JPS6060366A - Slide table device - Google Patents
Slide table deviceInfo
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- JPS6060366A JPS6060366A JP17019783A JP17019783A JPS6060366A JP S6060366 A JPS6060366 A JP S6060366A JP 17019783 A JP17019783 A JP 17019783A JP 17019783 A JP17019783 A JP 17019783A JP S6060366 A JPS6060366 A JP S6060366A
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- slide table
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- plate
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
イ、技術分野
この発明は、送りねじとナツトからなる送り機構により
スライドテーブルを移動させるようにしたスライドテー
ブル装置に関し、特にナツトとスライドテーブルとの結
合部の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A. Technical Field The present invention relates to a slide table device in which a slide table is moved by a feed mechanism consisting of a feed screw and a nut, and particularly relates to an improvement in the joint between the nut and the slide table.
この発明は、ねじ式送り機構に限らず、シリンダ一式の
ものにおけるロンドとスライドテーブルとの結合部、あ
るいはまたリニアモータの可動部とスライドテーブルと
の結合部などにも応用し得るものである。The present invention is applicable not only to a screw-type feed mechanism but also to a joint between a rond and a slide table in a cylinder set, or a joint between a movable part of a linear motor and a slide table.
口、従来技術
基台に設けた案内面に支承され一方向に往復動可能とさ
れた移動台と、この移動台の移動力（２）
向と平行な軸線を有し、この軸線に対する回転は可能と
され軸線方向の移動は不能とされて基台に支承された送
りねじと、この送りねじに螺合するナツトを具え、送り
ねじの回転に対応したナツトの軸線方向の変位を移動台
に伝達することにより移動台に所定の直進精度または所
定の移動精度を得るようにした移動台装置は、工作機械
、測定器等に多く用いられている。The movable base is supported by a guide surface provided on the base and is capable of reciprocating in one direction, and the movable base has an axis parallel to the moving force (2) direction, and rotation with respect to this axis is It is equipped with a feed screw supported on a base and capable of moving in the axial direction, and a nut that is screwed onto the feed screw. A movable table device in which a predetermined linear movement accuracy or predetermined movement accuracy is obtained by transmitting information to a movable table is often used in machine tools, measuring instruments, and the like.
この移動台装置は、ナツトが移動台に固着されているの
で、ナツトは移動台を案内する基台の案内面に沿って動
くことになり、このナツトに螺合する送りねじがナツト
と正しい嵌合状態を維持するためには、ナツトの移動軸
線と送りねじの軸線が正しく一致することが必要である
が、移動台の精度としてきわめて高い精度が要求される
移動台装置の場合には、部品の工作精度の点からも組立
精度の点からも前記両軸線を正確に一致させることは困
難である。In this moving table device, the nut is fixed to the moving table, so the nut moves along the guide surface of the base that guides the moving table, and the feed screw that screws into this nut is properly fitted into the nut. In order to maintain the alignment, it is necessary that the axis of movement of the nut and the axis of the feed screw match correctly, but in the case of a moving table device that requires extremely high accuracy, It is difficult to align the two axes accurately from the viewpoint of both machining accuracy and assembly accuracy.
すなわち、ナンドを移動台に固着した従来の移動台装置
では、移動台を案内する案内面を楕（３）
密にし、精密な送りねじを用いても、移動台を案内する
案内面の真直度、案内面と送りねじとの平行度、送りね
じの偏心または送りねしおよびナンドの取付誤差等がわ
ずかであっても必ず存在するものであり、移動台を案内
する案内面部分やナツトと送りねじの螺合部分にバンク
ラッシュを排除した精密な螺合を採用すると、ナツトと
送りねじの軸線のずれによる螺合不良が生じ、送りねじ
の回転トルクが変動し移動台に正確な作動を得ることが
出来ないという欠点がある。In other words, in the conventional moving table device in which the NAND is fixed to the moving table, the guide surface that guides the moving table is made elliptical (3) dense, and even if a precision feed screw is used, the straightness of the guide surface that guides the moving table is , the parallelism between the guide surface and the feed screw, the eccentricity or misalignment of the feed screw, and the mounting error of the NAND, etc., are always present even if slight, and the guide surface portion that guides the moving platform, the nut and the feed screw, etc. If precision threading is used to eliminate bank lash in the threaded part of the screw, poor threading will occur due to misalignment of the axes of the nut and feed screw, and the rotational torque of the feed screw will fluctuate to ensure accurate movement of the moving platform. The disadvantage is that it cannot be done.
以上の様な従来の問題点に対する対策として特開昭５７
−２５５５９号公報に開示されるごとき装置が提案され
ている。As a countermeasure to the above-mentioned conventional problems,
A device as disclosed in Japanese Patent No.-25559 has been proposed.
これは、第１図に示すように、ナンド（２５）に鍔（２
６）を設けて、その鍔を受面としてそれに対向する軸受
面を有しナツトに遊嵌されたハウジング（３０）がテー
ブルに固定されている。As shown in Figure 1, the tsuba (25) is attached to the nand (25).
6), a housing (30) having a bearing surface opposite to the flange and loosely fitted to the nut is fixed to the table.
この受面とハウジングの軸受面の間に加圧流体を供給し
て静圧軸受とすることにより軸方向の（４）
剛性を得るとともに、前述の平行度のずれや、ねじ軸の
振れ回りを逃げようとするものである。又、この装置に
おいては、ナツト部の回転を防止するために、テーブル
にベローズ（４６）を固定し、そのベローズとナツト（
２５）の端部が固着されている。By supplying pressurized fluid between this bearing surface and the bearing surface of the housing to create a static pressure bearing, rigidity in the axial direction (4) is obtained, and the above-mentioned deviation in parallelism and whirling of the screw shaft can be prevented. It is an attempt to escape. In addition, in this device, in order to prevent rotation of the nut part, the bellows (46) is fixed to the table, and the bellows and the nut (46) are fixed to the table.
25) is fixed at the end.
テーブルを移動させる時の速度むらが数％以下である事
を要求される分野においては、まず送りねじのピッチ誤
差や変動等が少ない事が必要である。ところが、そのよ
うな送りねじを製造するためには、鍛造上、できるだけ
ねじ軸の短いものである事が必要となる。しかしながら
上記従来装置においては、ベローズを軸の長手方向に取
付けている構造であるため、一定のストロークを確保す
るためには、ねじ軸をそのベローズの分長くせざるを得
す、このことが送り精度の向上を阻む一要因となってい
る。In fields where the speed unevenness when moving the table is required to be less than a few percent, it is first necessary that the pitch errors and fluctuations of the feed screw be small. However, in order to manufacture such a feed screw, it is necessary for the screw shaft to be as short as possible in terms of forging. However, in the conventional device described above, the bellows are installed in the longitudinal direction of the shaft, so in order to ensure a constant stroke, the screw shaft must be made longer by the length of the bellows. This is one of the factors that hinders the improvement of accuracy.
又、静圧軸受、特に、空気の静圧軸受においては、軸受
部の剛性を上げるためには、軸受面積を大きくする必要
がある。上記従来装置の場（５）
合、このために環状溝で囲まれた前記の鍔の部分の面積
を大きくしようとすれば、鍔の直径を大きくする必要が
生じてくる。ところがこの径を増加させればさせる程、
ねじ軸の中心線とテーブルとの距離が遠くなり、ねじ軸
の中心も装置のベース面より更に高い位置に来る事にな
り、それだけ、外部振動やハウジング（３ｏ）のナツト
に対する傾きなどが速度むらに悪影響を及ぼしたり、微
少振動が加わったりするといった難点がある。Furthermore, in a hydrostatic bearing, particularly an air static pressure bearing, in order to increase the rigidity of the bearing portion, it is necessary to increase the bearing area. In case (5) of the above-mentioned conventional device, if the area of the portion of the flange surrounded by the annular groove is to be increased, it becomes necessary to increase the diameter of the flange. However, the more this diameter is increased,
The distance between the center line of the screw shaft and the table becomes longer, and the center of the screw shaft also comes to a higher position than the base surface of the device. However, there are disadvantages such as having an adverse effect on the image quality and the addition of minute vibrations.
ハ０発明の目的
この発明は従来のこの種装置における上に述べた如き問
題点を解消せんとするものである。OBJECT OF THE INVENTION The present invention aims to solve the above-mentioned problems in conventional devices of this type.
すなわち、この発明のひとつの目的は、送りねじの軸長
さを有効に利用できる構造のスライドテーブル装置を提
供することである。That is, one object of the present invention is to provide a slide table device having a structure that allows effective use of the axial length of the feed screw.
この発明のいまひとつの目的は、送りねじの中心線から
スライドテーブルまでの距離が短く振動の少ないスライ
ドテーブル装置を提供することである。Another object of the present invention is to provide a slide table device in which the distance from the center line of the feed screw to the slide table is short and vibrations are small.
（６）
ニ１発明の構成
かかる目的を達成するために、この発明のスライドテー
ブル装置は、送りねじとこれに螺合したナツトとからな
る送り機構によりスライドテーブルを送りねじの軸線方
向に移動せしめるごとくなしたスライドテーブル装置に
して、両側面を軸線に対して垂直な受面となしナツト（
１）と結合する移動板（２）、送りねしく１４）の水平
方向両側において移動板の各受面と対向する受面（４ａ
、５ａ）を備えスペーサ（６）を介してかつ移動板（２
）を挟んで互いに軸方向に離隔した状態でスライドテー
ブル（９）に固設した一対の受板（４，５）、各受板の
受面とこれに対向する移動板の受面との間に加圧流体を
供給して静圧軸受を形成するための手段（９，１１８〜
ＩＩＣ）、および移動板をその両端側がら水平方向に弾
性的かつ調整可能に位置決めする手段（１２，１２ａ−
１２ｄ）を包含してなる。(6) D1 Structure of the Invention In order to achieve the above object, the slide table device of the present invention moves the slide table in the axial direction of the feed screw using a feed mechanism consisting of a feed screw and a nut screwed into the feed screw. It is a slide table device with a similar shape, and both sides have receiving surfaces perpendicular to the axis and a nut (
A receiving surface (4a) facing each receiving surface of the moving plate on both horizontal sides of the moving plate (2) connected to
, 5a) via the spacer (6) and the movable plate (2).
) between the receiving surface of each receiving plate and the receiving surface of the opposing movable plate. Means for supplying pressurized fluid to form a hydrostatic bearing (9,118-
IIC), and means (12, 12a-
12d).
ホ９発明の効果
この発明によればナンドの回り止めを、ベロ（７）
一ズ等に頼ることなく、水平方向支持により行うので送
りねじの軸心からテーブルまでの距離を短くでき、その
結果テーブルのベースからの高さを比較的低くする事が
できる。したがって、外部振動やハウジングの移動板に
対する傾きによる悪影響も小さく押える事ができる。し
かも、従来装置におけるがごときねじの軸方向に沿うベ
ローズを使用していないため、ねじの軸長を有効利用す
ることができ、同じストロークの機構に対して従来より
短い軸長でよく、その分精度の良い送りをする事ができ
る。9. Effects of the Invention According to this invention, the rotation of the Nand is achieved by horizontal support without relying on the bellows (7), etc., so the distance from the axis of the feed screw to the table can be shortened, and as a result, The height of the table from the base can be made relatively low. Therefore, the adverse effects caused by external vibrations and the inclination of the housing with respect to the movable plate can be suppressed to a minimum. In addition, since the bellows that runs along the axial direction of the screw like a conventional device is not used, the axial length of the screw can be used effectively. It is possible to perform accurate feeding.
へ、実施例
以下、第２〜７図に示すこの発明の実施例につき説明す
る。EXAMPLES Hereinafter, examples of the present invention shown in FIGS. 2 to 7 will be described.
ナツト（１）を移動板（２）に固着し、この移動板（２
）を挟んで一対の受板（４）（５）が対峙して八うジン
ク（３）を形成している。Fix the nut (1) to the moving plate (2), and
) A pair of receiving plates (4) and (5) face each other to form an eight zinc (3).
受板（４）と（５）の間でかつ移動板（２）の下方に、
移動板より若干（好ましくは５〜５０μｍ）厚いスペー
サ（６）が介在している。なお受板（８）
（５）はスライドテーブル（７）に固設されている。Between the receiving plates (4) and (5) and below the moving plate (2),
A spacer (6) that is slightly (preferably 5 to 50 μm) thicker than the moving plate is interposed. Note that the receiving plates (8) (5) are fixed to the slide table (7).
移動板（２）の両側面は送りねしく１４）の軸線に垂直
な受面となし、受板（４）と（５）は移動板（２）のこ
れら受面と対向する受面（４ａ）（５ａ）を備える。受
面（４ａ） （５ａ）には第６図および第７図に示すよ
うに、田の字状の溝（ｌｌａ）を形成してあり、その中
心部に孔（１１ｂ ）が設けである。この孔（１１ｂ
）は、点線で示す給気孔（１１ｃ ）によって、加圧流
体源に通ずる供給口（９）（第４図）につながっている
。なお、田の字状の溝（１１ａ ）に代えて、受面（４
ａ）（５ａ）に分散配置したノズル（図示せず）によっ
ても同様の効果が得られる。かくして供給口（９）に加
圧流体を供給すると、移動板（２）とハウジング（３）
は静圧軸受を形成する。Both sides of the moving plate (2) serve as receiving surfaces perpendicular to the axis of the feed rack 14), and the receiving plates (4) and (5) are the receiving surfaces (4a) opposite to these receiving surfaces of the moving plate (2). ) (5a). As shown in FIGS. 6 and 7, the receiving surfaces (4a) and (5a) are provided with a square-shaped groove (lla), and a hole (11b) is provided in the center thereof. This hole (11b
) is connected by an air supply hole (11c) shown in dotted lines to a supply port (9) (FIG. 4) leading to a source of pressurized fluid. In addition, instead of the square-shaped groove (11a), a receiving surface (4
A similar effect can be obtained by using nozzles (not shown) distributed in (5a). When pressurized fluid is thus supplied to the supply port (9), the moving plate (2) and the housing (3)
forms a hydrostatic bearing.
第５Ｆ！！Ｊに示すように、移動板（２）の上下にはス
ペース（１３）が存在する。また、移動板（２）の端面
ば、ばね（１２ａ）により押え板（１２）を介して両側
から水平方向に押圧されて（９）
いる。この押え板（１２）には案内棒（１２ｂ）が付い
ており、押え板（１２）が送りねしく１４）を中心に回
動ないし領叙することなく、水平動のみしうるようにな
されている。又、外方より調整ねしく１２ｄ）により底
板（１２Ｃ）を介してばね（１２ａ）の押圧力を加減す
ることによって、移動板（２）の水平方向位置を調整し
うるようになっている。5th F! ! As shown in J, there are spaces (13) above and below the movable plate (2). Further, the end face of the moving plate (2) is pressed horizontally (9) from both sides by a spring (12a) via a holding plate (12). This presser plate (12) is equipped with a guide rod (12b), so that the presser plate (12) can only move horizontally without rotating or controlling the feed plate (14). There is. Further, the horizontal position of the movable plate (2) can be adjusted by adjusting the pressing force of the spring (12a) via the bottom plate (12C) using an adjustment screw 12d) from the outside.
以上のような構成であるため、供給口（９）に加圧流体
を供給すると、移動板（２）はハウジング（３）内で静
圧支持され、ナンド（１）及びそれに固着されている移
動板（２）が送りねしく１４）の軸線方向に移動すると
き、それに伴ってスライドテーブル（７）も駆動される
。With the above configuration, when pressurized fluid is supplied to the supply port (9), the movable plate (2) is supported by static pressure within the housing (3), and the movable plate (1) and the movable plate fixed thereto are supported by static pressure within the housing (3). When the plate (2) moves in the axial direction of the feeder 14), the slide table (7) is also driven accordingly.
この時、ナンド（１）とスライドテーブル（７）が直接
固着されている機構であれば、ねじの酔歩やねじ面の面
精度による微少振動、モータとねじの結合部から来る微
少振動などがテーブルの移動速度における小さなむらと
して生じてくるが、本発明ではそれらが静圧軸受部で吸
収さく１０）
れ、非常に滑らかな駆動を達成する事ができる。At this time, if the NAND (1) and the slide table (7) are directly fixed, the table will be affected by the slight vibrations caused by the slippage of the screw, the surface precision of the screw surface, and the minute vibrations coming from the joint between the motor and the screw. However, in the present invention, these are absorbed by the hydrostatic bearing section10) and extremely smooth driving can be achieved.
また、送りねじの回転に伴ってナツト（１）に回転力が
作用しても、移動板（２）の両端面を、送りねじから水
平方向に遠く離れた位置で、押圧支持しているため、ナ
ツト（１）は回転する事がない。更に、送りねしく１４
）の回転時、軸心の振れがあったり、スライドテーブル
と送りねじの平行度のずれがあっても、静圧で移動板（
２）が支持されているので、送りねしく１４）の軸線を
中心にして回転することなく、軸線に垂直な面内で自由
に移動しうるため、スライドテーブルの直進性に悪影響
をおよぼす事もなく、良好な送り精度を得る事ができる
。In addition, even if rotational force is applied to the nut (1) as the feed screw rotates, both end surfaces of the movable plate (2) are supported by pressure at a position far away from the feed screw in the horizontal direction. , the nut (1) never rotates. Furthermore, it is difficult to send 14
Even if there is a runout of the shaft center or misalignment of the slide table and feed screw during rotation of the moving plate (
2) is supported, so it can move freely in a plane perpendicular to the axis of the slide table 14) without rotating around the axis, which may adversely affect the straightness of the slide table. It is possible to obtain good feed accuracy.
第１図は従来装置の縦断面図、第２図はこの発明による
スライドテーブル装置の要部正面図、第３図は同側面図
、第４図は第２図のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図、第５図
は第３図のＶ−Ｖ線に沿う断面図、第６図は第４図のｖ
ｒ−ｖｒ線に沿う断面図、第７図は第２図の■−■線に
沿う断面（１１）
図、第８図は第４図に示す構成要素（スライドチーフル
（７）を除く）の分解斜視図である。
（１）−−−−−ナツト、（２）−移動板、（３） −
−一一一ハウジング、（４）（５）−・・受板、（４ａ
） （５ａ）−受面、（６） −スペーサ、（７）−・
−スライドテーブル、（９） −供給口、（１１ａ ）
−田の字形溝、（１１ｂ ）、−、一孔、（１１ｅ
） −・・給気孔、（１２）−押え板、（１３） −ス
ペース、（１４） −・送りねじ。
特許出願人 エヌ・チー・エヌ東洋
（１２）
＼Ｔ
ヒ四
ト国FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a conventional device, FIG. 2 is a front view of essential parts of a slide table device according to the present invention, FIG. 3 is a side view of the same, and FIG. 4 is a cross-section taken along line IV-IV in FIG. 2. Figure 5 is a sectional view taken along the line V-V in Figure 3, and Figure 6 is a cross-sectional view taken along line V-V in Figure 4.
Figure 7 is a cross-sectional view taken along the line r-vr, Figure 7 is a cross-section taken along the line ■-■ in Figure 2 (11), and Figure 8 is the component shown in Figure 4 (excluding the slide tiple (7)). FIG. (1) ---- Nut, (2) - Moving plate, (3) -
-111 housing, (4) (5) -... receiving plate, (4a
) (5a) - receiving surface, (6) - spacer, (7) -.
- Slide table, (9) - Supply port, (11a)
- Field-shaped groove, (11b), -, one hole, (11e
) - Air supply hole, (12) - Holding plate, (13) - Space, (14) - Feed screw. Patent applicant: NCH N Toyo (12)
Claims (1)
機構によりスライドテーブルを送りねじの軸線方向に移
動せしめるごとくなしたスライドテーブル装置にして、
両側面を軸線に対して垂直な受面となしナツトと結合す
る移動板、送りねじの水平方向両側において移動板の各
受面と対向する受面を備えスペーサを介してかつ移動板
を挟んで互いに軸方向に離隔した状態でスライドテーブ
ルに固設した一対の受板、各受板の受面とこれに対向す
る移動板の受面との間に加圧流体を供給して静圧軸受を
形成するための手段、および移動板をその両端側から水
平方向に弾性的かつ調整可能に位置決めする手段を包含
してなるスライドテーブル装置。 （２）移動板を位置決めする前記手段が、スライドテー
ブル側通所に水平摺動自在に嵌挿され（１） 一端にて移動板に当接する案内棒と、該案内棒を前記移
動板に向けて押圧するスプリングと、該スプリングによ
る押圧力を加減するための調整ネジとを含む特許請求の
範囲の記載ｌのスライドテーブル装置。[Claims] +11 A slide table device in which a slide table is moved in the axial direction of the feed screw by a feed mechanism consisting of a feed screw and a nut screwed into the feed screw,
A moving plate is connected to a nut with both sides having receiving surfaces perpendicular to the axis, and a receiving surface facing each receiving surface of the moving plate on both sides of the feed screw in the horizontal direction, with a spacer in between and the moving plate in between. A hydrostatic bearing is created by supplying pressurized fluid between a pair of receiving plates that are fixed to a slide table and separated from each other in the axial direction, and between the receiving surface of each receiving plate and the receiving surface of the moving plate that opposes them. A slide table device comprising means for horizontally elastically and adjustablely positioning a movable plate from both ends thereof. (2) The means for positioning the movable plate is horizontally slidably fitted into the passage on the slide table side; (1) a guide rod abuts the movable plate at one end; A slide table device according to claim 1, comprising a pressing spring and an adjustment screw for adjusting the pressing force by the spring.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17019783A JPS6060366A (en) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | Slide table device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17019783A JPS6060366A (en) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | Slide table device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6060366A true JPS6060366A (en) | 1985-04-06 |
| JPH022506B2 JPH022506B2 (en) | 1990-01-18 |
Family
ID=15900466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17019783A Granted JPS6060366A (en) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | Slide table device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6060366A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5809829A (en) * | 1996-11-25 | 1998-09-22 | Amada Mfg America Inc. | Ball screw and work feeding device using same |
| JP2009168721A (en) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nippon Thompson Co Ltd | Small sliding device |
-
1983
- 1983-09-14 JP JP17019783A patent/JPS6060366A/en active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5809829A (en) * | 1996-11-25 | 1998-09-22 | Amada Mfg America Inc. | Ball screw and work feeding device using same |
| JP2009168721A (en) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Nippon Thompson Co Ltd | Small sliding device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH022506B2 (en) | 1990-01-18 |
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