JPS60323A - 磁気スケ−ルおよびその製造方法 - Google Patents
磁気スケ−ルおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPS60323A JPS60323A JP10804383A JP10804383A JPS60323A JP S60323 A JPS60323 A JP S60323A JP 10804383 A JP10804383 A JP 10804383A JP 10804383 A JP10804383 A JP 10804383A JP S60323 A JPS60323 A JP S60323A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- groove
- metal wire
- embedded
- magnetic metal
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気スケールおよびその製造方法に係る。
従来の磁気スケールは非磁性基体上にメッキ・蒸着ある
いはスパッター等で磁性層’（ｒ被着形盛あるいは磁性
粉末を塗布あるいは板状等の磁性材料を被着形成されて
いた。そして、検出器を磁性材料の平面部に沿って移動
させ、位置検出あるいは長さ測定等を行っていた。しか
しながら、検出精度を向上させるため磁性材料の平面部
を精度良く加工することが必要で、そのために精密研摩
を行うと製造コストが高くなる欠点があった。また製造
コスト低減のためグラインダーで研削すると、非磁性基
体上に被着形成された薄板状の磁性材料は熱的影響を受
けて非磁性基体か・ら遊離し、精度良く研削することが
不可能であった。
いはスパッター等で磁性層’（ｒ被着形盛あるいは磁性
粉末を塗布あるいは板状等の磁性材料を被着形成されて
いた。そして、検出器を磁性材料の平面部に沿って移動
させ、位置検出あるいは長さ測定等を行っていた。しか
しながら、検出精度を向上させるため磁性材料の平面部
を精度良く加工することが必要で、そのために精密研摩
を行うと製造コストが高くなる欠点があった。また製造
コスト低減のためグラインダーで研削すると、非磁性基
体上に被着形成された薄板状の磁性材料は熱的影響を受
けて非磁性基体か・ら遊離し、精度良く研削することが
不可能であった。
一方、研削加工を可能にするために磁性材料の太い丸棒
あるいは角棒を使用すると、高価なＣ。
あるいは角棒を使用すると、高価なＣ。
元素を含んだ磁気特性の良好なＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏあるい
はＦｅ−Ｃｏ−Ｍｎ−Ｃ系合金等の場合、材料費が高価
となシ、望ましくない。
はＦｅ−Ｃｏ−Ｍｎ−Ｃ系合金等の場合、材料費が高価
となシ、望ましくない。
本発明は安価な研削加工が可能で、しかも検出器の移動
のだめの軸も兼ねることのできる磁気スケールとその製
造方法を提供するものである。
のだめの軸も兼ねることのできる磁気スケールとその製
造方法を提供するものである。
本発明に係る磁気スケールは、横断面が台形状である非
磁性の棒の長手方向に平行な面の該長手方向に沿って形
成された溝に磁気的に硬い磁性金属線材が埋め込まれて
おシ、前記溝が形成された側面と、該磁性金属線材とが
同一平面を形成している構造を有することを特徴として
いる。
磁性の棒の長手方向に平行な面の該長手方向に沿って形
成された溝に磁気的に硬い磁性金属線材が埋め込まれて
おシ、前記溝が形成された側面と、該磁性金属線材とが
同一平面を形成している構造を有することを特徴として
いる。
さらに、その製造方法としては、磁気的に硬い磁性金属
線材を前記溝の中に埋め込み溶接、ろう付けあるいは接
着剤で固定し、磁性金属線材埋込み面を平面研削し、平
滑な磁性材料の平面を得ることを特徴とする磁気スケー
ルの製造方法で製造することＫある。
線材を前記溝の中に埋め込み溶接、ろう付けあるいは接
着剤で固定し、磁性金属線材埋込み面を平面研削し、平
滑な磁性材料の平面を得ることを特徴とする磁気スケー
ルの製造方法で製造することＫある。
磁性金属線材を埋込む基体は非磁性体であればアルミニ
ウムあるいはその合金、銅あるいは黄銅のようなもので
もかまわないが、加工性耐摩耗性および耐蝕性等の強度
を考慮するとステンレス鋼が望ましく、日本工業規格に
おける５ＵＳ３０３あるいは３０４材が望ましい。
ウムあるいはその合金、銅あるいは黄銅のようなもので
もかまわないが、加工性耐摩耗性および耐蝕性等の強度
を考慮するとステンレス鋼が望ましく、日本工業規格に
おける５ＵＳ３０３あるいは３０４材が望ましい。
本発明の磁気スケ、−ルに使用する非磁性基体は第１図
のように横断面が台形の形をしていればよく、２０°〈
Ｏ〈７０°の範囲が望ましい。台形の斜面にセンサを取
シ付ける台の一部を接融させて設置することで、台形の
基体に取シ付けられた磁性金属線材とセンサの位置関係
が再現性よく設置できる。
のように横断面が台形の形をしていればよく、２０°〈
Ｏ〈７０°の範囲が望ましい。台形の斜面にセンサを取
シ付ける台の一部を接融させて設置することで、台形の
基体に取シ付けられた磁性金属線材とセンサの位置関係
が再現性よく設置できる。
非磁性基体にあらかじめ堀る溝の巾は埋込む磁性金属線
材の直径程度が望ましく、溝の巾が広すぎて磁性金属線
材が労せずはずれるようでは作業性の点で望ましくない
。また溝の巾が狭すぎて埋込みの際、磁性金属線材ある
いは非磁性基体が変形するようでは良好な磁気スケール
を得る上で望ましくない。
材の直径程度が望ましく、溝の巾が広すぎて磁性金属線
材が労せずはずれるようでは作業性の点で望ましくない
。また溝の巾が狭すぎて埋込みの際、磁性金属線材ある
いは非磁性基体が変形するようでは良好な磁気スケール
を得る上で望ましくない。
溝の深さは埋込む磁性金属線材の直径の半分以下の長さ
では、埋込んだ磁性金属線材が労せずはずれるだめ、作
業性の点で望ましくない。また埋込む磁性金属線材の直
径よシ長くすると、磁性材料の平面を得るだめの研削量
が多くなシ、高価な磁気スケールとなることは明確であ
る。したがって、前の深さは埋込む磁性金属線材の直径
の半分を越えてその直径を越えない深さであれば充分で
ある。溝の底面は第１図の（ａ）のように平面であって
も、（ｂ）のように曲面であってもかまわず、本発明の
磁気スケールを製造する上で問題は起らない。
では、埋込んだ磁性金属線材が労せずはずれるだめ、作
業性の点で望ましくない。また埋込む磁性金属線材の直
径よシ長くすると、磁性材料の平面を得るだめの研削量
が多くなシ、高価な磁気スケールとなることは明確であ
る。したがって、前の深さは埋込む磁性金属線材の直径
の半分を越えてその直径を越えない深さであれば充分で
ある。溝の底面は第１図の（ａ）のように平面であって
も、（ｂ）のように曲面であってもかまわず、本発明の
磁気スケールを製造する上で問題は起らない。
本発明に使用する磁性金属線材は、本発明者らによって
、すでに提案されているＦｅ−Ｃｏ−Ｍｎ−Ｃ合金（特
願５６−１５４３６９ ）あるいは前記合金にＳｔ 、
Ｖ、 Ｍｏ＋Ｗ、ａ、 Ｃｒ、 ＢｅあるいはＴｉミ
ラ体あるいは２種以上會む合金が最も望ましい。他の既
知の冷間加工可能な永久磁石合金として知られているＦ
ｅＣｒＣｏ系合金、 ＦｅＣｏＶ系合金あるいはＣｕｎ
１ ｆ Ｃ合金に比べ前記合金が望ましい。
、すでに提案されているＦｅ−Ｃｏ−Ｍｎ−Ｃ合金（特
願５６−１５４３６９ ）あるいは前記合金にＳｔ 、
Ｖ、 Ｍｏ＋Ｗ、ａ、 Ｃｒ、 ＢｅあるいはＴｉミ
ラ体あるいは２種以上會む合金が最も望ましい。他の既
知の冷間加工可能な永久磁石合金として知られているＦ
ｅＣｒＣｏ系合金、 ＦｅＣｏＶ系合金あるいはＣｕｎ
１ ｆ Ｃ合金に比べ前記合金が望ましい。
溝の中に設置した磁性金属線材を固定するためには、溶
接、ろう付けあるいは接着剤で固定することが望ましい
。浴接の場合は溶接時の発熱による溶融部分が広くなら
ないように電力量を調整する必要がある。例えばＤ径１
．５闘のＦｅ−Ｃｏ−Ｍｎ−Ｃ系合金線材を８０〔ワッ
ト７秒〕の電力で５ＵＳ３０３材に溶接すると前記線材
の５ＵＳ３０３材との接合部から約１００μｍ深さに渡
って前記線材が溶融していた。
接、ろう付けあるいは接着剤で固定することが望ましい
。浴接の場合は溶接時の発熱による溶融部分が広くなら
ないように電力量を調整する必要がある。例えばＤ径１
．５闘のＦｅ−Ｃｏ−Ｍｎ−Ｃ系合金線材を８０〔ワッ
ト７秒〕の電力で５ＵＳ３０３材に溶接すると前記線材
の５ＵＳ３０３材との接合部から約１００μｍ深さに渡
って前記線材が溶融していた。
ろう付けの場合は、ろう付けを最終熱処理の前後のどち
らかに行うかによって、ろう材の選定を行う必要がある
。即ち、ろう付けを最終熱処理前に行う場合は、その熱
処理温度よシ高い融点のろう材を用いる必要があシ、最
終熱処理後に行う場合はその熱処理温度よシ低い融点の
ろう材を用いる必要がある。接着剤で固定する場合は、
溝の中に接着剤を十分そそぎ込み、前記線材をおおって
固定することが望ましい。
らかに行うかによって、ろう材の選定を行う必要がある
。即ち、ろう付けを最終熱処理前に行う場合は、その熱
処理温度よシ高い融点のろう材を用いる必要があシ、最
終熱処理後に行う場合はその熱処理温度よシ低い融点の
ろう材を用いる必要がある。接着剤で固定する場合は、
溝の中に接着剤を十分そそぎ込み、前記線材をおおって
固定することが望ましい。
゛ 以上のような溶接ろう付けあるいは接着剤によシ磁
性金属線材を溝の中に固定せず、ただ、磁性金属線材を
屑の中に埋込むだけの状態で、研削加工を施しだ場合、
研削加工中に磁性金属線材が溝の中から飛び出してくる
場合が多くあり、鞘度良く加工できないことはもちろん
のこと、作業に危険が伴う。しかしながら、溶接ろう付
けあるいは接着剤によシ磁性金属線材を固定すると、研
削加工によシ、磁性金属線材が溝の中から飛び出してく
ることはなく、良好な精度の磁性材料の平面が得られる
。
性金属線材を溝の中に固定せず、ただ、磁性金属線材を
屑の中に埋込むだけの状態で、研削加工を施しだ場合、
研削加工中に磁性金属線材が溝の中から飛び出してくる
場合が多くあり、鞘度良く加工できないことはもちろん
のこと、作業に危険が伴う。しかしながら、溶接ろう付
けあるいは接着剤によシ磁性金属線材を固定すると、研
削加工によシ、磁性金属線材が溝の中から飛び出してく
ることはなく、良好な精度の磁性材料の平面が得られる
。
前記した最終熱処理は磁性金属線材の磁気特性を磁気ス
ケールとして最適にすることを目的としているが、その
最終熱処理は、非磁性基体の溝の中に埋込む作業の前後
どちらで施してもかまわない。ただし接着剤で固定する
場合は埋込む前に最終熱処理をしなければならない。
ケールとして最適にすることを目的としているが、その
最終熱処理は、非磁性基体の溝の中に埋込む作業の前後
どちらで施してもかまわない。ただし接着剤で固定する
場合は埋込む前に最終熱処理をしなければならない。
以上のようにして得られた磁気スケールは非磁性基体を
検出器ｆ：移動させる案内軸として使用すると、一体物
で磁気スケールと案内軸の役割を果すことができ、部品
の節約あるいは構造のｆ１ｉ単化に役立ち、装置として
の価格の低減に効果を発揮する。
検出器ｆ：移動させる案内軸として使用すると、一体物
で磁気スケールと案内軸の役割を果すことができ、部品
の節約あるいは構造のｆ１ｉ単化に役立ち、装置として
の価格の低減に効果を発揮する。
使用する磁性金属線材の直径は磁気抵抗効果素子を使用
した場合、０．５ ｗφ以上であれば十分であシ、また
太すぎると高価なＣＯ元素を用いているため、磁性金属
線材は高価となシ、３８φを越えない磁性金属線材が適
当である。
した場合、０．５ ｗφ以上であれば十分であシ、また
太すぎると高価なＣＯ元素を用いているため、磁性金属
線材は高価となシ、３８φを越えない磁性金属線材が適
当である。
次に本発明の磁気スケールおよびその製造方法について
実施例によ、って説明する。
実施例によ、って説明する。
実施例１
第１図で示した断面形状の各部の寸法がＷ−１０ｙｎｒ
ｎ ＋ Ｈ，＝１０ｍｍ＋θ−４５°である長さ１００
０＋＋ｔｍの５ＵＳ３０３の棒（第２図）の−側面にｗ
＝ ３−ｚｍ、 ｈ ＝１．８罰の溝を長手方向に直緑
秋に堀った。この棒を３本作製し、それぞれその溝に直
径３ｍｍφの予め熱処理が施されているＦｅ−Ｃｏ−Ｍ
ｎ−Ｃ系合金線拐を溶接、ろう付け、接着剤の３種類の
方法で埋込み、固定しだ。溶接の場合は５０（Ｗ／秒〕
の電力で連続浴接を施した。ろう付けの場合は４００℃
融点のろう材が溶融している５ＵＳ３０３材の溝の中に
埋込み、累早く冷却した。接着剤の場合は、溝の中に、
予め接着剤を流し込んでおき、それから磁性金属線材を
埋込んだ。その後嬶の部分全上方に向けて固定し、液体
冷却しながら鞘密研６１」用グラインダーで線材埋込み
面を第２図に示す形状においてＨ２＝９．８ｉ＋ｘとな
るように平面に研削した。
ｎ ＋ Ｈ，＝１０ｍｍ＋θ−４５°である長さ１００
０＋＋ｔｍの５ＵＳ３０３の棒（第２図）の−側面にｗ
＝ ３−ｚｍ、 ｈ ＝１．８罰の溝を長手方向に直緑
秋に堀った。この棒を３本作製し、それぞれその溝に直
径３ｍｍφの予め熱処理が施されているＦｅ−Ｃｏ−Ｍ
ｎ−Ｃ系合金線拐を溶接、ろう付け、接着剤の３種類の
方法で埋込み、固定しだ。溶接の場合は５０（Ｗ／秒〕
の電力で連続浴接を施した。ろう付けの場合は４００℃
融点のろう材が溶融している５ＵＳ３０３材の溝の中に
埋込み、累早く冷却した。接着剤の場合は、溝の中に、
予め接着剤を流し込んでおき、それから磁性金属線材を
埋込んだ。その後嬶の部分全上方に向けて固定し、液体
冷却しながら鞘密研６１」用グラインダーで線材埋込み
面を第２図に示す形状においてＨ２＝９．８ｉ＋ｘとな
るように平面に研削した。
実施例２
断面形状がＷ＝ ６ｍｍ 、 Ｈ，＝６ｍｒｔｒ 、θ
＝４５°、長さ１０００ｍｍの５ＵＳ３０３の棒の前記
と同様の側面部分にｖｒ ＝ ０．５ ｍｍ ＊ ｈ
＝ ０．５旅の溝を長手方向に直線状に堀りた。このよ
うな棒を２本作製しその溝に直径０．５朋φのＦｅ−Ｃ
ｏ−Ｍｎ−Ｃ系合金線材を埋込み、それぞれ溶接および
ろう付けで固定した。溶接の場合は５０ （Ｗ／秒）の
電力で連続溶接を施した。
＝４５°、長さ１０００ｍｍの５ＵＳ３０３の棒の前記
と同様の側面部分にｖｒ ＝ ０．５ ｍｍ ＊ ｈ
＝ ０．５旅の溝を長手方向に直線状に堀りた。このよ
うな棒を２本作製しその溝に直径０．５朋φのＦｅ−Ｃ
ｏ−Ｍｎ−Ｃ系合金線材を埋込み、それぞれ溶接および
ろう付けで固定した。溶接の場合は５０ （Ｗ／秒）の
電力で連続溶接を施した。
ろう付けの場合は、４７０℃の融点のろう材が溶融して
いる５ＵＳ３０３材の溝の中に埋込み、素早く冷却して
線材を固定し複合体とした。その複合体を４５０℃で３
０分間、水素雰囲気中で熱処理した。
いる５ＵＳ３０３材の溝の中に埋込み、素早く冷却して
線材を固定し複合体とした。その複合体を４５０℃で３
０分間、水素雰囲気中で熱処理した。
熱処理された複合体は溝の部分を上方に向けて固定され
、液体冷却しながら精密研削用グラインダーで線材埋込
み面を、第２図に示す形状でＨ，−５，９となるように
平面研削した。
、液体冷却しながら精密研削用グラインダーで線材埋込
み面を、第２図に示す形状でＨ，−５，９となるように
平面研削した。
以上の実施例で製作した磁気スケールは埋込まれた磁性
金属線材は溝から遊離することなく、良好な磁性材料の
平面が得られた。また、ビット長（Ｎ−８極間のキョリ
）が約８０μｍの磁気書き込みを磁気ヘッドで行い、磁
気抵抗効果素子で読み取ると書き込み間隔と同じ間隔で
出力信号が得られた。
金属線材は溝から遊離することなく、良好な磁性材料の
平面が得られた。また、ビット長（Ｎ−８極間のキョリ
）が約８０μｍの磁気書き込みを磁気ヘッドで行い、磁
気抵抗効果素子で読み取ると書き込み間隔と同じ間隔で
出力信号が得られた。
本発明の非磁性基体の形状は第３図のように、非磁性基
体の一部に斜面があるような形状でもかまわない。
体の一部に斜面があるような形状でもかまわない。
第１図（、）および（ｂ）は本発明に用いる非磁性基体
のみの断面形状を示す図、 第２図は本発明の一実施例を示す磁気スケールの断面図
、 第３図は本発明の他の実施例の磁気スケールの断面図で
ある。 図において１は非磁性基体に形・成された溝、２は溝に
固定された磁性金属線材、３は磁性線材が埋込まれた非
磁性基体の側面である。 オ １ 図 （０） （ｂ） ７１−２ 図
のみの断面形状を示す図、 第２図は本発明の一実施例を示す磁気スケールの断面図
、 第３図は本発明の他の実施例の磁気スケールの断面図で
ある。 図において１は非磁性基体に形・成された溝、２は溝に
固定された磁性金属線材、３は磁性線材が埋込まれた非
磁性基体の側面である。 オ １ 図 （０） （ｂ） ７１−２ 図
Claims (2)
- （１） 横断面が台形状である非磁性の棒の長手方向に
平行な側面の該長手方向に沿って形成された溝に磁気的
に硬い磁性金属線材が埋め込まれておシ、前記溝が形成
された側面と該磁性金属線材とが同一平面を形成してい
る構造を有することを特徴とする磁気スケール。 - （２）横断面が台形状である非磁性の棒の長手方向に平
行な側面の該長手方向に沿って溝を形成する工程、溝の
中に磁気的に硬い磁性金属線材を設置し、溶接、ろう付
あるいは接着剤で固定する工程、及び該磁性金属線材を
埋込んだ面を平面研削する工程を有することを特徴とす
る磁気スケールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10804383A JPS60323A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10804383A JPS60323A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60323A true JPS60323A (ja) | 1985-01-05 |
Family
ID=14474487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10804383A Pending JPS60323A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60323A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4598553A (en) * | 1981-05-12 | 1986-07-08 | Hitachi, Ltd. | Combustor for gas turbine |
| US4651534A (en) * | 1984-11-13 | 1987-03-24 | Kongsberg Vapenfabrikk | Gas turbine engine combustor |
| US6717401B2 (en) | 1998-10-14 | 2004-04-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Drum-shaped measuring standard |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10804383A patent/JPS60323A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4598553A (en) * | 1981-05-12 | 1986-07-08 | Hitachi, Ltd. | Combustor for gas turbine |
| US4651534A (en) * | 1984-11-13 | 1987-03-24 | Kongsberg Vapenfabrikk | Gas turbine engine combustor |
| US6717401B2 (en) | 1998-10-14 | 2004-04-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Drum-shaped measuring standard |
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