JPS60501850A

JPS60501850A - 低密度反応接着体の使用によるホツトプレスした窒化ケイ素の製造

Info

Publication number: JPS60501850A
Application number: JP50267683A
Authority: JP
Inventors: エジス，アンドレ
Original assignee: フオ−ド　モ−タ−　カンパニ−
Priority date: 1983-07-19
Filing date: 1983-07-19
Publication date: 1985-10-31
Also published as: DE3377984D1; WO1985000590A1; EP0150178A1; AU563498B2; AU1829883A; EP0150178A4; BR8307737A; EP0150178B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】低密変反応接着体の使用によるホソトゾレヌした窒化ケイ素の製造技術分野本発明はセラミックス、詳しくは窒化ケイ素をホットプレスする技術に関する。

発明の背景及び先行技術の状態本発明は出発物質としてのケイ素又は窒化ケイ素の粉末からホットプレスした窒化ケイ素の製造技術の改良に関する。ケイ素粉末から出発する場合にはそのような粉末をまず反応性窒ｆヒガスに供して混合相の多結晶性窒化ケイ素剛体を形成し、次いで該剛体釦ホノトゾレスする。この技術範囲内に該粉末材料を間めるための数種の方法が存在する。すなわち（ａ）窒化前に、又は窒化することなく該操作の早期段階として粉末プリフォームに冷間圧縮成形又は冷間形成すること（米国特許第３，８３９，５４０号明細書参照）、（ｂ）圧縮１Ｊン゛形せずに窒化すること（本出願人に通常譲渡された米国特許出願通番第４４８，８８９号明細書参照）、及び（Ｃ）　予め圧縮成形又は窒化せずに、８１３Ｎ４を使用する操作の最終段階としてホットプレスすることによるものである。

２任命の＋２アグロメレーノヨン技術を使用して予備成形した、又は得られたケークは該材料の十分な微密化を達成するためにν常に長し）ホノトフ０レス１１程を必要とする厳密な高さ対中の比を示す。例えば該ケーク及びフ０リフォームは０．９〜２．５９ｍ１ｃｍ”の密度を倚する場合があす、シかも６２５９ｍ／− ３又（はそれ以上の密度に転化させなけハはならない。長い圧縮行程は特にホノ［・ブレスンこ関係する高温高圧条件下において有意のｆａｌｌ壁抵抗、すなわちケーク又はビレットの側面と圧縮キャビティーの内壁との間の界面における１禁擦障害を引き起こす。該側壁抵抗は該材木１内の温度勾配及び圧力勾配に関連して「物質移動」を生じ、得られた圧縮生成物のわん状変ｆＹ　’Ｂｒ来（ａ＋、＋；ｈ１ｎｇ　５ｆｆｅｃｔ　）を生じさせる。こ′Ｉ］−は全く明言することかできる。

１記に示しだ不利益なしに比較的に低密Ｌヶのケ〜り又にフ０リソオーツ、をホノ［・プレスすることのできる方ｔ！、が必要である。

発明の要約本発明は多数の予備成形したセラミック　）０レートを、該フ０レートを円筒状キャビティーを囲む壁に沿って軸流圧縮（（Ｉ　Ｘ　ｌ　ａ　ｌ　Ｃｌ）ｍ　ｐ　１”　ｅ　Ｓ　ｓ　１０１１　）することにまり十分に微密化する方法であるっ壕ず一連の予備成形したセラミック　プレートを該プレートの最小寸法がキャビティーの輔方回に一致し、該フ０レートか１：５から１：４０才での節囲内の最小寸法対最大寸法の比を有し、しかもキャビティーの横方向の寸法よりも小さい寸法を有して該プレートと壁との間に環状の空間を残すよう如して壁に沿って積み重ねる。

次イテ該プレートをキャビティー中に導入する伯父：は後のいずれかにおいて擬イυ平衡（１ツ・：　ｉ３１１１’ｌ　Ｏｉ、５ｏｓｔａｔｉｃ　）加圧媒体を該プレートの周りに置いて、キャビティー内に積み重ねる場合におけろ空間を満たす。積み庫ねた一連の該プレートを、前記空間を満たした媒体と共にホソトフ０レスする。該ホットプレスは前記プレー（・を実質的に十分な密度を有するビレットに変化させるのに十分な温度及び圧力下において行う、。

該）０レートの予備成形は下記のものを含めて多数の方法により達成することができる’、（１）　３．３Ｎ４と緻′、若化添加剤との混合物を加圧下に圧縮成形する、（２）８１３Ｎ４と緻密化添加剤との混合物を非圧力）ζに成形るつぼ中において予熱する、（３）クイ索ｒ属扮末と機器化添加剤との混合物を圧縮成形し、次いで該混合物を適当な成形皿に３いて窒化する。及び（・１１　ケイ素金匡粉末と緻密化添加剤との非圧縮成形混合物を適−！＋な吸形皿において窒化する。

好ましくは該擬似平衡加圧媒体を窒化ホウ素粉末、りん状黒鉛、窒化ケイ素と窒化ホウ素との粉末混合物１粉砕ホウケイ酸ガラス、及び黒鉛箔りり成る群から選択する。該環状間隙はギヤビデイーの半径に沿って測定シテ１／８〜１／６４インチであるのが好ましい。該擬似平衡加圧媒体（は下記の様式、すなわち注型、振動、スラリー被覆、又（ｄ移植（ｉｍｐ］、ａ、ｎｔａ−ｔｉｏｎ　）の一つによってビレットの周囲に配置することができる。

該プレートは０．８〜２．４９ｍ／ｒｓ′３の全範囲（・てわたる密度を有することが好ましい。有利にＩハ該予備成形したデｌ／−１−は窒化ケイ素と圧縮助剤との粉末混合物を冷間圧縮成形することにより製造し、各）０１７）フォーｌ・はホットプレス前の密度１，６〜１．８９ｍ　ｌｏｎ　”を崩すん該予備成形し２′Ｉζフ０レートは約５枚の群として積み重ね、各群は剛性の不活性スに一す−（黒鉛のような）により４に隔離し、該スペーサーは該円筒状ギヤビプ１＝を横切って緊密（で適合し、た横方向の寸法を有する１、空間に１．・ま窒化ホウ素粉末を満たすことか好寸しい、。

Ｌ記の代りにｒ　Ｓｌ　＠唄を冷間圧縮し、次いて￥化することにより、好ましくは２．０〜２．３　、！／ｍ／ｃｃの密度を有するビトノトを製造する。該ブレーＩＢＩＪ又はグラボイル（Ｈｒａｆ’ｏｔｌ　）ン′−［・のような覗型有１１（てより畷離し、−方を他方の上に重ねて、ホットプレスする際に何効ホノトゾレス帯域を占める高さとする。黒鉛のような剛性スペーサーは使用しない。

あるいは−また、ケイ素及び融剤の非ｊモ縮成形量を窒化雰囲気中において加熱し、該混合物を十分（・（反応、６せて反応結合したケークを生成させることによりビレノー・を好都合に製造する。該ケークはそれぞれ１．１〜１．８　ｇｍ、　／　ｃｃの密度を有する。っ該反応結合しだケークは前記空間を満たすのに効果的である数層の黒鉛箔（でよって包む。

図面の要約第１図は本発明の原理によりホノトフ０Ｉ／ヌする準備のできた、積み重ねられた一連の予備成形′Ｌだフ０レートとホットプレス装置との概略的断面図である。

第２図、及び第６図は別法１・てよりホノトフ０レスするだめの、第１図に類（１４する図面である。。

発明を実施するだめの最良の伸様不発明を実施するだめの奸件しい方法は１−′記のとお粉末ケイ素と、該クイ索粉末−Ｌの酸化物膜としての８１０２と、少くとも１種の反応性５素担持剤との混合物を調製する。該反応性酸素世持剤は本明細書において、加熱された窒素雰囲気下にケイ素と反応した場合に第二次相微結晶（Ｓ　ｅ　ＣＯｎ　ｄ　ｐ　ｈ　１Ｓ　ｅ　Ｃｒ　Ｙ　５　ｔａ　］、　ｌ　１　ｔｅ　）、特にオキシニトリド及び／又（Ｌ′ｉ、適当なケイ酸塩を生成する効果のある粉末成分、又はホットプレス操作自体の間に発育する該粉末成分を量体するものと定義する。

該酸素担持ｉ１」は緻密化剤とし７て作用し、かつＹ２Ｏ３、６Ｍｇ０　、ＣｅＯ２、ＺｒＯ２、Ｈｆ　Ｏ２ならびにその件の希土類より成る群から好都合に選択することができる。

好ましい方法のためには均一な粉末混合物を、ケイ素２０００グラム（混合物の８６．６重量％）、Ｙ２Ｏ３２７８グラム（混合物の１２重量幅及びケイ素の１６．９重量％）、及びＡ１２ｏ３６２クラム（混合物）１．４重量％及びケイ素の１．６重量％）により調製する。

酸素担持剤として使用することのできる範囲は混合物の０．４〜２．３モル係、及びケイ素の０．４２〜２．４重量％である。

通常と許容される不純物及び粒度については本出願人に通常譲渡された同時係属米国特許出願通番第４’４４，２５１号明細書に更ｉ（詳細に記載されており、該明細書の開示は参考として本明細書に組み入れる。

（ｂ）　摩砕該混合物をプランダム（Ｂｕｒｕｎｄｕｍ　）シリンダーの形状の粉砕媒体（Ａ４２ｏ３８５　％、５１ｏ２１１％、　ＭｇＯ２％、ｃａｏ　１．２　％、ＴｌＯ２、Ｆｅ２Ｏ３、Ｎａ２Ｏ及びに２ｏの組合せ０．８　％　）と共に不活性閑砕びん中に装入することにより微粉砕し、かつ混合する。該混合物を６４ｒｐｍにおいて約４８時間にわたって摩砕し、次いで４Ｐ１０メツシユの篩の使用により媒体から分離する。

この摩砕は乾燥状狸において行う。得られる摩砕混合物はその少くとも５０重量％を平均粒径約４ミクロンにおいて有シ、シかも９０重量％を２６ミクロンよりも特表昭ＧＯ−５０１８５０（４）小さい粒径において有する。

（ｃ）　炉中への粉末供給物の仕込次いで該摩砕した混合物を、炉中への運搬設備として使用する概して平らなけ火 ■又は耐火プレート上に注ぐ。該皿は材料がプレートの縁を鍾えてこぼれるのを防止するためにのみ十分な高さのリムを有することができる。しかしながら該フ０レートの直径又は・購方向の寸法はその寸法が、後にホットプレスのために使用する円筒状キャビティー１４の直通１８よりも小さい直径１６を有する予備成形したプレート又はケーク（第１図参照）を形成するように定めるべきである。

この差はプリフォーム２１の周囲に環状空間１５を考慮するためであり、この空間は平衡加圧媒体により満たす。形成すべき各ビレット２１の最小寸法ζ最人士法の比は１：３から１＝４０までの範囲であるべきである。

該粉末混合物は皿を横切って概して均一に分布し、１〜２インチの範囲の厚さを待たせる。所望形状の粉末を加熱炉に運ぶために他の形状のキャリヤーを使用することができる。例えば円筒形状又はキユービクル形状の耐火型炉取付具を使用することができ、あるいは最終製品に所望される一般断面形状に類似し、しかもホットプレス用円筒の断面に類似する一般断面形状を有するその他の多角形も使用できるっ該炉取付具は該粉末をその中に注ぎ込み、収容し、が支持することができるけれど、圧縮成形はされないようだ設計されている。上記のようなキャリアー落は炉取付具上の、ゆるい、圧縮されていない粉末の密度は０．４〜１．２９ｍ１（至）３の範囲、好ましくは１　、ＯｆＪｍ　／、ｓ　３よりも少くでよい。該密度は粒度及びケイ素粉末の粒度分布の関数である。しだがって例えばケイ素粉末供給物が１０ミクロンよりも大きくない最大粒径を有する場合には径基準において、ゆるい密度は約０．５０９ｍ／Ｃｍ”である０（ｄ＋　窒化物の加熱次いで該ゆるい混合物を適当な窒化雰囲気中においで加熱して、窒化ケイ素包含プリフォームを製造する。

該炉は１ミクロンより小さい圧力に減圧排気し早い速度、すなわち５００’Ｆ／時（２７０℃／時）から１２００’″Ｆ／時（６４９℃／時）において加熱するととが好ましい。

次いで炉を、窒素９７重量係、水素６係より成る約２．７　ｐｓｉｇの圧力における気体混合物により満たす。

次いで炉の温度を段階的に増加させ−ｒ２０００〜２６００’Ｆ（１０９３〜１４２７℃）の最終窒化温度にする。その後において該温度を一定に保つ。新鮮な窒素を断続的に炉に供給して窒化ケイ素の生成において消費した窒素を補充する。米国特許第４，２３５，８５７号明細書（マンケゞルス）に示されるような任意の慣用の窒化手順を使用することができる。該明細書の開示は参考として本明細書に組み入れる。

窒化手順は約７２時間にわたって行い、すべての場合に８０時間よりも長くない。この時間はさきに圧縮成形されている窒化ケイ素の窒化手順（Ｃ要する通常の時間の半分よりも多い。窒作中にゆるい粉末１・昆合物を使用することによりケイ素と窒素との間に生ずる通常の発熱反応が抑制され、かつそのような速やかな発熱反応を静めて、若干のケイ素粒子の無制御の、又は局部的な融解が防止される。ケイ素粒子が融解すればそれらは適切に窒化することができず、ホットプレス製品の若干の物性に悪影響を及ぼす結果を生ずる。そのほか、該融解した粒子が流動床中に集合し、これが通常の拡散操作が行われるのを妨げるのでアルファ窒化ケイ素に必要な窒素の拡散が抑制される。

該窒化した予備成形プレートは好ましくは１．１〜１、δｆ１ｍ　／ＣＭ３の密度を有し、かつ窒化ケイ素（その少くとも６０重量％は好捷しいアルファ相である）を３〜１５％のケイ素イツトリウムオキシニトリドと共に含有する。

２　積み重ね第１図に不すように、多数の予備成形したプレート２１をホットプレス装置１０内に、該予備成形したプレートの最小寸法（厚さ）を壁１４により定められる圧締（ｐｒｅｓｓｉｎｇ　）キャビティーの軸４９の方向に−１０致させて直列に積み重ねる。該プレートは窒化ホウ素又はグラフオイルのような、いずれも剛性スペーサーどして作用しない、薄い離型剤により被覆することが好ましい。該フ０レートの数は介在するスペーサーを使用しない積み重ねにおいて好ましくは１０〜１２であることができる。

該装置は内側壁面１４を定める黒鉛円筒１１と、少くとも１個が軸方向に動いて圧締力２３を与える黒鉛７０ラノジヤ１２及び１３とを有する構造を持つものである。該予備成形したプレートは５Ｌ３Ｎ４の反応結合体に灼して０．８〜２．０　ｙｍ／ａｍ３、好捷しくは１．１〜１．８ｙｍ／ｃｍ”の密度と、１：６から１：４０までの範囲における最小寸法１７灼最大寸法１６の比とを有することができる。最大・士法は、ビレットの外壁２０と円筒１１の内壁１４との間に環状空間１５を残すために圧締キャビティーの横方向の寸法１８（内径）よりも小さくなけれはならない。該空間は圧締キャビティーの半径１９に沿って／８〜／。４インチのオ云を有する。

６、　充てん空間環状空間１５を、好ましくは窒化ケイ素粉末、りん状黒鉛、窒化ケイ素と窒化ホウ素との粉末混合物（約５０１５０）、粉砕ホウケイ酸ガラス、及び黒鉛亀より成る群から選択した擬似平衡加圧媒体により勇た力該平衡媒体は、その緻密化工程を妨げないように、予備成形したフ０レートにより経験された圧縮比よりも高い圧縮比を有しなければならない。この実施態様においては、６フ０ライＣ厚さ約０．００８〜０．０１０インチ）の黒鉛箔でビレットの外径の周りを包んで、予定空間１５を占拠し、かつ満たす。空間１５に擬似平衡加圧媒体を配置する、その他の方法としては圧型、振動、スラリー被覆、ならびにその他の形態のインブランチ−７ヨン（移植）を包含することができる。

４　ホットプレノシフグ次いで該積み重ねた予備成形プレートを適当な平衡加圧媒体と共にホットプレスして、要求される寸法及び密度を有する窒化ケイ素包含ビレットを製造する。

加熱及び圧縮は増分的に行うことが好ましい：（１）約１００　ｐｓｉの機械的荷重を室温（（おいて物体にかける。このような荷重は、窒ｆヒプレートを予め緻密化することが所望の場合には２０００父は６０００ｐｓｉまで増加させることができる。

（２）次いで温度を１８００壬（９８２℃）に上はかつ圧力をかなりの高水準に増加させる。

（３）　次いで温度を２５００丁（１３７１℃）に土は同時に圧力を２５００　ｐｓｉに増加させる。

（４）最後に温度を３０００下（１６４９°Ｃ）のホットプレス温度に上げ、圧力に５７００ｐｓｘに増加させ、後者の条件を理論的に完全な密度の少くとも９９％、または望ましくは９９．５％か達成されるまで維持する。

これには通常にホットプレス温度において０．２５〜２２．０時間を要する。次いで該目的物を、′＠、冷さえも含めて任意の速度で室温に冷却する。得られる目的物は実質的にベータ窒化ケイ素と２．９〜１４．４重量係のケイ素オキシニトリ１及び少量の、恐らくはアルミニウム含有ケイ酸塩であるケイ酸塩がラスとより成る。

５　別法好ましい態様は１５００　ｐｓｉ以上の圧縮力を使用し、ケイ素金属混合物全冷間圧縮成形して低密度の予備成形したプレート（約１．４ｇｍ／ｃＩｎ３の密度）を形成することにより簡単に変えることができる。次いで該シリフオームを好ましい態様としての窒化及びポットプレスにより加工する。フ０レートを、分離手段としての窒化ホウ素によりコーティングする。擬似平衡加圧媒体は好ましくは窒化ケイ素５０％と窒化ホウ素５０％との粉末混合物であるよりに選択する。

該媒体を空間１５に満たす。この場合もまたかレート間又はプレート群間に剛体スペーサーは不要でりる。

該プリフォームはまた窒化ケイ素粉末と緻密化助剤とを混合し、該混合物を１：６から１：４ｏまでの範囲における、要求される厚さ３８苅幅３９の比を有するプレートに冷間圧縮成形又は予熱することにより製造することもできる。圧縮成形する場合は、約１５００ｐｓｉの圧力を使用して上記プレートにおける１、６〜１．８　ｇｍ／ｃ１ｎ３の密度を与える。予熱する場合は不活性雰囲気中における約４〜４０時間にわたる約２２００〜４５００下の温度を使用するっ第２図１だ示すようにビレットは現寸の剛性黒鉛スペーサＷ直径５０を有する）により長さ方向に隔離され、かつ環状スペーサー３５及び３６により壁１４から横方向に離された５枚の群（群２２は部材２４〜２８を有し、群２３（ｄ部材２９〜３３を有する〕の状態において積み重ねることができる。空間は１／８〜１／］６イｔの半径方向寸法３７を有し、かつ窒化ホウ素粉末により満たされている。

温度を１７５０℃に上昇させる点を除いて該好ましい実施態様の加熱順序を採用する間に、両方のぎストン１３及び１２が動いて該償み重ねたビレットを２軸圧縮する。

もし１０枚以上のプレートを同時（でホットプレスすることか望ましければ、それらは最小運動帯域２４から遠方になるほど数が減少する群の状態でキャビティー内に配列すべきである。説明のため（第６図参昨λプレート４３の群は剛性黒鉛部材４４上に配置され、かつ５個のビレットを含み、この群は最小運動帯域にある。プレート４２０群は３個のビレットを含み１群４１及び４０はそれぞれ２個及び１個のビレットを會み、かつ最小運動帯域から更に遠方に配置される。これらの群は増進的に厚くなる剛性黒鉛スペーサー４５．４６及び４７により隔離される。該スペーサー（は円筒状壁５０の内部に密接１ｃ適合するのに効果的な直径を有する。空間１５は黒鉛箔の層によって満たす。

本発明方法の大きな利点の一つはホントプレスの留果としての化学反応によって汚染されていない黒鉛ホットダンス装置部材の再使用能力である。該装置は本方法にしたがい、特別の再調整なしに２０回又はそれ５　以上使用した。

≦旨コ＝ミ；・工・二＝ヰ＝；・已・ニ＝臣至＝＝・二・国際調査報牛

Claims

【特許請求の範囲】１　多数の予備成形したセラミック裂フ０レートを、円筒状キャビティーを定める壁に沿って前記フ０レートを軸流圧縮することにより十分に緻密化する方法において。（ａ）　−一連のΦ前記予備成形したセラミックス製プレートを前記壁に沿って、前記プレートの最小寸ｆ去が前記キャビティーの軸と同一方向に揃い、それぞれの前記プレーｉ・が１：６から１＝４０までの範囲における最小寸法対最大寸法の比を有し、前記最大・型抜か前記キャビティーの横方向の・」−法よりも小であって、前記フ０レートと壁との間：、こ環状空間を・残すようにして槓み重ね：（ｂ）　前記プ゛レートの＠記キャビデ・イーへの導入の後文（ｒよ前のいずれかにおいて擬ｆυ平衡加ｌ：＋（ｐ・３モ月１ｄ○Ｌ；’、０ｓｔａｔｌＣｐｒｅｓｓｌｎｇ　）媒体を前記フ０レートの筒り：・ζ配置して、前記キャビティーに槓み重ねら７Ｆした場合・、・こおける前記空間を渦たし：次いで（Ｃ）　前記積み重ねられた一連の予備成形したフ０レートを、前記空間を尚たした前記加圧媒体と共にホノトフ０レスし、前記ホノトフ０レスを、前記フ０レートか実質的に十分な密度（ｒ’ｂするビレットに転化するのに十分な温度反ひよりを匝用して行う、ことを包含する前記方法。２　前記擬似平衡加圧媒体を窒ｒヒホウ素粉末１．鱗状黒鉛、窒化ケイ素と窒化ホウ素との粉末混合物、粉砕ホウケイ酸がラス、及び黒鉛箔より成る群から選択する。請求の範囲第１項記載の方法。６　前記環状空間が前記キャビティーの半径に沿って１／〜１／　インチの寸法を有する、請求の範囲第８　６４１項記載の方法。４　前記擬似平衡加圧媒体を次の態様：注型、振動、スラリー被覆又は移植（工ｍｐｌａ、ｎｔａｌｒ＊ｒ１）の一つによって＠記フ０レートの周りに配置する、請求の範囲第１項記載の方法。５　工程０）における前記フ０レートの徨１度か０８〜２４９ｍ／ｎｎ”の範囲にある、請求の範囲第１項記載の方法。６　多数の冷間圧縮した窒化クイ素子備成形プレートを、円筒状キャビティーを定める壁（・て沿って前記）０レートを軸流圧縮することにより上方に緻密化する方法において：（ａ）　一連の前記フ０レートを前記壁シで市って、前記フ０レートの最小寸法が前記キャビティーの軸と同一方向に揃い、前記プレートが１．６〜Ｃｄ　９ｍ１ｃｍ”の範囲における密度及び１．６から１：４Ｑｉでの範囲における最小寸法対最大寸法の比を有し、前記最大寸法が前記キャビティーの横方向の寸法よりも小さくて前記フ０レートと壁との間に環状空間を残すようにして積み重ね；（ｂ、前記環状空間を平衡加圧媒体ＩＣより満たし：次いで（ｃ）　前記積み重ねた一連のフ０レートを前記空間における前記加圧媒体と共にホットプレスし、前記ホノトフ０レスを前記フ０レートの実質的て十分な密度を達成するのに十分な温度及び圧力を使用して行う、ことを包含する前記方、去。７　前記プレートをビレット群の間に介在する剛性の不活性スペーサーと共に積み重ね、各スペーサーは該円筒状キャビティーを横切って密接に適合するのに効果的な横方向の寸法゛を有する、請求の範囲第６項記載の方法。８　前記プレートの群のそれぞれの数が約５である、請求の範囲第７項３己範の方、去。９　多数の反応結合した窒化ケイ素の予備成形プレートを、円筒、状キャビティーを定める壁に沿って前記ビレットを細流圧縮成形することにより十分に緻密化する方法において：（ａ）　一連の前記予備成形したプレートを前記壁に沿って、前記プレートの最小寸法が前記キャビティーの軸方向に揃い、前記プレートが２．０〜２．４　ｊ１ｍ／ｌｙｎ”の範囲における密度及び１′ろから１：４０−１での範囲における最小寸法附最大寸法の比を有し、前記最大寸法が前記キャビティーの横方向の寸法よりも小であって前記プレートと壁との間に環状空間を残すようにして積み重ね：（ｂ）　前記環状空間を観して等量の窒［ヒケイ素粉末と窒化ホウ素粉末とより成る擬似平衡加圧媒体により満たし：次いで（Ｃ）　前記積み重ねた一連のビレットを前記空間における前記媒体と共にホットプレス已、前記ホットプレスを、前記フ０レートの実質的に十分な密度を達成するのに十分な温度及び圧力を使用して行う、ことを包含する前記方法。１０　粉末化したケイ素と、この混合物のホットプレスを助成するだめの融剤との混合物の圧縮成形量ｒ加熱し、前記加熱をホノトフ０レスに通常に関係する圧力を使用することなく適当な窒ｆヒ雰囲気中において行い、前記混合物と前記雰囲気とを完全に反応させて窒１ヒケイ素包含プレートを形成し、前記混合物が増大された細孔網状組織を有して該雰囲気の内方・＼の移動効率を高め、かつ雰囲気に露出される増大された表面積？有して窒化拡散距離を減少させることにより前記反応結合したビレットを特徴する請求の範囲第９項記載の方法。１１　前記擬似平衡加圧媒体かすべての＠記プル−トの側面を囲み、しかも前記積み重ねた一連のビレットの頂部及び／又は底部に加圧力金加えつつ、前記壁とグレートとの間における単独加圧媒体として作用する、９請求の範囲第９項記載の方法。