JPS6052749A - Ｉｃｐ発光分光分析用高周波電源 - Google Patents
Ｉｃｐ発光分光分析用高周波電源Info
- Publication number
- JPS6052749A JPS6052749A JP16101083A JP16101083A JPS6052749A JP S6052749 A JPS6052749 A JP S6052749A JP 16101083 A JP16101083 A JP 16101083A JP 16101083 A JP16101083 A JP 16101083A JP S6052749 A JPS6052749 A JP S6052749A
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- JP
- Japan
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- transistor
- power
- output
- voltage
- circuit
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
何）産業上の利用分野
本発明は誘導結合プラズマ式（以下ｘｃＰと略称する）
発光分光分析に用いる高周波電源に関するものである。
発光分光分析に用いる高周波電源に関するものである。
（ロ）従来技術
従来Ｉｃｐ用の高周波電源には短波帯送信機用のリニア
アンプを利用していた。このリニアアンプは真空管を使
用しており、その名のとおりリニアに作動するだめに、
最終段の真空管のプレート電圧を一定にしておきドライ
バ段の出力を変えることによって高周波出力を変化させ
ていた。この場合の理論上の最大電源利用効率は７８％
であるが、通常はもつと効率の悪いところで使用してい
る。また高周波電源をトランジスタ化できれば、真空管
式に比し寸法的に小型化でき、ヒータ電源が不要であシ
、回路全体として安価になる等の利点が見込まれるが、
■ＣＰ用プラメ７点灯回路はプラズマ点灯の前後で負荷
特性の変化が大きく、この負荷特性の変化を克服してプ
ラズマを点灯させ得るだめには高周波電源は相当の過負
荷に耐え得るようにしておく必要があシ、トランジスタ
は真空管に比し過負荷に耐える能力が低いだめ、従来Ｔ
ＣＰ用高同高周波電源ランジスタ化されていなかった。
アンプを利用していた。このリニアアンプは真空管を使
用しており、その名のとおりリニアに作動するだめに、
最終段の真空管のプレート電圧を一定にしておきドライ
バ段の出力を変えることによって高周波出力を変化させ
ていた。この場合の理論上の最大電源利用効率は７８％
であるが、通常はもつと効率の悪いところで使用してい
る。また高周波電源をトランジスタ化できれば、真空管
式に比し寸法的に小型化でき、ヒータ電源が不要であシ
、回路全体として安価になる等の利点が見込まれるが、
■ＣＰ用プラメ７点灯回路はプラズマ点灯の前後で負荷
特性の変化が大きく、この負荷特性の変化を克服してプ
ラズマを点灯させ得るだめには高周波電源は相当の過負
荷に耐え得るようにしておく必要があシ、トランジスタ
は真空管に比し過負荷に耐える能力が低いだめ、従来Ｔ
ＣＰ用高同高周波電源ランジスタ化されていなかった。
（ハ） 目 的
本発明はＩＣＰ用高同高周波電源ランジスタ化を基本的
目的とし、この目的のもとに、トランジスタ化によって
直流電源電圧が真空管の場合よりも低くコントロールし
易くなった点に着目し、最終段トランジスタのコレクタ
に加える直流電源電圧を変化させることによｐ高周波出
力を制御するようにし、それによって電源利用効率を高
めると共にプラズマ負荷とのマツチングの調整の容易な
高周波電源装置を提供することを目的とするものである
。
目的とし、この目的のもとに、トランジスタ化によって
直流電源電圧が真空管の場合よりも低くコントロールし
易くなった点に着目し、最終段トランジスタのコレクタ
に加える直流電源電圧を変化させることによｐ高周波出
力を制御するようにし、それによって電源利用効率を高
めると共にプラズマ負荷とのマツチングの調整の容易な
高周波電源装置を提供することを目的とするものである
。
（ニ）構 成
本発明は高周波電源をトランジスタ化し、最終段パワー
トランジスタの入力信号を最終段パワートランジスタの
出力電流が飽和する以上の一定励振振幅にして０級で動
作させると共にコレクタに加える直流電源電圧を可変に
することによって高周波出力を制御できるようにしだも
のである。
トランジスタの入力信号を最終段パワートランジスタの
出力電流が飽和する以上の一定励振振幅にして０級で動
作させると共にコレクタに加える直流電源電圧を可変に
することによって高周波出力を制御できるようにしだも
のである。
（ホ）実施例
第１図は本発明による高周波電源の一実施例を示す概略
ブロック図である。図において発振回路１によって発生
した高周波信号はドライバトランジスタ２によって増幅
され高周波トランジスタ電力増幅回路（単にパワー回路
と云う）３に入力される。このドライバ出力は振幅が一
定の信号でその振幅はパワー回路の終段トランジスタの
コレクタ電流が飽和する以上の値であり、パワー回路３
はこの入力信号をＣ級増幅し、その出力を電力計測部４
を介してプラズマ負荷５に与えている。６は直流電源で
あシパワー回路３の終段トランジスタのコレクタへはこ
の直流電源電圧が電圧可変部７を介して加えられている
。電力計測部４からはパワートランジスタ３の出力に比
例しだ電圧信号が電圧比較器８を介して電圧可変部７ヘ
フイードバツクされ、それによってパワートランジスタ
の出力の安定化を図っている。プラズマ点灯の前後など
に高周波出力を変化させる必要があり、その場合には調
整ボリューム９を調節することによりパワートランジス
タ３のコレクタに加わる直流電源電圧を変化させるので
ある。
ブロック図である。図において発振回路１によって発生
した高周波信号はドライバトランジスタ２によって増幅
され高周波トランジスタ電力増幅回路（単にパワー回路
と云う）３に入力される。このドライバ出力は振幅が一
定の信号でその振幅はパワー回路の終段トランジスタの
コレクタ電流が飽和する以上の値であり、パワー回路３
はこの入力信号をＣ級増幅し、その出力を電力計測部４
を介してプラズマ負荷５に与えている。６は直流電源で
あシパワー回路３の終段トランジスタのコレクタへはこ
の直流電源電圧が電圧可変部７を介して加えられている
。電力計測部４からはパワートランジスタ３の出力に比
例しだ電圧信号が電圧比較器８を介して電圧可変部７ヘ
フイードバツクされ、それによってパワートランジスタ
の出力の安定化を図っている。プラズマ点灯の前後など
に高周波出力を変化させる必要があり、その場合には調
整ボリューム９を調節することによりパワートランジス
タ３のコレクタに加わる直流電源電圧を変化させるので
ある。
第２図で横軸はパワー回路の終段トランジスタのコレク
タ電圧、縦軸はコレクタ電流で、１１゜ｊ２は負荷直線
であるっこの図は終段トランジスタのコレクタ電圧をＶ
ｌ、Ｖ２の二種で作動させで作動しているので、コレク
タ電圧がｖｌのときの出力高周波の振幅はＡ１であり、
Ｖ２のときの振幅はＡ２である。トランジスタの内部損
失は高周波の半サイクルで略斜線部分の面積であり、通
常のＣ級増幅と異り、出力を下げた場合でも効率は殆ん
ど変らず、８０〜９０％の効率が得られる。
タ電圧、縦軸はコレクタ電流で、１１゜ｊ２は負荷直線
であるっこの図は終段トランジスタのコレクタ電圧をＶ
ｌ、Ｖ２の二種で作動させで作動しているので、コレク
タ電圧がｖｌのときの出力高周波の振幅はＡ１であり、
Ｖ２のときの振幅はＡ２である。トランジスタの内部損
失は高周波の半サイクルで略斜線部分の面積であり、通
常のＣ級増幅と異り、出力を下げた場合でも効率は殆ん
ど変らず、８０〜９０％の効率が得られる。
また負荷が１１がら１３に変化した場合、出力電圧の振
幅はＡ１と殆んど変らず、電流出力が増加する。通常の
ＣＭ増幅では電流出方は変らず、電圧振幅がＡ１からＡ
ｌｌに減少する。
幅はＡ１と殆んど変らず、電流出力が増加する。通常の
ＣＭ増幅では電流出方は変らず、電圧振幅がＡ１からＡ
ｌｌに減少する。
■ＣＰ用プラズマ点灯回路ではプラズマ点灯生させる出
力コイルと高周波電源回路との間にインヒＩ−ンスマッ
チング回路を介在させ、プラズマ点灯前後の定常状態で
は高周波電源から見た負荷が純抵抗になるように自動制
御を行っているが、プラズマ点灯の過渡期には自動制御
が追従できず、電源から見た負荷は一時的に容量性とな
って、出力コイルに充分な電圧を印加できなかったが、
本発明では上述したように負荷変動に対して出力電圧を
一定に保つ性質があるから、プラズマ点灯が容易になる
。
力コイルと高周波電源回路との間にインヒＩ−ンスマッ
チング回路を介在させ、プラズマ点灯前後の定常状態で
は高周波電源から見た負荷が純抵抗になるように自動制
御を行っているが、プラズマ点灯の過渡期には自動制御
が追従できず、電源から見た負荷は一時的に容量性とな
って、出力コイルに充分な電圧を印加できなかったが、
本発明では上述したように負荷変動に対して出力電圧を
一定に保つ性質があるから、プラズマ点灯が容易になる
。
（へ）効 果
本発明による高周波電源は上述のように、ドライバ出力
を一定にしておき、パワートランジスタを０級で動作さ
せ、コレクタに加わる直流電源電圧を可変にすることに
より高周波出力を制御できるようにしたものであるから
、電源利用効率は高周波出力の値にかかわらず常に８０
〜９０％を維持することができ、したがって電源容量が
従来の約３分の２で済むという利点があり、トランジス
タ化した場合の過負荷に対する余裕がとり易くなり、ま
たプラズマ点灯が容易になり、更に高周波出力を変化さ
せても出力インピーダンスが変化しないのでプラズマ点
灯前後において負荷とのマツチングがとり易いという利
点がある。
を一定にしておき、パワートランジスタを０級で動作さ
せ、コレクタに加わる直流電源電圧を可変にすることに
より高周波出力を制御できるようにしたものであるから
、電源利用効率は高周波出力の値にかかわらず常に８０
〜９０％を維持することができ、したがって電源容量が
従来の約３分の２で済むという利点があり、トランジス
タ化した場合の過負荷に対する余裕がとり易くなり、ま
たプラズマ点灯が容易になり、更に高周波出力を変化さ
せても出力インピーダンスが変化しないのでプラズマ点
灯前後において負荷とのマツチングがとり易いという利
点がある。
第１図は本発明の一実施例を示す概略ブロック図、第２
図は動作説明図である。 ｌ・・・発振部、２・・・ドライバトランジスタ、３・
・・パワートランジスタ、４パ・・電力計測部、５・・
・プラズマ負荷、６・・・直流電源、７・・・電圧可変
部、８・・・電圧比較器、９・・・調整ボリューム。 代理５人 弁理士 昧 浩 介
図は動作説明図である。 ｌ・・・発振部、２・・・ドライバトランジスタ、３・
・・パワートランジスタ、４パ・・電力計測部、５・・
・プラズマ負荷、６・・・直流電源、７・・・電圧可変
部、８・・・電圧比較器、９・・・調整ボリューム。 代理５人 弁理士 昧 浩 介
Claims (1)
- アルゴンガス流の周囲に巻回されたコイルに高周波出力
を供給するパワートランジスタと、パワートランジスタ
のベースに入力信号を供給するドライバトランジスタと
を備え、パワートランジスタの入力信号をパワートラン
ジスタの出力電流が飽和する以上の励振振幅で一定にし
て０級で動作させると共にパワートランジスタのコレク
タに加える直流電源電圧を変化させることにより上記高
周波出力を制御するようにしたことを特徴とする工ＣＰ
発光分光分析用高周波電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16101083A JPS6052749A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | Ｉｃｐ発光分光分析用高周波電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16101083A JPS6052749A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | Ｉｃｐ発光分光分析用高周波電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052749A true JPS6052749A (ja) | 1985-03-26 |
| JPH058369B2 JPH058369B2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=15726859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16101083A Granted JPS6052749A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | Ｉｃｐ発光分光分析用高周波電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052749A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5331954U (ja) * | 1976-08-24 | 1978-03-18 | ||
| JPS53163052U (ja) * | 1977-05-27 | 1978-12-20 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52130982A (en) * | 1976-04-22 | 1977-11-02 | Noda Sangyo Kagaku Kenkyusho | Production of zalcocine dehydrogenase |
-
1983
- 1983-08-31 JP JP16101083A patent/JPS6052749A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5331954U (ja) * | 1976-08-24 | 1978-03-18 | ||
| JPS53163052U (ja) * | 1977-05-27 | 1978-12-20 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058369B2 (ja) | 1993-02-02 |
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