JPS603409U - 膜厚計 - Google Patents

膜厚計

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JPS603409U
JPS603409U JP9279083U JP9279083U JPS603409U JP S603409 U JPS603409 U JP S603409U JP 9279083 U JP9279083 U JP 9279083U JP 9279083 U JP9279083 U JP 9279083U JP S603409 U JPS603409 U JP S603409U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bandpass filter
film
light
sector
thickness meter
Prior art date
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Granted
Application number
JP9279083U
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English (en)
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JPH028163Y2 (ja
Inventor
深沢　与四郎
京野　六生
Original Assignee
日本分光工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本分光工業株式会社 filed Critical 日本分光工業株式会社
Priority to JP9279083U priority Critical patent/JPS603409U/ja
Publication of JPS603409U publication Critical patent/JPS603409U/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は透過測定の場合の本考案による膜厚計を示すブ
ロック図、第２図は本考案の膜厚計で用いるセクターの
構成を示す図、第３図は検知器からの出力信号を示す図
、第４図は反射測定の場合の光学系の一部を示す図であ
る。 １・・・光源、２．　５・・・レンズ、３．　３’・・
・サンプル膜、４・・・セクター、６・・・検知器、７
・・・第１のバンドパスフィルター、８・・・第２のバ
ンドパスフィルター、９・・・遮断部分、１０．１１・
・・同期整流器、１２・・・足算器、１３・・・演算器
、１４・・・金属板。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）光源からの光をサンプル膜に照射し、該膜の透過
    光又は反射光を一定周期で回転するセクターへ導き、該
    セクターを膜の吸収波数に対応した第１のバンドパスフ
    ィルターと吸収の無い波数に対応した第２バンドパスフ
    イルターとで構成シて、第１バンドパスフイルターと第
    ２バンドパスフイルターの両透過光が態別の断続周波数
    を持つように成し、両透過光を一つの検知器へ導き電気
    信号へ変換した後、各断続周波数で同期整流し両透過光
    の各強度を求め、その比からサンプル膜の膜厚を求める
    ことを特徴とする膜厚計。
  2. （２）上記セクターがそれぞれ１ハ円を成す第一１バン
    ドパスフイルター、第２バンドパスフイルター、遮断部
    分、第２バンドパスフイルターをこの順序で並べて構成
    され、両透過光の断続周波数がｆと２ｆに成るようにし
    たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第（１）項
    に記載の膜厚計。
JP9279083U 1983-06-18 1983-06-18 膜厚計 Granted JPS603409U (ja)

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JP9279083U JPS603409U (ja) 1983-06-18 1983-06-18 膜厚計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9279083U JPS603409U (ja) 1983-06-18 1983-06-18 膜厚計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS603409U true JPS603409U (ja) 1985-01-11
JPH028163Y2 JPH028163Y2 (ja) 1990-02-27

Family

ID=30223171

Family Applications (1)

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JP9279083U Granted JPS603409U (ja) 1983-06-18 1983-06-18 膜厚計

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JP (1) JPS603409U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0352448U (ja) * 1989-09-29 1991-05-21
JP2009510414A (ja) * 2005-09-29 2009-03-12 ヴィントメーラー ウント ヘルシャー コマンディトゲゼルシャフト 加工品上の塗布のり剤の３次元的広がりの特徴を測定・監視する装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49134351A (ja) * 1973-04-25 1974-12-24
JPS555939U (ja) * 1978-06-27 1980-01-16

Patent Citations (2)

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JPH028163Y2 (ja) 1990-02-27

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