JPS6049154U - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置Info
- Publication number
- JPS6049154U JPS6049154U JP14242683U JP14242683U JPS6049154U JP S6049154 U JPS6049154 U JP S6049154U JP 14242683 U JP14242683 U JP 14242683U JP 14242683 U JP14242683 U JP 14242683U JP S6049154 U JPS6049154 U JP S6049154U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma processing
- temperature
- processing equipment
- temperature sensor
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のプラズマ処理装置における被処理物温度
の測定部分を示す断面図、第２図はこの考案の一実施例
によるプラズマ処理装置における被処理物温度の測定部
分を示す断面図である。 図において、１は被処理物、５は温度センサー、６は光
ファイバーである。なお、図中、同一符号は同一または
相当部分を示す。
の測定部分を示す断面図、第２図はこの考案の一実施例
によるプラズマ処理装置における被処理物温度の測定部
分を示す断面図である。 図において、１は被処理物、５は温度センサー、６は光
ファイバーである。なお、図中、同一符号は同一または
相当部分を示す。
Claims (1)
- 高周波電源よりプラズマを発生させ、所定温度で被処理
物をプラズマ処理するものにおいて、上記被処理物の温
度により光学的特性が変化する温度センサー、およびこ
の温度センサーとの間で光学的信号を伝搬する光ファイ
バーにより、上記被処理物の温度を検知するようにした
ことを特徴とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14242683U JPS6049154U (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14242683U JPS6049154U (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | プラズマ処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049154U true JPS6049154U (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=30318246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14242683U Pending JPS6049154U (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049154U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6233775A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-13 | バルツァース・アクチェンゲゼルシャフト | プラズマ増強化学蒸着のためのプラズマ装置 |
-
1983
- 1983-09-13 JP JP14242683U patent/JPS6049154U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6233775A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-13 | バルツァース・アクチェンゲゼルシャフト | プラズマ増強化学蒸着のためのプラズマ装置 |
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