JPS6090834U - 処理槽 - Google Patents
処理槽Info
- Publication number
- JPS6090834U JPS6090834U JP1983182235U JP18223583U JPS6090834U JP S6090834 U JPS6090834 U JP S6090834U JP 1983182235 U JP1983182235 U JP 1983182235U JP 18223583 U JP18223583 U JP 18223583U JP S6090834 U JPS6090834 U JP S6090834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- processing tank
- front surface
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims 2
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図１は循環槽を説明する構成図、第２図は本考案になる
処理槽の斜視図である。 １は循環ポンプ、２はエツチング液、３，１１は内槽、
４，１５は外槽、１２はエツチング液の入力口、１３は
内槽１１の前面、１４は背面、１６はエツチング液の出
力口、１７は外槽１５の前面である。
処理槽の斜視図である。 １は循環ポンプ、２はエツチング液、３，１１は内槽、
４，１５は外槽、１２はエツチング液の入力口、１３は
内槽１１の前面、１４は背面、１６はエツチング液の出
力口、１７は外槽１５の前面である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 循環ポンプと内槽と外槽とからなる処理装置におい
て、外槽の前面と内槽の前面が透明材であることを特徴
とした処理槽。 ２ 透明材が透明塩化ビニールである前記実用新案登録
請求の範囲１の処理槽。 ３ 内槽の背面が着色材である実用新案登録請求の範囲
１の処理槽。 ４ 背面の着色が白色である前記実用新案登録請求の範
囲３の処理槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983182235U JPS6090834U (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 処理槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983182235U JPS6090834U (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 処理槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6090834U true JPS6090834U (ja) | 1985-06-21 |
Family
ID=30394702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983182235U Pending JPS6090834U (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 処理槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6090834U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5438770A (en) * | 1977-09-01 | 1979-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | Etching device |
| JPS57118645A (en) * | 1981-01-16 | 1982-07-23 | Mitsubishi Electric Corp | Liquid processing equipment for semiconductor |
-
1983
- 1983-11-28 JP JP1983182235U patent/JPS6090834U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5438770A (en) * | 1977-09-01 | 1979-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | Etching device |
| JPS57118645A (en) * | 1981-01-16 | 1982-07-23 | Mitsubishi Electric Corp | Liquid processing equipment for semiconductor |
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