JPS606541B2 - Manufacturing method of moisture-proof insulation treated hybrid IC - Google Patents

Manufacturing method of moisture-proof insulation treated hybrid IC

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JPS606541B2
JPS606541B2 JP14148781A JP14148781A JPS606541B2 JP S606541 B2 JPS606541 B2 JP S606541B2 JP 14148781 A JP14148781 A JP 14148781A JP 14148781 A JP14148781 A JP 14148781A JP S606541 B2 JPS606541 B2 JP S606541B2
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JP
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hybrid
moisture
parts
proof insulation
manufacturing
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英二 大森
大輔 牧野
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Hitachi Chemical Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/285Permanent coating compositions
    • H05K3/287Photosensitive compositions

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  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は防湿絶縁処理されたハイブリッドにの製造法に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a moisture-proof insulated hybrid.

従来、ハイブリッドICの防湿絶縁用塗料には、粉体塗
料や溶剤型の防湿絶縁塗料が使用されてきた。
Conventionally, powder paints and solvent-based moisture-proof insulation paints have been used as moisture-proof insulation paints for hybrid ICs.

しかしながら、これらの塗料は、加熱硬化性であるため
絶縁処理に長時間を要した。短時間処理には、数秒〜数
分で硬化する紫外線硬化性樹脂組成物が有利であるが通
常の紫外線硬化性樹脂組成物は、セラミックとの密着性
および耐湿性に問題があった。本発明者らは、種々検討
した結果硬化物がセラミックスとの密着性および耐湿性
に優れる樹脂組成物を用いた防湿絶縁性にすぐれたハイ
ブリッドICの製造法を見出した。
However, since these paints are heat-curable, it takes a long time for insulation treatment. For short-time processing, ultraviolet curable resin compositions that cure within several seconds to several minutes are advantageous, but ordinary ultraviolet curable resin compositions have problems in adhesion to ceramics and moisture resistance. As a result of various studies, the present inventors have discovered a method for producing a hybrid IC with excellent moisture-proof insulation properties using a resin composition whose cured product has excellent adhesion to ceramics and moisture resistance.

本発明は 風無水マレイン酸と無水マレィン酸と付加反応可能な二
重結合を有する動植物油とを付加反応させて得られる化
合物および式(R,、R2 は日またはC弦であり、これらは同一でも異なつてもよ
い)で示される化合物を反応させて得られる化合物(以
下■成分とする)【B)光重合開始剤 ならびに に} 式 で示さ れる化合物および/またはCH2:CH−Sj(OR5
)3(R3はHまたはC比、R4は2価の炭化水素残基
、R5はアルキル基である)で示される化合物(以下に
}成分とする)を含有する樹脂組成物を、ハイブリッド
にに塗布し、光照射により硬化させる防湿絶縁処理され
たハイブリッドICの製造法に関する。
The present invention relates to compounds obtained by addition reaction of wind maleic anhydride, maleic anhydride, and animal and vegetable oils having a double bond capable of addition reaction, and a compound with the formula (R, , R2 is a day or a C string, and these are the same A compound obtained by reacting a compound represented by the formula (hereinafter referred to as Component) [B) a photopolymerization initiator and a compound represented by the formula and/or CH2:CH-Sj (OR5
)3 (R3 is H or C ratio, R4 is a divalent hydrocarbon residue, R5 is an alkyl group) A resin composition containing a compound (hereinafter referred to as component }) is made into a hybrid. The present invention relates to a method for manufacturing a hybrid IC that is coated and cured by light irradiation, which is subjected to a moisture-proof insulation treatment.

無水マレィン酸と無水マレィン酸と付加反応可能な二重
結合を有する動植物油との付加反応は、無水マレィン酸
1モルに対し、この動植物油を0.5〜2モルとして、
16000〜24000で、3び分〜6時間で行なうこ
とが好ましい。
The addition reaction between maleic anhydride and an animal or vegetable oil having a double bond capable of an addition reaction is carried out using 0.5 to 2 moles of this animal or vegetable oil per mole of maleic anhydride.
It is preferable to carry out at 16,000 to 24,000 for 3 minutes to 6 hours.

必要に応じて、トルェン、キシレンなどの溶剤を用いて
もよい。この付加反応物1モルに対し、ほぼ等モルの式
で示される化合物を無溶剤下で60qo〜12000で
4〜24時間反応させることが好ましい。
If necessary, a solvent such as toluene or xylene may be used. It is preferable to react approximately equimolar amounts of the compound represented by the formula with respect to 1 mole of the addition reactant in the absence of a solvent at 60 qo to 12,000 qo for 4 to 24 hours.

本発明の無水マレィン酸と付加反応可能な二重結合を有
する動植物油としては、たとえば亜麻仁油、桐油、ャシ
油、サフラワ−油、大豆油、脱水ヒマシ油、コメヌカ油
、綿実油、魚油などがあり、これらは単独でまたは混合
して使用できる。
Examples of animal and vegetable oils having double bonds capable of addition reaction with maleic anhydride of the present invention include linseed oil, tung oil, coconut oil, safflower oil, soybean oil, dehydrated castor oil, rice bran oil, cottonseed oil, and fish oil. These can be used alone or in combination.

式(R,、 R2はHまたはC&である)で示される化合物としては
2−ヒドロオキシエチルメタクリレート、2−ヒドロオ
キシエチルアクリレート、2ーヒドロオキシプロピルメ
タクリレート、2ーヒドロオキシプロピルアクリレート
などがありこれらは単独でまたは混合して使用できる。
Compounds represented by the formula (R, R2 is H or C&) include 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, etc. can be used alone or in combination.

光重合開始剤としては、ベンジルジメチルケタール、ベ
ンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ペンゾインプロ
ピルエーテル、ベンゾインフエニルェーテルなどのペン
ゾインェーテル類、ペンゾインチオェーテル類、ベンゾ
フェノン、アセトフエノン、2ーエチルアントラキノン
フロイン、ベンゾインェーテルーミヒラーケトン系、塩
化デシルノチオキサントン類などが用いられる。式 で示され る化合物またはCH2三CH−Si(OR5)で示され
る化合物(R3はHまたはCH3、R4は2価の炭化水
素残基、R5はアルキル基である)で示される化合物は
、たとえば、yーメタアクリロキシプロピルトリメトキ
シシラン「y−メタアクリロキシプロピルトリエトキシ
シラン、yーアクリロキシプロピルトリメトキシシラン
、ビニルトリメトキシシラン「ビニルトリヱトキシシラ
ンなどがある。
Examples of the photopolymerization initiator include benzyl dimethyl ketal, benzoin, benzoin ethyl ether, penzoin propyl ether, benzoin phenyl ether, penzoin thioethers, benzophenone, acetophenone, 2-ethylanthraquinone furoin, benzoin ether Michler ketone, chlorinated decylnothioxanthone, etc. are used. The compound represented by the formula or the compound represented by CH2CH-Si(OR5) (R3 is H or CH3, R4 is a divalent hydrocarbon residue, and R5 is an alkyl group) is, for example, Examples include y-methacryloxypropyltrimethoxysilane, y-methacryloxypropyltriethoxysilane, y-acryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, and vinyltriethoxysilane.

凶成分10の重量部に対しし 光重合開始剤を0.00
01〜1の重量部「‘C}成分を0.0001〜20重
量部の範囲で使用するのがセラミックスとの密着性およ
び紫外線硬化性の点から好ましい。本発明における樹脂
組成物は、以下に述べる諸成分を必要に応じて含有して
もよい。
0.00 parts by weight of photopolymerization initiator per 10 parts by weight of harmful ingredient
It is preferable to use the 'C} component in an amount of 0.0001 to 20 parts by weight from the viewpoint of adhesion to ceramics and UV curability. The various components mentioned may be contained as necessary.

架橋性単量体として、スチレン、ビニルトルェン、Qー
メチルスチレン、pーターシヤリーブチルスチレン「ク
ロルスチレン、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート
、2ーヒドロオキシエチルメタクリレート、2ーヒドロ
オキシプロピルメタクリレートトメチルメタクリレート
、エチルメタクリレート「ラウリルメタクリレート、メ
タクリル酸とカージュラE−10(シェル化学製高級脂
肪酸のグリシジルヱステルの商品名)の反応物などの1
官能性のメタクリル酸ヱステル、エチレングリコールジ
メタクリレートトジエチレングリコールジメタクリレー
ト「106へキサンジオールジメタクリレートなどの2
官能性のメタクリル酸エステル、トリメチロールプロパ
ントリメタクリレートなどの3官能性のメタクリル酸ェ
ステル、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ラ
ウリルアクリレート、2ーヒドロオキシエチルアクリレ
ート、2ーヒドロオキシプロピルアクリレ−ト、アクリ
ル酸とカージュラE−10の反応物などの1官能性のア
クリル酸ェステル、エチレングリコールジアクリレート
、ジエチレングリコールジアクリレート、1・6へキサ
ンジオールジアクリレートなどの2官能性のアクリル酸
ェステル、トリメチロールブロパントリアクリレートな
どの3官能性のアクリル酸ェステルなどを、単独で又は
混合して使用できる。
Examples of crosslinkable monomers include styrene, vinyltoluene, Q-methylstyrene, p-tertiarybutylstyrene, chlorostyrene, divinylbenzene, diallyl phthalate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, methyl methacrylate, and ethyl methacrylate. 1, such as lauryl methacrylate, a reaction product of methacrylic acid and Cardura E-10 (trade name of glycidyl ester, a higher fatty acid manufactured by Shell Chemical Co., Ltd.)
Functional esters of methacrylic acid, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, 106 hexanediol dimethacrylate, etc.
Functional methacrylic esters, trifunctional methacrylic esters such as trimethylolpropane trimethacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, lauryl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, acrylic acid monofunctional acrylic esters such as the reaction products of Cardura E-10, difunctional acrylic esters such as ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, 1,6 hexanediol diacrylate, trimethylolbropane triacrylate, etc. Trifunctional acrylic esters such as acrylates can be used alone or in combination.

溶剤としてトルェン、キシレンなどの芳香族系溶剤、酢
酸エチル、酢酸ブチルなどのェステル系溶剤、メチルエ
チルケトン、アセトンなどのケトン系溶剤等の溶剤を使
用できる。
As the solvent, aromatic solvents such as toluene and xylene, ester solvents such as ethyl acetate and butyl acetate, and ketone solvents such as methyl ethyl ketone and acetone can be used.

ラジカル重合開始剤として、ベンゾィルパーオキサイド
、アセチルパーオキサイドなどの了シルバーオキサイド
、ターシヤリーブチルパーオキサイド、メチルエチルケ
トン/ぐーオキサイド、キユメンヒドロパーオキサイド
、シクロヘキサノンパーオキサイドなどのケトンパーオ
キサイド、ジクミルパーオキサイドなどのアルキルパー
オキサイド、ターシヤリーブチルパーオキシベンゾエー
ト、ターシヤリーブチル/ゞーオキシアセテートなどの
オキシパーオキサィド等を使用できる。
As a radical polymerization initiator, suitable silver oxides such as benzoyl peroxide and acetyl peroxide, ketone peroxides such as tert-butyl peroxide, methyl ethyl ketone/gu oxide, kyumene hydroperoxide, and cyclohexanone peroxide, and dicumyl peroxide are used. Alkyl peroxides such as, tertiary butyl peroxybenzoate, oxyperoxides such as tertiary butyl/dioxyacetate, etc. can be used.

硬化促進剤として、鉄、コバルト、鉛、マンガン、ニッ
ケル、スズ、亜鉛等のナフテン酸塩、オクテン酸塩等を
使用できる。重合禁止剤として、ハイドロキノン、パラ
ターシャリーブチルカテコール、ピロガロール等のキノ
ン類、その他一般に使用されているものを使用できる。
As a hardening accelerator, naphthenates, octenoates, etc. of iron, cobalt, lead, manganese, nickel, tin, zinc, etc. can be used. As the polymerization inhibitor, quinones such as hydroquinone, paratertiary butylcatechol, pyrogallol, and other commonly used ones can be used.

また、本発明における樹脂組成物には、必要に応じて石
英ガラス粉末、水和アルミナ粉末、タルク、炭酸カルシ
ウム、マィカ、マィカ粉、合成雲母、合成雲母粉、酸化
ァルミナ、シリカなどの無機質充てん剤、顔料、染料等
を加えてもよい。
The resin composition of the present invention may also contain inorganic fillers such as quartz glass powder, hydrated alumina powder, talc, calcium carbonate, mica, mica powder, synthetic mica, synthetic mica powder, alumina oxide, and silica, if necessary. , pigments, dyes, etc. may be added.

上記の架橋性単量体等の成分は、樹脂組成物に通常用い
られる量で用いられ、その使用量に特に制限はない。ま
た本発明における樹脂組成物は、不飽和ポリエステル樹
脂、油変性不飽和ポリエステル樹脂、ジシクロベソタジ
ェン変性不飽和ポリエステル樹脂、ポリブタジェン、ア
クリル酸および/またはメタクリル酸変性ポリブタジェ
ン、不飽和ェポキシェステル樹脂、ュポキシ樹脂等と併
用できる。
Components such as the above-mentioned crosslinkable monomers are used in amounts commonly used in resin compositions, and there are no particular limitations on the amounts used. Further, the resin composition in the present invention includes unsaturated polyester resin, oil-modified unsaturated polyester resin, dicyclobesotagene-modified unsaturated polyester resin, polybutadiene, acrylic acid and/or methacrylic acid-modified polybutadiene, unsaturated epoxy shester resin, supoxy Can be used in combination with resin etc.

本発明において樹脂組成物のハイブリッドにへの塗布は
、ハイブリッドICを、上記の樹脂組成物に浸糟するか
、ハイブリッドICに上記の樹脂組成物を塗工して行な
われる。本発明において樹脂組成物をハイブリッドにに
塗布した後に光照射によって樹脂組成物を硬化させるが
、樹脂組成物にラジカル重合開始剤を加えて赤外線又は
遠赤外線を照射してもよい。
In the present invention, the resin composition is applied to the hybrid by soaking the hybrid IC in the above resin composition or by coating the hybrid IC with the above resin composition. In the present invention, the resin composition is applied to the hybrid and then cured by light irradiation, but a radical polymerization initiator may be added to the resin composition and the resin composition may be irradiated with infrared rays or far infrared rays.

次に実施例、比較例を説明するが、本発明はこれらの実
施例に制限されるものではない。実施例、比較例で部と
あるのは重量部である。比較例 1 EP−828(シェル化学製ェボキシ樹脂)290夕、
アクリル酸140夕を100℃で4時間反応し、酸価1
.5のェボキシアクリレートを得た。
Next, Examples and Comparative Examples will be described, but the present invention is not limited to these Examples. In Examples and Comparative Examples, parts are by weight. Comparative example 1 EP-828 (Shell Chemical Co., Ltd. epoxy resin) 290 minutes,
Acrylic acid of 140% was reacted at 100°C for 4 hours to give an acid value of 1.
.. Eboxy acrylate of No. 5 was obtained.

このェボキシアクリレート7礎都、スチレン3碇部、ベ
ンジルジメチルケタール1部を混合灘拝しワニスAを得
た。比較例 2 アローニックス8060(東亜合成製、ポリエステルア
クリレート)7の部、スチレン3$都、ベンジルジメチ
ルケタール1部を混合蝿拝しワニスBを得た。
Varnish A was obtained by mixing seven parts of this eboxy acrylate, three parts of styrene, and one part of benzyl dimethyl ketal. Comparative Example 2 Varnish B was obtained by mixing 7 parts of Aronix 8060 (manufactured by Toagosei Co., Ltd., polyester acrylate), 3 parts of styrene, and 1 part of benzyl dimethyl ketal.

比較例 3 EP−82810$部、トリフエニルスルホニウムヘキ
サフルオロアンチモン(50%炭酸プロピレン溶液)6
部を混合燈拝しワニスCを得た。
Comparative Example 3 EP-82810 $ parts, triphenylsulfonium hexafluoroantimony (50% propylene carbonate solution) 6
Varnish C was obtained by mixing the parts.

比較例 4 アマニ油708夕、無水マレィン酸125夕を1その4
つ口フラスコに仕込み、ちつ素ガスを吹き込みながら2
20qoで4時間反応させたあと100qoまで下溢し
2−ヒドロキシェチルメタクリレート167夕、ハイド
ロキノン0.2夕を仕込み、空気を吹き込みながら、1
00℃で4時間反応させ、酸価70、粘度32ポアズ(
25℃)の化合物Aを得た。
Comparative example 4 708 parts of linseed oil, 125 parts of maleic anhydride 1 part 4
Pour into a three-necked flask and blow nitrogen gas into it.
After reacting at 20 qo for 4 hours, the mixture was overflowed to 100 qo, and 167 qo of 2-hydroxyethyl methacrylate and 0.2 qo of hydroquinone were added, and while blowing air, 1
Reacted at 00℃ for 4 hours, acid value 70, viscosity 32 poise (
Compound A (25°C) was obtained.

化合物A7碇部、スチレン3碇部、ベンジルジメチルケ
タール1部を混合燈拝しワニスDを得た。実施例 1化
合物A7の部、スチレン3碇部、y−メタアクリロキシ
プロピルトリメトキシシラン2部、ベンジルジメチルケ
タール1部を混合燈拝してワニスEを得た。
Varnish D was obtained by mixing 7 parts of Compound A, 3 parts of styrene, and 1 part of benzyl dimethyl ketal. Example 1 Parts of Compound A7, 3 parts of styrene, 2 parts of y-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 1 part of benzyl dimethyl ketal were mixed to obtain Varnish E.

実施例 2 化合物A7の部、スチレン3碇郡、ビニルトリメトキシ
シラン2部、ベンジルジメチルケタール1部を混合燈拝
してワニスFを得た。
Example 2 Varnish F was obtained by mixing parts of Compound A7, 3 parts of styrene, 2 parts of vinyltrimethoxysilane, and 1 part of benzyl dimethyl ketal.

比較例、実施例のワニスA〜Fをアルミナセラミック基
板に40仏のの厚みに塗布し、ウシオ電機製水銀ランプ
50W/肌で照射距離10肌から、60秒間紫外線照射
を行ない硬化させたところ完全に硬化した。
The varnishes A to F of Comparative Examples and Examples were applied to an alumina ceramic substrate to a thickness of 40 cm and cured completely by UV irradiation for 60 seconds using a mercury lamp manufactured by Ushio Inc. at a 50 W/skin irradiation distance of 10 cm. hardened to.

次にJISK 5400のごばん目試験によるテープは
くりで密着性を評価した。
Next, adhesion was evaluated by peeling off the tape according to the JISK 5400 cross-cut test.

結果を表1に示す。表1表1から、本発明における樹脂
組成物は、紫外線硬化性であり、硬化物は、セラミック
との密着性および耐織性にすぐれ、これによって防湿絶
縁性にすぐたハイブリッドICが得られることが示され
る。
The results are shown in Table 1. Table 1 From Table 1, it can be seen that the resin composition of the present invention is UV curable, and the cured product has excellent adhesion to ceramics and weaving resistance, thereby providing a hybrid IC with excellent moisture-proof insulation properties. is shown.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 (A)無水マレイン酸と無水マレイン酸と付加反応
可能な二重結合を有する動植物油とを付加反応させて得
られる化合物および式▲数式、化学式、表等があります
▼ (R_1、R_2 はHまたはCH_3であり、これらは同一でも異なって
もよい)で示される化合物を反応させて得られる化合物
(B)光重合開始剤ならびに (C)式 ▲数式、化学式、表等があります▼ で示さ れる化合物および/またはCH_2=CH−Si(OR
_5)_3(R_3はHまたはCH_3、R_4は2価
の炭化水素残基、R_5はアルキル基である)で示され
る化合物を含有する樹脂組成物を、ハイブリツドICに
塗布し、光照射により硬化させることを特徴とする防湿
絶縁処理されたハイブリツドICの製造法。
[Scope of Claims] 1 (A) Compounds and formulas obtained by the addition reaction of maleic anhydride and an animal or vegetable oil having a double bond capable of addition reaction▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ (R_1, R_2 are H or CH_3, and these may be the same or different.) Compound (B) Photopolymerization initiator and formula (C) ▲ Numerical formula, chemical formula, table, etc. There is a compound represented by ▼ and/or CH_2=CH-Si(OR
_5) A resin composition containing a compound represented by _3 (R_3 is H or CH_3, R_4 is a divalent hydrocarbon residue, and R_5 is an alkyl group) is applied to a hybrid IC and cured by light irradiation. A method for manufacturing a hybrid IC treated with moisture-proof insulation, characterized by:
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