JPS6045626U - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS6045626U JPS6045626U JP13816783U JP13816783U JPS6045626U JP S6045626 U JPS6045626 U JP S6045626U JP 13816783 U JP13816783 U JP 13816783U JP 13816783 U JP13816783 U JP 13816783U JP S6045626 U JPS6045626 U JP S6045626U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- intersection
- fixed
- guides
- movable guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本案ＸＹステージの平面図、第２図は第１図の
要部拡大図、第３図は第２図Ａ−Ａ線断面図である。 １・・・・・・定盤、２，２ａ・・・・・・固定ガイド
、３，３ａ・・・・・・固定ガイド、４，４ａ・・・・
・・リニアモータ、５・・・・・・可動ガイド、５１・
・・・・・空気軸受、６・・・・・・可動ガイド、６１
・・・・・・空気軸受、７・・・・・・自在ステージ、
８・・・・・・摩擦手段、８１・・・・・・ピン、８２
・・・・・・摩擦板。
要部拡大図、第３図は第２図Ａ−Ａ線断面図である。 １・・・・・・定盤、２，２ａ・・・・・・固定ガイド
、３，３ａ・・・・・・固定ガイド、４，４ａ・・・・
・・リニアモータ、５・・・・・・可動ガイド、５１・
・・・・・空気軸受、６・・・・・・可動ガイド、６１
・・・・・・空気軸受、７・・・・・・自在ステージ、
８・・・・・・摩擦手段、８１・・・・・・ピン、８２
・・・・・・摩擦板。
Claims (1)
- 四辺に互いに平行する一対の固定ガイドを配設した定盤
と、夫々両端部を空気軸受を介して固定ガイドに連繋し
た縦横可動ガイドと、上記可動ガイドの交叉部に配備さ
れ該交叉部の変位に応じて移行する自在ステージとから
なるＸＹステージにおいて、前記各空気軸受に対し、空
気軸受と固定ガイドとの間に股ぎ摩擦部材を配備したＸ
Ｙステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13816783U JPS6045626U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13816783U JPS6045626U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6045626U true JPS6045626U (ja) | 1985-03-30 |
Family
ID=30310102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13816783U Pending JPS6045626U (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6045626U (ja) |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP13816783U patent/JPS6045626U/ja active Pending
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