JPS6052025A - リソグラフイ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はシリコンウェハから集積回路を製造する場合又
は種々の基板の上に印刷を行なう場合に特に使用するこ
との可能なリソグラフィー装置に関するものである。本
発明は、製造プロセスの種々のレベル又は位置に於いて
基板上に回路又はその他の構成を画定する為に複数個の
マスクの精密なアライメント（整合）を確保する為の改
良した技術を包含している。

集積回路電子デバイスを製造する場合には、一連のマス
ク又は一連のウェハを逐次的に互いに整合させることが
必要である。この様なデバイスの製造に於いて妥当な歩
留を得る為には、アライメント工程に於いて精密な公差
が必要とされる。極めて高解像度のデバイスにとっては
、サブミクロンの整合公差が通常必要である。

本発明はリソグラフィー装置内に於いて整合パターンを
像形成する為のゾーンプレート技術を使用しており、こ
の様な整合パターンの整合状態を調節することの可能な
改良したウェハステージサブシステムを有している。

又、リソグラフィー装置は出来るだけ小型であって出来
るだけ小さな据付け面積を有するものであることが望ま
しく、そうすることによりクリーンルーム空間を節約し
、且つ高度に自動化することが可能となる。このことは
、改良したマスク搬送装置及びマスク整合装置を導入す
ると共に、高解像度を与える改良した小型の調節手段を
有しておりビーム列内に整合用対物レンズ又はその他の
画像検知手段を導入することによって達成され得る。

従来、ソフトなＸ線を可視光線又は紫外光線で置換した
Ｘ線リソグラフィーが、処理能力がかなり高く比較的廉
価なサブミクロンリソグラフィー技術として使用されて
いる。この様なＸ線リソグラフィー装置に於いては、４
乃至５０Åの波長のＸ線を使用して、金パターンのレプ
リカを印刷したり、又はシリコンウェハなどの様な半導
体基板上の感光性物質上に電子ビームで形成したマスク
を印刷する為に使用される。これらのＸ線リソグラフィ
ー装置に於いては、種々の照明手段が使用されていた。

通常円形のフレスネルゾーンプレートを使用するゾーン
プレートパターンは米国特許第４，０３７，９６９号及
び米国特許第４，３２６，８０５号に開示されている。

米国特許第４，０３７，９６９号は、ウェハとマスクの
両方の上に高及び低反射性のマーキングを有する一組の
同心円上のリング整合を有しており、そのパターンを顕
微鏡対物レンズの共通焦点面内に整合させることが可能
である。スポットが画像形成面内の所定の位置に現われ
るまでウェハをマスクと相対的に移動させる。この技術
は、光導電性制御ユニット及び微小位置決装置が自動的
にこれらのスポットを整合状態に位置決させる自動化し
たシステム内に於いて使用することが可能である。

米国特許第４，３２６，８０５号に於いては、軸を外れ
た入射ビームが与えられており、それはマスク部材上方
の画像面上の一対のマルチスポットパターンの各々によ
って反射されると共に合焦される。それは、Ｘ軸、Ｙ軸
、又は■不整合（倍率エラー）及びマスクとウェハとの
間のギャップ間隔を補正する。

米国特許第４，１８５，２０２号は、マスクとウェハと
がＸ線源及び像形成室の外側に於いて光学的に整合され
ており、後に像形成室内に移動される構成を有するＸ線
リソグラフィー装置を開示している。

このことは、各整合動作を行なう際に室をパージするこ
とが必要であり、且つ各露光を行なう際にマスクとウェ
ハの組立体をＸ線源下側の位置に移動させる際に不整合
を発生させる危険性がある。

Ｘ線伝搬室とは別の制御した環境内に於けるウェハとマ
スクとのあいだに別のヘリウムガスの流れが与えられて
いる。

本発明は、以上の点に鑑み成されたものであって、上述
した如き従来技術の欠点を解消とすることを目的とする
。本発明は米国特許第４，３０７，９６９号及び米国特
許第４，３２６，８０５号に示されている整合装置の動
作原理を利用するものであるが、この様な整合装置の改
良を提供するものである。ゾーンプレート又はその他の
直線乃至はライン像を形成する為の手段を使用すること
も可能である。例えば、米国特許第４，３２６，８０５
号に示されているゾーンプレートは自由度が４のウェハ
の調節を与えるものであって、即ちＸ軸と、Ｙ軸と、Ｘ
−Ｙ面内に於けるウェハの回転運動である■と、マスク
とウェハとの間のＺ軸ギヤツブ距離である。しかしなが
ら、ウェハと基準面（例えば、ウェハ取付けステージの
上部）との間に於いてウェハの左側及び右側に於けるギ
ャップが夫々−△及び＋△だけ変化するとウェハ中心が
移動するので、著しいエラーが発生する可能性がある。

これら２つの残りの自由度は３番目の整合用対物レンズ
又はその他の像検知手段及び３番目の組の整合マスクタ
ーゲットを装置に付加することによって補償される。

整合用スポットを像形成用カメラ上にディスプレーさせ
る為の改良した圧縮光学系も開示されている。

Ｘ線リソグラフィー適用例に於いては、Ｘ線がコリメー
ト（平行）されていないので、従来、Ｘ線源にたいして
顕微鏡対物レンズを著しく移動させることが必要であり
、そのことが整合エラーを発生させる原因ともなってい
た。本発明に於いては、マスクと基板（ウェハ）又はそ
の他のデバイスとを対物レンズを固定さゼたまま移動さ
せることが可能であり、従って整合エラーを最小とする
と共に装置の複雑性を減少させている。３個の対物レン
ズがＸ線源の下側に延在するヘリウム室内に設けられて
いる。これらの対物レンズはＸ線ビーム露光径路の内外
に移動されるが、常にヘリウム室内に存在する。光学系
の残部はヘリウム室の外側に存在しており、従ってヘリ
ウム室の体積を減少させ、且つヘリウムガス自体の量を
減少させる。

整合マスクを整合させる為にこれらの対物レンズを独立
的に調節する為の手段であって、ピエゾ電気モータと２
個のレバーを有する可撓部材とを有する手段が設けられ
ている。更に、自動的にマスクを搬送すると共に一連の
ウェハをマスクとウェハの整合が行われるヘリウム室と
相対的な位置に位置決させる手段が設けられている。位
置決されると、ウェハの製造中、マスクはヘリウム室の
底部に対する積極的なシールとして機能し、従ってヘリ
ウムを保存すると共にヘリウム室からの一定のパージを
回避している。

従来のピンチャツク（米国特許第４，２１３，９６８号
）上に取付けることの可能なウェハの調節は改良したピ
エゾ電気ステージサブシステムによって行なわれる。こ
のチャックは３個のピエゾ電気リニアモータによって３
点で支持されており、それは差動運動によってチャック
を２軸運動させるか、又は同等の運動でウェハをＺ軸方
向に移動させて、種々の厚さのウェハを収容すると共に
マスクとウェハとの間のギャップを変化させる。これら
のモータは可撓部材によってウェハのチャックに取付け
られており、４番目のピエゾ電気モータによって回転可
能な■プレート上に取付けられている。

この組立体はＸ−Ｙ面で移動するプレートに取付けられ
ており、そのプレートは空気軸受けによって支持される
と共に２個のピエゾ電気リニアモータによってＸ方向及
びＹ方向へ駆動される。その結果、事実上バックラッシ
なしでウェハを堅持することの可能なコンパクトなステ
ージが構成され、且つウェハを自由度６で移動させて高
解像度で全体的な整合を行なう。更に、ウェハとＸ線源
との間の距離及び／又はウェハとマスクとの間のギャッ
プを容易に調節することの可能な手段が設けられている
。全体的なリソグラフィー装置内には、改良したマスク
カセット・搬送装置及び改良したマスクホルダ・整合装
置が設けられている。

概略上述したコンポーネントが単一の一体的な構成体内
に収納されるか、又はその上に設けられており、その構
成体は、更に、ビーム源、冷却手段、真空手段、電源、
ブロワー、ビーム源用の熱交換器、マスクとウェハのカ
セット及び位置決装置、微小位置決制御器、ＣＲＴディ
スプレーを有すると共に、双眼観測器とキーボードと、
制御装置とその他の電子制御パッケージとで構成される
操作ステーションとを有している。従って、比較的コン
パクトであり、小さくパッケージされた全体的なリソグ
ラフィー装置が得られている。

以下、添付の図面を参考に、本発明の具体的実施の態様
に付いて詳細に説明する。本発明は、基板上にパターン
を印刷する為にマスクを使用する、Ｘ線、紫外線、イオ
ンビーム又は光学ビーム等のような種々のビーム露光型
リソグラフィ一工程に於いて有用なものである。本明細
書に於いて使用される“基板”という用語は、シリコン
ウェハ、その他の半導体物質からなるウェハ、磁気又は
光学ディスク、表面音響波装置等を包含するものである
。

以下の説明に於いては、本発明をＸ線リソグラフィーに
適用した場合について説明する。Ｘ線装置３００は実質
的に中心位置に設けたヘリウム室３０１を有しており、
それはマスク上部表面上方にＸ線透過雰囲気を与えてい
る。原子番号及び重量が低いので、ヘリウムが選択され
ており、ヘリラムはＸ線ビームに著しい影響を与えるこ
とがない。室３０１内には真空又はその他の制御した環
境条件とすることが可能である。Ｘ線源３０２がヘリウ
ム室３０１の上方に移動自在に位置されており、Ｘ線源
３０２には高真空ポンプ３０３が設けられている。冷却
用の高圧力水供給装置３０４及び高電圧電源３０５が設
けられている。このＸ線源は液体冷却・静止ターゲット
型構成のものとすることが可能であり、その点に関して
は米国特許第４，２３８，６８２号及び米国特許第４，
２５８，２６２号及びジャーナル・オブ・バキューム・
サイエンス・テクノロジー（１９７９）、Ｖｏｌ．１６
、Ｎｏ．６，１９４２ページ、Ｊ、Ｒ．Ｍａｌｄｏｎａ
ｄｏ等に記載されている。Ｘ線源に於いてパラジウムア
ノードが使用されており、電子がパラジウムアノードを
ボンバードすることによってＸ線が発生される。このア
ノード物質は、ウェハ上部上に包含される塩素化レジス
トと良く適合しており、従って一層長い波長の放射線と
比較して、有機塵埃粒子に対する免疫性が増加される。

これらのレジストは、Ｘ線の吸収体としての比較的薄い
金層によって効果的にブロックされる。約５０ミクロン
の厚さのベリリウム窓及び４ミクロンの窒化ボロンと６
ミクロンのポリイミドを具備するＸ線マスクが使用され
る。

以下の表Ｉは本発明に使用可能なＸ線源のパラメータを
表わしている。

表Ｉ　Ｘ線源明細 入力パワー　６ＫＷ 実効Ｘ線スポツト径　４．０ｍｍ アノード物質　パラジウム 円錐半角　１２．５゜ 加速電圧　２５ｋＶ ベリリウム窓厚さ　５０μｍ Ｘ線放射フィールド半角　８゜ 寿命（最小）　２．０００時間 マスク２９０がヘリウム室３０１の下端部のシール位置
に設けられており、制御して流失させるヘリウム以外の
ものが流失されることを防止している。このマスクはマ
スク保持・整合機構２９１内に装着されている。半導体
ウェハ３０７がマスク２９０の下側に於いてそこから離
隔しピンチャック３１７の上に設けられている。整合光
学系３０８が、以下に説明する如く、マスクとウェハと
の間の整合を行なう為に設けられている。基本的に、対
物レンズ又はその他の像検知装置のみがヘリウム室３０
１内に収納されており、光学系の残部はヘリウム室３０
１の外部に存在している。従って、この構成はヘリウム
室３０１の体積を著しく小さなものとしている。整列光
学系は、マスクとウェハとをヘリウム室３０１の下側に
設ける際にそれらが整合するようにウェハとマークの各
々の上に設けられている像形成マーキングを整合する為
に使用される。この像検知手段は前述した光学対物レン
ズであるか、又は電荷結合素子〈ＣＣＤ）とするか、シ
リコンセンサ又はマスク及び基板からのターゲット像を
直接センスすることの可能な均等物とすることが可能で
ある。マスク位置決器３０９がマスクをヘリウム室３０
１の位置２９１に保持している。

一連のマスクをマスクホルダ・位置決器３０９内へ移動
させるマスク装填器３１１が設けられている。マスクは
搬送手段３１２によってマスク位置決器及び整合器内へ
搬送される。同様に、ウェハ又はその他の基板を装填す
る機構３１３がウェハのスタックを保持しており、ウェ
ハをウェハ搬送手段３１４上に装填してチャック３１７
上の位置へ搬送すべく構成されている。ウェハチャック
３１７は６軸ウェハ調節ステージ３１８上に取付けられ
ており、ステージ３１８は公知の手段２９３によって固
定の支持体３３６から振動分離されている。

本発明はウェハ全体に亘って、即ちウェハの周端部に整
合マークを有するステージ（又はマスク）を移動させる
ものであり、一方多数のダイが１個のウェハから形成さ
れるので、ウェハ上の各々又は一群のダイ位置の回りに
マークを付すことが可能である。従って、本装置を、単
一のウェハ又はその他の基板上の異なった位置に於いて
所謂ステップ・アンド・リピート操作によって使用する
ことが可能である。この様なステップ・アンド・リピー
ト操作においては、十分な印画解像度を得る為にウェハ
の１整合のみを行なうことが可能であるかも知れないが
、所要の解像度を必要とするその他の場合に於いては、
１個のダイ又は１群又はアレイ状のダイの回りのマーク
に関して再整合が行なわれる。何れの場合に於いても、
後述する如く、ビームへの印画露光はマスクと基板とが
整合されるヘリウム又はその他のビーム室下側の同一の
場所で行なわれる。整合をした後に於いては、印画像の
所望の解像度に対して再整合することが必要である前述
したステップ・アンド・リピート操作に於ける一つの許
容された運動を除いては、マスクと基板又はマスクと基
板を一体化したものの相対的な運動はない。

安全インターロックエレクトロニクス３１９、インター
フェースエレクトロニクス３２０及びＣＲＴディスプレ
ー装置３２２へ接続されているマイクロプロセサシステ
ム３２１、キーボード３３３、制御パネル３３４及びト
ラック球３３５がマスク及びウェハの位置決を制御し、
且つ整合光学系３０８及びカメラ２９２を使用してマス
ク及びウェハの整合を行なう。

本発明の整合技術は、Ｆｅｌｄｍａｎ等のジャーナル・
オブ・バキューム・ザイエンス・テクノロジー、１９８
１年１１月／１２月、Ｖｏｌ．１９．Ｎｏ．４，１２２
４ページ及びＳＰＩＥサブミクロン・リソグラフィー・
プロシーディングズ１９８２．Ｖｏｌ．３３３．１２４
ページに記載されている通常のタイプの円形フレスネル
ゾーンプレートを使用することが可能である。

これらの文献は、種々の種類の表面及び酸化膜厚さ及び
厚手のレジストコーティングに対して極めて大きな信号
対雑音比を有するゾーンターゲットを開示している。こ
れらの技術を使用する場合には、合焦像が明確に描かれ
且つ円形であり、その寸法はゾーンプレートの開口数と
、顕微鏡光学系と、レーザ照明の空間的規準（コリメー
ション）とによって決定される。整合光学系がこの面内
に合焦される場合には、マスク上の回路要素は光の合焦
点と比較して低バックグラウンド信号を付加するのみで
あるから、低倍率に於ける粗整合は簡単に成される。別
の主要な利点としては、マスクとウェハとがかなりの距
離離隔されているにも拘わらず、複合焦光学系が必要で
はないと言うことである。この条件は、単に、ウェハ上
のゾーンターゲットの焦点距離を長くしてマスクとウェ
ハとのギャップを補償することによって取除かれる。

別の利点としては、第２図に示した如く、入射照明光を
垂直方向からシフトさせてＸ線の非平行特性から発生す
るパターンの倍率に対して補償を行なうことが可能であ
ると言うことである。マスクと画像との間のギャップが
余り大き過ぎると、ウェハ信号はマスクの中心から小さ
な半径距離離れた位置に合焦され、マスクの位置に対す
るシフトとして現われる。左側及び右側のウェハゾーン
ターゲット中心が線ＯＬ及びＯＲに沿っている場合には
、適切な整合が行なわれる。例えば処理中であるとか又
は熱的変化等のような何らかの理由に因りウェハパター
ンがマスクパターンに関して直線的に歪んでいる場合に
は、ギャップを自動的に増加させるか又は減少させて、
この様な歪を補償するのに必要な量だけ倍率を変化させ
る。

図示した如く２組のゾーンプレートを使用しても、尚且
つ、著しいエラーが発生する。第１に、考慮すべき３番
目の次元が存在している。第２に、第３図に示した如く
、ウェハの左側及び右側に於けるギャップが夫々−△及
び＋△だけ変化すると、ウェハ中心がＳだけシフトする
。本発明に於いては、３番目の整合用対物レンズと第３
組のターゲットとを付加することによってこれら２つの
残存する自由度を補償している。各対物系は見掛けのＸ
Ｙ整合データを生じさせ、これら６個の独立的なデータ
を適切に操作することに因りウェハを６個の自由度で移
動させ、完全な整合及びギャップ制御を行なうことを可
能とする。重要なことであるが、適切なマスクとウェハ
とのギャップはスポットの完全な合焦からの小さな逸れ
に関係なく決定される。第５図は３番目の対物レンズの
他の２つに対する相対的な位置を示している。この構成
に於いては、これら３個の対物レンズが径の中心から３
２．５ｍｍの半径距離に位置しており、図示した如く、
ターゲットを適宜のスクライブ線に位置さゼることを可
能としている。他の組の対物レンズ又は画像検知手段を
これらの組の２つの間の線から変位させて使用すること
も可能である。

Ｘ線が非平行な性質を有するので、Ｘ線源と相対的に顕
微鏡対物レンズを著しく変位させることは整合エラーを
増大させる。従って、本装置に於いては、マスクとウェ
ハが可動であり対物レンズを固定して設けてあり、そう
することに因り整合エラーを最小とすると共に装置の複
雑性を減少させている。

第５図に示した如く、各対物レンズの下側には３個のタ
ーゲットが存在している。このことは、マスクのターゲ
ットがウェハゾーンのターゲットの直上にある場合に発
生する好ましからざる干渉効果を取除くために必要であ
る。第４図はゾーンターゲットの詳細を例示している。

マスク−ウェハは間隔が４０ミクロンのものに対し、こ
のマスクは２００ミクロンの焦点距離の２個のターゲッ
トを有しており、一方ウェハは２４０ミクロンの焦点距
離の１個のターゲットを有している。ウェハターゲット
の全体的な直径は９５ミクロンであり、マスクターゲッ
ト間の中心間距離は１９０ミクロンである。これらのゾ
ーンは半径（Ｒｎ）２＝ｆＮλで形成され、ｆはゾーン
ターゲットの焦点距離であり、Ｎは整数であり、λは放
射線の波長である。図示した整合用ターゲットは反射中
心と７個の反射リングを形成する為にＮの最大値として
１５を有している。

本整合装置の光学的な構成を第６図に示してある。整合
動作中、拡大されコリメートされたレーザビ−ムが集光
レンズを介して通過され、集光レンズに因りビームが対
物レンズの後部焦点面上に合焦される。このビームは、
マスク乃至はウェハから反射した後に、倍率光学系を介
して検知器へ伝達される。対物レンズの位置に偏光ビー
ムスプリッタ及び１／４波長板を使用して信号レベルを
最大としている。最終的な整合を行なうために、第２０
図に示した“圧縮光学系”構成を使用して、マスク像を
カメラの視野範囲内に位置させる。第２０図の圧縮光学
系は、上掲したＦｅｌｄｍａｎ等のＳＰＩＥプロシーデ
ィングズに開示されている操作ミラーを廃止している。

圧縮光学系サブシステムがない場合には、焦点を拡大す
る為に使用される高倍率がこれらの光の点を検知器の表
面から遠ざけさせ、従ってマスクの位置に関する情報を
与えることがない。

全体的な対物レンズ組立体（点線内に示してある）がヘ
リウム全肉に位置されており、製造工程をウェハに対し
て行なう際に、整合位置に移動すると共に露光ビームの
径路から外側へ移動する。

対物レンズからの光はヘリウム全体の鉛を被せたガラス
窓を介してヘリウム室外側の光学系残部へ通過する。こ
の窓は、Ｘ線とヘリウムの両方が室から洩れることを防
止する。観測用に使用される対物レンズの選択は選択さ
れない他の２つの対物レンズからの光をブロックする多
位置ストップを介して行なわれる。

マスク整合マークから焦点スポットを横切って検出シス
テムが使用されている。半幅は約２．４ミクロンである
。検出信号はインテル８０８６マイクロプロセサによっ
て電子的に処理され、図示したカメラの様な検出器上に
形成されるスポットの中心の座標を決定する。これらの
マスク及びウェハスポットの座標が与えられると、整合
は自明であり、以下に記載するピエゾ電気ステージ装置
によって行なわれる。

第７図はＸ線リソグラフィー装置の全体的な正面図を示
している。本装置の種々の部分は固定フレーム３３６に
よって支持されており、固定フレーム３３６の下部には
空気力学的パッケージ３４３、電源３０５、冷却・ブロ
ワー装置３０６及び電子パッケージ３４５が設けられて
いる。本装置の残部はフレーム３３６から延在する振動
分離装置２９３上に装着されている。Ｘ線源３０２はへ
リウム室３０１の上部に装着されている。異なった高さ
の適合性のあるスペーサ手段３０２ａを選択することに
因り、Ｘ線源とウェハとの距離を調節することが可能で
ある。これは、異なった高さの一連のカラー又は管の形
状をしており、それは互いに交換可能であるか、又は伸
縮自在の室を使用して所望の間隔を与えることが可能で
ある。Ｘ線源は、フレーム３３４の側部に取付けた一体
的なクレーン３４０によって本装置から取除くことが可
能である。ハウジング内に正常な空気を供給する為に使
用される空気用のフィルタ及びヘリウムの供給源が３４
１に取付けられている。

光学系パッケージ３０８の残部（第６図に点線で示した
ものの外側部分）がヘリウム室３０１の外側に取付けら
れており、１組の対物レンズ３４２がヘリウム室３０１
内に装着された状態で光学的径路内に存在している。こ
れらの対物レンズはＸ線径路のブロック位置から移動可
能であり、従ってＸ線は装着したマスク及びウェハへ遮
られることなく到達する。制御コンソールとキーボード
とを有するオペレータのワークステーションは、ＣＲＴ
ディスプレー３２２と通信を行ない、整合用画像ターゲ
ットを目視観測することを可能とし、ウェハステージを
自動調整した後にターゲットへ像の整合状態を示す。

マスクカセット３４６及びキャリブレーション組立体３
４７が出入機構内に設けられており、該機構はマスク保
持・搬送装置３４６、３４７によってマスク又はキャリ
ブレーション装置内乃至はプレートをピックアップする
ことを可能とする。

ウェハ保持用カセット・搬送装置（３１１−３１４）は
、ハウジング３１４ａ内に設けられているウェハ調節用
ステージヘウェハを１つずつ移動させる。カセットは露
出されていないウェハを有するプラットホーム３１４上
に取付けられ、３１３によって垂直方向にインデックス
される。同様な副組立体３１２、３１１が露出されたウ
ェハのカセットを支持する。

本Ｘ線装置の作業乃至は製造ステーションは、ヘリウム
室と、Ｘ線源を装着する為のアダプタ一手段と、ヘリウ
ム室を密封する為のマスクを装着する手段と、ヘリウム
室内の一連の顕微鏡対物レンズを取付は調節する為の手
段とを有している。

第８図はヘリウム室及びＸ線源下側の位置にマスクとウ
ェハとを搬送するマスク・ウェハ搬送装置の部分概略平
面図である。ウェハの前整合器３５０はベース３３３上
に支持されており、ウェハを位置３５３から位置３５４
へ搬送する為の枢支されたアーム３５１を有している。

搬送用のアーム３５１によって移動される前にウェハが
前整合器３５０上の垂直ローラヘウェハ上のフラットを
整列させることによって前整合器３５０内に整合される
。ウェハが搬送用アーム上に積載されそのフラットと適
切に配向された後にウェハをウェハ積載位置へ移動させ
る為の準備が成される。ヘリウム室下側のウェハ保持用
ステージが、先ず、ヘリウム室と整合した位置から約３
インチ“外側”位置へ並進運動する。そのウェハステー
ジが“外側”位置にある間に、転送アーム３５１がウェ
ハをウェハステージの上部へ移動させる。次いで、ステ
ージがウェハ製造操作の為のヘリウム室と共に軸方向位
置へ並進運動する。製造操作が終了すると、ステージは
“外側”位置へ移動し、仕上げられたウェハはステージ
から受納カセットへの空気軌道上へ噴き出される。次い
で、ステージが“外側”位置へ移動し、ウェハアーム３
５１によって搬送される新たなウェハを受取る為の準備
が成される。

第８図は、更に、マスク積載装置３５５を示しており、
それは更に詳細に第１８図及び第１９図に示してある。

マスク３５６は弓形に移動するアーム３５７上の位置３
５９に於いて積載され、アーム３５７はマスク３５６を
ヘリウム室と封止関係にあるヘリウム室の底部の中央位
置３５９へ移動させる。このマスクは第１３図乃至第１
５図に示したマスク整合装置に取付けられる。

第９図乃至第１１図は本発明リソグラフィー装置に於い
て使用される対物レンズ調整装置の好適形態を示してい
る。第１２図は以下に記載するレバー装置の別の実施例
である。

第９図は、対物レンズ５０ａ、５０ｂ及び５０ｃ（第１
０図）の各々に対して１つ設けられている三重調整手段
の１つを詳細に示している。特定の技術的な適用例に応
じて、通常、１個、２個又は３個の対物レンズを使用す
る。本発明に応じて各々を個別的に調節することが可能
である。ピエゾ電気モータ５２が設けられており、それ
は、電気信号に応答して後方に延在する下部第１レバー
５５上のベクトル力点５５ａに対し小さな正確に決定さ
れた増分直線距離に渡ってピエゾ出力ラム５４の運動を
開始させる。レバー５５はＣ形状をした可撓部材の下側
脚部として形成されており、その上側脚部５５ｂは固定
支持体５３へ固着されている。Ｃ形状部材の中間部分は
横方向ボアによって幅狭にされており、従ってそれは脚
部又はレバー５５が回転する一体的な柔軟リンク５６を
形成している。レバー５５はその上表面から延在する調
節可能なピン５８を有する片持梁状の端部５７を有して
いる。ピエゾラムが外側に移動すると（第２図に於いて
右側）、てこレバー５５が屈曲枢支点５６の回りを屈曲
し、てこ長に因りラムから直線方向の増分運動を増大さ
せ、上方向に移動してピン５８を固定法５９へ押圧させ
る。固定球５９はレバー５５から離隔され折り返された
２番目の前方向に延在する上部レバー６０の下表面上に
設けられている。

レバー６０はレバーアーム６０の側部から水平方向に延
在する軸支された屈曲ピボット６１によって支持されて
おり、フレームアーム５３を支持している。屈曲ピボッ
ト６１はアーム５３の端部に於ける穿孔内に圧入し且つ
２番目のレバー６０内に圧入することが可能である。２
番目のレバーはＬ形状をしており、その短い方の下側脚
部６０ａは垂直下方向に延在している。脚部６１ａは軸
支されて、屈曲部材６１の中央部分を受けている。

このレバーの長い方の側部６０ｂは、移動させるべき装
置乃至は対物レンズへ向かって前方向且つ水平方向に延
在している。

ピン５８は球５９に上方向の力を与えており、球５９は
レバーアーム６０を固定した屈曲ピボット６１の回りを
上方向へ枢支しており、従って先端６０ｂは、矢印６４
で示した如く、上方向へ円弧状に動かされ、２番目のレ
バーアームのてこ長さにより、ラム５４の増分運動を増
加させている。

対物レンズ取付部７１の側部６２は垂直方向の舌部乃至
は溝を有しており、それは、矢印６５で示した如く、本
装置の外側ハウジングに取付けられている支持アーム５
３に関して固着されているレール（不図示）上の溝又は
舌部に適合されている。

ピエゾラムの内側方向への移動は、夫々の屈曲体の復帰
力によってレバー及び対物レンズの運動を逆転させる。

屈曲体６１はストリップ６３及び取付部７１を移動させ
る為の復帰力として作用する。

平坦で可撓性のストリップ６３はベリリウム銅から構成
されており、レバー６０の端部６０ａに固着されそこか
ら対物レンズ取付部７１へ向かって下方向に延在し、レ
バーアーム６０の下方向の移動を伝達して取付部７１に
垂直直線的な運動を与える。

固定支持アーム５３に接続して光学ミラー５１の調節手
段が設けられている。これは、調節スクリュー６７を有
しており、このスクリューを下方向へ作動させることに
より、光学保持部材６８が屈曲ピボット６９の回りを下
方向へ移動する。このことは、対物レンズ５０ａから接
眼レンズ（不図示）へ至る角度の微小調整を与える上で
有用である。対物レンズの角度方向を調節する為に屈曲
体６６（第１０図）が使用されている。

ピエゾモータ５２が支持フレーム５３に固定して支持さ
れている。これらのモータはフィッシャーズのプーレー
製造会社（ニューヨーク）から入手することが可能であ
り、ＰＺＴプッシャーと言う商標で販売されている。こ
れらは、ステップ当たり１．０ミクロンの直線的な増分
ステップでもってピエゾラムで移動させることの可能な
一連のクランプを有している。クランプはセラミック要
素であって、その環状開口が印加された電圧によって変
化する。

第１２図は本発明の３個のレバーを有する実施例を示し
ており、それを使用して対物レンズの各々を調節するこ
とか可能である。ピエゾ電気リニアモータ５２がケーシ
ング７５の底部壁に固定されており、モータラム５４が
レバー空所７５ａ内に延在している。第１屈曲体７６が
その端部７６ａをケーシングの壁内に保持させている。

幅狭とした曲げリンク部分７９が固定端７６ａとピエゾ
ラム５４に当接するベアリング７７との間に位置されて
いる。この屈曲体の外側端部７８はベアリング８０を介
して一端を屈曲体８２によって装着されている第１レバ
ー８１と当接すべく位置されている。レバー８１はその
他端部に於いて一端が屈曲体８５によって装着されてお
り他端部にベアリングを有する第２折返しレバー８３と
当接しており、レバー８３のベアリングは屈曲体８６上
に取付けられている第３折返し（レバー８１と同一の方
向）レバー８４に当接している。レバー８４は、矢印８
７で示した如く、内側方向及び外側方向へ向かう運動を
行なう。その運動により、対物レンズをレール又はその
他の直線的な摺動装置に沿って移動させる。

ラム５４の外側方向への運動（第１２図に於いて上方向
）が端部７８を上方向へ移動させると共にコンタクト８
０とアーム８１、８２及び８３を下方向へ移動させ、矢
印８７の方向を逆転させる。

屈曲体の各々はセットされており、従ってこれらの屈曲
体は下方向への復帰力を有しており、当接面は接触状態
を維持する。逆に、ラム５４の内側方向への運動（第１
２図に於いて下方向）は、端部７８を下方向へ移動ざゼ
ると共にコンタクト８０とアーム８１、８２及び８３を
矢印８７の上方向へ移動させる。

上述した２及び３レバー折返し屈曲てこ構成を使用する
ことに因り、ピエゾモータラムの微小で正確な直線的水
平運動を第２レバーの先端部の大きな垂直方向のアーチ
状運動（及び、対物レンズの大ぎな垂直方向の直線的運
動）へ変換させる。

２レバ一実施例に於ける夫々のてこレバーアーム５５及
び６０の長さにより、半導体ウェハを製造する為のＸ線
リソグラフィー装置に於いて使用される対物レンズに対
する調節手段の特定の適用例に於いては、ピエゾラム運
動の２３：１の倍率が与えられる。本装置は極めてコン
パクトであり、高精度及び高解像度であり、対物レンズ
を０．４ミクロンの精度で位置決することが可能である
。この動程拡大装置に於いては、ベアリングが全く設け
られておらず、運動を正確に拡大する為にレバーアーム
に接続された屈曲体に完全に依存するものであり、従っ
てベアリングの磨耗やクリアランスの問題が全く存在し
ない。

第１３図乃至第１５図はＸ線源及びヘリウム室の軸に関
してマスクを粗及び微整合する為に使用されるマスク整
合装置を示している。

第１３図の整合装置１０は実質的に平坦なリングプレー
ト１１を有しており、それは有限の回転円弧内に於いて
移動可能であると共に支持構成体（不図示）に固着され
ている固定支持フィンガー１２ａ、１２ｂ及び１２ｃに
関して×及びｙ軸座標に沿って移動可能である。Ｘ線リ
ソグラフィー装置の場合にはこの支持構成体はＸ線装置
の主支持フレームとすることが可能である。

先ず、リングプレート１１の穿孔１３内に於いてマスク
２０の粗整合を与える為の手段が設けられている。穿孔
１３の周辺部に於いて半径方向から多少離れた方向に延
在して空気シリンダ１４乃至１７が設けられている。こ
れら空気シリンダの各々は直線的な可動シャフト１８を
有すると共にシャフト１８の内側対抗端に取付けた垂直
方向に延在するローラベアリング１９を有している。こ
れらのローラベアリングはリングプレート１１内のＵ字
形状をした凹所２１内に位置されている。

シリンダーシャフト−ローラベアリングの組立体は、一
対のシリンダ１４と１５とがＸ軸に沿って且つそれから
離隔して配向され、一対のローラベアリングがＸ軸から
約１０度の円弧位置離隔した点ａ及びｂに於いてマスク
２０と当接する様に設けることか望ましい。３番目のシ
リンダーシャフト−ローラベアリングの組立体が設けら
れており、そのシリンダ１６はマスクの端部と点ｃに於
いて接触する様にシリンダ１４から遠ざかるｙ軸の側か
ら約１０度の円弧オフセラ１〜されている。シリンダ１
４、１５及び１６が付勢されると、ローラベアリングが
マスク２０の周辺垂直外側端６３とかなり近接した接触
状態とされる。ローラベアリング１９は、通常、穿孔１
３の内側端から外側へ距離２０に離隔されている。４番
目のシリンダーシャフト−ローラベアリング組立体が最
初の３個の組立体と半径方向反対側に位置されており、
それは最後に付勢されてそのローラベアリングをマスク
端部上の点ｄに当接させて中心軸３０へ向かって移動さ
せ、点ａ、ｂ及びｃをマスク端部と密接した緊密な保持
接触状態とさせる。マスク２０はリング１１内にしっか
りと保持され、マスクの中心軸はリング１１の中心軸と
整合される。位置２９ａは、整合パッド１２５（第１７
図）がマスクの背面と当接する領域を表わしている。

空気シリンダ１４乃至１７の各々は、液圧乃至は空気圧
導入ポート２３と、シリンダケーシング内を移動自在な
ピストン２４と、ピストンによって保持されると共にケ
ーシング内壁上を摺動自在なＯリングシール２５と、ピ
ストン２４の頂部とシリンダ後部閉基体２７との間に延
在する復帰スプリング２６とを有している。シャフトＯ
リングシール２９が設けられており、これはシャフト導
管３１の内壁上を摺動する。ローラ乃至はその他のベア
リングはシャフト１８の端部上に装着されているピン（
不図示）上を回転自在に装着されている。種々のシャフ
ト及びローラベアリングを内側方向及び外側方向へ移動
させてマスクの長手軸３０を所望の方向へ粗調整する為
にナット６６を調整することが可能である。開口内にマ
スクの中心位置が決められると、３個の真空カップ２９
へ真空が付与されマスクを所定位置に保持する。次いで
、これらの空気シリンダを後退させると、マスクは屈曲
自在に取付けられた真空カップによってのみ支持される
状態となる。

このようにしてしっかりと保持されたマスクの微調整は
、リング１１の上表面１１ａ内の凹所４９内に取付けた
一連の３個の小型で正確なりニアモータ４０、４１及び
４２によって与えられる。

各モータは、直線的に移動するシャフト４３を有してお
り、それはカップリング４４によってプッシュロッドと
して機能すべく十分な剛性を有する可撓ワイヤ４５の第
１端へ取付けられている。ワイヤ４５の他方の第２端は
、支持フィンガー１２ａ、１２ｂ及び１２ｃの各々の上
の中心位置から直立する剛性ポスト４６に固定して接続
されている。ポスト４６はリングプレート１１内の凹所
４７を貫通して上方向へ延在している。可撓ワイヤの第
１端はシャフト４３の外側端部に接合されているローラ
ベアリングスリーブ４８内へクランプされている。リニ
アモータ４２はブラケット５０によって細長凹所４９の
底部に装着されている。

可撓ワイヤ４５のポスト４６への取付けはリング１１の
垂直高さの中間位置である。

モータ４０乃至４２はリング１１の回りで粗位置決空気
圧シリンダ１４乃至１７の間に於いて互いに１２０度の
間隔で周辺方向に離隔されている。

シャフト４３が、矢印３２で示した如く、モータ４２の
モータハウジング内に直線的に移動すると、固定ブラケ
ット５５０と固定支持フィンガー１２ｂ上の剛性ボスト
４６との間のスパン距離が短縮され、従って、図示した
平面図に於いて、リングプレート１１を固定フィンガー
１２ｂに関して反時計方向へ回転される。従って、３個
のモータの全てが等しい内側方向へのシャフトの移動を
行なう場合には、リング２２はポスト４６へ向かって所
要の円弧角度回転される。その正味の結果は、リング１
１（固定マスク２０）を軸３０の回りに角度■回転さぜ
る。ワイヤ乃至はロッド４５が可撓性であるので、リン
グ１１はワイヤ４５とポスト４６との角度関係を多少変
化させる円弧に対することが可能であり、従ってリング
１１（及びそれに固定されているマスク２０）の回転方
向を調節することが可能である。リング１１をボスト４
６へ向かって牽引する量はホール４７とピン４６との間
の間隔５１によって制限される。

各モータのシャフト４３がブラケット５５０から外側へ
直線的に突出する場合、ワイヤ乃至はロッド４５はプッ
シュロッドとして機能しリング１１を第１３図の平面図
内に於いて時計方向へ移動させる。この外側への運動は
リング１１を固定フィンガー１２から遠ざかる時計方向
へリング１１を押圧する。

リニアモータ４０、４１及び４２が一方の直線方向へ別
々に動作されるか又は２個のグループが一方の直線方向
、例えば“内側”、へ動作され、且つ他方の反対側のモ
ータが反対の直線方向、即ち“外側”、へ動作される場
合は、リング１１（ウェハ２０）はｘ又はｙ軸方向又は
ｘ座標とｙ座標の組合せで表わされる方向へ移動し、従
って中心軸３０（又はマスク上のその他の特定的な点）
をｘ座標及びｙ座標上の位置に正確に位置決することが
可能である。これらのモータの“内側”及び“外側”運
動は、通常、マイクロプロセサ内の適宜のコンピュータ
手段によって自動的に制御される。

第１４図はマスク整合装置の下側底部を示している。リ
ングプレート１１の穿孔１３内に保持されているマスク
２０の配向状態が示されている。

ローラベアリング１９がマスクの周辺端部を整合さゼて
いる。リング１１は固定支持フィンガー１２ａ、１２ｂ
及び１２ｃに関して回転及び直線方向に於いて移動自在
である。

第１５図はマスク整合装置の断面図である。注意すべき
ことであるが、全体的なマスク保持・マスク位置決手段
は、好適実施例に於いては１インチの厚ざを有する平坦
な全体的構成を有している。

横方向寸法は約１３インチである。マスク保持内側リン
グ５５５は、上表面１１ａの下側に於いて延在している
内側に向いた平坦な突出部１１ｂ上に装着されている。

スクリュー５５９が内側リング５５５の周辺部を突出部
１１ｂ内の螺設孔５６０へ取付けている。屈曲体５５８
によって真空カップ５５６がリング５５５の下側に装着
されている。この真空カップは、歪を発生することなく
マスクを保持することを可能とし、且つＸ線位置に何ら
の変化を発生することなくギャップの設定及び平坦化を
行なう際にマスクに垂直方向の運動を与えることを可能
とする為に装着されている。この屈曲体は薄い平坦なベ
リリウム銅片であり、その一端はマスクを保持している
内側リング５５５へ取付けられている。その他端には真
空カップが取付けられている。真空インレット５５７が
設けられており、従ってカップ５５６内に真空を発生さ
せて、整合装置内に於いてマスク上部周辺端５６３を固
定的且つ可撓的に保持することを可能としている。マス
ク２０の周辺外側端５６３は凹設されると共に突出部１
１ｂの内側極限点即ち内側リング５５５の下側とマスク
上部端５６２及び周辺端５６３との間の凹入凹所５６１
内に離隔されている。このマスクの動作部分は端部５６
３を横切って伸長されている薄膜５６３ａ上に含まれて
いる。

プレートリング１１は支柱４６が直立している凹所４７
を取囲んでいる円形ベアリングパッド５５２の上に載置
されている。プラスチックのベアリングリテーナ５５４
内の一連のボールベアリング５５３はスラストベアリン
グとして機能し、固定フィンガー１２に対してプレート
１を支持し、回転し、移動させる。

動作に付いて説明すると、適宜の搬送手段によってマス
クを穿孔１３下側の位置に位置させる。

次いで、マスク２０を、３個の真空カップへ向けて上昇
させる。これらの真空カップは３つの等間隔位置でマス
クの横方向端５６３を保持する為に内側プレート５５５
の回りに等間隔で配置されている。カップ５５６へ真空
を与えることにより、マスクが水平方向位置に保持され
る。

整合器の下側に位置させたウェハからマスクを離隔させ
る為にウェハ保持ステージ上に直立したスペーサ部材を
有する手段が設けられている。これらのスペーサ部材は
ウェハとマスクとの間の設定間隔、例えば４０ミクロン
、を確保することが可能である。整合器の小さな不整合
又は傾斜は、真空カップ５５６を取付けた屈曲体５５８
を上下運動させることに因り補償することが可能である
。

例えば真空等の駆動力が喪失することに因り、カップ５
５６内の真空が減少するか又は喪失することを検知する
手段を設けることが可能であり、又、その結果として、
空気圧又は液圧シリンダ１４乃至１７のシャフトを内側
方向へ自動的に移動させてマスクの端部を確保しフェイ
ルセーフによってマスクが整合器のホルダーから落下す
ることを防止する為の手段を設けることが可能である。

この様なフェイルセーフ機構の詳細は当業者にとって自
明なものである。

リングプレート及び支持アームは安定した鋳鉄材で形成
されている。屈曲体はベリリウム銅〈Ｂｅ　Ｃｕ）物質
で形成されている。

第１６図はウェハをマウントし且つそれを自由度６で調
節する為に使用されるウェハステージを例示している。

ウェハは、米国特許第４，２１３，９６８号又はソリッ
ド・ステート・テクノロジー、Ｖｏｌ．２５、Ｎｏ．５
，２３ページ、１９８２年５月、Ｔ．Ｅ．Ｓａｕｎｄｅ
ｒｓ．等に記載されているようなピンチャック上に支持
されている。このチャックは種々の処理工程に於いてウ
ェハを繰返し再位置決することを可能とし、且つウェハ
とチャックとの間の粒子汚染によって発生されることの
ある上側歪を最小とする。このチャックはピエゾ電気モ
ータによって３点で支持されており、これらのモータは
チャックを２軸に於いて傾斜させるか又はウェハをＺ方
向へ移動させて種々のウェハの厚さに対する調節を行な
うと共にマスクとウェハとの間のギャップを変化させる
。これらのモータは■プレートへ取付けられており、こ
のプレートは屈曲ベアリングによって支持されると共に
４番目のモータによって駆動回転される。この組立体は
、副プレートへ取付けられており、その副プレートは空
気ベアリングによって支持されると共にピエゾ電気モー
タによってＸ方向及びＹ方向へ駆動される。全てのリン
クは屈曲ピボットを使用している。その結果、ステージ
は事実上バックラッシュを発生することなしにウェハを
固持することが可能であると共に、自由度６でそれを移
動させて極限解像度で全体的な整合を行なうことを可能
とする。

第１６図に示した整合装置１００は、本例に於けるその
主要な適用例が、リソグラフィ一工程を使用して複数個
の半導体集積回路を製造する場合に１個又は一連のマス
クを使用する際に半導体ウェハを整合させる為のもので
あるから、ウェハステージと呼称する。本装置は矩形の
ステージハウジング１０１内に包含されており、ハウジ
ング１０１はハウジングを包含する全体的ステージを上
方向及び下方向へ約３インチ粗運動させてウェハ及びマ
スクのローディング及びアンローディングを行なうこと
が可能である。Ｚ方向に於けるこの運動の頂部には、以
下に記載する微ステージが運動学的に位置されており、
即ちそれは本質的に完全な位置再現性を有している。

矩形状で基本的に正方形のｘ−ｙ移動プレート１０２が
ハウジング１０１内に装着され一連の３個の空気ベアリ
ング１２２上に支持されている。

ハウジング及び支持された移動プレート１０２は粗Ｚモ
ータ１４９及びリードスクリュー１４６（第２図）によ
って粗Ｚ方向上側へ移動され、ハウジングは固定支持パ
ッド１０５から垂直方向に延在する一対の案内ロッド１
０３によって垂直方向に案内される。これらのロッドは
ハウジング１０１の反対端に設けられた一対の穿孔タブ
１０４を介して延在している。

Ｘ駆動ピエゾ電気リニアモータ１１０がハウジング１０
１の内側で垂直側壁１０９に取付けられており、側壁と
平行に延在している。このモータの直線的に移動するシ
ャフト１１１がベルクランクリンク１１２の一端に接続
されており、リンク１１２は屈曲可能に１１３に於いて
枢支されると共にその反対端が移動プレート１０２の端
部から垂直方向に延在するタブ１１４の反対端に接続さ
れている。シャフト１１１の直線増分運動によって、移
動プレートがＸ軸方向に於いて増分直線運動する。

本発明に於いて使用されるピエゾ電気モータは６０Ａの
オーダの増分運動を出力する。このタイプのモータの市
販されているものとしては、ブーレーインストルメンツ
、フィッシャーズ、ニューヨークから入手することの可
能なブーレーインチウォーム（Ｂｕｒｌｅｉｇｈ　Ｉｎ
ｃｈｗｏｒｍ）として知られているモデルＰＺ−５００
がある。このタイプのモータはオフ状態に於いて極めて
安定しており、従って調節を行なった後に、それはウェ
ハを信頼性をもって所定位置にロックする。

Ｙ駆動ピエゾ電気モータ１１５がハウジング１０１を横
切って延在する棒体に装着されているが、ハウジング１
０１の上表面に取付けられており、且つその直線的に移
動自在なシャフト１１６はＵ字形状をしたベルクランク
１１７へ接続されている。このクランクはその端部をピ
ボット１１７ａ及び１１７ｂへ接続させており、且つ中
央部を屈曲体１０８によって枢支したリンク１１８がそ
れらの外側端を屈曲体１１９及び１２１へ取付けている
。屈曲体１１９及び１２１が移動プレートの垂直端１２
０内へ延在しており、Ｘ軸モータを動作して移動プレー
トをＸ軸方向へ移動させる場合に屈曲し、且つＹ軸モー
タが動作されて移動プレートをＹ軸方向へ移動させる場
合にはプシュプルロッドとして機能する為の十分な剛性
を有している。

移動プレート１０２はその周辺部に３個の矩形形状をし
た等間隔の切欠部１２３を有しており、それを介して３
個の垂直なマスク整合ブロック１２４が延在しており、
その各ブロックはウェハの上方に位置したマスク組立体
（第４図）の下側と当接するマスク整合パッド１２５を
有している。

可動プレート１０２は、又、３個の等間隔に配置した円
形穿孔１２６を有しており、それを介して垂直方向に配
設されたＺ駆動ピエゾ電気リニアモータ１２８、１２９
及び１３０を延在して設けてある。中央穿孔１２７は■
屈曲ピボット１３８の下端部を受納し、該ピボットの他
端は穿孔１３９内に挿入されている。

モータ１２８乃至１３０は、三裂ローブ型回転■プレー
ト１０６のローブの下側に垂直垂下状態に固着されてい
る。直線的に移動自在なシャフト１２８ａ、１２９ａ及
び１３０ａが■プレート１０６の上方を延在し、ウェハ
支持プレート乃至はチャック１３４の下側に於けるパッ
ド１３５を支持している。一体的に移動される場合に、
モータ１２８乃至１３０がウェハをＺ方向に移動させて
、種々の厚さのウェハを収納し、ウェハとマスクとの間
のギャップを変化させる。１個又は２個のモータのみが
移動される場合には、プレートは２軸に於いて傾斜され
てウェハ又はマスクに於ける歪又はウェハとマスクとの
間の平行性に於ける歪を補正する。屈曲体が直線運動シ
ャフト１２８ａ、１２９ａ及び１３０ａをチャック１３
４内に保持されているゼロクリアランスベアリング１４
７（第２図）へ接続させており、従って直線シャフト内
に大きな曲げ運動を発生させることなしにウェハチャッ
クの角度傾斜を可能としている。

シャベッツエンジニアリング、ペンソーケン、ニュージ
ャージー、からモデルＰＡＣ−２２０−００５として市
販されているリニア可変差動変換器１５８（ＬＶＤＴ）
がモータ１２８乃至１３０の各シャフトに隣接して設け
られており、それはチャック１３４の裏側と接触し、閉
止ループシステム（不図示）を介して、ピエゾモータの
軸方向行程を約０．２ミクロンの解像度で検知し且つ制
御する。

■駆動ピエゾ電気リニアモータ１３７が、移動プレート
１０２の下側の共通水平面内に設けられているｘ及びｙ
駆動モータと平行に配設してハウジング１０１の壁を横
断して接続されている。モータ１３７の直線移動シャフ
ト１３１はベルクランク屈曲リンク１３２に接続されて
おり、リンク１３２は■プレートの端部を通過して■プ
レートの上部の固定ポスト１３３に取付けたアーム１３
２ａへ向かって上方向に延在している。シャフト１３１
の増分運動から発生するリンク１３２ａの運動によって
、プレート１０６が屈曲ピボット１３８の回りを時計方
向又は半時針方向に回転■運動を行ない、それは更に支
持プレート１３４及び装着されたウェハを回転させる。

支持プレート内の穿孔１３６はリフトピンの運動を許容
し、チャックからのウェハのロード及びアンロードを容
易とする機能を有する。

マスク整合ブロック１２４がローブの各々の間に於いて
■プレートの端部上の垂直平坦部を通過して延在してお
り、■プレートの回転を許容する為に十分なクリアラン
スが与えられている。グループとしてのブロック及びマ
スク整合パッドが円形支持プレート１３４の直径よりも
大きな直径上にセットされており、従ってマスク整合パ
ッド１２５はプレート１３４から外側及び上方向へ延在
しマスクと当接及びマスクを離隔させることが可能であ
る。

第２１図は第１６図の調節装置の詳細な構成を示した部
分断面図である。モータ１１０、１１５及び１３７が内
側ハウジング１４５の壁１Ｏ９を横切って延在する表面
上に装着されている。上部開放ハウジング１４５が外側
の上部開放固定箱体１０７に関して粗調整を行なう為に
移動される。

歯車１４８を介して従来の電気モータ１４９によって駆
動されるリードスクリュー１４６によって上下運動され
る。底部ストップ１４５ａがハウジング１４５の下方向
行程を制限する。■モータ１２８乃至１３０に関して支
持プレートを傾斜させることが可能な■プレー１−１３
４内に設けた球状ベアリング１４７を除いて、全てのベ
アリング乃至は回転運動体は屈曲ベアリングを使用して
いる。

シャフト１３０ａに接続されている屈曲体１４４等は、
プシュプルロッドとして機能し支持プレートをＺ方向に
移動させ、且つプレート１３４を傾斜させる為にモータ
１２８乃至１３０を差動的に動作させる際に可撓梁とし
て機能する。

第２２図は支持プレートの上部に装着したウェハ１４０
を示している。プレート及びウェハは整合フラット（平
坦部）１４１を有しており、それはウェハとマスクとの
間の適切な初期的整合を確保する。Ｙ軸モータ１１５の
内側及び外側運動を矢印で示してあり、更にプシュプル
ロッド１１９、１２１を動作させるベルクランクリンク
１１７及び１１８によって示してある。案内ロッドのタ
ブ１０４も詳細に示されている。カバープレートにはマ
スク整合ブロック用のスロット１４３が設けられており
、該カバープレートは支持プレートの回りの環状部をカ
バーして塵埃粒子等が内側機構部内へ侵入することを防
止している。

第１７図はマスク及びウェハを介して取った断面の概略
図である。ウェハのローディングを行なう前に於いては
、マスクの上部に設けられている屈曲自在に支持されて
いる小型の真空カップがマスクをＸ、Ｙ及び■位置に保
持する。このマスクの垂直方向位置は、マスクがウェハ
調節装置から延在する基準パッド上に載置する様にステ
ージを上昇させるまで明確には決定されない。ステージ
を上昇させる前に、ウェハの上方にギャップ制御副シス
テムを挿入し、新たにロードしたウェハ及びマスク基準
パッドの上表面を基準として使用する。ステージがウェ
ハを調節してギャップを４０ミクロンにプリセットする
。

通常の動作に於いては、マスクはヘリウム室の端部に緩
く当接してセットされ、名目的なシールを行なう。Ｏリ
ング又は柔軟なリップシールを、マスクが緩く当接して
いるヘリウム室に取付けることが可能である。ヘリウム
は空気よりも軽い気体であるから、ヘリウムは室内に於
いて上昇する。

ヘリウム室とマスク上部との界面に於ける圧力が大気圧
又はマスク底部上のその他の圧力と平衡になるようにヘ
リウム圧力を制御することが可能である。ステージを外
側へ移動させてウェハを受取り、且つ内側へ移動させて
特定の製造操作に於ける同一の固定マスクと整合させる
ことにより次々とウェハを製造することが可能である。

ブリード穿孔１５７がマスク整合器内又はヘリウム室の
底部部分上に設けられており、それを介して過剰のヘリ
ウム圧力を逃がし、マスクの両側に於ける圧力を均衡さ
せてマスクが外側に膨出することを防止している。この
穿孔は、又、米国特許第４，１８５，２０２号に於ける
如く、マスクとウェハの界面のギャップの回りの別のヘ
リウム大気とすることが可能な一層高いマスクとウェハ
の界面に於ける圧力をバランスする為に機能することが
可能である。

第１７図は整合ブロック１２４の上部から延在するマス
ク整合パッド１２５の機能を例示している。パッド１２
５はマスク１５０の外側フレーム１５２と当接し且つ離
隔する。ウェハ１４０の上方に離隔されているマスク整
合器１５３がマスク１５０を保持し且つｘ、ｙ及び■に
於ける調整を行なう。このマスクのフレーム１５２はマ
スク整合器１５３に取付けてある屈曲体１５１上に装着
されている。ウェハ１４０は、上述した如く、微整合を
行なう際にステージ組立体１５５によって移動可能な支
持プレート１３４上に装着されている。整含器１５３上
の屈曲体１５１上に延在する小型の真空カップ１５６が
このマスクのフレームを所定位置に保持する。このマス
クの垂直位置は、ステージが上昇されマスクが基準パッ
ト上に載置されるまで明確には決定されない。微細ステ
ージ組立体を上昇する前に、音響学的方法を使用してミ
クロン及びサブミクロンの距離を測定する米国特許第４
，４７５，４４１号及び米国特許第４，２８５，０５３
号に記載されているようなギャップ制御手段を使用する
。この手段はウェハ上方に挿入されており、基準を設定
すると共にウェハ及びマスク基準パッドの上表面を設定
する為に使用される。

ステージハウジング１０１内に設けられている機構を有
する微細ステージ１５５に関して百万回のテストを行な
い、事実上メインテナンスフリーであることが判明した
。

全ての回転ジヨイント部分に於いて屈曲ピボットを使用
することにより、全くクリアランスのないベアリング構
成とすることが可能であり、従って位置に関し極限的な
精度及び再現性を与えることが可能である。構成上の特
性及びピエゾ電気モータを使用することにより、ウェハ
自身の近傍に粒子を発生するものがないステージを構成
しており、このことは何れのリソグラフィーに於いて適
用する場合にも重要な特徴である。又、このステージを
組立てる際及び使用する際に臨界的な調整が必要とされ
ることはなく、ステージ構成部品の何れの部品に対する
製造技術も通常の製造機械工場に於ける能力を越えるよ
うなものではない。

第１８図及び第１９図はマスクカセットと、マスクをそ
のカセットからウェハ調節ステージ上方のマスク整合機
構内の位置へ移動させる為の機構を一層詳細に示してい
る。第１９図はマスクカセットを詳細に示している。

第１８図に於いて、ベースプレート２１０乃至はその他
の固定した構成体が設けられており、それはＸ線、紫外
線又はイオンビーム源２０６の下側で且つグラフィック
画像形成用のマスクの下側に取付けられているウェハ用
の整合機構の上方に於いてリソグラフィー装置内の一定
位置に設けられているマスクホルダー２２０に隣接する
位置から延在している。動作に付いて説明すると、Ｘ線
２０６がマスクを介してウェハ（不図示）上へ通過する
。ウェハそれ自身は、マスクホルダー２２０の下側に位
置させたウェハステージ上に装着されている。

取入れ取出しカセットホルダー２１２がベースプレート
２１０に固着されており、底部トレー２０２上にマスク
２１４を取付けたカセット２００がカバー２１１によっ
て取入れ取出し機構２１２に装着されている。取入れ取
出しカセットホルダー２１２は、カセットトップ２１１
の底部端２１１ａを支持する為の中央を穿設したプラッ
トホームを有しており、且つ第１図に於いて位置Ｂのよ
うな位置へレール上を横方向外側へカセットを移動させ
るように構成されている。リフトシリンダ２１８が位置
Ｂ（第１図）に於けるカセット２００の下側に位置され
ている。リフトシリンダ２１８は流体動作される（液体
又は空気）ピストン２０９とピストンロッド２１７（上
方位置に於いては２１７ａ）を有しており、ピストンロ
ッド２１７は、真空カップ２１６を有するテーブルをト
レー２０２の下側２１３上の中央位置２１６ａへ上昇さ
せる。次いで、トレー２０２はその上方位置に於いてカ
ップ２１６に真空吸着され、カバー２１１からアンロッ
クされると、真空カップ２１６と、ピストンロッド２１
７は下方位置へ移動することが可能である。従って、マ
スク２１４は、何れの機構もマスクに触れることなしに
カセットカバー２１１から取出される。次いで、リフト
シリンダはアーム２１９又は適宜のレール構成体（不図
示）によって回転されるか又は移動されてベースプレー
ト２１０に沿って横方向に変位した位置へ動かされる。

この変位位置に於いて、リフトシリンダ及びその支持し
たマスクを有するトレーがマスクホルダー２２０の下側
に位置され、上昇されてマスク２１４の端部がマスクホ
ルダー２２０の底部周辺部上の離隔された吸着カップ２
２１と当接し、真空吸引されてマスクをカップ２２１へ
付着させる。次いで、このマスクはＸ線２０６及びウェ
ハ保持用整合ステージに関して正確に整合される位置に
置かれる。

一方、リフトシリンダをトレー２０２の下側に位置させ
ロッキング手段をアンロックした後にカバー２１１を別
個に又はその支持構成体と共に上方向に移動させるよう
にすることも可能である。

リフトシリンダ及び取付けたマスクを包含するトレーを
最初に下方向に移動させることなしにアーム２１９上を
横方向に移動させることが可能である。

第１９図はカセットの詳細を示している。カセットは、
円形、正方形又は八方形等のような任意の外形形状を有
する下部開放カバー２１１を有している。好適には、円
形底部トレー２０２がカバー２１１の開放底部を横切っ
て延在する。トレー２０２の端部及びカバーの内側端部
はティパー２０８が付けられており、密接した自己整合
型の嵌合を与え、塵埃又はその他の粒子がカセットの内
部へ侵入することを防止可能としている。通常中央薄膜
２１４ａを有すると共にその上にマスク動作部分を有す
るマスク２１４がトレー表面２１５上の隆起部上に装着
されている。一方、以下に説明する如く、キャリブレー
ション組立体乃至は装置をトレー表面２１５上に設ける
ことが可能である。カセット上部は、通常、その上側に
透明窓２３０を有しており、カセットの中に何があるか
と言うことを見極める為の視覚観察を可能としている。

このカセットは、通常、マスクを収納するカセット及び
クォーツキャリブレーションプレート又は組立体を収納
するカセットと区別する為に異なった色が付けられてい
る。このことも、更に、カセットの内容物を識別するこ
とを可能とし、人間によるエラーの発生を減少させてい
る。

回転阻止ピン２２２がカセットカバートップの一端に設
けられており、それはトレーが一ケ所に於いてのみ装着
されることを確保し、トレーの不整合及びカバー２１１
内での回転を防止している。

ピン２２２はトレー２０２の周辺上部表面に於ける穿孔
２３５と整合しその中に侵入する。このマスクはピン２
３６と整合する為のフラットを有することが可能であり
、又ピン２３６とその周辺部に於いて係合するＶ切欠部
を有することが可能である。

一連のロック部材２２３及び２２４（通常４個〉がカバ
ー２１１の垂直壁の周辺部回りの所定位置に設けられて
おり、従って内側方向への移動の際に、これらのロック
部材はトレー２０２を、例えば、当接面２０８ａによる
か又はトレー２０２の端部に於ける穿孔内に侵入するこ
とによりカバー２１１の底部内にロックさせる。これら
のロックピンは、通常、ロック位置にスプリング負荷さ
れており、且つ空気力によってアンロックされることが
可能である。従って、装置によってのみ動作することの
可能なロック手段が設けられており、従ってオペレータ
がカセットを開放してマスクを乱したり汚染したりする
ことがない。

マスクカバー２１１は、更に、外部底部位置に穿孔を有
しており、それは出入れローディング機構２１２上のピ
ン（不図示）と整合し、従ってマスクカセットは１方向
にのみ該機構内にロードさせることが可能であり、従っ
て、マスクをその回転配向状態に於いてマスクホルダー
上の最終的な位置へ固定させる。ピン２３７はカバー２
１１を貫通して延在しており、且つマスク端部と当接す
る先端を有しており、これによりマスクの振動を防止し
ている。

第２０図は第６図に示した従来の走査ミラーサブシステ
ムと置換される本発明に於いて使用される圧縮光学系を
示している。第２０図に於いて、マスクからの像Ａ及び
Ｃとウェハからの像Ｂが第２０図に示した２次画像位置
４００に合焦される。

この位置に於いて、これらの像はＡ、Ｂ及びＣを通る直
線に対して平行か又は直角の方向に直線的に偏光されて
いる。これらの像を処理する為にカメラ４１０上に画像
形成させる前に更に増倍させることが必要であり、この
ことはレンズ４０２によって行なわれる。レンズの直後
に於いて半波プレート４０３を使用し、偏光面を４５度
回転させている。光が偏光用ビームスプリッタ４０４へ
入射され、その光の５０％が透過され残りの５０％が反
射される。これら２つの光ビームは１／４波長板４０５
を通過し、その際に光は円偏光した光に変化され、ミラ
ー４０６で反射され、再度１／４波長板４０５を通過し
、元の偏光面と直交する偏光面を有して現出する。従っ
て両方の偏光面がビームスプリッタ４０４を通過するか
又は所要により、ビームスプリッタで反射し、非回転ミ
ラー４０７へ到達し、更に、必要に応じ、所望のカメラ
に対し固定したミラー４０８を通過して進行し、更にカ
メラ４１０へ向かって進行する。

第２０図に於いては、これらの像は最終像位置４０９に
示されている。この点に於いて、６個の光スポットがカ
メラ面内に形成されており、その内の２つＡ′及びＣ′
は使用されない。残りの４個は適切な整合を行なう為に
カメラ面内に形成される。像４０２から高度の倍率が必
要とされるので、中間のスポット対は余り拡がり過ぎて
カメラの面内に入らず、従ってこれらのスポットを互い
に近付ける為の手段を使用せねばならない。

第６図に示した従来技術に於いては、ミラー位置４０７
に於いて走査ミラーを使用している。従って、Ｂ′、Ａ
′スポットは半分の時間でカメラの面内に結像され、Ｃ
′、Ｂ′スポットは残りの時間にカメラの面内に形成さ
れる。本発明に於いては、倍率が、十分に大きいので、
走査ミラーをミラー位置に於いて角度を付けて配設した
部分４０８ａ及び４０８ｂを有する分割固定ミラーで置
換えることが可能である。このミラーは、像Ｂ′、Ａ′
を形成する光がこのミラーの左側に到達し且つ像Ｃ′、
Ｂ′を形成する光がこのミラーの右側部分に到達する様
な位置に配置されている。従って、各スポット対は独立
してカメラの面に向かって指向させることが可能である
。注意すべきことであるが、４個の全てのスポットは１
００％の時間カメラ面上に入射する。従来技術と比較し
この新しい構成の利点は以下の如くである。

ａ）高価な部品（走査ミラー）を排除し、装置の全体的
な費用を減少させている。

ｂ）主要な振動源である走査ミラーの排除。この振動は
装置の種々の部分を振動させ、画像特性又は整合精度を
低下させる。

ｃ）光は５０％の時間では無＜１００％の時間各スポッ
トからカメラ上に到達するので、信号が改善される。

倍率が十分に高くない場合には、これらのスポットを形
成する光は位置４０８に於ける分割ミラーを使用するこ
とを許容する程十分に分離されない場合がある。一方、
倍率が極めて低いと、４個の全てのスポットがカメラ面
上に形成され、従って走査ミラーも分割ミラー技術も必
要とされない。

何らかの理由により、中間倍率を使用せねばならない場
合には、走査ミラーを使用する場合が考えられる。走査
ミラーを排除するということの一般的な利点は、十分に
大きなものであるから、倍率は走査ミラーを使用せねば
ならない場合の値よりも大きくするか又は小さくして使
用される。

本明細書に開示したリソグラフィー装置に於いて使用さ
れている電子装置は分割した処理構成を採用しており、
ホストコンピュータが装置全体及び自動整合を行なう為
の専用プロセサ及びＤＣモータサーボ機構を制御する。

ユーザとのインターフェースはＣＲＴを介して行なわれ
、ＣＲＴはシステム全体の状態又は任意のサブシステム
の詳細な状態をディスプレーすることが可能である。操
操を行なう場合には、通常、制御パネル及びキーボード
を介して行なわれる。本装置はカセットからカセットへ
のウェハ処理と、安全操作及びメインテナンスの為の２
個の冗長なセーフティーインターロックシステムと、一
定温度±０．２°Ｆを維持する為の環境システムと、粒
子の存在しない環境とを有している。ディスプレー及び
安全特性を有する電子パッケージは周知であり、スタン
ダードな一般的に行なわれている方法と同じである。

以上、本発明の具体的実施の態様に付いて詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
ではなく、本発明の技術的範囲を逸脱することなしに種
々の変形が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は全体的なＸ線リソグラフィー装置のブロック線
図、第２図はゾーンターゲットのターゲット像形成を示
した説明図、第３図はウェハの傾斜が整合精度に与える
影響を示した説明図、第４図はマスクとウェハのターゲ
ットを示した説明図、第５図はマスク及びウェハ上のタ
ーゲットのレイアウトを示した説明図、第６図は本リソ
グラフィー装置の光学系を示した概略図、第７図はＸ線
リソグラフィー装置の正面図、第８図はその装置の平面
図であり特にマスク及びウェハを中央部へ搬送する手段
を示した平面図、第９図は対物レンズ調整手段の側面図
、第１０図はその背面図、第１１図はその平面図、第１
２図は対物レンズを調整する為のマルチレバー方式の別
の実施例を示した説明図、第１３図は本発明に於いて有
用なマスク整合装置の１部切欠平面断面図、第１４図は
その底面図、第１５図は第１４図の１５−１５線に沿っ
て取った断面図、第１６図は６軸ウェハステージとして
使用されるウェハ調節装置の分解斜視図、第１７図は対
物レンズとマスク整合器・位置決器と６軸ステージと粗
Ｚ軸ステージの基準を決める状態を示した断面図、第１
８図はマスクカセットから装置中心部に於けるマスク整
合器へマスクを搬送する装置を示した部分断面図、第１
９図はマスクカセットの断面図、第２０図は改良した圧
縮光学系の概略図、第２１図は第１６図の左側正面から
取った調節装置の１部切欠断面図、第２２図は調節装置
の平面図、である。 （符号の税明） ２９０：マスク ２９１：マスク保持・整合機構 ３００：Ｘ線装置 ３０１：ヘリウム室 ３０２：Ｘ線 ３０７：半導体ウェハ ３０９：マスク位置決器 ３１７：ピンチャック 特許出願人マイクロニクスパートナーズＦｉｇ、２へ３ Ｆｉｇ、４Ｆｉｇ、６ Ｆｉｇ、７ ４０ Ｆｉｇ、１６ Ｆｉｇ、／７ 手続補正書 昭和５９年９月１８日 特許庁長官志賀学殿 １、事件の表示昭和５９年特許願第４８２８３号２、発
明の名称リソグラフィ−装置 ３、補正をする者 事件との関係特許出願人 ４、代理人 ５、補正命令の日付自発 ６、補正により増加する発明の数なし ７”＜Ｖｒｂ）’、””４ｔ１ｓつ”’””ｇ’”震え
”し）１４１−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板に印字シーケンスを行なうリングラフィー装置
   に於いて、 ａ）作業ステーションを有しており、前記作業ステーシ
   ョンが、 Ｉ）ビーム室と、 ＩＩ）前記ビーム室の一端にビーム源を取付ける為の手
   段と、 ＩＩＩ）前記ビーム室の反対端に隣接した位置にマスク
   を取付ける為の手段と、 ＩＶ）前記ビーム室の内側に画像検知手段を取付ける為
   の手段とを有しており、ｂ）前記ビーム源の反対側の前
   記マスクの側に於いて前記マスクと接触するか又は離隔
   させて半導体基板を所定位置に取付ける手段を有してお
   り、 ｃ）前記所定位置内において前記基板を取付ける手段を
   ３を越えた自由度で調節する手段を有しており、 ｄ）前記マスクを取付ける為の手段へマスクをロードす
   る手段を有しており、 ｅ）前記基板を取付ける手段へ基板をロードする手段を
   有しており、 ｆ）前記画像検知手段を具備すると共に前記基板と前記
   マスクとを整合する手段を有するりソグラフィー装置。 ２、特許請求の範囲第１項に於いて、前記整合手段の動
   作中及び前記マスク及び基板を前記ビームへ露呈させる
   際に前記マスクが所定位置に固定されていることを特徴
   とするリソグラフィー装置。 ３、特許請求の範囲第１項に於いて、前記整合手段の動
   作中及び前記マスク及び基板を前記ビームへ露呈させる
   際に前記基板が所定位置に固定されていることを特徴と
   するリソグラフィー装置。 ４、特許請求の範囲第１項に於いて、前記ビームがＸ線
   ビーム、紫外線ビーム又はイオンビームであることを特
   徴とするリソグラフィー装置。 ５、特許請求の範囲第１項に於いて、前記ビームがＸ線
   ビームであり且つ前記ビーム室がヘリウムを有すること
   を特徴とするリソグラフィー装置。 ６、特許請求の範囲第１項に於いて、前記ビームがＸ線
   ビームであり且つ前記ビーム室が真空であることを特徴
   とするリソグラフィー装置。 ７、特許請求の範囲第１項に於いて、前記作業ステーシ
   ョン及び前記ｂ）乃至ｆ〉の手段が単一構成体に一体形
   成されていることを特徴とするリソグラフィー装置。 ８、特許請求の範囲第１項に於いて、前記ビーム取付け
   手段と前記基板取付は手段との間の距離を予め調節する
   為のアダプタ一手段を有することを特徴とするリソグラ
   フィー装置。 ９、特許請求の範囲第１項に於いて、前記マスクをロー
   ドする手段と基板をロードする手段が前記作業ステーシ
   ョンから横方向に配設されており、且つマスクカセット
   と基板カセットとマスク及び基盤を取付ける為の前記ス
   テーションに於ける夫々の手段に対し前記カセットの各
   々と通信を行なうピックアップ手段とを有することを特
   徴とするリソグラフィー装置。 １０、特許請求の範囲第１項に於いて、前記画像検知手
   段がマスクと基板とを整合させる為に前記室内の第１位
   置へ移動すると共に前記マスク及び前記基板へ指向され
   る前記ビーム源からのビームと干渉をしない前記室内の
   第２位置へ移動可能であることを特徴とするリソグラフ
   ィー装置。 １１、特許請求の範囲第１項に於いて、前記画像検知手
   段が複数個の対物レンズであることを特徴とするリソグ
   ラフィー装置。 １２、基板と離隔してマスクを整合することにより基板
   を製造するリソグラフィー装置に於いて、中央に位置し
   た主長手軸が前記マスク及び基板に対して直交しており
   、前記マスク及び基板の各々が互いに離隔した周辺部分
   にパターンを有しており、それらのパターンは整合マス
   ク情報を伝達する入射光線によって照射されると前記光
   線を合焦させて夫々の整合マーク像を形成し、前記マス
   ク上の各パターンは前記基板上のパターンと関連してお
   り、関連したパターンの各対は前記主軸に対し平行な軸
   に沿って観測された場合にオフセット関係に位置されて
   おり、前記マスクと基板とを離隔した関係で調節可能に
   支持する手段が設けられており、前記整合マークの合焦
   された像のアレイを形成する為に前記パターンを軸を外
   れた光線ビームで照射する為の手段が設けられており、
   ３組以上のパターンを形成し前記組の少なくとも１個が
   前記組の２つの間に引かれた線から離隔される様に３組
   以上のパターンを形成する手段が設けられており、前記
   基板とマスクと互いに自由度６で位置調整する手段が設
   けられていることを特徴とするリソグラフィー装置。 １３、特許請求の範囲第１２項に於いて、前記マスク及
   び前記基板上に水平方向に離隔したスクライブ線と垂直
   方向に離隔したスクライブ線とがあり、前記水平方向及
   び垂直方向のスクライブ線の各々が前記主長手軸と交差
   する中心を有しており、前記パターンの第１及び第２の
   組は前記水平スクライブ線内に位置されると共に第３組
   のパターンが前記垂直スクライブ線間に位置されること
   を特徴とするリソグラフィー装置。 １４、ビーム源と、前記ビーム源を取付ける室と、マス
   クを取付ける手段と、前記ビーム源から前記マスクの反
   対側に基板を取付ける手段と、前記基板を前記マスクと
   平行且つ一致させて整合させる手段とを有するリソグラ
   フィー装置に於いて、名目的なシールを形成する為に前
   記マスクを前記室の端部に緩く当接させる位置決め手段
   が設けられており、前記整合手段が前記室内の少なくと
   も３個の離隔した整合ターゲットを検知する為の画像検
   知手段を有しており、且つ前記取付けたマスクに乱れを
   与えることなく一連の基板を一つずつ前記マスクと整合
   させることが可能なリソグラフィー装置。 １５、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記ビーム源
   と前記基板を取付ける為の手段との間の距離を調節する
   為に前記室に接続してアダプタ一手段を設けたことを特
   徴とするリソグラフィー装置。 １６、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記画像検知
   手段が光学的対物系であり、且つ前記対物系から前記室
   の外側に装着されている整合光学系へ光を通過させる為
   に前記室内に窓手段が設けられており、前記室の体積を
   最小としたことを特徴とするリソグラフィー装置。 １７、特許請求の範囲第１６項に於いて、露光中、前記
   対物系が前記ビームが前記マスク及び基板を照射するこ
   とを阻止しない様に前記室内の所定位置へ移動可能であ
   ることを特徴とするリソグラフィー装置。 １８、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記室内に気
   体が充填されており、シール位置に於ける前記室に対抗
   する前記マスクの側に於ける気体の圧力と前記基板に対
   抗する前記マスクの反対側に於ける大気圧力とをバラン
   スさせる手段が設けられていることを特徴とするリソグ
   ラフィー装置。 １９、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記マスク及
   び基板が前記ビーム源からのビームへ露光される場合と
   同一の位置に於いて整合されることを特徴とするリソグ
   ラフィー装置。 ２０、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記基板と前
   記マスクとの間の距離を調節する手段が設けられている
   ことを特徴とするリソグラフィー装置。 ２１、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記取付けた
   マスクに対し前記基板の配向状態を自由度６で調節する
   手段が設けられていることを特徴とするリソグラフィー
   装置。 ２２、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記基板取付
   け手段から前記基板を排出させると共に前記基板取付は
   手段へ新たな基板をロードさせ且つ前記マスクに乱れを
   与えることなく前記新しい基板を整合させる手段が設け
   られていることを特徴とするリソグラフィー装置。 ２３、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記整合手段
   が、像形成用カメラと、前記マスク及び基板上のターゲ
   ットパターンを画定する手段と、前記カメラに入射され
   る前記パターンの画像のスパンを幅狭とさせる圧縮光学
   系とを有しており、前記圧縮光学系が前記カメラの像形
   成範囲内の幅狭とされた領域内に前記画像を反射させる
   角度をつけて配設した部分を具備する分割ミラーを有す
   ることを特徴とするリソグラフィー装置。 ２４、特許請求の範囲第１４項に於いて、基板を前記基
   板取付は手段へ搬送する搬送手段が設けられている事を
   特徴とするリソグラフィー装置。 ２５、特許請求の範囲第２４項に於いて、前記搬送手段
   の各々が前記搬送手段を前記夫々の取付け手段へアーチ
   状に移動させる手段を有することを特徴とするリソグラ
   フィー装置。 ２６、特許請求の範囲第１４項に於いて、前記ビームが
   Ｘ線ビームであり、前記基板が半導体ウェハであること
   を特徴とするリソグラフィー装置。 ２７、直線的に移動されるべき装置であって、前記装置
   を所定の移動長さに渡って特定位置へ移動させる手段を
   有する装置に於いて、前記移動させる手段が、それに対
   して前記装置の直線的移動が望まれる固定支持体と、正
   確な増分直線運動を回避するためのピエゾ電気モータを
   具備する手段と、前記ピエゾモータに並置されておりこ
   の様な増分運動を受取ると共に前記直線運動を増加させ
   る第１屈曲支点手段と、前記増加された直線運動を受取
   ると共に前記直線運動を更に増加させる第２屈曲支点手
   段と、前記装置を前記第２支点手段の端部に取付けると
   共に前記装置を前記固定支持体に関して直線的に移動さ
   せる手段とを有することを特徴とする装置。 ２８、特許請求の範囲第２７項に於いて、前記第１支点
   手段が前記ピエゾ電気モータから第１方向へ延在し、前
   記第２支点手段が前記第１支点手段から離隔して折返さ
   れており且つ前記モータへ向かって延在することを特徴
   とする装置。 ２９、特許請求の範囲第２８項に於いて、前記モータが
   直線軸上に位置されており、前記第１支点手段の一端が
   第１支点手段及び前記モータの上方へ延在しており、前
   記装置を取付ける為の手段が前記第１方向と反対方向に
   於いて前記モータの端部から変位されて前記直線軸に対
   し実質的に直交して位置されていることを特徴とする装
   置。 ３０、特許請求の範囲第２７項乃至第２９項の内の何れ
   か１項に於いて、前記装置が半導体ウェハ及びウェハマ
   スクを整合する為のＸ線、紫外線又はイオンビームを使
   用した半導体リソグラフィー装置内に位置された複数個
   の光学的対物系の１つであることを特徴とする装置。 ３１、特許請求の範囲第２７項に於いて、前記第１屈曲
   支点手段がブロック状のＣ字形状部材を有しており、Ｃ
   字形状部材の第１脚部は前記固定支持体に対して固着さ
   れており、その第２脚部は片持梁状に支持した端部を有
   し初期の増分運動を増加させ、且つその幅狭とした中央
   部分は前記第１脚部と第２脚部との間の一体的な可撓リ
   ンクを形成していることを特徴とする装置。 ３２、直線的に移動されるべき光学的対物系に於いて、
   前記対物系を所定移動長ざに渡って特定位置へ移動させ
   る手段を有しており、前記手段が、相対的に前記対物系
   の直線運動が必要とされる固定支持体と、前記支持体に
   動作可能に接続されたピエゾ電気モータ及び前記モータ
   から延在しており直線増分的に移動可能なピエゾラムと
   、第１面内に位置されると共に第′１端を前記ピエゾラ
   ムと接触させている第１レバーと、前記ラムの直線運動
   により前記レバーの屈曲を許容するために前記第１レバ
   ーの第１端に接続されている第１屈曲手段と、前記第１
   レバーの面から変位した第２面内に延在する第２レバー
   と、前記第１レバーの第２端に隣接しており前記第２レ
   バー上の点を前記第２レバーの第１端の内側と接触させ
   る手段と、前記点の外側の前記第２レバーの前記第１端
   へ接続されている第１部分と前記支持体に関して固定さ
   れている第２部分とを具備した第２屈曲手段と、前記第
   ２レバーの第２端に於いて前記第２レバーの前記第２端
   を前記対物系へ可撓的に接続する手段とを有することを
   特徴とする光学的対物系。 ３３、特許請求の範囲第３２項に於いて、前記第１レバ
   ー及び第１屈曲手段がブロック状のＣ字形状部材を有し
   ており、その第１上部脚部は前記固定支持体へ取付けら
   れており、その幅狭の中央部分は一体的な可撓リンクを
   形成しており、その第２底部脚部は前記リンクの反対側
   で前記ラムの運動を増大させる片持梁状の端部を有する
   ことを特徴とする光学的対物系。 ３４、特許請求の範囲第３２項に於いて、前記第２レバ
   ーが９０°Ｌ字形状部材を有しており、その底部脚部は
   下方向に延在すると共に前記第２屈曲手段の中央部分を
   受ける為に軸支されており、その上部脚部は前記第１レ
   バーと反対方向で実質的に水平方向に延在しており、前
   記ラムの運動を更に増大させることを特徴とする光学的
   対物系。 ３５、特許請求の範囲第３２項に於いて、複数個の対物
   系が設けられており、その各々が前記固定支持体に対し
   て独立的に移動可能であり、且つその各々が別々の前記
   移動手段へ取付けられていることを特徴とする光学的対
   物系。 ３６、マスクを取付ける為の穿孔を具備した部材を有す
   るマスク整合装置に於いて、固定支持体手段を有すると
   共に、前記部材を前記支持体手段に関して整合させる整
   合手段を有しており、前記整合手段が、直線的に移動す
   るシャフトを具備したリニアモータ手段を有しており、
   前記モータ手段は前記部材及び前記シャフトと前記固定
   支持体手段との間の可撓リンクへ取付けられており、前
   記シャフトの運動により前記部材を前記固定支持体手段
   に関して移動させ前記マスクを空間的に位置付けること
   を特徴とするマスク整合装置。 ３７、特許請求の範囲第３６項に於いて、前記固定支持
   体手段が離隔した支持体を有すると共に、それから延在
   する直立した剛性ポストを有しており、前記可撓リンク
   が前記シャフトから前記ポストへ延在する可撓ワイヤを
   有することを特徴とするマスク整合装置。 ３８、特許請求の範囲第３６項に於いて、前記装置内に
   於いて前記マスクを保持すると共に粗整合させる手段を
   有することを特徴とするマスク整合装置。 ３９、特許請求の範囲第３８項に於いて、前記粗整合手
   段が前記部材上に装着されると共にその端部に前記穿孔
   内へ内側に延在するベアリング表面を具備した直線的に
   動作可能なロッドシャフトを具有する第１シリンダ手段
   と、前記部材上に装置されており且つその端部に於いて
   前記穿孔内に内側に延在するベアリング表面を具備して
   おり直線的に動作可能なシャフトを具有する第２シリン
   ダ手段とを有しており、前記第２シリンダ手段及びヘア
   リンク表面が前記第１シリンタ手段及びベアリング表面
   と対抗して配設されており、前記第２ベアリンク表面を
   内側方向へ動作させることにより取付けられているマス
   クを前記第１ベアリング表面及び第２ベアリング表面に
   対して当接させることを特徴とするマスク整合装置。 ４０、特許請求の範囲第３９項に於いて、マスクを前記
   部材に対して着脱自在に取付ける為の真空カップ手段と
   前記ベアリング表面を前記マスクから後退させる手段と
   を有することを特徴とするマスク整合装置。 ４１、特許請求の範囲第４０項に於いて、前記カップ手
   段内の真空が送出されることを検知すると共に前記第１
   シリンダ手段及び第２シリンダ手段を付勢させ前記ベア
   リング表面を前記ウェハと接触させて前記ウェハを保持
   する手段を有することを特徴とするマスク整合装置。 ４２、特許請求の範囲第３６項に於いて、前記リニアモ
   ータ手段が前記リング部材の内側周辺部に対して実質的
   に接線方向に位置されており、前記固定支持体手段が前
   記部材の１部内へ延在しており、ベアリング部分が前記
   リニアモータ手段の動作可能な移動シャフトと整合され
   ると共に前記部材と前記固定支持手段との間に位置され
   ており、前記固定支持体手段から直立する剛性ポストが
   前記ベアリング部分を介して延在し且つ前記可撓リンク
   へ接続されていることを特徴とするマスク整合装置。 ４３、特許請求の範囲第３６項において、前記モータ手
   段と前記固定支持体手段との間のスパンを長くする為に
   前記モータ手段が前記固定支持体手段へ向かって前記シ
   ャフトを外側へ移動させる際に前記可撓リンクがプッシ
   ュロッドとして機能するのに十分な剛性を有することを
   特徴とするマスク整合装置。 ４４、特許請求の範囲第３６項に於いて、前記整合手段
   が前記部材の内側へ位置されており、且つ前記リニアモ
   ータ手段が前記固定支持体手段に関して前記部材を回転
   方向に配向動作させることが可能であると共に前記部材
   を前記固定支持体手段に関してｘ座標及びｙ座標に於い
   て移動させることが可能であることを特徴とするマスク
   整合装置。 ４５、整合すべき物体を支持する手段を具備した整合装
   置に於いて、前記支持手段が、実質的に平坦な支持プレ
   ートと、前記支持プレートと平行な面内に位置されると
   共にそれに対して垂直に配向されており一連の離隔され
   たピエゾ電気リニアモータであってその各々が前記支持
   プレートをＺ軸方向に移動させる為に前記支持プレート
   の後側に当接すると共に支持すべく構成された可動シャ
   フトを具備したリニアモータを設けた実質的に回転可能
   なプレートと、前記回転可能なプレートを回転運動させ
   る為の■駆動ピエゾ電気リニアモータと、前記回転可能
   なプレートと平行な面内に位置されている実質的に平坦
   なｘ−ｙ移動プレートと、前記回転可能なプレートを前
   記ｘ−ｙ移動プレートへ接続させる為の第１屈曲手段と
   、前記移動プレートを前記移動プレートの面内に於いて
   ×座標及びｙ座標に沿って駆動する為に前記×−ｙ移動
   プレートに接続されている一対のピエゾ電気モータと、
   前記移動プレートを支持する為の第２屈曲手段とを有し
   ており、前記ピエゾ電気モータの全てはオン・オフ及び
   出入れシーケンスに於いて様々に駆動ざれ前記支持プレ
   ートを所要に応じｘ、ｙ、ｚ及び■方向に移動させて前
   記物体を所望の空間位置に配向させる様に構成されてい
   ることを特徴とする整合装置。 ４６、特許請求の範囲第４５項に於いて、前記支持プレ
   ートを前記回転可能なプレートに対して傾斜させる為に
   前記一連のピエゾ電気モータを異なって動作させる手段
   を有することを特徴とする整合装置。 ４７、特許請求の範囲第４５項に於いて、前記物体が半
   導体ウェハ、マスク又は基板であって、支持プレートと
   回転可能なプレートと移動プレートとを囲繞する固定ス
   テージハウジングが設けられており、マスクと当接し初
   期的にウェハとマスクとのギャップ距離を設定する為に
   前記支持プレート及び前記ウェハの上方に於いて前記ハ
   ウジングから延在する固定スペーサ手段が設けられてい
   ることを特徴とする整合装置。 ４８、特許請求の範囲第４５項に於いて、前記支持体と
   回転可能なプレートと移動プレートとを囲繞する固定ス
   テージハウジングが設けられており、前記ハウジングと
   前記支持プレートと前記回転可能なプレートと前記移動
   プレートと前記第１及び第２屈曲手段と前記ピエゾ電気
   モータの全てを粗Ｚ空間位置へ移動させる手段が設けら
   れていることを特徴とする整合装置。 ４９、特許請求の範囲第４５項に於いて、前記ｘ−ｙ及
   び■ピエゾ電気モータが前記移動プレートの下側に装着
   されており、且つ前記移動プレート及び前記回転可能な
   プレートに夫々接続されている前記モータによって動作
   可能なリンク手段を有することを特徴とする整合装置。 ５０、特許請求の範囲第４５項に於いて、前記支持プレ
   ートが基本的に円形の半導体ウェハを受取るべく円形形
   状であり、前記回転可能なプレートが三分裂ローブ形状
   であり、前記一連のピエゾ電気モータの１つが前記ロー
   ブの各々を貫通しており、前記移動プレートが基本的に
   正方形であることを特徴とする整合装置。 ５１、特許請求の範囲第５０項に於いて、前記支持プレ
   ート及びウェハの上方で且つ基本的にそれと平行な離隔
   した面内に延在するマスクに対して前記取付けたウェハ
   を配向させる直立状の垂直に離隔したマスク整合手段が
   設けられており、前記プレートは前記整合手段を受納す
   べく穿孔が穿設されており、前記回転可能なプレートは
   前記整合手段が前記ローブ間の前記回転可能なプレート
   の端部区域を通過して自由に延在するように寸法構成さ
   れており、前記支持プレートは前記整合手段の直径間隔
   よりも小ざな直径を有することを特徴とする整合装置。 ５２、特許請求の範囲第４５項に於いて、前記ｙ駆動ピ
   エゾ電気モータが外側方向又は内側方向へ駆動する際に
   、前記第２屈曲手段がプシュプルロッドとして機能する
   のに十分な剛性を有することを特徴とする整合装置。 ５３、マスク搬送装置に於いて、固定支持部材が設けら
   れており、前記支持部材によって保持されるべく構成さ
   れており底部開放カバーを具備したカセットが設けられ
   ており、前記力カセットは前記カバーの開放底部を横切
   って延在する底部トレーを有しており、前記トレーはト
   レーの上部表面上にマスクを担持するように構成されて
   おり、前記トレーを前記カバーに関してロック及びアン
   ロックする手段が設けられており、前記トレーのアンロ
   ックされた態様に於いて前記トレーの下部表面を支持す
   べく動作可能なトレー支持手段が設けられており、前記
   カバーとトレーとを分離する手段が設けられていること
   を特徴とするマスク搬送装置。 ５４、特許請求の範囲第５３項に於いて、前記マスクを
   前記カセット頂部から変位した位置に取付ける手段と、
   前記トレー及び担持されているマスクを前記カセットか
   ら前記変位位置へ搬送する手段とを有することを特徴と
   するマスク搬送装置。 ５５、特許請求の範囲第５４項に於いて、前記変位位置
   に於いて前記支持部材と固定した関係で前記担持したマ
   スクを前記位置へ取付ける手段を有することを特徴とす
   るマスク搬送装置。 ５６、特許請求の範囲第５５項に於いて、前記担持した
   マスクを前記位置に取付ける手段がマスク整合器である
   ことを特徴とするマスク搬送装置。 ５７、特許請求の範囲第５６項に於いて、前記マスク整
   合器が前記搬送手段によって搬送されてくるマスクを保
   持すべく構成されている真空カップ手段を有することを
   特徴とするマスク搬送装置。 ５８、特許請求の範囲第５４項に於いて、前記カセット
   内のマスクに対してキャリプレーション組立体を置換し
   、前記組立体が前記変位位置へ搬送されてその位置に於
   いてマスク保持装置を較正することを特徴とするマスク
   搬送装置。 ５９、マスクカセットに於いて、閉塞した頂部部分から
   垂下する側壁を具備した下部開放カバーと、前記カバー
   の開放底部を横切って着脱自在に延在しており且つマス
   クを支持すべく較正されている底部トレーと、前記カバ
   ーに関して前記トレーをロック及びアンロックする為の
   機械操作される手段とを有しており、前記トレー及び支
   持されているマスクがアンロック状態に於いて前記カバ
   ーから下方向へ取り出すことが可能であることを特徴と
   するマスクカセット。 ６０、特許請求の範囲第５９項に於いて、前記カセット
   及び支持されているマスクがＸ線又は紫外線半導体ホト
   リソグラフィーに於いて使用されるか又はマスクの製造
   、検査及び修復に於いて使用されることを特徴とするマ
   スクカセット。 ６１、マスクを使用するリソグラフィ一方式に於いてマ
   スクを固定位置へ搬送すると共にロードする方法に於い
   て、上部カバーとそれにロックされた底部可動トレーど
   を具備し前記トレーがその内側表面上にマスクを載置し
   ているカセットをローディング機構内へ配置し、真空カ
   ップ上部を具備するリフトシリンダを前記トレー下側の
   所定位置へ移動させ、前記真空カップ上部を前記トレー
   の外側底部表面と真空係合関係に位置付け、前記トレー
   を前記カバーからアンロックし、前記リフトシリンダと
   トレーと担持されているマスクを前記カバーから分離し
   、アーム上の前記リフトシリンダを前記固定位置へ横方
   向に搬送し、前記リフトシリンダとトレーと担持されて
   いるマスクと前記固定位置に於いて真空保持手段を具備
   するマスクホルダと当接する位置へ上昇させ、前記マス
   クを前記トレーから前記真空保持手段へ転送させ前記リ
   フトシリンダとカップとトレーとを下方向へ移動させる
   と共に前記アームを前記固定位置から横方向へ移動させ
   て前記マスクを阻止されずに使用することを可能とする
   ことを特徴とする方法。