JPS6073240U - 基板支持具 - Google Patents
基板支持具Info
- Publication number
- JPS6073240U JPS6073240U JP16443083U JP16443083U JPS6073240U JP S6073240 U JPS6073240 U JP S6073240U JP 16443083 U JP16443083 U JP 16443083U JP 16443083 U JP16443083 U JP 16443083U JP S6073240 U JPS6073240 U JP S6073240U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board support
- substrate support
- plate
- support according
- flat plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図ａ、 ｂに本考案実施例の平面図、断面図、第２
図は本考案実施例に係る基板支持具のａ〜ｅ設置状態の
断面図である。 １・・・・・・基板支持具、２・・・・・・板状窪み部
、３・・・・・・えぐり部、４・・・・・・突出部、５
・・・・・・半導体基板。
図は本考案実施例に係る基板支持具のａ〜ｅ設置状態の
断面図である。 １・・・・・・基板支持具、２・・・・・・板状窪み部
、３・・・・・・えぐり部、４・・・・・・突出部、５
・・・・・・半導体基板。
Claims (3)
- （１）平板の表面部に、底部口径が上部口径より大きい
板状窪み部をそなえた基板支持具。 - （２）板状窪み部が同心円形でなる実用新案登録請求の
範囲第１項に記載の基板支持具。 - （３）平板が導電基体でなる実用新案登録請求の範囲第
１項記載の基板支持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16443083U JPS6073240U (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 基板支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16443083U JPS6073240U (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 基板支持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6073240U true JPS6073240U (ja) | 1985-05-23 |
Family
ID=30360500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16443083U Pending JPS6073240U (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 基板支持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6073240U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5724736B2 (ja) * | 1979-06-29 | 1982-05-26 | ||
| JPS5974645A (ja) * | 1982-10-21 | 1984-04-27 | Toshiba Corp | ウエ−ハ保持具 |
-
1983
- 1983-10-24 JP JP16443083U patent/JPS6073240U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5724736B2 (ja) * | 1979-06-29 | 1982-05-26 | ||
| JPS5974645A (ja) * | 1982-10-21 | 1984-04-27 | Toshiba Corp | ウエ−ハ保持具 |
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