JPS59106007U - 膜厚変化測定装置 - Google Patents
膜厚変化測定装置Info
- Publication number
- JPS59106007U JPS59106007U JP7283U JP7283U JPS59106007U JP S59106007 U JPS59106007 U JP S59106007U JP 7283 U JP7283 U JP 7283U JP 7283 U JP7283 U JP 7283U JP S59106007 U JPS59106007 U JP S59106007U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- thickness change
- measuring device
- current time
- multilayer film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Frequencies, Analyzing Spectra (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、膜厚変化によって信号が変化していく例を示
した図、第２図は本考案の一実施例を示す概要図である
。 １・・・レーザ発振器、Ｌ・・・レーザ光、４・・・検
出器、１４・・・信号処理部。
した図、第２図は本考案の一実施例を示す概要図である
。 １・・・レーザ発振器、Ｌ・・・レーザ光、４・・・検
出器、１４・・・信号処理部。
Claims (1)
- 光源と、この光源から発せられた照明光を多層膜へ導く
光学系と、多層膜から反射もしくは透過゛してくる光を
検出する検出器と、この検出器より出力された信号を測
定開始時から現時点までの信−号からほぼ同期を求め上
記現時点から直前め１周期までの信号を抽出しこの抽出
した信号の位相おくれを相関法で検出してくり返し数を
位相おくれとから膜厚変化を求める処理をする処理部を
備えることを特徴とする膜厚変化測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7283U JPS59106007U (ja) | 1983-01-06 | 1983-01-06 | 膜厚変化測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7283U JPS59106007U (ja) | 1983-01-06 | 1983-01-06 | 膜厚変化測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59106007U true JPS59106007U (ja) | 1984-07-17 |
| JPH0119041Y2 JPH0119041Y2 (ja) | 1989-06-02 |
Family
ID=30131822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7283U Granted JPS59106007U (ja) | 1983-01-06 | 1983-01-06 | 膜厚変化測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59106007U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5396867A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Toshiba Corp | Monitoring apparatus for cvd film thickness |
| JPS5555520A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-23 | Hitachi Ltd | Method of controlling thickness of film |
-
1983
- 1983-01-06 JP JP7283U patent/JPS59106007U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5396867A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Toshiba Corp | Monitoring apparatus for cvd film thickness |
| JPS5555520A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-23 | Hitachi Ltd | Method of controlling thickness of film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0119041Y2 (ja) | 1989-06-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR910012673A (ko) | 거리 측정장치 | |
| JPS59106007U (ja) | 膜厚変化測定装置 | |
| JPS5934372U (ja) | 測距装置 | |
| JPS59185609U (ja) | 表面あらさ測定装置 | |
| JPS5862251U (ja) | 紙葉類判別装置 | |
| JPS5954871U (ja) | 検出装置 | |
| JPS5931070U (ja) | 光波距離計 | |
| JPS5814179U (ja) | 光波距離計 | |
| JPS59129135U (ja) | 光電スイツチ | |
| JPS58138954U (ja) | トナ−濃度検知装置 | |
| JPS59144484U (ja) | レ−ザ測距装置 | |
| JPS59175188U (ja) | 用紙検出装置 | |
| JPS58116679U (ja) | 光検出回路 | |
| JPS604905U (ja) | 膜厚モニタ装置 | |
| JPS60189840U (ja) | 表面不良検知装置 | |
| JPS586214U (ja) | 光学式リニアエンコ−ダ | |
| JPS5886553U (ja) | 浮遊物濃度計 | |
| JPS5872611U (ja) | 外径測定器 | |
| JPS5956550U (ja) | 光学的検出装置 | |
| JPS5911392U (ja) | 光式煙感知器 | |
| JPS6144531U (ja) | レ−ザ発振器の出力測定装置 | |
| JPS60174818U (ja) | レ−ザ−ビ−ムセンサ | |
| JPS5949904U (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH0312264U (ja) | ||
| JPS59141352U (ja) | 画像濃度検出装置 |