JPS6093935U - 力検出器 - Google Patents
力検出器Info
- Publication number
- JPS6093935U JPS6093935U JP18730383U JP18730383U JPS6093935U JP S6093935 U JPS6093935 U JP S6093935U JP 18730383 U JP18730383 U JP 18730383U JP 18730383 U JP18730383 U JP 18730383U JP S6093935 U JPS6093935 U JP S6093935U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oscillator
- force detector
- changes due
- detecting changes
- converter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は弾性表面波発振器の原理を示す斜視図、第２，
３図は従来のストレインゲージ式及び弾性表面波式力検
出器を夫々示す斜視図、第４図は本考案力検出器の実施
例を示す斜視図、第５図は該力検出器の一使用例を示す
側面図、第６図は該力検出器における発振器の作動を示
す拡大図、第７図は本考案力検出器の他の実施例を示す
斜視図、第８図は更に他の実施例を示す拡大図である。 １１・・・力検出器、１２，１２’・・・起歪体、１３
・・・固定剛体部、１４・・・可動剛体部、１５．１６
・・・ビーム、１７１〜１７．．１７□′〜１７４′・
・・可撓部、１８．１８’、１８’・・・弾性表面波発
振器、１９．１９’、１９“・・・基板、２０，２１，
２０’、２１’、２０″、２１“・・・変換器。
３図は従来のストレインゲージ式及び弾性表面波式力検
出器を夫々示す斜視図、第４図は本考案力検出器の実施
例を示す斜視図、第５図は該力検出器の一使用例を示す
側面図、第６図は該力検出器における発振器の作動を示
す拡大図、第７図は本考案力検出器の他の実施例を示す
斜視図、第８図は更に他の実施例を示す拡大図である。 １１・・・力検出器、１２，１２’・・・起歪体、１３
・・・固定剛体部、１４・・・可動剛体部、１５．１６
・・・ビーム、１７１〜１７．．１７□′〜１７４′・
・・可撓部、１８．１８’、１８’・・・弾性表面波発
振器、１９．１９’、１９“・・・基板、２０，２１，
２０’、２１’、２０″、２１“・・・変換器。
Claims (4)
- （１）一端の固定剛体部と他端の可動剛体部の間に夫々
２箇所づつ可撓部が設けられた複数本のビームを設けて
、可動剛体部に外力が作用した時に上記各可撓部が圧縮
又は伸張されるように構成された起歪体を用い、該起歪
体における上記各可撓部の両側面に、基板の表面に所定
距離を隔てて複数の変換器を設けてなる弾性表面波発振
器を複数個設けたことを特徴とする力検出器。 - （２）上記弾性表面波発振器が基準発振器と歪による変
化を検出する発振器によって構成されていることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の力検出器。 - （３）上記基準発振器及び歪による変化を検出する発振
器が各々発信用変換器と受信用変換器とで構成されてい
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項記載
の力検出器。 - （４） 上記基準発振器及び歪による変化を検出する
発振器が各々発信用変換器と受信用変換器とで構成され
、且つ基準発振器と歪による変化を検出する発振器とが
１個の発信用変換器を共有していることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第２項記載の力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18730383U JPS6093935U (ja) | 1983-12-03 | 1983-12-03 | 力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18730383U JPS6093935U (ja) | 1983-12-03 | 1983-12-03 | 力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093935U true JPS6093935U (ja) | 1985-06-26 |
Family
ID=30404341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18730383U Pending JPS6093935U (ja) | 1983-12-03 | 1983-12-03 | 力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6093935U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018072121A (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出センサー、力覚センサーおよびロボット |
-
1983
- 1983-12-03 JP JP18730383U patent/JPS6093935U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018072121A (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出センサー、力覚センサーおよびロボット |
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