JPS6033561Y2 - 電子銃

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【考案の詳細な説明】本考案は電子銃、特に電子ビーム露光送置や電子顕微鏡
等に使用する電子銃に関するものである。

従来このような電子銃は第１図に示すような構成をして
いる。

図において、Ｋは陰極、Ｇは格子、Ａは陽極であり、陰
極は通常第２図ａ、ｂｙｃに示すような形状をして
いる。

ａ、ｂはヘアピン形、Ｃはポインテッド型と呼ばれ、
これらは直径０．１〜０．３ｒｒｒｔｒｔφのタンング
ステン線或いはタンタル線を折り曲げて用いている。

通常これらは陽極が接地されて使用されるため、格子お
よび陰極の支持は絶縁物の上に構成される。

第１図に示す従来の構成によると熱により陰極の位置変
動や変形が起こり、電子ビーム放出位置の変動が生じ、
これによって試料上のプローブ位置ずれ及び試料電流変
動が生じ、電子ビーム露光装置においては特に大きな問
題となっている。

本考案は上記欠点を除去することを目的とするものであ
り、本考案はそれぞれ中央部に長方形の長辺を、ヒータ
の長手方向に沿って配設された穴を有する２枚の板状ヒ
ータが交差して配置され上記２枚の板状ヒータの中央部
の穴を介してポイントエミッタが配置されることを特徴
とするものである。

以下図面によって本考案を説明する。

第３図は本考案の実施例であり、１は陰極端子、２，３
は加熱端子、４はウニネル電極端子、Ｅはポイントエミ
ッタ、Ｈｌは第１のヒータ、Ｈ２は第２のヒータ、ＯＨ
１は第１のヒータに設けられた長方形の穴、ＯＨ２は第
２のヒータに設けられた長方形の穴である。

本考案では図の如く、ヒータＨ１゜Ｈ２をそれぞれ板状
にし、それを交差して配置する。

ヒータＨ１，Ｈ２の中央にはそれぞれ長方形の穴を有し
、この長方形の穴が交差して形成された正方形の穴の中
をポイントエミッタが通るような構成とする。

この中央部のヒータＨ１，Ｈ２とエミッタＥとの交差部
の平面図を第４図に示す。

ヒータＨ１，Ｈ２には電流が流れ温度が上昇するにつれ
て位置変動を生じる。

しかし第４図に示すようにヒータＨ１，Ｈ２は板状の為
に、矢印の方向の変動は大きいが、それと直角方向の変
動は非常に小さい。

従ってこの大きな変動はヒータＨ１、Ｈ２の穴ＯＨＩ、
ＯＨ２の長さ方向によって吸収され、その中心に通され
たエミッタＥは温度に対してほとんど変動しない。

従って本考案によれば、温度によって何等の位置変動を
起さない陰極構成を得ることができ、従来有していたプ
ローブ位置ずれや試料電流変動を生することのない電子
銃を得ることができる。

又本考案によれば一般の電源にエミッタ用の電極を取り
つけるだけでよく構成も簡単である。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は従来例、第３図、第４図は本考案の実
施例を示し、第３図は本考案の電極の斜視図、第４図は
その平面図である。図においてＡは陽極、Ｋは陰極、Ｇは格子、Ｈｌ、Ｈ２
はヒータ、Ｅはポイントエミッタ、１は陰極端子、２゜
３は加熱端子、ＯＨＩ、ＯＨ２はヒータに設けられた穴
である。

【実用新案登録請求の範囲】

それぞれ中央部に長方形の長辺を、ヒータの長手方向に
沿って配設された穴を有する２枚の板状ヒータが交差し
て配置され、上記２枚の板状ヒータの中央部に穴を介し
てポイントエミッタが配置されることを特徴とする電子
銃。