JPS604847A - 低温用測定載置台 - Google Patents
低温用測定載置台Info
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- JPS604847A JPS604847A JP11247383A JP11247383A JPS604847A JP S604847 A JPS604847 A JP S604847A JP 11247383 A JP11247383 A JP 11247383A JP 11247383 A JP11247383 A JP 11247383A JP S604847 A JPS604847 A JP S604847A
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- JP
- Japan
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- tank
- temperature
- heat
- electric heater
- mounting table
- Prior art date
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0323—Valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
- F17C2221/01—Pure fluids
- F17C2221/014—Nitrogen
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2223/00—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel
- F17C2223/01—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the phase
- F17C2223/0146—Two-phase
- F17C2223/0153—Liquefied gas, e.g. LPG, GPL
- F17C2223/0161—Liquefied gas, e.g. LPG, GPL cryogenic, e.g. LNG, GNL, PLNG
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、低温用測定載置台に関するもので、例えば
、ＤＬＴＳ （Ｄｅｅｐ Ｌｅｖｅｌ Ｔｒａｎｓｉｅ
ｎｔＳ ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ ）法をはじめとする
半導体材料・素子の評価を行う低温用測定載置台に有効
な技術に関するものである。
、ＤＬＴＳ （Ｄｅｅｐ Ｌｅｖｅｌ Ｔｒａｎｓｉｅ
ｎｔＳ ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ ）法をはじめとする
半導体材料・素子の評価を行う低温用測定載置台に有効
な技術に関するものである。
（ｉＩｋ’景技術〕
ジョセフソン素子等の低温動作のデバイスの特性測定や
ＤＬＴＳ法をはじめとする半導体材料・素子の評価を行
うため、液化チッソを用いることが考えられる。ところ
が、液化チッソは、その気化によりは一゛一定の一１９
６℃程度の低温度を形成する。したがって、これを負の
熱源として、電気ヒータ等を正の熱源として試料載置台
の温度をその中間の温度に設定すること又は所定の温度
勾配をもって変化させようとすることが極めて外しいも
のとなる。なぜなら、液化チッソは、その気化により常
に北記低温度を形成しようとするからである。また、強
力な電気ヒータにより上記中間温度を形成しようとする
と、液化チッソと電気ヒータの電力との消費量が膨大に
なるため、極めて不経済なものとなって実用に供し得な
い。
ＤＬＴＳ法をはじめとする半導体材料・素子の評価を行
うため、液化チッソを用いることが考えられる。ところ
が、液化チッソは、その気化によりは一゛一定の一１９
６℃程度の低温度を形成する。したがって、これを負の
熱源として、電気ヒータ等を正の熱源として試料載置台
の温度をその中間の温度に設定すること又は所定の温度
勾配をもって変化させようとすることが極めて外しいも
のとなる。なぜなら、液化チッソは、その気化により常
に北記低温度を形成しようとするからである。また、強
力な電気ヒータにより上記中間温度を形成しようとする
と、液化チッソと電気ヒータの電力との消費量が膨大に
なるため、極めて不経済なものとなって実用に供し得な
い。
この発明の目的は、簡単な構成により、精度よく制御さ
れた低温用測定載置台を提供することにある。
れた低温用測定載置台を提供することにある。
この発明の他の目的は、エネルギー消費量を小さくでき
る低温用測定載置台を提供することにある。
る低温用測定載置台を提供することにある。
こ−の発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は
、この明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
、この明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、液化チッソが供給される第１のタンクと、こ
の第１のタンクの上部に設りられ試料載置台に！１（１
を伝導する第１の熱伝導体と結合された第２のタンクと
、上記第１のタンクから第２のタンクに液化チッソを供
給する熱伝導性の金属管とにより負の熱源を構成して、
液化チッソの供給量の制御により選択的に上記金属管又
は第１のタンク内での気化を生じさせることにより形成
された負の温度を上記金属管及び第２のタンクでの熱抵
抗を利用して減衰させることにより上記第１の熱伝導体
における温度を制御するようにするものである。
の第１のタンクの上部に設りられ試料載置台に！１（１
を伝導する第１の熱伝導体と結合された第２のタンクと
、上記第１のタンクから第２のタンクに液化チッソを供
給する熱伝導性の金属管とにより負の熱源を構成して、
液化チッソの供給量の制御により選択的に上記金属管又
は第１のタンク内での気化を生じさせることにより形成
された負の温度を上記金属管及び第２のタンクでの熱抵
抗を利用して減衰させることにより上記第１の熱伝導体
における温度を制御するようにするものである。
第１図には、この発明に係る低温用測定載置台の断面図
が示され、第２図にはそのＡ−Ｂ線における水平断面図
か示されている。言い換えれば、第１図は、第２図のＡ
−Ｂ線の垂直１ｖ１面図となる。
が示され、第２図にはそのＡ−Ｂ線における水平断面図
か示されている。言い換えれば、第１図は、第２図のＡ
−Ｂ線の垂直１ｖ１面図となる。
試料の／ｉ１．ｉ定載置台５の下面側には、第１．第２
の熱伝導体６，７の上面と接合されている。これらの熱
伝導体６，７は、特に制限されないが、？ｆＳ２図に示
すように円形をはＶ４等分されることによって構成され
る扇形の断面形状をしている。この４つの扇形のうち中
心部に結合し、この中心部に対称的に配置された２つの
扇形６は、第２の熱伝導体とされる。すなわち、この中
心部の中空は電気ヒータ１２の収納部１．２ ａとされ
る。したがって、電気ヒータ１２により形成された正の
温度は、上記第２の熱伝導体６を通して上記測定載置台
５に伝えられる。この第２の熱伝導体６のは一゛下半分
は切除されている。
の熱伝導体６，７の上面と接合されている。これらの熱
伝導体６，７は、特に制限されないが、？ｆＳ２図に示
すように円形をはＶ４等分されることによって構成され
る扇形の断面形状をしている。この４つの扇形のうち中
心部に結合し、この中心部に対称的に配置された２つの
扇形６は、第２の熱伝導体とされる。すなわち、この中
心部の中空は電気ヒータ１２の収納部１．２ ａとされ
る。したがって、電気ヒータ１２により形成された正の
温度は、上記第２の熱伝導体６を通して上記測定載置台
５に伝えられる。この第２の熱伝導体６のは一゛下半分
は切除されている。
また、残り２つの扇形は、第１の熱伝導体とされ、上部
の接合部６ａを除き上記第２の熱伝導体とは相互に空間
分離されている。この第１の熱伝導体７は、その上半分
部の断面形状が上記第２図に示すような扇形をしており
、その上部の結合部６ａを介して第２の熱伝導体６と一
体的に結合される。そして、この結合部６ａの上面が上
記測定載置台５に接合している。
の接合部６ａを除き上記第２の熱伝導体とは相互に空間
分離されている。この第１の熱伝導体７は、その上半分
部の断面形状が上記第２図に示すような扇形をしており
、その上部の結合部６ａを介して第２の熱伝導体６と一
体的に結合される。そして、この結合部６ａの上面が上
記測定載置台５に接合している。
上記第１の熱伝導体７のは一′下半分は中空が設けられ
たリング状（ドーナツ状ンにされる。この中空部を電気
ヒータ１２を収納する収納部１２ａの突出した下半分が
空間分離されで貫通している。
たリング状（ドーナツ状ンにされる。この中空部を電気
ヒータ１２を収納する収納部１２ａの突出した下半分が
空間分離されで貫通している。
このようにすることによって、比較的大きな収納室が形
成できるので、比較的大きな電力の電気ヒータ１２を用
いることができる。
成できるので、比較的大きな電力の電気ヒータ１２を用
いることができる。
上記第１の熱伝導体７の下部部分には、リング状の中空
とされる。このようにリング状にするごとによって、比
較的大きな容量を持つタンクを形成することができる。
とされる。このようにリング状にするごとによって、比
較的大きな容量を持つタンクを形成することができる。
この中空部分８は、冷媒として、特に制限されないが、
液化チッソが注入される第２のタンクとして用いられる
。この第２のタンク８の下部には、同様な構成の第１の
タンク１１が設けられる。この第１のタンク１１の中心
部は、上記同様に中空とされ、上記収納部１２ａが空間
分能されてＭ通している。
液化チッソが注入される第２のタンクとして用いられる
。この第２のタンク８の下部には、同様な構成の第１の
タンク１１が設けられる。この第１のタンク１１の中心
部は、上記同様に中空とされ、上記収納部１２ａが空間
分能されてＭ通している。
上記第１のタンク１１には、供給管１３を通してｔ（ｌ
ｊヒチノソが注入される。バルブＢ１はその液化チッ
ソの！Ｊ’ｉ給制御を行うものである。
ｊヒチノソが注入される。バルブＢ１はその液化チッ
ソの！Ｊ’ｉ給制御を行うものである。
上記第１のタンク１１と第２のタンク８とは、熱伝導性
を持つ金属管９により接続されている。
を持つ金属管９により接続されている。
これにより、第１のタンク１１の容量を越える液化チッ
ソを供給すると金属管９を通して第２のタンク８に液化
チッソが注入される。また、この第２のタンク８には、
気化し７たチッソガスを排気するための排気管１０が設
けられる。この排気管１０は、上記第２のタンク８を通
って外部に導出される。この理由は、外気温度が排気管
１０を通し。
ソを供給すると金属管９を通して第２のタンク８に液化
チッソが注入される。また、この第２のタンク８には、
気化し７たチッソガスを排気するための排気管１０が設
けられる。この排気管１０は、上記第２のタンク８を通
って外部に導出される。この理由は、外気温度が排気管
１０を通し。
て伝わるのを防止するものである。バルブＢ２は、その
排気制御を行うものである。
排気制御を行うものである。
なお、特に制限されないが、この実施例では、第２のタ
ンク８に一定量以上の液化チッソを第１のタンク１１に
戻す金１属管が設けられる（図示せず）。
ンク８に一定量以上の液化チッソを第１のタンク１１に
戻す金１属管が設けられる（図示せず）。
上記３つの管により第１のタンク１１は、第２のタンク
８に対して吊り下げられるような構成によって取り付け
られる。
８に対して吊り下げられるような構成によって取り付け
られる。
箱体３の上部には、開口３ａが設けられる。上記熱伝導
体６，７は、熱絶縁性の取り付は部材４により箱体３の
開口部３ａの下方に取り付けられる。上記熱伝導体６．
７と箱体３とにより第１の真空室１が構成される。この
第１の真空室１は、箱体３の下部に設けられた排気口が
真空源（Ｆｆ！Ｊ示せず）と接続されることによって真
空にされる。
体６，７は、熱絶縁性の取り付は部材４により箱体３の
開口部３ａの下方に取り付けられる。上記熱伝導体６．
７と箱体３とにより第１の真空室１が構成される。この
第１の真空室１は、箱体３の下部に設けられた排気口が
真空源（Ｆｆ！Ｊ示せず）と接続されることによって真
空にされる。
すなわち、第１の真空室１は、上記電気ヒータ１２と液
化丁−・２ソの気化熱及び熱伝導体６．７の熱絶縁体と
して利用される。
化丁−・２ソの気化熱及び熱伝導体６．７の熱絶縁体と
して利用される。
なお、上記試料載置台５は、特に制限されないが、半導
体ウェハ等の測定試料を固定するクリップ等が設けられ
る（図示せず）。
体ウェハ等の測定試料を固定するクリップ等が設けられ
る（図示せず）。
また、上記箱体３の開口３ａの上部、言い換えれば、試
料載置台５の上部を覆う蓋１４が設りられてＪ−ｉす、
上記第２の真空室２を構成する。この第２の真空室２も
上記同様に真空源（真空ポンプ）により排気がなされる
ことによって上記同様に真空にされる（図示せず）。こ
のように、試料載置部を真空にするのは、低温による空
気中の水蒸気により露結が生じてしまうからである。
料載置台５の上部を覆う蓋１４が設りられてＪ−ｉす、
上記第２の真空室２を構成する。この第２の真空室２も
上記同様に真空源（真空ポンプ）により排気がなされる
ことによって上記同様に真空にされる（図示せず）。こ
のように、試料載置部を真空にするのは、低温による空
気中の水蒸気により露結が生じてしまうからである。
なお、特？・こ制限されないが、半導体ウェハ上に形成
された素子等の測定を容易にするため、上記箱体３の周
囲」二面には、プローブアームを備えたマニピール−ク
が設けられ、蓋１４の外部から半導体ウェハの任意の位
置にプローブを接触できるよう？こしている（図示せず
）。このような構成は、本願出願人の先扉（特願昭５７
−１５１２９９）の低温用プローバにより詳細に説明し
ている。
された素子等の測定を容易にするため、上記箱体３の周
囲」二面には、プローブアームを備えたマニピール−ク
が設けられ、蓋１４の外部から半導体ウェハの任意の位
置にプローブを接触できるよう？こしている（図示せず
）。このような構成は、本願出願人の先扉（特願昭５７
−１５１２９９）の低温用プローバにより詳細に説明し
ている。
この実施例による低温用測定載置台の温度制御の作動形
態を次に説明する。また、これに代え、測定索子との接
続は配線により行うものであってもよい。
態を次に説明する。また、これに代え、測定索子との接
続は配線により行うものであってもよい。
所望の低温を形成するにあたり、上記第１．第２の真空
室１，２の排気がなされる。この後、バルブＢ１が開か
れて液化チッソの供給が行われる。
室１，２の排気がなされる。この後、バルブＢ１が開か
れて液化チッソの供給が行われる。
このとき、同時に気化ガスを抜き取るバルブＢ２も開か
れる。上記液化チッソの注入により第１のタンク１１の
容量を越える液化チッソは、金属管９を通して第２のタ
ンク８に注入される。このように第２にタンク８に液化
チッソが注入されると、その気化がこの第２のタンク８
によって行われる。
れる。上記液化チッソの注入により第１のタンク１１の
容量を越える液化チッソは、金属管９を通して第２のタ
ンク８に注入される。このように第２にタンク８に液化
チッソが注入されると、その気化がこの第２のタンク８
によって行われる。
したがって、上記的−１９６℃の低温度がこの第２のタ
ンク８で形成されることになるため、熱伝導体７を通し
て試料載置台５に上記温度が最低温度として伝えられる
。
ンク８で形成されることになるため、熱伝導体７を通し
て試料載置台５に上記温度が最低温度として伝えられる
。
この状態から、徐々に一定の温度勾配のもとに温度を上
昇させる場合、バルブＢ２による気化ガスの排気量と、
バルブＢ１による液化チッソの供給量を減らす。これに
より、第２のタンク８内の気圧が高くなり、第２のタン
ク８の液化チッソ量が減少していく。これと同時に電気
ヒータ１２を作動させてその温度を徐々に高める。
昇させる場合、バルブＢ２による気化ガスの排気量と、
バルブＢ１による液化チッソの供給量を減らす。これに
より、第２のタンク８内の気圧が高くなり、第２のタン
ク８の液化チッソ量が減少していく。これと同時に電気
ヒータ１２を作動させてその温度を徐々に高める。
そして、第２のタンク８の液化チッソが無くなると、液
化チッソの気化は金属管９から第１のタンク１１で行わ
れるようになる。
化チッソの気化は金属管９から第１のタンク１１で行わ
れるようになる。
上記金属管９乃至第１のタンク１１で液化チッソの気化
が行われるようになると、これらの部分で上記−１９６
℃のような低温度が形成されるが、上記熱伝導体７には
、第２のタンク８乃至これとともに金属管９を通して伝
えられるものとなる。
が行われるようになると、これらの部分で上記−１９６
℃のような低温度が形成されるが、上記熱伝導体７には
、第２のタンク８乃至これとともに金属管９を通して伝
えられるものとなる。
第２のタンク８と金属管９とは、共に適当な熱抵抗を持
つように形成されているので、上記気化により形成され
た一１９６℃の温度は減衰して熱伝導体７に伝えられる
。このため、試料載置台５の温度は、熱伝導体７を通し
て形成された負の温度と電気ヒータ１２により形成され
熱伝導体６を通して形成された正の温度とが加算された
中間の温度又は温度勾配を持つものとされる。
つように形成されているので、上記気化により形成され
た一１９６℃の温度は減衰して熱伝導体７に伝えられる
。このため、試料載置台５の温度は、熱伝導体７を通し
て形成された負の温度と電気ヒータ１２により形成され
熱伝導体６を通して形成された正の温度とが加算された
中間の温度又は温度勾配を持つものとされる。
なお、上記第１のタンク１１で形成した低温度を第２の
タンク８に伝える熱伝導路は、上記金属管９の他、熱伝
導性を持つ金属等で排気管１ｏ及び図示しない前記した
液化チッソの戻し管を形成することにより、これらをも
通して行なわれる。
タンク８に伝える熱伝導路は、上記金属管９の他、熱伝
導性を持つ金属等で排気管１ｏ及び図示しない前記した
液化チッソの戻し管を形成することにより、これらをも
通して行なわれる。
〔効 果〕
（１）負の熱源として、液化チッソを用いるにも拘ゎら
ず、第１のタンクと第２のタンクとを設けその間をｐＪ
＋抵抗手段を兼ねる液化チッソの供給管で接続すること
によって、実質的に複数段階の負の熱源を構成できる。
ず、第１のタンクと第２のタンクとを設けその間をｐＪ
＋抵抗手段を兼ねる液化チッソの供給管で接続すること
によって、実質的に複数段階の負の熱源を構成できる。
これにより、正の温度を形成する電気ヒータは、より少
ない電力量により所望の中間温度を形成することができ
るきいう効果が得られる。
ない電力量により所望の中間温度を形成することができ
るきいう効果が得られる。
（２）上記熱抵抗の介在により、電気ヒータは中間温度
を形成する主導的な役割を果たすようになるので、その
電力制御により高精度に制御された中間温度ないし温度
勾配の温度を形成することができるという効果が得られ
る。
を形成する主導的な役割を果たすようになるので、その
電力制御により高精度に制御された中間温度ないし温度
勾配の温度を形成することができるという効果が得られ
る。
（３）第１のタンクの上部に第２のタンクを配置するご
とによって、第２のタンク内の気圧と、重力とを利用す
ることによって、第１．第２のタンク内の液化チッソの
量を簡便に制御できるという効果が（ｑられる。
とによって、第２のタンク内の気圧と、重力とを利用す
ることによって、第１．第２のタンク内の液化チッソの
量を簡便に制御できるという効果が（ｑられる。
（４）上記温度ないし温度勾配を精度よく制御できるこ
とによって、ＤＬＴＳ法をはじめとする半導体材料・素
子の評価の信頼性を高めることができるという効果が得
られる。例えば、半導体結晶を低温にしておいて、光照
射、注入その他の方法で励記すると、トラップの大部は
キャリアを捉えて充満する。この温度から毎秒Ｉ″ＣＣ
以下度の速さで温度を上昇させると、トラップされたキ
ャリアが解離し電場により流れる。これば熱刺激電流と
呼ばれ、これから半導体結晶のトラップの深さと濃度を
評価できる。このような評価において、試料載置台の上
記温度勾配が高精度に制御されて一定にできることによ
って、初めてその信頼性を得ることができるものとなる
。このように、半導体材料・素子の評価においては、温
度制御が高精度になるに従ってその信頼性が高まるもの
である。
とによって、ＤＬＴＳ法をはじめとする半導体材料・素
子の評価の信頼性を高めることができるという効果が得
られる。例えば、半導体結晶を低温にしておいて、光照
射、注入その他の方法で励記すると、トラップの大部は
キャリアを捉えて充満する。この温度から毎秒Ｉ″ＣＣ
以下度の速さで温度を上昇させると、トラップされたキ
ャリアが解離し電場により流れる。これば熱刺激電流と
呼ばれ、これから半導体結晶のトラップの深さと濃度を
評価できる。このような評価において、試料載置台の上
記温度勾配が高精度に制御されて一定にできることによ
って、初めてその信頼性を得ることができるものとなる
。このように、半導体材料・素子の評価においては、温
度制御が高精度になるに従ってその信頼性が高まるもの
である。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、２つの熱伝導
体６と７とは、それぞれ直接試料載置台５の下面側に取
り付けるものであってもよい。また、タンクの数を３個
以上にするものとして、実質的により多くの複数段階の
負の温度を液化チッソにより形成するものとしてもよい
。また、熱伝導体をより細かく分割して試料載置台に伝
わる温度の均一化を図るものとしてもよい。
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、２つの熱伝導
体６と７とは、それぞれ直接試料載置台５の下面側に取
り付けるものであってもよい。また、タンクの数を３個
以上にするものとして、実質的により多くの複数段階の
負の温度を液化チッソにより形成するものとしてもよい
。また、熱伝導体をより細かく分割して試料載置台に伝
わる温度の均一化を図るものとしてもよい。
また、上記温度制御のために、液化チッソの量を検出す
るセンサー、試料載置台の温度を検出するセンサー等を
設けるとともに、これらに基づいて上記バルブの制御及
び電気ヒータの制御をマイクロコンピュータ等により自
動制御することが便利である。
るセンサー、試料載置台の温度を検出するセンサー等を
設けるとともに、これらに基づいて上記バルブの制御及
び電気ヒータの制御をマイクロコンピュータ等により自
動制御することが便利である。
さらに、冷媒としては、液化フレオン等を用いるもので
あってよい。
あってよい。
この発明は、半導体材料・素子の評価に用いられる低温
用測定載置台として広く利用てぎるものである。
用測定載置台として広く利用てぎるものである。
第１図は、この発明の一実施例を示す１１１１面図、第
２図は、第１図のＡ−Ｂ線におりる７１＜平方向の断面
図である。 １・・第１の真空室、２・・第２の真空室、３・・箱体
、３ａ・・開口部、４・・取り付は部材、５・・試料載
置台、６・・第２の熱伝導体、６ａ・・結合部、７・・
第１の熱伝導体、８・・第２のタンク、９・・金属管、
（０・・排気管、１１・・第１のタンク、１２・・電気
ヒータ、］、 ２ ａ・・収納部、１３・・供給管、１
４・・蓋、Ｂｌ。 Ｉ３２・・バルブ 代理人弁理士 徳若 光政
２図は、第１図のＡ−Ｂ線におりる７１＜平方向の断面
図である。 １・・第１の真空室、２・・第２の真空室、３・・箱体
、３ａ・・開口部、４・・取り付は部材、５・・試料載
置台、６・・第２の熱伝導体、６ａ・・結合部、７・・
第１の熱伝導体、８・・第２のタンク、９・・金属管、
（０・・排気管、１１・・第１のタンク、１２・・電気
ヒータ、］、 ２ ａ・・収納部、１３・・供給管、１
４・・蓋、Ｂｌ。 Ｉ３２・・バルブ 代理人弁理士 徳若 光政
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、その気化により超低温を形成する冷媒の供給管が設
けられた熱伝導性を持つ第１のタンクと、この第１のタ
ンクの上部に設けられ、熱伝導性の金属管を通して接続
された熱伝導性を持つ第２のタンクと、上記第２のタン
ク内の気化ガスの排気を選択的に行うバルブが設けられ
た排気管と、上記第２のタンクの一部と結合され試料載
置台に熱を伝導する第１の熱伝導体と、電気ヒータと、
この電気ヒータで形成された熱を上記試料載置台に伝導
し、上記第１の熱伝導体とは少なくともその表面の大半
が相互に空間分離された第２の熱伝導体と、これらの熱
源及び熱伝導体を収納する真空室とを具備することを特
徴とする低温用測定載置台。 ２、上記第１．第２のタンクとの間には、第２のタンク
内の一定量を越える冷媒を第１のタンク内に戻す管が段
目られるものであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の低温用測定載置台。 ３、冷媒は、液化チッソであることを特徴とする特許請
求の範囲第１又は第２項記載の低温用測定載置台。 ４、上記第１と第２のタンクとはそれぞれドーナツ状に
形成され、その中空部に電気ヒータの収容部の下部が縦
方向に収納されるとともに、上記第１、第２の熱伝導体
は、その断面形状が複数に分割された扇形とされ、上記
測定載置台の下面に交互に配置されるものであることを
特徴とする特許請求の範囲第１、第２又は第３項記載の
低温用測定載置台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11247383A JPS604847A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 低温用測定載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11247383A JPS604847A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 低温用測定載置台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604847A true JPS604847A (ja) | 1985-01-11 |
| JPH0374333B2 JPH0374333B2 (ja) | 1991-11-26 |
Family
ID=14587512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11247383A Granted JPS604847A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 低温用測定載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604847A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5558437A (en) * | 1978-10-25 | 1980-05-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Heat tester |
| JPS56159760U (ja) * | 1980-01-11 | 1981-11-28 |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP11247383A patent/JPS604847A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5558437A (en) * | 1978-10-25 | 1980-05-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Heat tester |
| JPS56159760U (ja) * | 1980-01-11 | 1981-11-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0374333B2 (ja) | 1991-11-26 |
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