide, aluminum nitride,
Aluminum carbide or the like may be used, and in the case of powder coating, it is also convenient to use a polymeric aromatic compound with a large amount of residual carbon, such as phenol resin or polymethylphenylene, instead of carbon powder.

アルミニウムまたはアルミニウム化合物粉に炭化珪素粉
及び/又は炭素粉を配合するときに好ましいアルミニウ
ムまたはアルミニウム化合物の配合量はアルミニウムに
換算して2〜40重量%である。2%以下では成形体の
分解抑制効果が小さく、充分高密度な焼結体が得られな
い、また40%以上では配合粉末の分解速度が大きくな
り、高密度になった場合でも重量減少が大きくなり好ま
しくない、またアルミニウム、アルミナなどを使用して
埋設した場合には成形体へのこれらの液相としての含浸
が起こり好ましくない。
When blending silicon carbide powder and/or carbon powder with aluminum or aluminum compound powder, the preferred blending amount of aluminum or aluminum compound is 2 to 40% by weight in terms of aluminum. If it is less than 2%, the effect of suppressing the decomposition of the molded body is small, and a sufficiently high-density sintered body cannot be obtained, and if it is more than 40%, the decomposition rate of the blended powder increases, resulting in a large weight loss even when the density is high. Moreover, if aluminum, alumina, etc. are used and buried, impregnation of these into the molded body as a liquid phase occurs, which is undesirable.

また、粉末あるいは未焼成の成形体を使用する代りに焼
結体を使用することも好ましい。
It is also preferable to use a sintered body instead of a powder or an unfired compact.

焼結体としてはアルミニウムまたは及びアルミニウム化
合物を含む炭化珪素質焼結体を使用するのが便利である
。この場合には焼成しようとする成形体と同質の焼結体
にて成形体を囲み使用することが好ましいが、異質のも
のでもよい、焼結体を用いる場合には、粉末あるいは未
焼成の成形体を使用する場合に比べて重量に対する表面
積が小さいためその分解速度が小さくなり長時間成形体
の周囲の雰囲気を良好な状態に効果的に保つことができ
、長時間の焼成が必要な場合に適する。
As the sintered body, it is convenient to use a silicon carbide sintered body containing aluminum or an aluminum compound. In this case, it is preferable to surround the molded body with a sintered body of the same quality as the molded body to be fired, but it may be of a different type.When using a sintered body, powder or unfired molded Compared to when using a molded body, the surface area relative to the weight is smaller, so the decomposition rate is lower and the atmosphere around the molded body can be effectively maintained in a good condition for a long time. Suitable.

以上常圧焼成法による場合について述べてきたが、本発
明はホットプレス法の場合にも勿論適用することができ
る。
Although the case using the normal pressure firing method has been described above, the present invention can of course also be applied to the case of the hot press method.

[実施例] 炭化珪素粉末としては市販の純度88%、粒径1ミクロ
ン以下のものを用いた。この炭化珪素粉末(脆j助剤を
第1表に示す配合割合にて配合し、プラスチックス製ポ
ットに入れ、プラスチックス製ポールによりアセトンの
存在下で充分混合した0次いでこれを乾燥し、機械プレ
スにより300Kg/cm2で成形し20X 20X 
4mmの成形体を得た0次にこれを抵抗加熱炉により第
1表に示す各種の雰囲気条件により2000℃にて1時
間焼成した。
[Example] Commercially available silicon carbide powder with a purity of 88% and a particle size of 1 micron or less was used. This silicon carbide powder (brittle jig additive was mixed in the proportions shown in Table 1), placed in a plastic pot, thoroughly mixed with a plastic pole in the presence of acetone, and then dried and machined. Molded by press at 300Kg/cm2 20X 20X
The 4 mm compact was then fired in a resistance heating furnace at 2000° C. for 1 hour under various atmospheric conditions shown in Table 1.

以上の結果、比較例に示した通常の方法による場合に比
べ、本発明の方法による場合には高密度の炭化珪素質焼
結体が得られることがわかる。
The above results show that a silicon carbide sintered body with a higher density can be obtained by the method of the present invention than by the conventional method shown in the comparative example.

本l 比較例 本2 焼結温度は得られた焼結体の理論密度に対する相
対密度 木3  Al2O3が成形体に含浸され不良本4 カー
ボン換算量 第1表において 雰囲気条件 なし:成形体を容器なしで炉中に設置 埋設:成形体を、方式の右欄の種類、配合量よりなる混
合(または単独)粉末中 に埋設 塗布二炭素容器内面に上記の混合(または単独)粉末に
エチルアルコールを加え た泥漿を塗布し、乾燥後この中に成形 体を12、塗布厚みは約0.5ms+ 成形体二上記の混合粉末よりなる未焼成成形体容器中に
成形体を蔵置
Book 1 Comparative example Book 2 The sintering temperature is the relative density to the theoretical density of the obtained sintered body Wood 3 Al2O3 is impregnated into the molded body and it is defective Book 4 No atmospheric conditions in Table 1 of the carbon equivalent amount: No container for the molded body Place in a furnace and bury: Embed the molded body in a mixed (or single) powder according to the type and amount in the right column of the method. Add ethyl alcohol to the above mixed (or single) powder on the inner surface of a two-carbon container. After drying, place the molded body in the slurry (approximately 0.5 ms + molded body 2).

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、アルミニウム及び/又はアルミニウム化合物を含む
炭化珪素質成形体をアルミニウムを成分として含む雰囲
気のもとで焼成してなることを特徴とする高密度炭化珪
素質焼結体。 2、雰囲気が不活性ガスを含む特許請求の範囲第1項の
焼結体。 3、雰囲気が炭化珪素質成形体の周囲に配されたアルミ
ニウム粉末、アルミニウム化合物粉末の1つ又は2つ以
上を含む粉末あるいはこれらの粉末を含む成形体もしく
は該成形体を焼結して得られる焼結体から形成されるも
のである特許請求の範囲第1項又は第2項の焼結体。 4、アルミニウム化合物粉末がアルミナ、窒化アルミニ
ウム、炭化アルミニウム、アルミニウム炭化珪素(Al
_4SiC_4)、硼化アルミニウム、リン化アルミニ
ウムから選ばれる1つ又は2つ以上である特許請求の範
囲第3項の焼結体。 5、アルミニウム粉末、アルミニウム化合物粉末の1つ
又は2つ以上を含む粉末あるいはこれらの粉末を含む成
形体もしくは該成形体を焼結して得られる焼結体が、ア
ルミニウムに換算して2〜40重量%のアルミニウム及
び/又はアルミニウム化合物を含む特許請求の範囲第3
項の焼結体。 6、炭化珪素質成形体に含まれるアルミニウム化合物が
アルミナ、窒化アルミニウム、炭化アルミニウム、アル
ミニウム炭化珪素(A1_4SiC_4)、硼化アルミ
ニウム、リン化アルミニウムから選ばれる1つ又は2つ
以上である特許請求の範囲第1〜5項いずれかの焼結体
。 7、雰囲気がアルミニウムと珪素及び/又は炭素を成分
として含む雰囲気である特許請求の範囲第1項の焼結体
。 8、雰囲気が不活性ガスを含む特許請求の範囲第7項の
焼結体。 9、雰囲気が炭化珪素質成形体の周囲に配されたアルミ
ニウム粉末、アルミニウム化合物粉末の1つ又は2つ以
上を含む粉末と珪素粉末、珪素化合物粉末、炭素粉末、
炭素化合物粉末から選ばれる1つ又は2つ以上の粉末あ
るいはこれらの粉末を含む成形体もしくは該成形体を焼
結して得られる焼結体から形成されるものである特許請
求の範囲第7項又は第8項の焼結体。 10、アルミニウム化合物粉末がアルミナ、窒化アルミ
ニウム、炭化アルミニウム、アルミニウム炭化珪素(A
l_4SiC_4)、硼化アルミニウム、リン化アルミ
ニウムから選ばれる1つ又は2つ以上である特許請求の
範囲第9項の焼結体。 11、珪素化合物粉末が炭化珪素、シリカ、一酸化珪素
から選ばれる1つ又は2つ以上である特許請求の範囲第
9項の焼結体。 12、炭素化合物がフェノール樹脂、ポリメチルフェニ
レンなどの高分子芳香族化合物から選ばれる1つ又は2
つ以上である特許請求の範囲第9項の焼結体。 13、アルミニウム粉末、アルミニウム化合物粉末の1
つ又は2つ以上を含む粉末あるいはこれらの粉末を含む
成形体もしくは該成形体を焼結して得られる焼結体が、
アルミニウムに換算して2〜40重量%のアルミニウム
及び/又はアルミニウム化合物を含む特許請求の範囲第
9項の焼結体。 14、炭化珪素質成形体に含まれるアルミニウム化合物
がアルミナ、窒化アルミニウム、炭化アルミニウム、ア
ルミニウム炭化珪素 (Al_4SiC_4)、硼化アルミニウム、リン化ア
ルミニウムから選ばれる1つ又は2つ以上である特許請
求の範囲第7〜13項いずれかの焼結体。
[Claims] 1. A high-density silicon carbide sintered body, which is obtained by firing a silicon carbide molded body containing aluminum and/or an aluminum compound in an atmosphere containing aluminum as a component. 2. The sintered body according to claim 1, wherein the atmosphere contains an inert gas. 3. Powder containing one or more of aluminum powder and aluminum compound powder arranged in an atmosphere around a silicon carbide compact, or a compact containing these powders, or obtained by sintering the compact. A sintered body according to claim 1 or 2, which is formed from a sintered body. 4. Aluminum compound powder is alumina, aluminum nitride, aluminum carbide, aluminum silicon carbide (Al
The sintered body according to claim 3, which is one or more selected from _4SiC_4), aluminum boride, and aluminum phosphide. 5. A powder containing one or more of aluminum powder and aluminum compound powder, a molded body containing these powders, or a sintered body obtained by sintering the molded body has a powder content of 2 to 40% in terms of aluminum. Claim 3 containing % by weight of aluminum and/or aluminum compounds
Term sintered body. 6. Claims in which the aluminum compound contained in the silicon carbide molded body is one or more selected from alumina, aluminum nitride, aluminum carbide, aluminum silicon carbide (A1_4SiC_4), aluminum boride, and aluminum phosphide. A sintered body according to any one of Items 1 to 5. 7. The sintered body according to claim 1, wherein the atmosphere is an atmosphere containing aluminum, silicon and/or carbon as components. 8. The sintered body according to claim 7, wherein the atmosphere contains an inert gas. 9. Powder containing one or more of aluminum powder, aluminum compound powder, silicon powder, silicon compound powder, carbon powder, in which the atmosphere is arranged around the silicon carbide compact;
Claim 7, which is formed from one or more powders selected from carbon compound powders, a molded body containing these powders, or a sintered body obtained by sintering the molded body. or the sintered body of item 8. 10. Aluminum compound powder is alumina, aluminum nitride, aluminum carbide, aluminum silicon carbide (A
The sintered body according to claim 9, which is one or more selected from l_4SiC_4), aluminum boride, and aluminum phosphide. 11. The sintered body according to claim 9, wherein the silicon compound powder is one or more selected from silicon carbide, silica, and silicon monoxide. 12. The carbon compound is one or two selected from polymeric aromatic compounds such as phenol resin and polymethylphenylene.
The sintered body according to claim 9, which is more than one. 13. Aluminum powder, aluminum compound powder 1
A powder containing one or more of these powders, a molded body containing these powders, or a sintered body obtained by sintering the molded body,
The sintered body according to claim 9, which contains 2 to 40% by weight of aluminum and/or an aluminum compound in terms of aluminum. 14. Claims in which the aluminum compound contained in the silicon carbide molded body is one or more selected from alumina, aluminum nitride, aluminum carbide, aluminum silicon carbide (Al_4SiC_4), aluminum boride, and aluminum phosphide. The sintered body according to any one of items 7 to 13.
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