JPS6049002A - Preparation of polyvinylpolysiloxane polymer - Google Patents

Preparation of polyvinylpolysiloxane polymer

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JPS6049002A
JPS6049002A JP15597383A JP15597383A JPS6049002A JP S6049002 A JPS6049002 A JP S6049002A JP 15597383 A JP15597383 A JP 15597383A JP 15597383 A JP15597383 A JP 15597383A JP S6049002 A JPS6049002 A JP S6049002A
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  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the titled polymer useful as a heat-resistant electrical insulating material, etc. having improved solubility and processing properties, by subjecting a vinylsilane compound to vinyl polymerization to give a prepolymer, subjecting it to polycondensation through dehydration in the presence of a specific jointing agent, silylating the polymer with a terminal stopper. CONSTITUTION:A vinylsilane shown by the formula I (R<1> is hydrocarbon, or fluorine-substituted hydrocarbon; X is hydrolyzable group) or a compound obtained by replacing hydrogen of its vinyl group with fluorine is subjected to vinyl polymerization to give prepolymer having >=1 polymerization degree, which is subjected to polycondensation through dehydration in the presence of a jointing agent such as a compound shown by the formula II, a vinylsilane polymer having <=6 polymerization degree, its hydrolyzate, its hydrolyzed dehydrated condensate, etc., and if necessary, the remaining silanol group is silylated with a terminal stopper such as a compound shown by the formula III or formula IV(Y is bifunctional hydrolyzable group), to give the desired polymer.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明(は新規なポリビニルボリシロキツ“ンポリマー
の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for producing novel polyvinylbolysiloxane polymers.

現在電子材料生産の分野で高性能の好]熱絶縁拐゛科の
出現に対する強い要望がある。その耐熱絶縁材料に要求
される性能としては次の」:うなものがある。
Currently, there is a strong demand for the emergence of high-performance thermal insulation materials in the field of electronic material production. The following properties are required for the heat-resistant insulating material:

■250“C以上の耐熱性を持つこと。■Have heat resistance of 250"C or more.

■適当な溶媒に可溶であること。■It must be soluble in an appropriate solvent.

■溶媒にm解した後の安定性があること。■It must be stable after being dissolved in a solvent.

■儀膜を厚くできること。■The ritual membrane can be made thicker.

■加熱など外部からの作用により塗膜に亀裂を生じない
こと。
■The coating film should not crack due to external effects such as heating.

■塗膜にピンホールができないこと。■There should be no pinholes in the paint film.

CD段差平滑性を・[Iし、半導体用ステップカバレー
ジ剤として使えること。
It has good CD step smoothness and can be used as a step coverage agent for semiconductors.

これらの性能を満たすポリマーが得られると生得体用と
して、パッシベーション膜、% )−配緋用崩間絶縁1
模、リフトオフ膜などの用途が開けると共に柚々の高性
能絶縁材料と12での用途か開ける。
If a polymer that satisfies these properties is obtained, it can be used as a passivation film for innate materials, %)-disintegration insulation for insulation 1
In addition to opening up applications such as mold and lift-off membranes, it also opens up 12 applications as high-performance insulating materials.

従来電子材オ・)分野で耐熱絶(す;材料としてシリカ
、ポリイミドなどが使用さノー1でいるが、加工性や」
二記11ir@などの面で必ずし、も満足のいく材イ・
斗とiLaえない◎ そこで、不発切論らt、1、ポリシロキサン紫主体とr
る耐熱+eλ奴油、シリカ(SiOi:)に見られるよ
うにシロキサン結合は耐熱絶縁性を持つことに着目した
。これらは現在使用法、成形加工性などに関して、前者
は油状ないし低融点の材料で固体絶縁材料として使用し
難い。後者は絶縁a、tどの形成にはCV IJ (C
bernicalVapourDeposition 
)法などによらねばならずl1iJ厚、平滑性などにも
問題が多い。そこで、更に、シロキサン結合金イ1のラ
グ−ポリマーが着目された。
Conventionally, silica, polyimide, etc. have been used as heat-resistant materials in the field of electronic materials, but they are difficult to process.
In terms of things such as 2nd record 11ir@
Dou and iLa are not available ◎ Therefore, Fukakiriron et al. t, 1, polysiloxane purple-based and r
We focused on the fact that siloxane bonds have heat-resistant insulation properties, as seen in silica (SiOi:). Regarding the current usage and moldability of these materials, the former is oily or has a low melting point and is difficult to use as a solid insulating material. The latter is CV IJ (C
bernicalVapourDeposition
) method, etc., and there are many problems with l1iJ thickness, smoothness, etc. Therefore, further attention was paid to lag polymers of siloxane-bonded gold I1.

ラダーポリマーは、ポリマーの祷W;性、lNI4熱性
などを改良する一つの方法でるることが知られている。
Ladder polymers are known to be one way to improve the properties, heat properties, etc. of polymers.

しかし、シロキサン結合金不のラダーポリマーとして、
一般式 のよう々全70ギサンラタ゛−ポリマーも発表されてい
る( tl:J開開56−49540号)ンバ、合成法
が爺しく、また塗膜にju裂が生じ易いなどの問題があ
り未だ実用化されていない。
However, as a siloxane-bonded gold-free ladder polymer,
Similar to the general formula, a 70-gisane polymer has also been published (tl: J-Kokai No. 56-49540), but the synthesis method is long and there are problems such as the tendency to cause cracks in the coating film, so it is still not in practical use. has not been standardized.

また一般式 のような含シロギサンラダーポリマーも合成されティる
(米国特wt第84858570’J#jfl誓)が、
分子量が低く塗膜に亀裂が入り易いという問題かめる。
In addition, a ladder polymer containing silane as shown in the general formula has also been synthesized (US Pat. No. 84858570'J#jfl).
There is a problem that the molecular weight is low and the coating film is prone to cracking.

これは、ポリビニルシランの重合度は一般に余り高くな
く、従来の報告が示すようKM会合法よる左はあるも2
0以下でめることが一つの原因になっていると考えられ
る。
This is because the degree of polymerization of polyvinylsilane is generally not very high, and as shown in previous reports, there is a difference between 2 and 3 using the KM association method.
It is thought that one of the reasons is that the value is less than 0.

本56明の目的は、これら含けい累ラダーポリマーの欠
点全改せし、上記性能を廟する新規なホ17ビニルボリ
シロギザンポリマーを11惧−rることである。
The purpose of the present invention is to overcome all the drawbacks of these dielectric ladder polymers and to develop a new polyvinylbolysilogysan polymer which exhibits the above-mentioned properties.

7I−冗明は、一般式CH2=(JI SiR’Xz 
(ここにR1は炭化7J(素基又はF kk換炭化水水
素、Xは加水分m性の基で、同一分子内において同極で
あっても−X4zであってもよい。)で表わδれるビニ
ルシラン又はそのビニル基におFfる水素を弗素で直侯
し7こ化合物(以−ト、これらt「ビニルシラン」と総
称する。)をビニル重合し、得られたビニル重合体を酸
又は塩基の存在下に加水分解脱水動台することを包含す
る高重合度のポリビニルボリシロキサンポリマーの製造
方法において、前記ビニル重合体でろって重合度が7以
上であるもの(以下これを「プレポリマー」という。)
ないしその加水分解脱水稲1f体(以下これを「プレポ
リマー等」という。)を、−で同イ」であっても異種で
あってもよい。)、重合度6以1ζで前記プレポリマー
の■合1jiよりも小さい重合度の前記ビニルシランの
ビニル重会体並O・にそれらの加水分解体及びそれらの
加水分解脱水縮合体から選ばれる少なくとも一独からな
るジヨイント剤の存在下に、脱水縮合重合し、必4J 
(rc応じて残留シラノール基を、一般式R’:+Si
X (ここにR1及びXは前記と同じAイ”味を表わし
、R1は同一分子内において同極であっても異イ!■で
あってもよい。)、又は一般式R’3Si −Y−8i
R’3 (ここにYは二価の加水分解性の基であp、R
1は上記と同じ意味を表わし、同一分子内で同種であっ
ても異種であってもよい。)で次わされる末端停止剤に
よりシリル化することを!ト)ぜkとする前り己高重合
度ポリビニルボリシロギサンポリマーの製造方法である
7I-For clarity, the general formula CH2=(JI SiR'Xz
(Here, R1 is a carbide 7J (an elementary group or a Fkk-substituted hydrocarbon; Vinyl silane or a compound in which Ff hydrogen is directly attached to the vinyl group with fluorine (hereinafter collectively referred to as "vinyl silane") is subjected to vinyl polymerization, and the resulting vinyl polymer is treated with an acid or In the method for producing a polyvinylbolysiloxane polymer with a high degree of polymerization, which includes hydrolysis and dehydration in the presence of a base, the vinyl polymer has a degree of polymerization of 7 or more (hereinafter referred to as "prepolymer"). ).
The hydrolyzed dehydrated rice 1f product (hereinafter referred to as "prepolymer etc.") may be the same or different. ), a vinyl polymer of the vinylsilane having a polymerization degree of 6 or more and 1ζ and a polymerization degree lower than 1ji of the prepolymer; Dehydration condensation polymerization is carried out in the presence of a jointing agent consisting of
(Residual silanol group according to rc, general formula R': +Si
X (Here, R1 and X represent the same taste as above, and R1 may be the same polarity or different polarities in the same molecule.), or the general formula R'3Si -Y -8i
R'3 (where Y is a divalent hydrolyzable group p, R
1 represents the same meaning as above, and may be the same type or different types within the same molecule. ) to be silylated with a terminal capping agent! g) A method for producing a self-polymerized polyvinylborisyrogysanne polymer.

Mff tf己グレポリマーは先にも述べたように重合
度か低く、これを加水分解し分子内脱水縮合してンタ゛
−化しCれから塗膜を作っても亀裂が入り易い。本発明
はこのようなラグ−ポリマー(と推定されるもの)を、
rff+配j’L’2 S iX2もしくは前記比較的
低重合度のポリビニルシラン又はそれらの加水分解体も
しくt、1加水分角’N/廃水ネfh合体をジヨイント
剤として、(加水分解)脱水網台により連結した形の高
分二を址血合体を得るものである。この場合プレポリマ
ーは重合度が高い程最終的に得ら扛る篩分千′M重合体
の耐熱性はよい。このためその重合度it’y以上が適
当である。一方ジョイント剤は、ジヨイント反応(高分
子化反応)の速度を大きくするため、分子量は小さい方
がよい。従ってまた、前記ジヨイント剤としての比較的
低分子量のポリビニルシラン、その加水分解体又はその
加水分解脱水縮合体(以下「低分子量ポリビニルシラン
告」という。)の重合度も低い方がよく、6以下、2以
上が適当である。
As mentioned above, the Mff tf self-grease polymer has a low degree of polymerization, and even if it is hydrolyzed and subjected to intramolecular dehydration condensation to form a coating film from C, it is likely to crack. The present invention uses such a rag-polymer (presumed to be),
rff + distribution j'L'2 SiX2 or the above-mentioned relatively low degree of polymerization polyvinylsilane or their hydrolysis or t, 1 hydrolysis angle 'N/wastewater fh combination as a jointing agent, (hydrolysis) dehydration This is to obtain a combination of high-density parts connected by a net stand. In this case, the higher the degree of polymerization of the prepolymer, the better the heat resistance of the final sieved polymer. Therefore, it is appropriate that the degree of polymerization is at least it'y. On the other hand, since the joint agent increases the speed of the joint reaction (polymerization reaction), it is better to have a smaller molecular weight. Therefore, the degree of polymerization of the relatively low molecular weight polyvinylsilane, its hydrolyzed product, or its hydrolyzed and dehydrated condensate (hereinafter referred to as "low molecular weight polyvinylsilane") used as the jointing agent is also preferably low, and is 6 or less. , 2 or more is appropriate.

前り己プレポリマー等とジヨイントr山の反り已、にオ
ケるjfj的割曾について(ハ)、プレポリマー1モル
に対してジヨイント剤0.8モル以上好−止しくに09
モル以上史に好1しくは1モル以−にが適当である。ジ
ヨイント剤の上限にl’3’J L−Cは、プレポリマ
ー1モルに対して、20モル以下、好ましくは10モル
以下、史に好ましく r、t 5モル以下が適当である
。但しR”28 !X2 、での加水分解体又はその加
水分解脱水縮合体(以下rR”2siX2等」という、
、)は、牟独使用する場合にも、低分子蓋ポリビニルシ
ラン尋と併用する場合にも、プレポリマー1モルに対し
て3モル以””l’好1+:l。
Regarding JFJ's ratio of warping of prepolymer, etc. and joint R mountain, (c), preferably 0.8 mol or more of joint agent per 1 mol of prepolymer.
The amount is preferably 1 mole or more, preferably 1 mole or more. The upper limit of l'3'J LC for the joint agent is preferably 20 mol or less, preferably 10 mol or less, and preferably 5 mol or less, per 1 mol of the prepolymer. However, hydrolysis with R"28!
,) is preferably 3 mol or more per mol of prepolymer, whether used alone or in combination with low-molecular polyvinylsilane.

〈は2モル以下が適当である。〈 is suitably 2 moles or less.

このようにして得られた高重合度重合体は適西な溶媒に
可溶であるから塗膜への成形加工が容易であシ、溶液が
安定であり、塗膜を厚くすることができ、得られた塗膜
は亀裂が生じにくく、ピンホールができに<<、段差半
r;す19ミを有し、面1熱性に富んでいる。
The high polymerization degree polymer obtained in this way is soluble in a suitable solvent, so it can be easily formed into a coating film, the solution is stable, and the coating film can be thickened. The resulting coating film is resistant to cracks, has no pinholes, has a step height of 19 mm, and has high heat resistance on one side.

A・−発明によって製造さrするポリマーは141中度
が50以上好−fl、l:1100以−ヒが刈当である
A.-The polymer produced according to the invention has a 141 medium value of 50 or more, and a l:1100 or more value.

本発明に使用するビニルシランにおけるR1rJ炭化水
素基又はその水系の一部又は全部全弗糸でi]央[7た
ものであるが、好゛ましくけ炭素原−f[10以下の°
アルキル基又Vj−アリール基等更に好−ましくr1炭
系腺子数1〜4のアノ1佃−ル基等又I−を灰糸原仔数
6〜9のアリール基等である。
In the vinyl silane used in the present invention, a part or all of the R1rJ hydrocarbon group or its aqueous system is completely fluorinated, but preferably the carbon atom -f[10° or less]
An alkyl group or a Vj-aryl group, more preferably an anol group having 1 to 4 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 9 carbon atoms.

XQL加水分解性の基であるか、レリと(7て、ハロケ
ン好井しくt−1、CL、Br又i!、、t I ; 
−0R2、−()C(H<2、− S R’、−’NR
”2、− N1−I R′、 OS 03 R2を、挙
けることかできる。たl(−り、、ここにR2は炭化水
素基であり、好丑L < kl、炭素原子数10以−十
のもの更に好−ましく&:tLそ木Jk(千載1〜4の
アル4−ル基又り、炭素原子数6〜9のアリール基であ
る。
Is it a XQL hydrolyzable group?
-0R2, -()C(H<2, -SR', -'NR
``2, -N1-I R', OS 03 R2 can be mentioned. More preferably &:tL Soki Jk (1 to 4 alkyl groups or aryl groups having 6 to 9 carbon atoms).

このビニルシランのビニル重合は、例えば炭化水素糸、
好ましくは脂肪族系の溶媒中でアルキルリチウム、アル
キルアルミニウム(R3At。
This vinyl polymerization of vinyl silane can be carried out using, for example, hydrocarbon threads,
Preferably, alkyl lithium, alkyl aluminum (R3At) in an aliphatic solvent.

R2AtC7:ここにRはアルギル基金表わす。)など
のアニオン重合触媒又は過酸化ベンゾイル、アゾビスイ
ンブチロニトリルなどのラジカル重合触媒を用いて行う
ことができる。例えば、モノマーとしてメチルビニルビ
ス(ジメチルアミノ)シランを使用するとき1l−1前
記有機金属を用いてアニオン重合することができ、モノ
マーとしてメチルビニルジアルコギシシラン、メチルビ
ニルジチオアルコキシシラン、メチルビニルジクロルシ
ラン又はメチルビニルジクロルシランを使用するときは
前記ラジカル重合触媒を用いてラジカル重合をすること
ができる。反応湿度としては、前り己アニオン重合の場
合は−10〜90°C好ましくは一5〜50℃を、ラジ
カル重合の場合は50〜200°C好゛まシ、〈は70
〜150”CVr:、それぞれ採用することができる。
R2AtC7: where R stands for Argyl Foundation. ) or a radical polymerization catalyst such as benzoyl peroxide or azobisin butyronitrile. For example, when using methylvinylbis(dimethylamino)silane as a monomer, anionic polymerization can be performed using the organometallic 1l-1; When chlorosilane or methylvinyldichlorosilane is used, radical polymerization can be carried out using the above-mentioned radical polymerization catalyst. The reaction humidity is -10 to 90°C, preferably -5 to 50°C in the case of preself-anionic polymerization, and preferably 50 to 200°C, <70°C in the case of radical polymerization.
~150"CVr:, each can be adopted.

このビニル重合方法自体に関しては既に多くの文献が存
在し、その公知の方法を適用でき、本発明で特に限定す
ることはない。
There are already many documents regarding this vinyl polymerization method itself, and the known methods can be applied, and the present invention is not particularly limited thereto.

このビニル重合による重合度の上限はせいぜい20であ
り、これ以上の重合度を得るのは内軸である。
The upper limit of the degree of polymerization in this vinyl polymerization is at most 20, and it is the inner shaft that achieves a degree of polymerization higher than this.

次にこのビニル重合体(以下これをプレポリマーという
ことがある。)を加水分解し脱水縮合する。Cの加水分
解はば又は塩基を触媒とし、加水分解のための水又はア
ルコールの存在下に−5−60°C好−ましくは20〜
50″Cで行うことができる。前記水又にtアルコール
の敏は前記5i−Xに対し等モル−3モル倍セd度を好
適に使用しうる。脱水縮合は触媒としての酸又は塩基の
存在下−5〜100 ’C好ましくは20〜7゜°Cで
行なうことができる。前記加水分解と脱水縮合e、1一
段反応で行なうこともできる。この場合Q」:前6己脱
水縮合反応と同じ温度条件で行うのがよい。これら加A
〈分解及び脱ノ1<縮合1・(′使用する削としてfl
、」五を酸、像1゛挾、りん鈑→の無機酸、酢酸、パラ
トルエンスルホンM等の有機酸、陽イオン交換樹脂(特
に強酸性のもの)を例示することができる。塩基として
は、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の水酸化物、炭
酸塩などを例示することができる。この加水分解脱水線
−〇H基を持っている。この段階のポリマーの典型的な
構造は次のようなものと推定される。
Next, this vinyl polymer (hereinafter sometimes referred to as prepolymer) is hydrolyzed and subjected to dehydration condensation. Hydrolysis of C is carried out at -5 to 60°C, preferably from 20 to 60°C, using a base or a base as a catalyst, in the presence of water or alcohol for hydrolysis.
The dehydration condensation can be carried out at 50"C. The concentration of the water or t-alcohol can be suitably used in an equimolar to 3 molar degree relative to the 5i-X. The dehydration condensation can be carried out using an acid or a base as a catalyst. It can be carried out in the presence of -5 to 100°C, preferably 20 to 7°C.The above hydrolysis and dehydration condensation e and 1 can also be carried out in a single step reaction.In this case, Q': 6 Self-dehydration condensation reaction It is best to perform this under the same temperature conditions. These additions A
<Decomposition and denomination 1 < Condensation 1
Examples include inorganic acids such as acetic acid, organic acids such as para-toluene sulfone M, and cation exchange resins (especially strongly acidic ones). Examples of the base include hydroxides and carbonates of alkali metals or alkaline earth metals. It has this hydrolysis dehydration line -〇H group. The typical structure of the polymer at this stage is estimated to be as follows.

但し反応条件によっては、両末端以外のシラノール残基
の存在することもある。
However, depending on the reaction conditions, silanol residues other than those at both ends may be present.

前記ジヨイント剤はけい素原子に結合された加水分解性
の基を2つ持ったけい素化合物又はその加水分解体で、
具体的には一般式R1□5iX2で表わされる化合物も
しくはその加水分解体又は前記ビニルシランの比較的低
重合度のビニル重合体、その加水分解体もしくはその加
水分解脱水縮合体である。このジヨイント剤は結局5i
−OH基を2つ持った形となって、上記プレポリマーの
加水分解脱水縮合体の残留した5i−OH基との間に脱
水粗合金生起せしめられ、高分子を形成して行くのであ
る。
The joint agent is a silicon compound having two hydrolyzable groups bonded to a silicon atom, or a hydrolysis thereof;
Specifically, it is a compound represented by the general formula R1□5iX2 or a hydrolyzed product thereof, a vinyl polymer having a relatively low degree of polymerization of the vinyl silane, a hydrolyzed product thereof, or a hydrolyzed dehydrated condensate thereof. This joint agent ended up being 5i
It becomes a form with two -OH groups, and a dehydrated crude alloy is formed between the remaining 5i-OH groups of the hydrolyzed and dehydrated condensate of the prepolymer, and a polymer is formed.

R’J (jC二it’2siX2佑、シくり比牧的低
垂合度小すビニルシランの加水分解、又は比較的低重合
展のポリビニルシランの加水分解体の脱水縮合は、−1
・記プレポリマーの加水分解又はその加水分解体の脱水
1t6合と同じ条件で行なうことがでさ、また別々にも
しくG′1混合して同時に行なうことができる。混合し
て同+1.′lに行なうときは上に述べたような、ボリ
ビニルンラン自体の加水分>y+脱水縮合と共(l(=
−そイ′ンようなポリマーとジヨイント剤との脱水オ、
宿舎が生じる。
R′J
- The hydrolysis of the prepolymer described above or the dehydration of the hydrolysis can be carried out under the same conditions as the 1t6 combination, or they can be carried out separately or simultaneously by mixing G'1. Mix and add the same +1. 'l, as mentioned above, along with the hydrolysis of the polyvinyl run itself > y + dehydration condensation (l (=
- Dehydration of polymers such as salt with jointing agents,
Accommodations will be created.

Ai前記プレポリマーないしその加/1(分解脱水縮合
体と前記ジョイン) /Jillの反応に1.通尚な溶
媒中でf家又は塩基の存在F−に一5〜l (10−C
好ま17(&、1.20〜70 ”Cで行な)Uこれ(
lこより高分子iポリマーが形成される。この際前記溶
媒は、前記プレポリマーの加水分解体ないしその部分的
脱水縮合体の分子内脱水網合金完成させて架橋反応を防
止するため、最終的に得られるポリマーを基準としてそ
の製置が40%以下好壕しくけ20%以下となる量全使
用するのが好ましい。該溶媒トしてはベンゼン、トルエ
ン、キシレン等の芳香族炭化水素を使用することができ
る。
Ai The above prepolymer or its addition/1 (decomposition/dehydration condensate and the above join)/Jill reaction 1. In the presence of a family or a base in a common solvent, 15~1 (10-C
Preferably 17 (&, done at 1.20-70”C) U this (
A polymer i is formed from this. At this time, the solvent is used to hydrolyze the prepolymer or complete the intramolecular dehydration network alloy of the partially dehydrated condensate thereof to prevent crosslinking reactions, so that the preparation time is 40% based on the final polymer. % or less It is preferable to use the entire amount that will result in a preferable depth of 20% or less. As the solvent, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, and xylene can be used.

次に、前記高分子化反応で未/と反応し7なかった低分
子MSi化合物の縮合重合、及び高分子内残留ンラノー
ル基間の脱水縮合、を史に進めるために、これらの混合
物を熟成させるのがよい。この熟成はなるべく :Xi
!j水の浴液状態で50〜150℃好ましくは70〜1
30°(’H−6行うのがよく、この場合の反応ロ4−
間−0,5〜101Brlfi]好−ましくに1〜5時
間とすることができる。
Next, these mixtures are aged in order to proceed with the condensation polymerization of the low molecular weight MSi compounds that did not/reacted in the polymerization reaction and the dehydration condensation between the residual ranol groups in the polymer. It is better. This aging should be done as much as possible: Xi
! j 50-150℃ in water bath state, preferably 70-1
30° ('H-6 is best, in this case reaction
[0.5 to 101Brlfi] can be preferably set to 1 to 5 hours.

この高分子化の際、前記プレポリマー等としてΔに均重
合度の異なる2 fik以上を混合使用してもよい。こ
れにより最長的にイ4)られる高分子重合体の分子証分
布を拡けることができ、これによって塗膜の亀裂が更に
生じにくいものとなしうる。ジヨイント剤に前記低分子
賃のプレポリマー等全使用する場合にも同様な効果が得
られる。
At the time of this polymerization, 2 fik or more having different degrees of homopolymerization may be mixed and used in Δ as the prepolymer or the like. As a result, it is possible to widen the molecular weight distribution of the high molecular weight polymer produced in (4) to the maximum extent possible, thereby making it possible to make the coating film even less prone to cracking. A similar effect can be obtained when all of the above-mentioned low molecular weight prepolymers are used in the joint agent.

ポリシロキサン系のポリマーの溶液は該ポリマーのシロ
キサン連鎖の両末端及び折々中間の一部に存在する残留
水酸基の量及び性質によって溶液の保存中にポリマーが
ゲル化する問題のあることはよく知られているr+ 」
二m己のようにし端停止剤として、一般式R’3SiX
又はR’3 S + Y S iR’sで表わされる化
合物又←Lぞの加水分IFt′r体を適当瀘、上記ポリ
ビニルボリシロギサンi%分子1合体形成後これに添加
してポリマー中の残留水酸基のシリル化を行なわせ、そ
の残留Ltを調節するのが好ましい。
It is well known that solutions of polysiloxane-based polymers have the problem of gelation during storage due to the amount and nature of residual hydroxyl groups present at both ends and occasionally in the middle of the siloxane chains of the polymer. It's r+
As an end stopper, the general formula R'3SiX
Alternatively, the compound represented by R'3 S + Y S iR's or the hydrolyzed IFt'r form of It is preferable to silylate residual hydroxyl groups to control the residual Lt.

自i1 ’HピYとしては一般式R’N< (ここにR
3は水素又(J、炭素数1〜4の炭化水、(1;又(・
1アシル基を表わす。)、−〇−がある。
As i1'HpiY, the general formula R'N< (where R
3 is hydrogen or (J, hydrocarbon water having 1 to 4 carbon atoms, (1; or (・
1 represents an acyl group. ), -〇-.

前記シリル化は20−100 ’Cで好適に行なうこと
ができ、触媒は特に必要としない。
The silylation can be suitably carried out at 20-100'C and no particular catalyst is required.

前記残留水酸基の墓はポリマー中のSi に対してモル
比で0〜0.1、好ましくl−1o、ooi〜0.02
とするのがよい。
The molar ratio of the residual hydroxyl groups to Si in the polymer is 0 to 0.1, preferably l-1o, ooi to 0.02.
It is better to

本発明に係るポリマーはベンゼン、トルエンなどの芳香
族炭化水素に易溶である。
The polymer according to the present invention is easily soluble in aromatic hydrocarbons such as benzene and toluene.

次に本発明と従来法であるC V I)法にょる5i0
2塗膜(形成法)、縮合系ポリイミド(PIQ)の塗膜
(形成法)とを比較して表1に示す。
Next, 5i0 according to the present invention and the conventional method C V I) method
Table 1 shows a comparison between the coating film No. 2 (formation method) and the coating film (formation method) of condensed polyimide (PIQ).

表1 実施例1 (])ビニル■会合 :L累1媛換されたBoom/8つロフラスコにメチル
・ビニル・ビス(ジメチルアミノ)シラン54yおよび
n−ヘキサン90d’f:入れ、酋素気vII−甲室温
にて12 mmoLのn−ブチルリチウム触媒をn−ヘ
キサン浴液の状悪で醗加し攪拌−F K置台を行なった
。室温で3時間I合反応全行なったのちメタノールで処
理しポリマーを沈殿させた。このポリマーをメタノール
による洗滌・沖過を8〜4回繰り返し実施したのち真空
乾燥した。得られたポリマーF1.10.3gで氷点降
下法による1tll定から重合度は9.5であつ′fc
Table 1 Example 1 (]) Vinyl ■ Association: L 1 molten Boom / 8 methyl vinyl bis (dimethylamino) silane 54y and n-hexane 90d'f: put into a flask, atom gas vII - 12 mmoL of n-butyllithium catalyst was added to the n-hexane bath solution at room temperature, stirred, and placed on an FK stand. After carrying out the entire I-combination reaction at room temperature for 3 hours, the mixture was treated with methanol to precipitate the polymer. This polymer was repeatedly washed with methanol and filtered 8 to 4 times, and then dried in vacuum. The degree of polymerization was 9.5 from the 1tll constant determined by the freezing point depression method using 10.3 g of the obtained polymer F1, and 'fc
.

(2)ポリシロキサン形成反応(ラダー化反応)及び高
分子化反応: 窒素置換された500m/8つ目フラスコに200 m
lのトルエンおよび(1)で得られたポリマー10gを
入れ窒素気γ’f(f、中攪拌下に氷酢酸15.5+*
tを滴下し室温で反応せしめた。1時間反応後ジメチル
・ジ・アセトキシシランの(1511を添加し、ついで
水を1.1 rxt滴下し、室幅で30分間攪拌下に反
応を行ないシロキサン結合を生成させた。生成ポリマー
溶液にエーテルを加え、更に水を加えた債水液ロートに
移し水洗分離を3回繰り返した。有機層を分離し炭酸カ
リで一夜乾燥した。炭酸カリを炉別した後、湯浴により
加熱しエーテルを留去した。残った液を75℃〜85“
Cにて1時間熱“処理した後減圧下にトルエンを留去し
、溶液を凝縮した。
(2) Polysiloxane formation reaction (ladder reaction) and polymerization reaction: 500 m purged with nitrogen/200 m in the 8th flask
1 of toluene and 10 g of the polymer obtained in (1) were added, and 15.5+* of glacial acetic acid was added under stirring in nitrogen atmosphere γ'f (f).
t was added dropwise and allowed to react at room temperature. After reacting for 1 hour, dimethyl diacetoxysilane (1511) was added, then water was added dropwise at 1.1 rxt, and the reaction was carried out under stirring for 30 minutes in the room width to form siloxane bonds. Ether was added to the resulting polymer solution. The organic layer was separated and dried over potassium carbonate overnight.After the potassium carbonate was separated in the furnace, it was heated in a hot water bath to distill off the ether. The remaining liquid was heated to 75°C to 85°C.
After heat treatment at C for 1 hour, toluene was distilled off under reduced pressure and the solution was condensed.

約10%のポリマー溶液になるまで濃縮した液の一部を
採取し、赤外吸収スペクトル分析、810Hの定量分析
及び分子W aaj定を行1つた。
A portion of the liquid concentrated to about 10% polymer solution was collected and subjected to infrared absorption spectrum analysis, quantitative analysis of 810H, and molecular W aaj determination.

イ31ら11、たポリマーの重量平均分子量はGPCに
tす2.5X10’であり、(1)で得られたプレポリ
マーの数10倍の重合度を示した。捷だ赤外吸収スペク
トルツ1j定の結果34500ff−’にシラノール(
St−OH)の吸収が見られた。この水酸ノ、i:の閃
はG、 E、 KEI、L’UMらの方法Anat、 
Chern。
The weight average molecular weight of the polymer obtained in A31 and 11 was determined by GPC to be 2.5×10', indicating a degree of polymerization several ten times that of the prepolymer obtained in (1). As a result of the infrared absorption spectrum 1j constant, 34500ff-' contains silanol (
Absorption of St-OH) was observed. This flash of hydroxyl, i: is based on the method of G, E, KEI, L'UM et al. Anat,
Chern.

39 1628(1967)法による分析の結果Off
/ S iのモル比で0.17であった。上記分#結果
及びトルエンに対する浴M性から、得られたポリマーは
ラダー41−7造全持ったものと11[定される。
39 1628 (1967) method analysis result Off
/ Si molar ratio was 0.17. From the above results and bath M properties with respect to toluene, it was determined that the obtained polymer had a full ladder structure of 41-7.

このポリマーM 液fシリボンウェファ−にスピンωイ
l+し室り、冒(て2日向乾燥したかQ、 l p I
llの厚さにおいてもクラックを」、!JG生しなかっ
た。このポ赦を1か月室温に放1〔シたところゲルの発
生が認められた。
This Polymer M solution was spun onto a silicon ribbon wafer, placed in a room, and dried in the sun for 2 days.
Cracks even in the thickness of ll'',! JG was not born. When this solution was left at room temperature for one month, gel formation was observed.

大施例2 実施例1と全く同様にして、プレポリマーの合成、ポリ
シロキサン形成・高分子化反応、炭酸カリを用いた乾燥
、ポリマー浴液の10%娘瓜への映ね4行なった。その
後このポリマー溶液(トルエン浴液)ヘヘキサメチルジ
シラザン((CII、)asiNH8i(CH3)3;
以下HIVI L) Sと略記する。)11全ふ加し9
0°Cで1時間反応させた。
Large Example 2 In exactly the same manner as in Example 1, synthesis of a prepolymer, polysiloxane formation/polymerization reaction, drying using potassium carbonate, and pouring of a polymer bath onto 10% potato were carried out four times. Then this polymer solution (toluene bath solution) hehexamethyldisilazane ((CII,) asiNH8i(CH3)3;
Hereinafter, it will be abbreviated as HIVI L)S. ) 11 total addition 9
The reaction was allowed to take place at 0°C for 1 hour.

得られたポリマーの残留水酸基については、5iOHに
もとす< 8450 cm の赤外吸収スペクトルは殆
ど見られず、定量分析(実〃山しリ1と同じ方法)の結
果から・もOH/Stのモル比で0.001以下であっ
た。
As for the residual hydroxyl groups in the obtained polymer, almost no infrared absorption spectrum of 5iOH < 8450 cm was observed, and from the results of quantitative analysis (the same method as in Mitsuyama Shiri 1), OH/St The molar ratio was 0.001 or less.

災り亀lり113 (1)ビニルlJf合: n−ブチルリチウム触媒の1史用J、i:全11ti1
motおよび25111moiに変更した2 4:tl
iの組合を触媒量以外の条1午は実施iyl 1と全く
回イ、メにしで行なった。侍られ/CポリマーのLIL
合1iはそれぞれ10.5ふ−・よび4.7でんった。
Disaster Turtle 113 (1) Vinyl lJf combination: 1 history of n-butyllithium catalyst J, i: Total 11ti1
2 4:tl changed to mot and 25111moi
The combination of i was carried out at all times except for the amount of catalyst. Samuraed/C Polymer's LIL
The sum 1i was 10.5 feet and 4.7 feet, respectively.

(2)ポリシロキサン形成・高分子化反応:(1)で合
成した重合度10.5のポリマー2.8yおよび重合度
4.7のポリマー8.7gを使用し氷酢酸18 ulを
実施例1と同様にして滴下し反応ざぜた。、1時間反応
後水を1.8 tIIt滴下し室温で30分間加水分解
縮合を行わせた。得られた生成溶液を実施例1と四゛保
水洗、エーテル抽出により分P;「シ、乾燥したJ得ら
れたポリマーの重1λ平均分子址はGPCにより5.l
X104 であった。ポリマー溶液を200+x/lで
m縮し、こIlを2つに分け、一方はその1\、他方に
は14MD85 mlを加え130〜140″cT5時
間還流下に反応させた。上記2独のポリマーi゛d液ザ
ンプルを80 ”(:にて減圧下に碗縮し約10%溶液
にした。
(2) Polysiloxane formation/polymerization reaction: Using 2.8y of the polymer with a degree of polymerization of 10.5 synthesized in (1) and 8.7 g of the polymer with a degree of polymerization of 4.7, 18 ul of glacial acetic acid was added to Example 1. It was added dropwise in the same manner as above to stir a reaction. After reaction for 1 hour, 1.8 tIIt of water was added dropwise to carry out hydrolytic condensation at room temperature for 30 minutes. The obtained product solution was divided into four parts as in Example 1 by water washing and ether extraction;
It was X104. The polymer solution was condensed at 200+x/l, and this Il was divided into two parts, 1\ of which was added to one, and 85 ml of 14MD was added to the other, and the reaction was carried out under reflux for 5 hours at 130-140''cT. The i.d. liquid sample was reduced to an approximately 10% solution by condensing it under reduced pressure in an 80" cup.

fl M D Sを添加する前のポリマーは赤外吸収ス
ペクトルから明らかにシラノールの吸収(34501v
+”)が認められ、t fc、定量分析の結果もOH/
SIのモル比でO,12であったゆこの溶7【χ11室
温で保存したところ約1.5が月でゲル化の生成が見ら
れた。
The polymer before adding fl M D S clearly shows silanol absorption (34501v) from the infrared absorption spectrum.
+”) was observed, and the results of t fc and quantitative analysis were also OH/
Yuko's solution, which had an SI molar ratio of O.12, was stored at room temperature and gelatinization was observed when the SI molar ratio was approximately 1.5.

一方HMDS添加のポリマーには赤外吸収スペクトルか
ら残留水酸基が殆ど消失していることが判明した。また
この溶ン戊は室温で4か月装置するもゲル化の発生はH
,Il・′)られなかった。
On the other hand, it was found from the infrared absorption spectrum that almost all residual hydroxyl groups in the polymer added with HMDS disappeared. Furthermore, although this melt was kept at room temperature for 4 months, no gelation occurred.
, Il・′) could not be done.

比較例 (1)ビニルJIJ−合: 実施例1と同様にして行なった。Comparative example (1) Vinyl JIJ-combination: It was carried out in the same manner as in Example 1.

(2)ボリシロギサン形成(ラダー化)反U〔ス:ジメ
チルジアセトキシシランを・添加ぜずに実施例1と同様
にし2て行なった。’t:1r−):Ijたポリマーの
平均足合度は氷点篩下法で枳・]定して10であった。
(2) Formation of polysilgysanate (ladder formation) 2 was carried out in the same manner as in Example 1 without adding dimethyldiacetoxysilane. 't: 1r-):Ij The average sufficiency of the polymer was determined to be 10 by the freezing point sieving method.

605%のポリマーi谷液が1θ日間の室温放1,12
でゲル化が認められ、ま々シリコンウエングにスlビン
正z+’li 1./乾燥したと(イ)’k liMの
kt ?<発生がi58められた。
605% polymer i trough solution was left at room temperature for 1θ days 1,12
Gelation was observed in the silicone wafer, and there was a slight change in the silicone weight. / Dry and (i)'k liM's kt? <The occurrence was reported on i58.

実施例4 (1)ビニル41合: メチルビニル・ジー(n−プロホギンシジン(bp、 
6 (1’c/10 、j?ff11g ) 11. 
tJ Iを室床1自:換したフラスコに入れ、こノtに
0.04ダのアゾビスイソブチロニトリルをラジカル重
合開始剤として加え、再び窒素ガスにて置換した後内容
物を140〜150°Cのバス中に入れて重合反応を行
なったu2時間後には全体か枯(jAlな液体となり、
重合しているのが認めらI【た5色の変化t1なかった
。6時間で重合を停止し1c0このようにして得られた
プレポリマーがら未反応のモノマーを真空蒸留番でよ−
って留去8せ/こ、9.5f(収率86%)のポリマー
が得られた。
Example 4 (1) Vinyl 41: Methylvinyl di(n-prohogincidine (bp,
6 (1'c/10, j?ff11g) 11.
tJ I was put into a flask with a room temperature of 100 ml, and 0.04 d of azobisisobutyronitrile was added as a radical polymerization initiator, and after replacing with nitrogen gas again, the contents were After 2 hours of polymerization reaction in a 150°C bath, the whole body dried up (jAl became a liquid,
Polymerization was observed, but no color change occurred. Polymerization was stopped after 6 hours, and unreacted monomers were removed from the prepolymer thus obtained by vacuum distillation.
After distillation, 9.5 f (yield: 86%) of polymer was obtained.

(シシ)ポリシロキザン形成・高分子化反応:(1)で
得らJしたポリマー9.0gに150ゴのトルエンおよ
び0,5yのジメチル・ジー(n〜プロポキシ)シラン
を力lえ、溶゛縫3 (10mlの==二つロフラスコ
に移し、これに揃堪戚1 tnl金含む100g1の水
を加えた後50’Cで2時間攪拌下に刈1水分)fノ’
4反応」、・よび縮合反応を行lわ(tだ。
(Si) Polysiloxane formation/polymerization reaction: Add 150 grams of toluene and 0.5y of dimethyl di(n~propoxy)silane to 9.0 g of the polymer obtained in (1), and melt and sew. 3 (Transfer 10 ml == 2 flasks, add 100 g 1 water containing 1 tnl gold to it, and then boil at 50'C for 2 hours with stirring)
4 Reaction'', and perform the condensation reaction (t).

反応液を水況しイイ磯相全lAトIf#・乾燥しlこ。Rinse the reaction solution with water and dry thoroughly.

このトルエン溶液に(1,6mlのへギサメナルジシラ
ザン否:加え加熱遠θ;1トに1時間反応した。イi+
らJしたポリマー浴欣イ【100 trttIICなる
までl・ルエンを留去し濃縮した。
To this toluene solution was added 1.6 ml of hegisamenaldisilazane and reacted for 1 hour with heating at θ.
The resulting polymer bath was concentrated by distilling off 1.luene until it reached 100 trttIIC.

この溶液の赤外吸収スペクトルから5iOH基の存在e
よ認めらfLなかった。溶4に中のポリ7−は分析の結
果、分子址4..8 X 1 (1’、疾ハV←112
.6’鑑であった。
From the infrared absorption spectrum of this solution, the presence of 5iOH groups e
I didn't recognize it. As a result of analysis, the molecular structure of poly 7- in solution 4 was found to be 4. .. 8 X 1 (1', speed V←112
.. It was a 6' version.

実姉例5 メチル・ビニル・ジー(11−プロポキシ)シランラメ
チル・ビニル・ジー(アセトキシ)シランに代えた以外
は実施例4と同様にラジカル重合を行なつl(、J未反
応モノ7−を留去し7ζ後、分析の結果ポリマー収1!
書:J’ 8.9 yでを)つ/メー0このポリマー8
gとジ、メチル・ジアセト4・ジシラン0.2yを15
0m/’のベンゼンにf& K4 L 800ゴのフラ
スコ中で攪拌下25°Cで水1.04を滴下反応ざぜた
。ニーデルを加えた抜水ffA−1分離を3同経り返し
1、有機、1t4を井水炭r蝉カリによシー孜、乾燥し
2/(。乾燥剤ヶ分石11〜エーテルを留去したq:J
t) 0.2 tnlのへキサメチルジシラザンを加え
70″’C−C2時間反応した。ぞの稜ベンゼンの一部
を箱去し、余計を約80肩l址で714 r陥し/z二
Actual sister example 5 Methyl vinyl di(11-propoxy) silane Radical polymerization was carried out in the same manner as in Example 4 except that methyl vinyl di(11-propoxy) silane was used, and unreacted mono 7- was distilled off. After 7ζ, the analysis showed that the polymer yield was 1!
Calligraphy: J' 8.9 y dewo)tsu/me 0 this polymer 8
g and dimethyl diacetate 4 disilane 0.2y 15
1.04 ml of water was added dropwise to 0 m/' of benzene in a flask of f&K4 L 800 g under stirring at 25°C to stir a reaction. Repeat the water removal ffA-1 separation with the addition of needles for 3 times. 1. Organic, 1t4 is soaked in well water charcoal and cicada potash, dried 2/(. Desiccant stone 11 ~ ether is distilled off. Shitaq:J
t) 0.2 tnl of hexamethyldisilazane was added and reacted for 70''C-C for 2 hours. Part of the benzene was removed from the box, and the excess was reduced to 714 r/z in about 80 liters. two.

得られたポリマー溶液は濃度10%であり、ポリマーは
分析の結果分子f11′g、5xlo’ であった。
The resulting polymer solution had a concentration of 10%, and analysis of the polymer revealed that the molecules were f11'g, 5xlo'.

ニレに)Il!I 1)14 5 (])ビニルjjLでコ゛: ビニル・7(チル・ビス(シエナルアミノ)シラン8 
tl、4 y、n−ヘギナン120mtお5L(′ノー
鼠・自1′+上媒どしてn−)゛ナルリチウムWr r
& (15%)を10 ml k (d5 yl’j 
した以外(−J:夫〕iil ’5U 1の(1)とD
’J4>fit’=Z f・i、・イト1〜、門り上り
組合j及9,7のポリマー(A)全21.6?、;す7
、−8−刀ヒニル・メチル・ヒス(ジエチルフミノ)シ
ランT6.21.n−へキツーン120 al jy’
よOn−ブナルリチウムiu ji’A 20 yl′
?r、1−1−川し、土とトコj1;にの操作Z肖ムい
爪台r= 5.2の・1ざリマー(1匁)’< 40.
 I Q 、lfk 。
elm) Il! I 1) 14 5 (]) VinyljjL: Vinyl 7(chill bis(cyenalamino)silane 8
tl, 4 y, n-heginane 120mt and 5L ('no mouse, self 1' + super medium n-) nal lithium Wr r
& (15%) in 10 ml k (d5 yl'j
Except for (-J: Husband) il '5U 1 (1) and D
'J4>fit'=Z f・i,・ite 1~, starting combination j and 9,7 polymer (A) total 21.6? ,;su7
, -8-hinyl methyl his(diethylhumino)silane T6.21. n-hekitoon 120 al jy'
YoOn-bunal lithium iu ji'A 20 yl'
? r, 1-1-River, soil, and place j1; ni operation Z small nail rest r = 5.2・1zarimah (1 momme)'< 40.
IQ, lfk.

(2)ホリン11キリン形成・611分1′化反応:a
−、=; ;EIiJ((’Pc! h、fc l e
 止ツLJ 7 フン、−’ L’C,、t 00献の
ベンゼ;/および(+)で缶ら扛/、−ポリマー(A)
bよひ(B)?(iソそれ5.1Nおよび18.Oj7
入れ洸拌下25℃にで氷酢舷86wtを11均1・反応
せしめた。30分間反応した後ジ・メチル・ジアセトキ
シシランのlダを添加混合する。ついで2.75πlの
水をFil拌下30°Cで部下反応せしめた。50分間
反応を続けたTρエーテル300 wlを加える。この
td液を分l筺ロートに移L7水洗・分^ILを3回繰
り返した後有機層を採取17無水炭酸カリ−C::・兄
燥した。
(2) Holin 11 Kirin formation/611 min 1′ conversion reaction: a
−, =; ;EIiJ(('Pc! h, fc le
Stop LJ 7 Hun, -'L'C,, t 00 benzene; / and (+) can be removed /, - Polymer (A)
byohi (B)? (i so that 5.1N and 18.Oj7
86 wt of ice vinegar was reacted at 25°C under stirring. After reacting for 30 minutes, dimethyl diacetoxysilane was added and mixed. Then, 2.75πl of water was subjected to a sub-reaction at 30°C while stirring with a filter. Add 300 wl of Tρ ether, which was allowed to react for 50 minutes. This td solution was transferred to a separating funnel, and the steps of washing with water and washing with water were repeated three times, and then the organic layer was collected and dried.

(3)女足化反応: 乾燥しンヒi−栽層全湯浴上でエーテルを留去しついで
ベンゼンの1部を留去し離液の全且奮約300 mlに
なるなで(張本イイした。この浴液に()、3tieの
ヘギサメチル・ジシラザン金力[Iえ硬流下に1時間反
Lrスせしめた後ペンセン紫留去しj谷di全枇全60
.)ltまで濃縮した。
(3) Feminization reaction: Dry the syneresis layer in a hot water bath, distill off the ether, and then distill off part of the benzene until the total volume of syneresis becomes about 300 ml (Harimoto Ii). To this bath solution, 3 ties of hegisamethyl disilazane gold [I] were soaked for 1 hour under a hard flow, and then the pentene purple was distilled off.
.. )lt.

(・1)ポリマーの′IyJ1′j二:この石t1父を
分析しlこ結果、ポリマー限度し。1、’ 5.6 ’
i’o、ポリマー(つ平均分子量(・シ12゜8X10
’でめつ/(二、lT G A (’l’hermat
(ンravi+netricAnatysis )によ
るW% k fIJ:開始(rjr Iレニl:J、 
286 ”Cでりり、9.J、分10°Cの昇温速度で
1(1’法熱減社点が480°Cで耐熱性のよいことを
示した。このポリ7−R)液t ]、 000 rpr
nのスピナーによりシリコンウェファ−に塗布し170
°C80分tlfJ8ジシ処理したところ1.2p m
の片さて亀裂のない均一なか・股が得られた。この塗膜
の電気特性tよ、シタ電率8,5.絶縁劇ボ250v/
μ772でおった。
(・1) Polymer 'IyJ1'j2: Analyze this stone t1 father and as a result, limit the polymer. 1, '5.6'
i'o, polymer (average molecular weight (・shi12゜8X10
'Demetsu/(2, lT G A ('l'hermat)
W% k fIJ: start (rjr Ireni l:J,
1 (1' method thermal reduction point was 480°C, indicating good heat resistance. This poly 7-R) liquid ], 000 rpr
Coat it on a silicon wafer with a spinner of 170
When treated with TLFJ8 for 80 minutes at °C, the result was 1.2 p m.
A uniform core and crotch with no cracks was obtained. The electrical properties of this coating film are 8.5 and 8.5. Insulation control 250v/
It was μ772.

実A’H例7 災が11例1.3及び比較例で侶られたポリビニルホリ
シロギサンポリマーの15%治液をシリコンウェファ−
にスピン塗布しくト1転舷10o。
Actual A'H Example 7 A silicon wafer was coated with a 15% cure solution of the polyvinylphorysilogysan polymer that was used in Example 11 and Comparative Example 1.3.
Apply spin coating to 1 port 10o.

rJ)m ) 150°Cで30分間加熱処理した後膜
の状態k Fij4べた。結果は次の衣2のようでj5
つだ。
rJ)m) State of membrane after heat treatment at 150°C for 30 minutes. The result is like the next cloth 2 j5
One.

表2 以 」二Table 2 2

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)一般式CH2=CHSiR”X2 (ここにR1
に炭化水素基又は弗素置換炭化水素基、Xは加水分解性
の基で、同一分子内において同種であってもN柚であっ
てもよい。)で表わされるビニルシラン又はそのビニル
基における水素を弗素で置換j7た化合物(以下、これ
らを「ビニルシラン」と総称する。)をビニル重合し、
得られたビニル重合体’xM又は塩基の存在下に加水分
解脱水縮合することを包含する高重合度、のボリビニル
ボリシロキサンポリマーの製造方法において、前記ビニ
ル重合体であって芽]合近が7以上のもの(以下これを
「プレポリマー」という。)ないしその加水分解脱水縮
合体(以下これを「プレポリ−イー都?」という。)f
:、一般式Rム5iX2(ここにR’及びXは上6dの
ものと同じ:#、味を表わし、これらは同一分子内にお
いて同種であっても異種であってもよい。)、重合度6
以下で前記プレポリマーの重合度よりも小さい重合度の
前Ntビニルシランのビニル重合体並びにそ11゜らの
加水分解体及びそれらの加水分解脱水l重合体から選ば
れる少なくとも一独からなるジヨイント剤の存在下に、
脱水縮合重合し、必要に応じて残留シラノール基を、一
般式R45iX(ここにR1及びXは前記と同じ意味を
表わし、R1は同一分子内において同種であっても異種
であってもよい。)、又は一般式R35i−Y 5iR
4(ここにYは二価の加水分解性の基であり、R1は上
記と同じ意味を表わし、同一分子内で同種であっても異
種であってもよい、、、)で表わされる末端停止剤によ
りシリル化することを特徴とする前記高重合度ポリビニ
ルボリシロキザンボIJ −v −の製造方法。
(1) General formula CH2=CHSiR"X2 (where R1
X is a hydrocarbon group or a fluorine-substituted hydrocarbon group; ) or a compound in which hydrogen in the vinyl group is replaced with fluorine (hereinafter these are collectively referred to as "vinylsilane") is vinyl polymerized,
In the method for producing a polyvinylbolysiloxane polymer having a high degree of polymerization, which includes hydrolysis dehydration condensation in the presence of a base, the vinyl polymer is 7 or more (hereinafter referred to as "prepolymer") or its hydrolyzed and dehydrated condensate (hereinafter referred to as "prepolymer") f
:, general formula Rm5iX2 (here, R' and 6
Hereinafter, a joint agent consisting of at least one member selected from a vinyl polymer of pre-Nt vinylsilane having a degree of polymerization lower than that of the prepolymer, and their hydrolyzed and dehydrated polymers will be described below. In the presence of
Dehydration condensation polymerization is performed, and if necessary, residual silanol groups are converted into a compound of the general formula R45iX (herein, R1 and X represent the same meanings as above, and R1 may be of the same type or different types within the same molecule). , or general formula R35i-Y 5iR
4 (Here, Y is a divalent hydrolyzable group, R1 represents the same meaning as above, and may be the same type or different types within the same molecule, etc.) A method for producing the above-mentioned highly polymerized polyvinylborisiloxambo IJ-v-, which comprises silylating the polyvinylbolysiloxambo IJ-v- with an agent.
(2)前記R1が炭素原子数1〜10の炭化水素又は弗
素1行換炭化水素基であることを%徴とする第(1)項
記載の方法。
(2) The method according to item (1), wherein R1 is a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms or a hydrocarbon group having a single fluorine substitution.
(3)前記R1が炭素原子数1〜4の脂肪族炭化水素基
もしくは炭素原子数6〜9の芳香族炭化水素基またはこ
れらの水素を弗素で置換したものであることを%徴とす
る第(1)項記載の方法。
(3) The % symbol indicates that R1 is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 9 carbon atoms, or a group in which hydrogen thereof is substituted with fluorine. The method described in (1).
(4) 前記Xが−NR2□、−0R2、−8lえ2、
−00OR2もしくは一〇 S 03 R2(ここにR
2は炭素原子数1〜10好ましくは1〜4の炭化水素基
を表わす7.)又はC1,Brもしくは■でおることを
特徴とする第(])項から第(4)項一までのいずれか
に記H・kの方法。
(4) The above X is -NR2□, -0R2, -81e2,
-00OR2 or 10 S 03 R2 (R here
7. 2 represents a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, preferably 1 to 4 carbon atoms. ), or C1, Br, or ■.
(5)前記ビニル重合が、アニオン重合触媒又はラジカ
ル重合触媒を用いて行なうものであることを特徴とする
第(1)項から第(4)項までのいずれかに記載の方法
(5) The method according to any one of items (1) to (4), wherein the vinyl polymerization is carried out using an anionic polymerization catalyst or a radical polymerization catalyst.
(6)前記プレポリマー等とジヨイント剤の反応におい
て、プレポリマー等1モルに対してジヨイント剤0.8
〜20モル全存在させることを特徴とする第(1)項か
ら第(5)項までのいずれかに口己載の方法。
(6) In the reaction between the prepolymer, etc. and the jointing agent, 0.8 of the jointing agent per mole of the prepolymer, etc.
The method described in any one of paragraphs (1) to (5), characterized in that a total of 20 moles of the compound is present.
(7)前記−Y−が、一般式R’N’< (ここにR3
は水素又は炭素数1〜4の炭化水素基又はアシル基苓s
表わす、、)又は−〇−であることを特徴とする第(1
)項から第(0)項までのいすハ、かにi1載の方法。
(7) -Y- is represented by the general formula R'N'< (where R3
is hydrogen, a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, or an acyl group
) or -〇-.
) to (0), the method listed in Isuha, Kani i1.
(8)前記末端停止剤によるシリル化により11iJ記
残留水j夜基の量をポリマー中の81原子に対してモル
比で0〜0.1とすること’jc I+′f徴とする第
(1)狽から第(7)項唸でのいずれかに11己載の方
法。
(8) By silylation with the terminal capping agent, the amount of residual water groups in 11iJ is set to 0 to 0.1 in molar ratio with respect to 81 atoms in the polymer. 1) The method of listing 11 items in any of the sections (7) and (7) above.
(9)前り己未端停止riilによるシリル化により前
記残留水酸基の鼠をポリマー中のSl原子に対してモル
比で0.001〜0.02とすること全特徴とする第(
1)項から第(7)項までのいずれかに記載の方法。
(9) The remaining hydroxyl group is brought to a molar ratio of 0.001 to 0.02 with respect to the Sl atoms in the polymer by silylation using pre-terminated riil.
The method described in any one of paragraphs 1) to (7).
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