JPS604281A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS604281A JPS604281A JP11201383A JP11201383A JPS604281A JP S604281 A JPS604281 A JP S604281A JP 11201383 A JP11201383 A JP 11201383A JP 11201383 A JP11201383 A JP 11201383A JP S604281 A JPS604281 A JP S604281A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- fine tube
- laser
- cathode
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 5
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 238000010147 laser engraving Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 210000005239 tubule Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、アルミナセラミック細管を有するイオンレー
ザ装置に関する。
ザ装置に関する。
イオンレーザはイオン化された希ガスのエネルギレベル
間の遷移によってレーザ発振を行なわせるものであり、
可視域にお（・てワット台の大出力連続発振が得られる
唯一のガスレーザなのでラマン分光、ホログラフィ、レ
ーザ製版など広く用いられている。従来この種のイオン
レーザ装置は第１図に示すように、レーザ室温ｌＯをレ
ーザ管１のアノード７とカソード５にそれぞれ接続し、
アノード７、カソード５間で放電させ、出力ミラー３と
全反射ミラー４とで構成される光共振器によりレーザ発
振を生ぜしめレーザ光１６を出力するように構成されて
（・る。しかし、希ガスのイオン化エネルギーが高いた
め、レーザ管内に数アンペアにおよぶ大電流アーク放電
を行なわせる必要があり、このときレーザ細管では数Ｋ
ＷＫ達する熱発生がある。したがってイオンレーザの細
管としては、イオンの衝撃に耐えることができ熱分解し
にくいベリリアセラミック等を選ぶ必要がある。
間の遷移によってレーザ発振を行なわせるものであり、
可視域にお（・てワット台の大出力連続発振が得られる
唯一のガスレーザなのでラマン分光、ホログラフィ、レ
ーザ製版など広く用いられている。従来この種のイオン
レーザ装置は第１図に示すように、レーザ室温ｌＯをレ
ーザ管１のアノード７とカソード５にそれぞれ接続し、
アノード７、カソード５間で放電させ、出力ミラー３と
全反射ミラー４とで構成される光共振器によりレーザ発
振を生ぜしめレーザ光１６を出力するように構成されて
（・る。しかし、希ガスのイオン化エネルギーが高いた
め、レーザ管内に数アンペアにおよぶ大電流アーク放電
を行なわせる必要があり、このときレーザ細管では数Ｋ
ＷＫ達する熱発生がある。したがってイオンレーザの細
管としては、イオンの衝撃に耐えることができ熱分解し
にくいベリリアセラミック等を選ぶ必要がある。
さらに数ＫＷにおよぶ熱をレーザ細管外部に放出させる
ため管外部に冷却水を通したり、放熱フィン８を取り付
け、ファン９により空冷するなどして冷却している。し
かし、近年べＩＪ リアセラミックは公害問題などで日
本国内では生産できないことから、入手もしにくく、高
価であり、ベリリア（Ｂｅｄ）の毒性が取扱をむずかし
くしている。
ため管外部に冷却水を通したり、放熱フィン８を取り付
け、ファン９により空冷するなどして冷却している。し
かし、近年べＩＪ リアセラミックは公害問題などで日
本国内では生産できないことから、入手もしにくく、高
価であり、ベリリア（Ｂｅｄ）の毒性が取扱をむずかし
くしている。
本発明の目的に、前記欠点を除去し、公害問題の勲い取
扱が容易で安価なイオンレーザ装置を提供することにあ
る。
扱が容易で安価なイオンレーザ装置を提供することにあ
る。
以下第２図の一実施例につ〜・て本発明の詳細な説明す
る。
る。
レーザ管１は肉厚のうす（・アルミナセラミック細管Ｊ
４をΦＢ？え、その外周に放熱フィン封入皿１３′が設
けられている。Ｖ−ザ管１のアノード７とカソード５と
の間に電、源１０を接続して放Ｎ１させ出力ミラー３と
全反射ミラー４とで構成される光共振器によりレーザ発
振を生ぜしめてレーザ光１５を得る。アノード７とカソ
ード５間の放電は、アルミナセラミック細管１４の内部
細管部で電流密度が湿′人となり、その熱発生は肉厚の
うすい（０，５ｍ以下）アルミナセラミック細管１４を
介して放熱フィン封入皿１３′、カソード側封入皿１１
′に伝わり、放熱フィン８，８′とファン９により空冷
される。また、アルミナセラミック細管１４の表面全域
にカソード側側入皿１１′、放熱フィン封入皿１３’を
ロー付し、カソード側封入朋１１′ 、放熱フィン封入
皿１３′の夕を側に放熱フィン８，８′をロー付するこ
とにより、アルミナセラミック細管１４は充分冷却され
る。
４をΦＢ？え、その外周に放熱フィン封入皿１３′が設
けられている。Ｖ−ザ管１のアノード７とカソード５と
の間に電、源１０を接続して放Ｎ１させ出力ミラー３と
全反射ミラー４とで構成される光共振器によりレーザ発
振を生ぜしめてレーザ光１５を得る。アノード７とカソ
ード５間の放電は、アルミナセラミック細管１４の内部
細管部で電流密度が湿′人となり、その熱発生は肉厚の
うすい（０，５ｍ以下）アルミナセラミック細管１４を
介して放熱フィン封入皿１３′、カソード側封入皿１１
′に伝わり、放熱フィン８，８′とファン９により空冷
される。また、アルミナセラミック細管１４の表面全域
にカソード側側入皿１１′、放熱フィン封入皿１３’を
ロー付し、カソード側封入朋１１′ 、放熱フィン封入
皿１３′の夕を側に放熱フィン８，８′をロー付するこ
とにより、アルミナセラミック細管１４は充分冷却され
る。
このような構成によってベリリア細％６より熱伝導の悪
いアルミナセラミック細管１４か使用でき、公害問題の
な（・、取扱が容易で安価なレーザ装置を提供できる。
いアルミナセラミック細管１４か使用でき、公害問題の
な（・、取扱が容易で安価なレーザ装置を提供できる。
第１図は従来のイオンレーザ装置を示す断面図、第２図
は本発明のイオンレーザ装置な示す断面図である。 １・・・レーザ管、２，２′・・・光学窓、３・・・出
力ミラー、４・・・全反射ミラー、５・・・カソード、
６・・・ベリリアセラミック細管、７・・・アノード、
８，８′・・・放熱フィン、９・・・ファン、′１０・
・・レーザ電源、１１，１１’・・・カソード側封入皿
、１２・・・アノード側側人皿、１３．１３’・・・放
熱フィン封入皿、１４・・・アルミナセラミック細管、
−５１５・・・レーザ光。 代理人 弁哩士 内 原 晋
は本発明のイオンレーザ装置な示す断面図である。 １・・・レーザ管、２，２′・・・光学窓、３・・・出
力ミラー、４・・・全反射ミラー、５・・・カソード、
６・・・ベリリアセラミック細管、７・・・アノード、
８，８′・・・放熱フィン、９・・・ファン、′１０・
・・レーザ電源、１１，１１’・・・カソード側封入皿
、１２・・・アノード側側人皿、１３．１３’・・・放
熱フィン封入皿、１４・・・アルミナセラミック細管、
−５１５・・・レーザ光。 代理人 弁哩士 内 原 晋
Claims (1)
- アノードとカソード間にアルミナセラミック細管を有す
るイオンレーザ装置において、該アルミナセラミック細
管の肉厚をうすくし、細管全域に金属製放電フィンを設
けたことを特徴とするイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11201383A JPS604281A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11201383A JPS604281A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604281A true JPS604281A (ja) | 1985-01-10 |
Family
ID=14575781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11201383A Pending JPS604281A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604281A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0247910U (ja) * | 1988-09-27 | 1990-04-03 |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP11201383A patent/JPS604281A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0247910U (ja) * | 1988-09-27 | 1990-04-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3839528B2 (ja) | Ｘ線発生装置 | |
| US3949258A (en) | Method and means for suppressing ozone generated by arc lamps | |
| JPS604281A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JP2003123999A (ja) | Ｘ線管装置 | |
| JP2725493B2 (ja) | 空冷式アルゴンイオンレーザ管 | |
| JPS5918695Y2 (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| US4801839A (en) | Mounting of a cold cathode directly to a vacuum chamber wall | |
| JPS6028284A (ja) | 希ガスイオンレ−ザ管 | |
| JPH031585A (ja) | レーザ発振器用放電管 | |
| JPS59189689A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPH0453010Y2 (ja) | ||
| JPS58188179A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPS607784A (ja) | 希ガスイオンレ−ザ管 | |
| JPS62130Y2 (ja) | ||
| JP2554680B2 (ja) | ガスレーザ管装置 | |
| JPS61180488A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPS6342426B2 (ja) | ||
| JPS63131588A (ja) | ガスレ−ザ管装置 | |
| JPS6420682A (en) | Gas laser apparatus excited by high frequency discharge | |
| USRE30181E (en) | Method and means for suppressing ozone generated by arc lamps | |
| JPS5839082A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPS59188986A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPH08181367A (ja) | 空冷式イオンレーザ管 | |
| JPS58123784A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPS60219783A (ja) | ガスレ−ザ管 |