JPS6035870Y2 - gas analyzer - Google Patents

gas analyzer

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JPS6035870Y2
JPS6035870Y2 JP1979072908U JP7290879U JPS6035870Y2 JP S6035870 Y2 JPS6035870 Y2 JP S6035870Y2 JP 1979072908 U JP1979072908 U JP 1979072908U JP 7290879 U JP7290879 U JP 7290879U JP S6035870 Y2 JPS6035870 Y2 JP S6035870Y2
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JP
Japan
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gas
dehumidifier
semipermeable membrane
phase
gas phase
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JP1979072908U
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JPS55172842U (en
Inventor
輝男 金子
Original Assignee
富士電機株式会社
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、プローブによって採取されたサンプルガスを
半透膜式気相除湿器を通してガス分析計に導入すると共
に、前記半透膜式気相除湿器を通り前記ガス分析計に導
入される前のサンプルガスの一部を分岐させてドライパ
ージガスとして前記半透膜式気相除湿器に導入するよう
にしたガス分析装置に関するものである。
[Detailed description of the invention] The present invention introduces a sample gas collected by a probe into a gas analyzer through a semipermeable membrane gas phase dehumidifier, and passes through the semipermeable membrane gas phase dehumidifier to analyze the gas. The present invention relates to a gas analyzer in which a part of the sample gas before being introduced into the analyzer is branched and introduced as a dry purge gas into the semipermeable membrane gas phase dehumidifier.

一般にガス分析計内に導入されるサンプルガスに水分が
含まれていると反応セルの窓が汚染されたり、スパンド
リフトが生じたりするので、サンプルガス中の水分はで
きるだけ除去することが望ましい。
Generally, if the sample gas introduced into the gas analyzer contains moisture, the window of the reaction cell will be contaminated or span drift will occur, so it is desirable to remove as much moisture as possible from the sample gas.

ガス分析計の中でも特に例えばSO2ガス分析計の場合
には、SO2ガスがドレンに溶解し易いため、サンプル
ガス中の水分を除湿器によって除去スると共に、サンプ
ルガスを採取するプローブから除湿器に到るまでのガス
導管をSO□ガスの露点以上に加熱するようにしている
Among gas analyzers, especially in the case of an SO2 gas analyzer, SO2 gas easily dissolves in drain, so the moisture in the sample gas is removed by a dehumidifier, and the sample gas is removed from the probe that collects the sample gas to the dehumidifier. All the gas conduits are heated above the dew point of the SO□ gas.

しかし、プローブと除湿器との間の距離が長くなると、
導管加熱のための電力消費量が増大し、均一な加熱を施
すことも難しくなる。
However, when the distance between the probe and the dehumidifier increases,
Power consumption for heating the conduit increases and it becomes difficult to provide uniform heating.

ガス分析計を精度よく長期間安定して作動させるために
は、ダスト、ミスト、水分を、サンプルガスのロスをで
きるだけ少なくして除去した清浄な状態に前処理し、分
析計に導入しなければならない。
In order for a gas analyzer to operate accurately and stably for a long period of time, dust, mist, and moisture must be pretreated to a clean state with minimal loss of sample gas before introduction into the analyzer. No.

しかるに前処理部でのロスを少なくするためには、凝縮
水の発生を極力少なくすること、凝縮水とサンプルガス
との接触時間を少なくすること、サンプルガスとの接触
部の材料として分析対象成分と反応しないものを選定す
ること、などの配慮が必要である。
However, in order to reduce the loss in the pretreatment section, it is necessary to minimize the generation of condensed water, reduce the contact time between the condensed water and the sample gas, and use the material of the part that comes into contact with the sample gas as the target component. Care must be taken to select a material that does not react with

一方、半透膜式気相除湿器を良好に動作させるためにも
ダストやミスト、水分を事前に除去する必要がある。
On the other hand, in order for a semi-permeable membrane vapor phase dehumidifier to operate well, it is necessary to remove dust, mist, and moisture in advance.

さらに、半透膜式気相除湿器のドライパージガスとして
計装用空気が得られない場合には、それをシステム自身
で作り出さなければななない。
Furthermore, if instrument air is not available as a dry purge gas for a semipermeable membrane gas phase dehumidifier, it must be produced by the system itself.

半透膜式気相除湿器のドライパージガスとしてガス分析
計から排出される乾燥された用済みガスを利用できれば
都合がよいが、ガス分析計として例えば化学発光式のも
のを用いる場合には、その排出ガスを半透膜式気相除湿
器のドライパージガスとして利用するのは好ましくない
It would be convenient if the dried spent gas discharged from the gas analyzer could be used as the dry purge gas for a semipermeable membrane gas phase dehumidifier, but if a chemiluminescent gas analyzer is used, for example, It is not preferable to use exhaust gas as dry purge gas for a semipermeable membrane gas phase dehumidifier.

すなわち、化学発光式ガス分析計では、サンプルガス中
の例えば一酸化窒素(No)濃度を測定するのには、そ
の一酸化窒素とオゾンとを化学反応させ、その際に発光
される発光強度によりNo濃度を測定するのであるが、
ガス分析計の排出ガス中に余剰のオゾンが含まれるのは
避けられないからである。
In other words, in a chemiluminescent gas analyzer, in order to measure, for example, the concentration of nitric oxide (No) in a sample gas, the nitric oxide and ozone are chemically reacted, and the intensity of the emitted light is determined by the chemical reaction of the nitric oxide and ozone. To measure the No concentration,
This is because it is unavoidable that excess ozone is included in the exhaust gas from the gas analyzer.

このオゾンは接触材料を腐蝕させる性質の強い、いわゆ
る攻撃性のある有害なガスである。
This ozone is a so-called aggressive and harmful gas that has a strong tendency to corrode materials it comes in contact with.

更に、排出ガス中に窒素酸化物が含まれている場合には
、その窒素酸化物、水分およびオゾンによって硝酸が生
成されたり、更に排出ガス中に硫黄酸化物が含まれてい
る場合には、その硫黄酸化物、水分およびオゾンによっ
て硫酸が生成されたりする。
Furthermore, if the exhaust gas contains nitrogen oxides, nitric acid is produced by the nitrogen oxides, moisture and ozone, and if the exhaust gas contains sulfur oxides, Sulfuric acid is produced by the sulfur oxides, moisture and ozone.

これらの硝酸や硫酸も又攻撃性の強いものであり、した
がって前述のオゾンと共にこれらは気相除湿器の半透膜
チューブを腐蝕させるので、結局、ガス分析計の排出ガ
スを半透膜式気相除湿器のドライパージガスとして用い
るのは好ましくないのである。
These nitric acids and sulfuric acids are also highly aggressive, and therefore, along with the aforementioned ozone, they corrode the semipermeable membrane tube of a vapor phase dehumidifier, so eventually the exhaust gas from the gas analyzer must be replaced with a semipermeable membrane tube. It is not preferable to use it as a dry purge gas in a phase dehumidifier.

本考案の目的は、できるだけ保守・点検の煩雑さがなく
、安価で効率のよいサンプルガス用除湿手段を備えたガ
ス分析装置を提供することである。
An object of the present invention is to provide a gas analyzer equipped with a sample gas dehumidifying means that is inexpensive and efficient, requiring as little maintenance and inspection as possible.

さらに本考案の目的は、寒冷地でのドレン排出口の凍結
事故を防止することができ、しかもプローブと除湿器と
の間においてガス導管の加熱・保温を必要としないガス
分析装置を提供することである。
A further object of the present invention is to provide a gas analyzer that can prevent freezing accidents at the drain outlet in cold regions and that does not require heating or keeping the gas pipe warm between the probe and the dehumidifier. It is.

これらの目的は、本考案によれば、初めに述べたガス分
析装置において、ドライパージガスを第1の半透膜式気
相除湿器に導く導管にポンプおよび第2の半透膜式気相
除湿器を配設腰しかも前記ポンプの入口側には、大気中
の空気を吸入し得るようにするために一端側が大気に連
通ずる分岐管を、フィルタを介して接続することによっ
て遠戚される。
According to the present invention, in the gas analyzer mentioned at the beginning, a pump and a second semipermeable membrane gas phase dehumidifier are connected to the conduit leading dry purge gas to the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier. In addition, the inlet side of the pump is connected to a branch pipe whose one end communicates with the atmosphere through a filter so that air from the atmosphere can be sucked in.

以下、図面を参照して本考案を更に詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

第1図は本考案の一実施例を示すものである。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.

サンプルガスはプローブ1によって採取され、ここで一
次除塵された後で、必要に応じて設けられるフィルタ2
で二次除塵される。
A sample gas is collected by a probe 1, and after primary dust removal there, a filter 2 is provided as necessary.
Secondary dust removal is performed.

サンプルガスに水分が含まれている場合にフィルタ2に
発生スル凝縮水はバイパスガスと共に圧縮空気の助けに
よって作動するエアアスピレータ15によっテ吸引され
る。
If the sample gas contains water, the condensed water generated on the filter 2 is sucked together with the bypass gas by an air aspirator 15 operated with the aid of compressed air.

ここでフィルタ2と後述の除湿器3をサンプルガスの露
点温度以上に加熱した恒温槽26に収納した場合には上
記凝縮水を生ずることがなく、ガスの溶解ロス低減を図
ることができる。
If the filter 2 and the dehumidifier 3, which will be described later, are housed in a constant temperature bath 26 heated to a temperature higher than the dew point temperature of the sample gas, the condensed water will not be generated, and gas dissolution loss can be reduced.

また、エアアスピレータ15によってサンプルガスの一
部をバイパスして吸引することにより、フィルタ2内に
は単位時間当たり、より多量のサンプルガスが吸引され
るので、フィルタ2内のサンプルガスが新しいサンプル
ガスと置換される速度が速くなると共に、フィルタ基部
の外周面附近から、フィルタ内に吸引されるサンプルガ
スをバイパスさせることにより、フィルタ内に古いサン
プルガスが溜るという事態を避けることができる。
In addition, by bypassing and suctioning a part of the sample gas by the air aspirator 15, a larger amount of sample gas is sucked into the filter 2 per unit time, so that the sample gas in the filter 2 is replaced with new sample gas. By bypassing the sample gas sucked into the filter from near the outer peripheral surface of the filter base, it is possible to avoid a situation where old sample gas accumulates in the filter.

エアアスピレータ15には大きな吸引力は不要であり、
ダストやドレンが混入しても吸引力の変化しない構造の
ものが望ましい。
The air aspirator 15 does not require a large suction force;
It is desirable to have a structure in which the suction power does not change even if dust or drainage gets mixed in.

これによって吸引された凝縮水は空気で稀釈され、気相
に近い状態で排出されるので、排出口が凍結して閉塞し
てしまうようなおそれは無い。
The condensed water sucked in by this is diluted with air and discharged in a state close to a gas phase, so there is no fear that the discharge port will freeze and become clogged.

フィルタ2を通ったサンプルガスは第1の半透膜式気相
除湿器3により出口ガス露点が外気温度以下になるまで
除湿され、更にポンプ4三次除塵用フィルタ5および流
量計6を通ってガス分析計7に導入される。
The sample gas that has passed through the filter 2 is dehumidified by the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier 3 until the outlet gas dew point becomes below the outside air temperature, and then passes through the pump 4, the tertiary dust removal filter 5, and the flow meter 6, and then the gas is dehumidified. It is introduced into the analyzer 7.

なお、サンプルガスが高圧である場合にはポンプ4は省
略することもできる。
Note that if the sample gas is at high pressure, the pump 4 may be omitted.

ポンプ4の出口側から得られる除湿されたサンプルガス
の一部は、ここから分岐して流量計16を含む分岐導管
25および第2のポンプ10を介して第2の半透膜式気
相除湿器11に導入される。
A portion of the dehumidified sample gas obtained from the outlet side of the pump 4 is branched from there via a branch conduit 25 containing a flow meter 16 and a second pump 10 to a second semipermeable membrane vapor phase dehumidifier. It is introduced into the container 11.

第2の半透膜式気相除湿器11で除湿され、導管22を
介して取出される乾燥ガスの一部は自身のドライパージ
ガスとしてニードル弁14を含む導管24を通して導入
して用いられ、他の一部は第1の半透膜式気相除湿器3
のドライパージガスとして用いられる。
A part of the dry gas dehumidified in the second semi-permeable membrane vapor phase dehumidifier 11 and taken out through the conduit 22 is used as its own dry purge gas by being introduced through the conduit 24 containing the needle valve 14, and the other part is used as its own dry purge gas. A part of the first semipermeable membrane vapor phase dehumidifier 3
Used as a dry purge gas.

このドライパージガスとして流量計16を通して得られ
るサンプルガスの一部だけでは不足するので、その不足
分は、多少の湿気やダスト等の混入による効率低下を甘
受して、フィルタ9を含む大気連通分岐管8を通してポ
ンプ10の吸入側に導入される大気中の空気によってま
かなわれる。
Since only a part of the sample gas obtained through the flow meter 16 as this dry purge gas is insufficient, the shortage is made up for by accepting a decrease in efficiency due to the contamination of some moisture, dust, etc. 8 to the suction side of the pump 10.

気相除湿器11には、ポンプ10により0.5〜1.0
kg/cIt程度に加圧したガスを導入し、除湿器11
自身のドライパージガスとしては、ニードル弁14によ
って大気圧に戻したものを戻してやる。
The gas phase dehumidifier 11 has a pump 10 with a pressure of 0.5 to 1.0
Gas pressurized to about kg/cIt is introduced into the dehumidifier 11.
The own dry purge gas is returned to atmospheric pressure using the needle valve 14.

気相除湿器11から取出される乾燥ガスの一部は細管式
固定絞り12で大気圧に減圧した後、流量計13を含む
導管23通して第1の半透膜式気相除湿器3に導かれて
、ドライパージガスとして用いられる。
A portion of the dry gas taken out from the gas phase dehumidifier 11 is reduced in pressure to atmospheric pressure by a capillary fixed throttle 12 and then passed through a conduit 23 including a flow meter 13 to the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier 3. and used as a dry purge gas.

固定絞り12の両端には流量に比例した差圧が生じるの
で、流量計13の指示から気相除湿器11の出口側ガス
圧力を知ることができ、圧力計は省略できる。
Since a pressure difference proportional to the flow rate occurs at both ends of the fixed throttle 12, the gas pressure on the outlet side of the gas phase dehumidifier 11 can be determined from the indication from the flow meter 13, and the pressure gauge can be omitted.

なお、上記構成において、ポンプ10は第1の気相除湿
器3のウェットパージガス吸引側に配設してもよい。
In the above configuration, the pump 10 may be disposed on the wet purge gas suction side of the first gas phase dehumidifier 3.

第2図は半透膜式気相除湿器3および11の詳細構成を
示すものである。
FIG. 2 shows the detailed structure of the semipermeable membrane type gas phase dehumidifiers 3 and 11.

この気相除湿器は、外管27の内部に仕切板28.39
を介して多数の内管30を支持して成るものである。
This vapor phase dehumidifier has partition plates 28 and 39 inside the outer pipe 27.
A large number of inner tubes 30 are supported through the tubes.

各内管30は例えばイー・アイ・デュポン社の商品名ナ
フィオン(NAFION)によって構成され、水蒸気の
みを選択的に透過させる機能を持っている。
Each inner tube 30 is made of, for example, NAFION, a product of EI DuPont, and has a function of selectively transmitting only water vapor.

したがって、水蒸気を含んだサンプルガスすなわちウェ
ットサンプルガスを入口31から各内管30に導入腰出
口32から排出させると、その過程でサンプルガス中の
水蒸気は各内管30の管壁を通して外管27内に排出さ
れる。
Therefore, when a sample gas containing water vapor, that is, a wet sample gas, is introduced from the inlet 31 into each inner tube 30 and discharged from the outlet 32, the water vapor in the sample gas passes through the wall of each inner tube 30 and enters the outer tube 27. discharged inside.

一方、外管27のパージガス人口33から出口34に向
ってドライパージガスを流しておくと、外管27内に排
出されたサンプルガス中の水蒸気は入口33から導入さ
れたドライパージガスに吸収され、出口34からウェッ
トパージガスとして排出されることになる。
On the other hand, if the dry purge gas is allowed to flow from the purge gas port 33 of the outer tube 27 toward the outlet 34, the water vapor in the sample gas discharged into the outer tube 27 will be absorbed by the dry purge gas introduced from the inlet 33, and the water vapor will be absorbed by the dry purge gas introduced from the inlet 33. 34 as wet purge gas.

このようにして出口32からは水蒸気を含まない乾燥し
たガスすなわちドライガスを得ることができる。
In this way, a dry gas free of water vapor can be obtained from the outlet 32.

第1図の細管式固定絞り12は、第3図に示すようにこ
れをニードル弁18に置換し、導管22にそのガス圧力
を知るための圧力計17を設ける構成としてもよい。
The capillary fixed restrictor 12 shown in FIG. 1 may be replaced with a needle valve 18 as shown in FIG. 3, and the conduit 22 may be provided with a pressure gauge 17 for determining the gas pressure.

また、気相除湿器3のパージガス除湿のための気相除湿
器11の性能を確認するため、圧力計17のほかに導管
24内に流量計19を配設してもよい。
Further, in order to check the performance of the gas phase dehumidifier 11 for dehumidifying the purge gas of the gas phase dehumidifier 3, a flow meter 19 may be provided in the conduit 24 in addition to the pressure gauge 17.

第4図は、フィルタ2を省略して、プローブ1で採取さ
れたサンプルガスを気相除湿器3に直接送り込むことも
できることを示すものである。
FIG. 4 shows that the filter 2 can be omitted and the sample gas sampled by the probe 1 can be sent directly to the gas phase dehumidifier 3.

場合によってはプローブ1と気相除湿器3との間に、N
H3コンバータなどを介挿することもできる。
In some cases, between the probe 1 and the vapor phase dehumidifier 3, N
It is also possible to insert an H3 converter or the like.

更に第5図は、半透膜式気相除湿器3のウェットパージ
ガスをエアアスピレータ20によって積極的に吸引して
除湿効率の向上を図ると共に、これよりも吸引力の小さ
いフィルタ2に対しては細管式固定絞り21を介在させ
ることにより、比較的な強力なエアアスピレータ20を
フィルタ2の凝縮水およびバイパスの吸引用としても兼
用するようにした実施例を示すものである。
Furthermore, FIG. 5 shows that the wet purge gas of the semipermeable membrane gas phase dehumidifier 3 is actively sucked by the air aspirator 20 to improve the dehumidification efficiency, and at the same time, for the filter 2 which has a smaller suction force. This shows an embodiment in which a relatively powerful air aspirator 20 is also used for suctioning the condensed water of the filter 2 and the bypass by interposing a capillary fixed throttle 21.

以上述べたように本考案によれば、プローブ直後に半透
膜式気相除湿器を有するガス分析装置において、そのド
ライパージガスを得るのに、可及的に除湿器自身の出力
するドライサンプルガスを一部分岐して優先利用し、そ
の不足分は大気中の空気を利用するようにしたので、安
価で保守・点検の煩雑さが軽減されるにもかかわらず、
サンプルガスの除湿効果を著しく向上させることができ
る。
As described above, according to the present invention, in a gas analyzer having a semipermeable membrane type gas phase dehumidifier immediately after the probe, in order to obtain the dry purge gas, the dry sample gas output from the dehumidifier itself is used as much as possible. By branching out some of the air and using it preferentially, and using atmospheric air to make up for the shortage, it is cheaper and reduces the complexity of maintenance and inspection.
The dehumidification effect of sample gas can be significantly improved.

又、プローブの直後に除湿器を設けることにより、分岐
計盤内に凝縮水が発生することがないので、盤内に特別
の除湿器を必要とすることもない。
Further, by providing a dehumidifier immediately after the probe, no condensed water is generated within the branch instrument panel, so there is no need for a special dehumidifier within the panel.

更に本考案の装置では除湿器のパージガスを装置自身で
作り出すので、特別な計装用ガスを必要とすることもな
い。
Furthermore, since the device of the present invention generates the dehumidifier purge gas by itself, no special instrumentation gas is required.

半透膜式気相除湿器の除湿能力はその周囲温度に左右さ
れ、周囲温度が低くなると除湿能力が高まり、出口ガス
露点が低くなる。
The dehumidifying capacity of a semipermeable membrane vapor phase dehumidifier depends on its ambient temperature; as the ambient temperature decreases, the dehumidifying capacity increases and the outlet gas dew point decreases.

そのため、除湿器3のサンプルガス出口側は外気温度に
さらす必要があり、そうすることにより出口ガス露点は
外気温度にスライドして上下し、ガス導管加熱を不要に
するという目的を達することができる。
Therefore, it is necessary to expose the sample gas outlet side of the dehumidifier 3 to the outside air temperature, and by doing so, the outlet gas dew point slides up and down with the outside air temperature, achieving the purpose of eliminating the need for heating the gas conduit. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本考案の一実施例を系統配置図、第2図は半透
膜式気相除湿器の一例を示す縦断面図、第3図は本考案
の他の実施例の系統配置図、第4図は本考案の更に異な
る実施例の要部の系統配置図、第5図は本考案の更に異
なる他の実施例の系統配置図である。 1・・・・・・プローブ、3・・・・・・第1の半透膜
式気相除湿器、7・・・・・・ガス分析計、8・・・・
・・大気連通分岐管、11・・・・・・第2の半透膜式
気相除湿器、12・・・・・・細管式固定絞り、14.
18・・・・・・ニードル弁、25・・・・・・分岐管
Fig. 1 is a system layout diagram of one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a vertical sectional view showing an example of a semipermeable membrane vapor phase dehumidifier, and Fig. 3 is a system layout diagram of another embodiment of the invention. , FIG. 4 is a system layout diagram of the main parts of a further different embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a system layout diagram of still another embodiment of the present invention. 1... Probe, 3... First semi-permeable membrane gas phase dehumidifier, 7... Gas analyzer, 8...
...Atmosphere communication branch pipe, 11...Second semipermeable membrane gas phase dehumidifier, 12...Capillary fixed throttle, 14.
18... Needle valve, 25... Branch pipe.

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] (1)プローブによって採取されたサンプルガスを第1
の半透膜式気相除湿器を通してガス分析計に導入すると
ともに、前記第1の半透膜式気相除湿器を通り前記ガス
分析計に導入される前のサンプルガスの一部を分岐させ
てドライパージガスとして前記第1の半透膜式気相除湿
器に導入するようにしたガス分析装置において、前記ド
ライパージガスを第1の半透膜式気相除湿器に導く導管
にポンプおよび第2の半透膜式気相除湿器を配設し、し
かも前記ポンプの入口側には、大気中の空気を吸入し得
るようにするために一端側が大気に連通ずる分岐管を、
フィルタを介して接続したことを特徴とするガス分析装
置。
(1) The sample gas collected by the probe is
A part of the sample gas is introduced into the gas analyzer through the semipermeable membrane gas phase dehumidifier, and a part of the sample gas is branched before being introduced into the gas analyzer through the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier. In the gas analyzer, the dry purge gas is introduced into the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier as a dry purge gas, and a pump and a second A semipermeable membrane gas phase dehumidifier is installed, and a branch pipe with one end communicating with the atmosphere is provided on the inlet side of the pump so that air from the atmosphere can be taken in.
A gas analyzer characterized in that it is connected via a filter.
(2) 実用新案登録請求の範囲第1項に記載のガス
分析装置において、第2の半透膜式気相除湿器と第1の
半透膜式気相除湿器のドライパージガス導入口との間の
導管に、細管式固定絞りおよび流量計が配設されている
ことを特徴とするガス分析装置。
(2) Scope of Utility Model Registration In the gas analyzer according to claim 1, the connection between the second semipermeable membrane gas phase dehumidifier and the dry purge gas inlet of the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier A gas analyzer characterized in that a capillary fixed restrictor and a flow meter are arranged in a conduit between the two.
(3)実用新案登録請求の範囲第1項に記載のガス分析
装置において、第2の半透膜式気相除湿器と第1の半透
膜式気相除湿器のドライパージガス導入口との間の導管
に、圧力計、ニードル弁および流量計が配設されている
ことを特徴とするガス分析装置。
(3) Scope of Utility Model Registration In the gas analyzer according to claim 1, the second semipermeable membrane gas phase dehumidifier and the dry purge gas inlet of the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier A gas analyzer characterized in that a pressure gauge, a needle valve, and a flow meter are arranged in a conduit between the two.
(4) 実用新案登録請求の範囲第1項ないし第3項
のいずれかに記載のガス分析装置において、第1の半透
膜式気相除湿器のウェットパージガスはエアアスピレー
タによって吸出されることを特徴とするガス分析装置。
(4) In the gas analyzer according to any one of claims 1 to 3 of the utility model registration claim, the wet purge gas of the first semipermeable membrane gas phase dehumidifier is sucked out by an air aspirator. Characteristic gas analyzer.
JP1979072908U 1979-05-29 1979-05-29 gas analyzer Expired JPS6035870Y2 (en)

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