JPS605127U - 半導体ペレツトの位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の前提となる、ペレットピックアップ
およびボンディングの方式の説明図、第２図は、従来例
を示す斜視図、第３図は、本考案の全体構成を示す斜視
図、第４図は、制御部の正面図゛、第５図は、第３図の
■−Ｖ線断面図、第６図は、位置決め部の作用説明平面
図、第７図は、本考案の特有の効果を説明するための第
５図に相当する図である。 １１・・・・・・位置決め面、１３．１４・・・・・・
爪部材、ｉｏ・・・・・・カムフォロア、２１・・・・
・・第二カム、２５・・・・・・運動伝達手段（コネク
ティングロッド）、２６・・・・・・腕、２７．２８・
・・・・・アーム、２９・・・・・・クランク、３０・
・・・・・カムフォロア、３１・・・・・・第一カム、
３４・・・・・・マイクロメータ、３５・・・・・・ス
ピンドル、３６・・・・・・バネ、Ｃ・・・・・・固定
支点、Ｄ・・・・・・移動支点。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 次のことを特徴とする、半導体ペレット位置決め装置、 ■　位置決め面の中央のペレット載置部に向かって弾性
   的に移動するようにした二個またはそれ以上の爪部材に
   それぞれカムフォロアを取付１．ｊ、一方上記爪部材の
   カムフォロアに同時に当接して前記爪部材を往復動させ
   つる第二カムを設けたこと、 ■　一端を固定支点に対して回動可能に支持させた腕を
   設けるとともに、バネによりこの腕を一方向に弾力的に
   回動する傾向を与え、かつ、この腕の中間部における移
   動支点に対し、二本のアームを有するクランクの中間部
   を回動可能に支持したこと、 ■　前記クランクの一方のアームにカムフォロアを取付
   るとともに、このカムフォロアに当接する第一カムを設
   け、この第一カムが駆動されると、前記クランクが揺動
   するようにしたこと、■　前記クランクの他方のアーム
   と前記第二カムとを運動伝達手段によりつなげたこと、
   および、 ■　前記腕の連部に、マイクロメータのスピンドルを、
   前記バネの弾性力に対抗するように当接させたこと。