JPS608482A - クライオポンプの運転方法 - Google Patents
クライオポンプの運転方法Info
- Publication number
- JPS608482A JPS608482A JP11516583A JP11516583A JPS608482A JP S608482 A JPS608482 A JP S608482A JP 11516583 A JP11516583 A JP 11516583A JP 11516583 A JP11516583 A JP 11516583A JP S608482 A JPS608482 A JP S608482A
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- JP
- Japan
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- refrigerator
- operated
- power source
- cryopump
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- Pending
Links
- 238000011017 operating method Methods 0.000 title 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気体分子を超低温に冷却された面に凝縮及び吸
着して排気するクライオポンプの運転方法に関する。
着して排気するクライオポンプの運転方法に関する。
従来この桓ボンゾは超低温の冷却面を形成すべくヘリウ
ム冷凍機を備えるを一般とし、これに於て該冷凍機をヘ
リウムが断熱膨張して低温を発生する冷凍機部と膨張し
たヘリウムを圧縮する圧縮機部とに分離構成することは
行なわれている。この場合該冷凍機を６０Ｈｚ の電源
により運転するように設定すると、５０Ｈｚの電源の地
域では約２０チの冷凍能力が低下した運転状態になるの
で第１図示のように周波数変換器ａにより５０Ｈｚの電
源すを６０Ｈｚに変換し、該冷凍機の冷凍機部Ｃ及び圧
縮機部ｄを運転することによ、！７５０Ｈｚの電源での
性能低下を防止している。而して冷凍機部Ｃの定格が例
えば１００Ｗであっても圧縮機部ｄの定格Ｖｉ５ＫＷと
大幅に大きいので周波数変換器ａの定格も５．５ Ｋ
Ｗ以上の大きな高価なものを使用しなければならない不
部会がある。
ム冷凍機を備えるを一般とし、これに於て該冷凍機をヘ
リウムが断熱膨張して低温を発生する冷凍機部と膨張し
たヘリウムを圧縮する圧縮機部とに分離構成することは
行なわれている。この場合該冷凍機を６０Ｈｚ の電源
により運転するように設定すると、５０Ｈｚの電源の地
域では約２０チの冷凍能力が低下した運転状態になるの
で第１図示のように周波数変換器ａにより５０Ｈｚの電
源すを６０Ｈｚに変換し、該冷凍機の冷凍機部Ｃ及び圧
縮機部ｄを運転することによ、！７５０Ｈｚの電源での
性能低下を防止している。而して冷凍機部Ｃの定格が例
えば１００Ｗであっても圧縮機部ｄの定格Ｖｉ５ＫＷと
大幅に大きいので周波数変換器ａの定格も５．５ Ｋ
Ｗ以上の大きな高価なものを使用しなければならない不
部会がある。
本発明はこうした不都合を解消することを目的としたも
ので、クライオポンプのヘリウム冷１機を冷凍機部と圧
縮機部とに分離構成し、その夫々を６０Ｈｚ 等の大き
な周波数の電源で運転すべく設定する式のものに於て、
該冷０４を機を５０Ｈｚ等の小さな周波数の電源で運転
するに際し。
ので、クライオポンプのヘリウム冷１機を冷凍機部と圧
縮機部とに分離構成し、その夫々を６０Ｈｚ 等の大き
な周波数の電源で運転すべく設定する式のものに於て、
該冷０４を機を５０Ｈｚ等の小さな周波数の電源で運転
するに際し。
該冷凍機部のみを周波数変換器にエリ１大きな周波数ｉ
Ｃ変換して運転し、該圧縮機部はそのまま１小さな周波
数で運転することを特徴とする。
Ｃ変換して運転し、該圧縮機部はそのまま１小さな周波
数で運転することを特徴とする。
本発明の実施例を図面第２図につき説明すれば。
（１）はクライオポンプ、（２）はポンプケース、＋３
１Ｈ冷凍機部（４）と圧縮機部（５）とで分離構成され
、ツルペイサイクル等の冷凍サイクルで運転される冷凍
機を示す。該冷凍機部（４）はさらに該ポンプケース（
２）内に設けられた２段の冷凍機シリンダ（６ａ）（６
ｂ）及び該ポンプケース（２）の外部に設けられた例え
ば定格１００Ｗの電動機からなる駆動装置（７）で構成
され、該駆動装ｆｉｌｌ（７）によＶ＃シリンダ（６ａ
） （６ｂ）内のピストンが往復動されるとフレキシブ
ルホース（８）を介して圧縮機部（５）との間を循環す
るヘリウムが該シリンダ（６ａ）（６ｂ）内で断熱膨張
し、各シリンダに取付けたシールド（９）、ノぐツフル
叫及びクライメーノξネル（１１１が超低温となって気
体分子を凝縮及び吸着排気する。（１２１は圧縮機部（
５）を駆動する例えば５ＫＷの定格の電動機からなる駆
動装置で、これと前記冷凍機部（４）の駆動装置（７）
は例えば６０Ｈｚの大きい周波数の電源により駆動され
るべく設定されているものとする。
１Ｈ冷凍機部（４）と圧縮機部（５）とで分離構成され
、ツルペイサイクル等の冷凍サイクルで運転される冷凍
機を示す。該冷凍機部（４）はさらに該ポンプケース（
２）内に設けられた２段の冷凍機シリンダ（６ａ）（６
ｂ）及び該ポンプケース（２）の外部に設けられた例え
ば定格１００Ｗの電動機からなる駆動装置（７）で構成
され、該駆動装ｆｉｌｌ（７）によＶ＃シリンダ（６ａ
） （６ｂ）内のピストンが往復動されるとフレキシブ
ルホース（８）を介して圧縮機部（５）との間を循環す
るヘリウムが該シリンダ（６ａ）（６ｂ）内で断熱膨張
し、各シリンダに取付けたシールド（９）、ノぐツフル
叫及びクライメーノξネル（１１１が超低温となって気
体分子を凝縮及び吸着排気する。（１２１は圧縮機部（
５）を駆動する例えば５ＫＷの定格の電動機からなる駆
動装置で、これと前記冷凍機部（４）の駆動装置（７）
は例えば６０Ｈｚの大きい周波数の電源により駆動され
るべく設定されているものとする。
こうした６０Ｈｚの電源に設定されたクライオポンプ（
１）を５０Ｈｚの小さい周波数の電源（＋３）によシ駆
動する場合、冷凍機部（４）のみを周波数変換器ａ４Ｊ
ｖｃよ、ｐ６０Ｈｚに変換して運転し、圧縮機部（５）
は５０Ｈｚの電源（１渇により運転するようにしてこれ
に使用される周波数変換器１滲か冷凍機部（４）駆動装
置（７）の小さな定格に応じた小型のもので済むように
した。１該圧縮機部（５）を５０ Ｈｚの電源で駆動す
ると該圧縮機部（５）の能力は多少低下するが、冷凍機
部（４）を周波数変換器１滲により定格運転すれば冷凍
機部（４）と圧縮機部（５）を共に６０Ｈｚに変換器で
変換した電源で運転しｔ場合に比べほぼ同程度の能力が
得られる。このことは実験に於て明らかであり、冷凍機
（３）の能力は圧縮機部（５）の能力の低下よりもヘリ
ウムの断熱膨張を担う冷凍機部（４）の能力低下ｊ・こ
よる影響が大きく、冷凍機部（４）さえ定格運転すれば
冷凍機（３）の能力は余り低下しないことが原因である
と思われる。
１）を５０Ｈｚの小さい周波数の電源（＋３）によシ駆
動する場合、冷凍機部（４）のみを周波数変換器ａ４Ｊ
ｖｃよ、ｐ６０Ｈｚに変換して運転し、圧縮機部（５）
は５０Ｈｚの電源（１渇により運転するようにしてこれ
に使用される周波数変換器１滲か冷凍機部（４）駆動装
置（７）の小さな定格に応じた小型のもので済むように
した。１該圧縮機部（５）を５０ Ｈｚの電源で駆動す
ると該圧縮機部（５）の能力は多少低下するが、冷凍機
部（４）を周波数変換器１滲により定格運転すれば冷凍
機部（４）と圧縮機部（５）を共に６０Ｈｚに変換器で
変換した電源で運転しｔ場合に比べほぼ同程度の能力が
得られる。このことは実験に於て明らかであり、冷凍機
（３）の能力は圧縮機部（５）の能力の低下よりもヘリ
ウムの断熱膨張を担う冷凍機部（４）の能力低下ｊ・こ
よる影響が大きく、冷凍機部（４）さえ定格運転すれば
冷凍機（３）の能力は余り低下しないことが原因である
と思われる。
このように本発明によるときは６０Ｈｚ等の大きな周波
数の電源で運転すべく設定されたクライオポンプを５０
Ｈｚ等の小さな周波数の電源で運転するに際し、冷凍機
部のみを周波数変換器で大きな周波数に変換して運転し
、圧縮機部はそのまま小さな周波数の電源で運転するも
ので、これによれば冷凍機能力即ちクライオポンプのポ
ンプ性能が余り低下せず、周波数変換器は定格の小さい
冷凍機部に合せた小さいものを使用出来るので経済的で
あり、変換器の設置も容易になる等の効果がある。
数の電源で運転すべく設定されたクライオポンプを５０
Ｈｚ等の小さな周波数の電源で運転するに際し、冷凍機
部のみを周波数変換器で大きな周波数に変換して運転し
、圧縮機部はそのまま小さな周波数の電源で運転するも
ので、これによれば冷凍機能力即ちクライオポンプのポ
ンプ性能が余り低下せず、周波数変換器は定格の小さい
冷凍機部に合せた小さいものを使用出来るので経済的で
あり、変換器の設置も容易になる等の効果がある。
第１図は従来例の運転状態の線図、第２図は本発明の実
施例の線図である。
施例の線図である。
Claims (1)
- クライオポンプのヘリウム冷凍機を冷凍機部と圧縮機部
とに分離構成し、その夫々ｔ６０）ｉｚ等の大きな周波
数の％源で運転すべく設定する式のものに於て、該冷凍
機ｅ５０Ｈｚ等の小さな周波数の電源で運転するに際し
、該冷凍機部のみを周波数変換器Ｉ／ｃより眩大きな周
波数に変換して運転し、該圧縮機部はその′まま該小さ
な周波数で運転することを特徴とするクライオポンプの
運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11516583A JPS608482A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | クライオポンプの運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11516583A JPS608482A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | クライオポンプの運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS608482A true JPS608482A (ja) | 1985-01-17 |
Family
ID=14655941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11516583A Pending JPS608482A (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | クライオポンプの運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608482A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4825660A (en) * | 1986-06-11 | 1989-05-02 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Cryogenic refrigerator |
-
1983
- 1983-06-28 JP JP11516583A patent/JPS608482A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4825660A (en) * | 1986-06-11 | 1989-05-02 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Cryogenic refrigerator |
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