JPS6071101A - 超高真空用アルミ系材料の加工法 - Google Patents
超高真空用アルミ系材料の加工法Info
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- JPS6071101A JPS6071101A JP1877284A JP1877284A JPS6071101A JP S6071101 A JPS6071101 A JP S6071101A JP 1877284 A JP1877284 A JP 1877284A JP 1877284 A JP1877284 A JP 1877284A JP S6071101 A JPS6071101 A JP S6071101A
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- gas
- container
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23B—TURNING; BORING
- B23B1/00—Methods for turning or working essentially requiring the use of turning-machines; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、粒子加速器等に用いて好適の題高真空用アル
ミ系祠料の加工法に関し、特に上記ヰ４料の切削および
その切削面の処理のための加工法に関する。−従来粒子
加速器のごとき超高真空を必要とする容器の祠料として
、アルミニウムを主成分とする材料が用いられているが
、このようなアルミ系材料の表面には一般に水や油など
の汚れを吸蔵した１００〜１００ＯＯ人程度の厚さの酸
化変質層が存在し、これを超高真空用材料とした場合に
、上記の水や油がガスとして放出されるという問題点が
ある。
ミ系祠料の加工法に関し、特に上記ヰ４料の切削および
その切削面の処理のための加工法に関する。−従来粒子
加速器のごとき超高真空を必要とする容器の祠料として
、アルミニウムを主成分とする材料が用いられているが
、このようなアルミ系材料の表面には一般に水や油など
の汚れを吸蔵した１００〜１００ＯＯ人程度の厚さの酸
化変質層が存在し、これを超高真空用材料とした場合に
、上記の水や油がガスとして放出されるという問題点が
ある。
そこで、上記アルミ系材料の表面を切削することが考え
られるが、単に旋盤やフライス盤などの工作機械で切削
加工を行なうと、活性の切削面が汚れた大気と直ちに反
応を起こしたり、切削油で汚れたりして、清浄な表面が
得られないという問題点がある。
られるが、単に旋盤やフライス盤などの工作機械で切削
加工を行なうと、活性の切削面が汚れた大気と直ちに反
応を起こしたり、切削油で汚れたりして、清浄な表面が
得られないという問題点がある。
本発明は、このような問題点の解決ｉはかるうとするも
ので、アルミ系材料の切削およびその切削面の処理を適
切に行なって、超高真空用として好適の安定した表面を
得られるようにした、アルミ系材料の加工法を提ｆ共す
ることを目的とする。
ので、アルミ系材料の切削およびその切削面の処理を適
切に行なって、超高真空用として好適の安定した表面を
得られるようにした、アルミ系材料の加工法を提ｆ共す
ることを目的とする。
このため本発明の超高真空用アルミ系祠料の加］ニ法は
、容器の内部で、アルミニウムを主成分とする素材を切
削加工しながら、その切削部を不活性ガスと酸素ガスと
の吹（すけにより冷却し、上記素材の切削面にち密な酸
化アルミニウムの薄層を形成することを特徴としている
。
、容器の内部で、アルミニウムを主成分とする素材を切
削加工しながら、その切削部を不活性ガスと酸素ガスと
の吹（すけにより冷却し、上記素材の切削面にち密な酸
化アルミニウムの薄層を形成することを特徴としている
。
以下、図面により本発明の一実施例としての超高真空用
アルミ系材料の加工法について説明すると、第１図は本
発明の加工法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第２図は上記祠料の表面の切削部」二およびプラズ
マ処理の工程を示す説明図である。
アルミ系材料の加工法について説明すると、第１図は本
発明の加工法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第２図は上記祠料の表面の切削部」二およびプラズ
マ処理の工程を示す説明図である。
第１図に示すように、透明祠を気密に直め込まれた窓１
ａを有する金属製容器１の内部で、アルミニウムを主成
分とする累月（以下、ワークという。）Ｗの加工が行な
われるようになっており、この容器１は、旋盤またはフ
ライス盤の回転軸２におけるワーク取ｆ電１部３を覆う
とともに、バイト４の取付部５を覆うように、同旋盤の
図示しない本体に装着されでいる。
ａを有する金属製容器１の内部で、アルミニウムを主成
分とする累月（以下、ワークという。）Ｗの加工が行な
われるようになっており、この容器１は、旋盤またはフ
ライス盤の回転軸２におけるワーク取ｆ電１部３を覆う
とともに、バイト４の取付部５を覆うように、同旋盤の
図示しない本体に装着されでいる。
そして、容器１には、その内部を減圧するための真空ポ
ンプ６が、バルブ７を介しで接続されている。
ンプ６が、バルブ７を介しで接続されている。
回＋Ｉｇ軸２は容器１の外部の図示しないモーターで回
転駆動され、この回転軸２か容器１を貫通する部分には
、気密シールを施された軸受２ａが設けられている。
転駆動され、この回転軸２か容器１を貫通する部分には
、気密シールを施された軸受２ａが設けられている。
また容器１の内部にはワーク切削部冷却用ノズル８か設
けられ、この／スル８には、アルコン等の不活性ガスと
酸素ガスとからなる冷却用力スを貯留したガスボンベ５
〕か、リークバルブ１０を介して接続されていさらにワ
ークＷの切削部に沿いプラスマを生成する放電電極１１
か、容器１内に配設されて、同電極１１に電源１２から
高電圧か供給されるようになっている。
けられ、この／スル８には、アルコン等の不活性ガスと
酸素ガスとからなる冷却用力スを貯留したガスボンベ５
〕か、リークバルブ１０を介して接続されていさらにワ
ークＷの切削部に沿いプラスマを生成する放電電極１１
か、容器１内に配設されて、同電極１１に電源１２から
高電圧か供給されるようになっている。
なお、電源１２から放電電極１１へ至る高圧線１３が、
容器１の金属製壁部を貫通する部分には、絶縁相からな
る気密シール１１１か施されている。
容器１の金属製壁部を貫通する部分には、絶縁相からな
る気密シール１１１か施されている。
またワークＷに、ワーク取１１部３１回転軸２．軸受２
ａおよび容器１の金属製壁部を介して接続する１）−１
Ｓ線］５か設けられ、二のリード線は電ｉ原１２のアー
ス線１６に接続されている。
ａおよび容器１の金属製壁部を介して接続する１）−１
Ｓ線］５か設けられ、二のリード線は電ｉ原１２のアー
ス線１６に接続されている。
」二連の装置を用いて、本発明の超高真空用アルミ系キ
イ料の加工法は、次のように行なわれる。
イ料の加工法は、次のように行なわれる。
まず、容器１の内部か真空ポンプ６の作動により減圧さ
れる。
れる。
ついで、旋盤またはフライス盤の回ＩＪｊｌ＋２を回転
駆動しなか呟バイト４によりワークＷの切削加工が行な
われる。
駆動しなか呟バイト４によりワークＷの切削加工が行な
われる。
その際、第１１゛２図に示すように、７スル８からアル
ゴンガスと酸素ガスとの混合ガスをバイト４およびワー
クＷの切削部に吹イ」けて、冷却を行なうようにする。
ゴンガスと酸素ガスとの混合ガスをバイト４およびワー
クＷの切削部に吹イ」けて、冷却を行なうようにする。
このようにして、ワークＷの切削面は清浄に保たれ、容
器１内にはアルゴンがスと酸素ガスとが存在するように
なるので、ワークＷの切削面に沿し）放電電極１１のア
ーク放電によるプラズマ１７を生成すると、アルミ系累
月としてのワークＷの切削面には、サファイアのごとき
ち密な酸化アルミニウムの薄層１８が形成されるのであ
る。
器１内にはアルゴンがスと酸素ガスとが存在するように
なるので、ワークＷの切削面に沿し）放電電極１１のア
ーク放電によるプラズマ１７を生成すると、アルミ系累
月としてのワークＷの切削面には、サファイアのごとき
ち密な酸化アルミニウムの薄層１８が形成されるのであ
る。
なお、ワーク〜′の切削部が、不活性ガスと酸素ガスと
の吹付けによる雰囲気中にて冷却される際にも、同切削
面には、ち密な酸化アルミニウムの薄層１８が形成され
るので、放電電極１１によるプラスマ１７の生成は省略
してもよい。
の吹付けによる雰囲気中にて冷却される際にも、同切削
面には、ち密な酸化アルミニウムの薄層１８が形成され
るので、放電電極１１によるプラスマ１７の生成は省略
してもよい。
上述のごとくワークＷの表面【こ形成された薄１１８は
極めて安定しており、大気中のガスや水分、油分などと
反応を起こすことはほとんど無く、またそれらの１１ｕ
苗Ｊｔムふグ崗為）し九・入めｆ−九人したかって、本
発明の加工法を施されたアルミ系材料の超高真空特性は
著しく優れたものとなり、従来の超高真空特性の場合の
ような長時間にわたる真空中での高温加熱脱ガス処理を
必要とせずに、超高真空を実現できる利点がある。
極めて安定しており、大気中のガスや水分、油分などと
反応を起こすことはほとんど無く、またそれらの１１ｕ
苗Ｊｔムふグ崗為）し九・入めｆ−九人したかって、本
発明の加工法を施されたアルミ系材料の超高真空特性は
著しく優れたものとなり、従来の超高真空特性の場合の
ような長時間にわたる真空中での高温加熱脱ガス処理を
必要とせずに、超高真空を実現できる利点がある。
なお、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガスをワークＷ
の切削部へ吹き１寸けて冷却を行なう際に、容器１の内
部の引圧を防止するだめ、要すれは真空ポンプ６による
吸引か行なわれ、この吸引ガスは間示しなし・コンブレ
ンサーによりガスボンベ９へ戻される。
の切削部へ吹き１寸けて冷却を行なう際に、容器１の内
部の引圧を防止するだめ、要すれは真空ポンプ６による
吸引か行なわれ、この吸引ガスは間示しなし・コンブレ
ンサーによりガスボンベ９へ戻される。
また、前述のアルミ系祠料の表面に形成された薄層１８
には、さらｔ：容器１内に設けたイオンブレーティ・ン
グ装置により、所要のコーティングを施すようｌこして
もよい。
には、さらｔ：容器１内に設けたイオンブレーティ・ン
グ装置により、所要のコーティングを施すようｌこして
もよい。
以」二詳述したように、本発明の超高真空用アルミ系祠
料の加工法によれば、容器の内部で、アルミニウムを主
成分とする素ヰＡを切削加工しながら、その切削部を不
活性ガスと酸素ガスとの吹（マ］けにより冷却し、上記
素材の切削面にち密な酸化アルミニウムの薄層を形成す
るという極めて簡素な手段で、超高真空特性の優れた表
面をもつアルミ系飼料を、容易に且つ安価に得られるよ
うになる効果かある。
料の加工法によれば、容器の内部で、アルミニウムを主
成分とする素ヰＡを切削加工しながら、その切削部を不
活性ガスと酸素ガスとの吹（マ］けにより冷却し、上記
素材の切削面にち密な酸化アルミニウムの薄層を形成す
るという極めて簡素な手段で、超高真空特性の優れた表
面をもつアルミ系飼料を、容易に且つ安価に得られるよ
うになる効果かある。
第１図は本発明の一実施例としての超高真空用アルミ系
飼料の加工法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第２図は上記材料の表面の切削加工およびプラズマ
処理の工程を示す説明図である。 １・・容器、１ａ・・窓、２・・旋盤またはフライス盤
の回転軸、２ａ・・軸受、３・・ワーク取１寸部、４・
・バイト、５・・バイト取（＝１部、６・・真空ポンプ
、７・・バルブ、８・・ノズル、９・・ガスボンベ、１
０・・リークバルブ、１１・・放電電極、１２・・電源
、１３・・高圧線、１４・・気密シール、１５・・リー
ド線、１６・・アース線、１７・・プラズマ、１８・
・薄層、Ｗ・ ・ワーク。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第１図 第２図 手続補正書（方式） １ 事件の表示 昭和５９年特 許願 第１８７７２号 ２ 発明の名称 超高真空用アルミ系材料の加工法 ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 ３０５ 住所 茨城県新治郡桜村大字大角豆１３５２番地並木２
丁目１２８棟１０２号 氏名 石 丸 肇 ４代理人 郵便番号 １６０ 住所 東京都新宿区南元町５番地３号 ５ 補正命令の日イ」 昭和５９年 ５月 ９日 （発送日 昭和５９年 ５月２９日 ６ 補正の対象 明細書全文。 ７ 補正の内容 明細書全文について、文字を大きくするため、別紙のと
おり補正する。 ８ 添付書類の目録 全文補正明細書 １通
飼料の加工法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第２図は上記材料の表面の切削加工およびプラズマ
処理の工程を示す説明図である。 １・・容器、１ａ・・窓、２・・旋盤またはフライス盤
の回転軸、２ａ・・軸受、３・・ワーク取１寸部、４・
・バイト、５・・バイト取（＝１部、６・・真空ポンプ
、７・・バルブ、８・・ノズル、９・・ガスボンベ、１
０・・リークバルブ、１１・・放電電極、１２・・電源
、１３・・高圧線、１４・・気密シール、１５・・リー
ド線、１６・・アース線、１７・・プラズマ、１８・
・薄層、Ｗ・ ・ワーク。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第１図 第２図 手続補正書（方式） １ 事件の表示 昭和５９年特 許願 第１８７７２号 ２ 発明の名称 超高真空用アルミ系材料の加工法 ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 ３０５ 住所 茨城県新治郡桜村大字大角豆１３５２番地並木２
丁目１２８棟１０２号 氏名 石 丸 肇 ４代理人 郵便番号 １６０ 住所 東京都新宿区南元町５番地３号 ５ 補正命令の日イ」 昭和５９年 ５月 ９日 （発送日 昭和５９年 ５月２９日 ６ 補正の対象 明細書全文。 ７ 補正の内容 明細書全文について、文字を大きくするため、別紙のと
おり補正する。 ８ 添付書類の目録 全文補正明細書 １通
Claims (1)
- へ容器の内部で、アルミニウムを主成分とする素材を切
削加工しなが呟その切削部を不活性力スと酸素ガスとの
吹ｆτｊけにより冷却し、上記素材の切削面にち密な酸
化アルミニウムの薄層を形成することを特徴とする、超
高真空用アルミ系材料の加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1877284A JPS6071101A (ja) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1877284A JPS6071101A (ja) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8325083A Division JPS59209727A (ja) | 1983-05-12 | 1983-05-12 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071101A true JPS6071101A (ja) | 1985-04-23 |
| JPS6250253B2 JPS6250253B2 (ja) | 1987-10-23 |
Family
ID=11980922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1877284A Granted JPS6071101A (ja) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071101A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182351U (ja) * | 1987-05-16 | 1988-11-24 | ||
| EP1593751A1 (en) * | 2003-01-14 | 2005-11-09 | Tokyo Electron Limited | Member of apparatus for plasma treatment, member of treating apparatus, apparatus for plasma treatment, treating apparatus and method of plasma treatment |
| WO2009094269A3 (en) * | 2008-01-24 | 2009-10-29 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Machining of aluminum surfaces |
| CN103846640A (zh) * | 2012-12-07 | 2014-06-11 | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 | 微小孔的等离子体放电加工装置及加工方法 |
| CN106694906A (zh) * | 2015-11-13 | 2017-05-24 | 首都航天机械公司 | 一种大直径薄壁叉形环加工方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038882A (ja) * | 1973-08-13 | 1975-04-10 | ||
| JPS5877712A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-11 | 昭和アルミニウム株式会社 | 真空用アルミニウム製中空押出形材の製造法 |
-
1984
- 1984-02-03 JP JP1877284A patent/JPS6071101A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038882A (ja) * | 1973-08-13 | 1975-04-10 | ||
| JPS5877712A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-11 | 昭和アルミニウム株式会社 | 真空用アルミニウム製中空押出形材の製造法 |
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|---|---|---|---|---|
| JPS63182351U (ja) * | 1987-05-16 | 1988-11-24 | ||
| JPH0454358Y2 (ja) * | 1987-05-16 | 1992-12-21 | ||
| EP1593751A1 (en) * | 2003-01-14 | 2005-11-09 | Tokyo Electron Limited | Member of apparatus for plasma treatment, member of treating apparatus, apparatus for plasma treatment, treating apparatus and method of plasma treatment |
| EP1593751A4 (en) * | 2003-01-14 | 2008-08-06 | Tokyo Electron Ltd | ELEMENT OF A PLASMA TREATMENT DEVICE, ELEMENT OF A TREATMENT DEVICE, PLASMA TREATMENT DEVICE, TREATMENT DEVICE AND METHOD OF PLASMA TREATMENT |
| WO2009094269A3 (en) * | 2008-01-24 | 2009-10-29 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Machining of aluminum surfaces |
| CN103846640A (zh) * | 2012-12-07 | 2014-06-11 | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 | 微小孔的等离子体放电加工装置及加工方法 |
| CN106694906A (zh) * | 2015-11-13 | 2017-05-24 | 首都航天机械公司 | 一种大直径薄壁叉形环加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6250253B2 (ja) | 1987-10-23 |
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