JPS60264126A - プラズマ装置における自動同調回路 - Google Patents
プラズマ装置における自動同調回路Info
- Publication number
- JPS60264126A JPS60264126A JP12159984A JP12159984A JPS60264126A JP S60264126 A JPS60264126 A JP S60264126A JP 12159984 A JP12159984 A JP 12159984A JP 12159984 A JP12159984 A JP 12159984A JP S60264126 A JPS60264126 A JP S60264126A
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- JP
- Japan
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- component
- circuit
- detecting
- automatic tuning
- coil
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03J—TUNING RESONANT CIRCUITS; SELECTING RESONANT CIRCUITS
- H03J7/00—Automatic frequency control; Automatic scanning over a band of frequencies
- H03J7/02—Automatic frequency control
- H03J7/16—Automatic frequency control where the frequency control is accomplished by mechanical means, e.g. by a motor
Landscapes
- Transmitters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は自動同調回路すなわちオートマチック・チュー
ナに関し、特にプラズマ装置における自動同調回路に関
する。
ナに関し、特にプラズマ装置における自動同調回路に関
する。
′（従来の技術）
高周波送信機のアンテナ回路にオートマチック・アンテ
ナチューナを挿入して負荷の変動に対応して自動的に同
調をとることは従来から知られており、プラズマ装置に
おいてもプラズマ反応管と高周波電源の間にこのような
オートマチック−チューナを挿入して負荷、すなわちプ
ラズマ反応容器内の状態の変化に応じて変化するプラズ
マ装置への入力インピーダンスの変化に対して自動的に
マツチングをとる試みがなされてきた。すなわち、反応
容器中のプラズマの状態が同一であれば、ガスの性質、
圧力、放電電圧、ガスの流れ方、等によってプラズマの
量が変化し、プラズマ装置の入力インピーダンスが変化
するからマツチングをとりなおす必要があるからである
。
ナチューナを挿入して負荷の変動に対応して自動的に同
調をとることは従来から知られており、プラズマ装置に
おいてもプラズマ反応管と高周波電源の間にこのような
オートマチック−チューナを挿入して負荷、すなわちプ
ラズマ反応容器内の状態の変化に応じて変化するプラズ
マ装置への入力インピーダンスの変化に対して自動的に
マツチングをとる試みがなされてきた。すなわち、反応
容器中のプラズマの状態が同一であれば、ガスの性質、
圧力、放電電圧、ガスの流れ方、等によってプラズマの
量が変化し、プラズマ装置の入力インピーダンスが変化
するからマツチングをとりなおす必要があるからである
。
第３図はそのような自動同調回路の一例である０図にお
いて、自動同調回路１は、高周波電源（図示せず）の出
力端子２とプラズマ装置の反応管３への入力端子４との
間に接続され、検出回路５、制御回路整６、および整合
回路７から構成されている。検出回路５には、抵抗成分
検出回路５−１およびリアクタンス成分構出回路５−２
が含まれていて、単一のコイルＬ０から反応管３の入力
インピーダンスの抵抗成分およびリアクタンス成分をそ
れぞれ検出してそれらを表わす信号ｖＲおよびＶ ｊＸ
を出力する。抵抗成分検出回路５−１における抵抗成分
の検出は、周知の通り、回路の電流および電圧の振幅を
比較することにより、リアクタンス成分検出回路５−２
．におけるリアクタンス成分の検出は、周知の通り、回
路の電流および電圧の位相を比較することによって行な
われる。制御回路７には、検出回路５の出力信号ＶＲお
よびＶ ｊＸに応答してそれぞれ付勢されるモータＭ１
およびＭ２が含まれていて、付勢されると整合回路７の
可変コンデンサＣ１およびＣ２をそれぞれ回転駆動し、
自動的に同調をンるようになっている。
いて、自動同調回路１は、高周波電源（図示せず）の出
力端子２とプラズマ装置の反応管３への入力端子４との
間に接続され、検出回路５、制御回路整６、および整合
回路７から構成されている。検出回路５には、抵抗成分
検出回路５−１およびリアクタンス成分構出回路５−２
が含まれていて、単一のコイルＬ０から反応管３の入力
インピーダンスの抵抗成分およびリアクタンス成分をそ
れぞれ検出してそれらを表わす信号ｖＲおよびＶ ｊＸ
を出力する。抵抗成分検出回路５−１における抵抗成分
の検出は、周知の通り、回路の電流および電圧の振幅を
比較することにより、リアクタンス成分検出回路５−２
．におけるリアクタンス成分の検出は、周知の通り、回
路の電流および電圧の位相を比較することによって行な
われる。制御回路７には、検出回路５の出力信号ＶＲお
よびＶ ｊＸに応答してそれぞれ付勢されるモータＭ１
およびＭ２が含まれていて、付勢されると整合回路７の
可変コンデンサＣ１およびＣ２をそれぞれ回転駆動し、
自動的に同調をンるようになっている。
（発明が解決しようとする問題点）
プラズマ装置における自動同調回路においては、上記し
たようにガスの性質、圧力、放電電圧、ガスの梳れ方、
等によってプラズマの量が変化するので、検出回路の構
成要素についてしばしば調節する必要が生じるが、上記
のような構成においては、単一のコイルＬ。を介して入
力インピーダンスの抵抗成分およびリアクタンス成分を
検出していたので、抵抗成分検出回路５−１およびリア
クタンス成分検出回路５−２のどちらか一方の回路構成
要素を調節すると他方に影響を与え。
たようにガスの性質、圧力、放電電圧、ガスの梳れ方、
等によってプラズマの量が変化するので、検出回路の構
成要素についてしばしば調節する必要が生じるが、上記
のような構成においては、単一のコイルＬ。を介して入
力インピーダンスの抵抗成分およびリアクタンス成分を
検出していたので、抵抗成分検出回路５−１およびリア
クタンス成分検出回路５−２のどちらか一方の回路構成
要素を調節すると他方に影響を与え。
検出回路の調節が困難であるｋともに同調もとりにくい
という欠点があった。
という欠点があった。
本願発明縁上記のような事情に鑑みなされたものであり
、その目的は、上記欠点を除き、検出回路の調節を容易
にするとともに同調をとりやすくしたしたプラズマ装置
における自動同調回路を提供するこ２である。
、その目的は、上記欠点を除き、検出回路の調節を容易
にするとともに同調をとりやすくしたしたプラズマ装置
における自動同調回路を提供するこ２である。
（問題点を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明によれば、プラズマ
反応管の入力端子と高周波電源の出力端子との冊に、整
合回路と、負荷の抵抗成分およびリアクタンス成分を検
出する検出回路とを設け、検出した抵抗成分およびリア
クタンス成分に基づいて自動的に前記整合回路を調′節
する自動同調回路において、抵抗成分検出用のコイルと
りアクタンス成分検出用のコイルとを互いにリンクしな
いようにＩＩ！ｌｉｌして別個に設ける。
反応管の入力端子と高周波電源の出力端子との冊に、整
合回路と、負荷の抵抗成分およびリアクタンス成分を検
出する検出回路とを設け、検出した抵抗成分およびリア
クタンス成分に基づいて自動的に前記整合回路を調′節
する自動同調回路において、抵抗成分検出用のコイルと
りアクタンス成分検出用のコイルとを互いにリンクしな
いようにＩＩ！ｌｉｌして別個に設ける。
（実施例）
以下、結目りおよび第２図を参罠して本発明の詳細な説
明する。これらの図において、第３図に用いたものと同
じ符号は、同一または類似の機能を有する要素である。
明する。これらの図において、第３図に用いたものと同
じ符号は、同一または類似の機能を有する要素である。
第１図において１本発明の一実施例によれば。
プラズマ蒸着装置の反応管３の入力端子４と高周波高圧
電源（図示せず）の出力端子２との間に、整合回路７と
、負荷の抵抗成分およびリアクタンス成分を検出する検
出回路５とを設け、検出した抵抗成分ｖＩ！！およびリ
アクタンス成分ＶｊＸに基づいて自動的に前記整合回路
７を調節する自動同調＋覧 回路ｌにおいて、抵抗成分検出用のコイルＬ１とリアク
タンス成分検出用のコイルＬ２とが互いにリンフレない
ように離間して別個に設けられる。
電源（図示せず）の出力端子２との間に、整合回路７と
、負荷の抵抗成分およびリアクタンス成分を検出する検
出回路５とを設け、検出した抵抗成分ｖＩ！！およびリ
アクタンス成分ＶｊＸに基づいて自動的に前記整合回路
７を調節する自動同調＋覧 回路ｌにおいて、抵抗成分検出用のコイルＬ１とリアク
タンス成分検出用のコイルＬ２とが互いにリンフレない
ように離間して別個に設けられる。
整合回路７の自動同調は、公知のように、検出した抵抗
成分■におよびリアクタンス成分Ｖ ｊＸに基づいて制
御回路６のモータＭ１およびＭ２をそれぞれ付勢し、整
合回路７の可変コンデンサＣ１およびＣ２を回転駆動す
ることによって行なわれる。
成分■におよびリアクタンス成分Ｖ ｊＸに基づいて制
御回路６のモータＭ１およびＭ２をそれぞれ付勢し、整
合回路７の可変コンデンサＣ１およびＣ２を回転駆動す
ることによって行なわれる。
第２図には２本発明の上記実施例がさらに詳細に示され
ている。検出回路５の抵抗成分検出回路５−１において
、公知のように検出され、同相に位相ＪＩＭｊされた電
流成分１訳と電圧成分ＶＲの振幅が、振幅比較回路Ｃ＾
で比較されて抵抗成分を表わす信号ｖＲが出力される。
ている。検出回路５の抵抗成分検出回路５−１において
、公知のように検出され、同相に位相ＪＩＭｊされた電
流成分１訳と電圧成分ＶＲの振幅が、振幅比較回路Ｃ＾
で比較されて抵抗成分を表わす信号ｖＲが出力される。
一方、検出回路５のりアクタンス成分検出回路５−２に
おいては、同じく公知のように検出され２それぞれ電流
バッファＢ、および電圧バッファＢＶを介して位相比較
回路ＣＰに供給された電流成分ｉ ＪＸと電圧成分Ｖ
ｊＸの位相が、それぞれ比較されてリアクタンス成分を
表わす信号Ｖ ＪＸが出力される。出力信号ｖＲおよび
Ｖ ＪＸは、制御回路６に入力され、それぞれ演算増幅
器ＯＦ＋およびＯＦ２．および抵抗成分モータ駆動回路
ＤＲおよびリアクタンス成分モータ駆動回路Ｄ ｊＸを
介して抵抗成分制御七−タＭｌよびリアクタンス成分制
御モータＭ２を駆動するようになっている。
おいては、同じく公知のように検出され２それぞれ電流
バッファＢ、および電圧バッファＢＶを介して位相比較
回路ＣＰに供給された電流成分ｉ ＪＸと電圧成分Ｖ
ｊＸの位相が、それぞれ比較されてリアクタンス成分を
表わす信号Ｖ ＪＸが出力される。出力信号ｖＲおよび
Ｖ ＪＸは、制御回路６に入力され、それぞれ演算増幅
器ＯＦ＋およびＯＦ２．および抵抗成分モータ駆動回路
ＤＲおよびリアクタンス成分モータ駆動回路Ｄ ｊＸを
介して抵抗成分制御七−タＭｌよびリアクタンス成分制
御モータＭ２を駆動するようになっている。
本発明の作用は上記記載から自明であるが、何らかの理
由で負荷のインピーダンスが変化すると、検出回路５で
検知されたさ負荷のインピーダンスの抵抗成分およびリ
アクタンス成分を表わす信号ＶＲおよびＶ ＪＸに基づ
いて整合回路７の可変コンデンサＣ１およびＣ２がそれ
ぞれ調節され、自動的に回路のマツチングがとれるよう
になっている。
由で負荷のインピーダンスが変化すると、検出回路５で
検知されたさ負荷のインピーダンスの抵抗成分およびリ
アクタンス成分を表わす信号ＶＲおよびＶ ＪＸに基づ
いて整合回路７の可変コンデンサＣ１およびＣ２がそれ
ぞれ調節され、自動的に回路のマツチングがとれるよう
になっている。
（発明の効果）
本発明によれば、プラズマ装置の入力端−子と高周波電
源との間に、整合回路と、負荷の抵抗成分およびリアク
タンス成分を検出する検出回路とを設け、検出した抵抗
成分およびリアクタンス成分に基づいて自動的に前記整
合回路を調節する自動同調回路において、抵抗成分検出
用のコイルとりアクタンス成分検出用のコイルとを互い
にリンクしないように離間して別個に設けたので、抵抗
成分検出回路、リアクタンス成分検出回路を互いに他か
らの影響を受けることなく別々に調節することができ、
また、同調が容易に行なわれる。
源との間に、整合回路と、負荷の抵抗成分およびリアク
タンス成分を検出する検出回路とを設け、検出した抵抗
成分およびリアクタンス成分に基づいて自動的に前記整
合回路を調節する自動同調回路において、抵抗成分検出
用のコイルとりアクタンス成分検出用のコイルとを互い
にリンクしないように離間して別個に設けたので、抵抗
成分検出回路、リアクタンス成分検出回路を互いに他か
らの影響を受けることなく別々に調節することができ、
また、同調が容易に行なわれる。
第３図はプラズマ装置における自動同調回路の従来例を
示すブロック回路図、第１図は本発明によるプラズマ装
置における自動同調回路の一実施例を示すブロック回路
図、第２図は本発明によるプラズマ装置における自動同
調回路の一実施例の詳細を示すブロック回路図である。 １９．自動同調回路、２１．高周波電源の出力端子、３
１．プラズマＣＶＤ装置の反応管、４．、プラズマ装置
の反応管への入力端子、５０．検出回路、５−１９．抵
抗成分検出回路、５−２ 、、リアクタンス成分検出回
路、６１．制御回路、７０．整合回路。 代理人 弁理士 斎藤 侑 （ほか２名） 手続補正書 昭和 ９年 ７月／メ日 昭和ｓ年特願第１２１５９９ 号 ２、発明の名称 プラズマ装置における自ｍ１可ｇ回踏 ３、補正をする者 事件との関係 ＃＃？出願人 住 所 神奈川県津久井郡城山町用尻３２１０−１名称
チル・サームコ株式金社 及び「図面の簡単な説明」の欄 ６、補正の内容 （１） Ｉ＠細優矛５頁１０行目の 「プラズマ蒸着装置」を 「プラズマ装置」に補正する〇 （荀 同書同頁１１行目の 「波高圧電源」を 「波電源」に補正する。 （３） 同書の８頁１１行目の 「プラズマ蒸着装置」を 「プラズマ装置」に補正する。
示すブロック回路図、第１図は本発明によるプラズマ装
置における自動同調回路の一実施例を示すブロック回路
図、第２図は本発明によるプラズマ装置における自動同
調回路の一実施例の詳細を示すブロック回路図である。 １９．自動同調回路、２１．高周波電源の出力端子、３
１．プラズマＣＶＤ装置の反応管、４．、プラズマ装置
の反応管への入力端子、５０．検出回路、５−１９．抵
抗成分検出回路、５−２ 、、リアクタンス成分検出回
路、６１．制御回路、７０．整合回路。 代理人 弁理士 斎藤 侑 （ほか２名） 手続補正書 昭和 ９年 ７月／メ日 昭和ｓ年特願第１２１５９９ 号 ２、発明の名称 プラズマ装置における自ｍ１可ｇ回踏 ３、補正をする者 事件との関係 ＃＃？出願人 住 所 神奈川県津久井郡城山町用尻３２１０−１名称
チル・サームコ株式金社 及び「図面の簡単な説明」の欄 ６、補正の内容 （１） Ｉ＠細優矛５頁１０行目の 「プラズマ蒸着装置」を 「プラズマ装置」に補正する〇 （荀 同書同頁１１行目の 「波高圧電源」を 「波電源」に補正する。 （３） 同書の８頁１１行目の 「プラズマ蒸着装置」を 「プラズマ装置」に補正する。
Claims (1)
- プラズマ装置の入力端子と高周波電源の出力端子との間
に、整合回路と、負荷の抵抗成分およびリアクタンス成
分を検出する検出回路とを設け、検出した抵抗成分およ
びリアクタンス成分に基づいて自動的に前記整合回路を
調節するプラズマ装置における自動同調回路において、
抵抗成分検出用のコイルとりアクタンス成分検出用のコ
イルとを互いに離間して別個に設けたことを特ｉとする
プラズマ装置における自動同調回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12159984A JPS60264126A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | プラズマ装置における自動同調回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12159984A JPS60264126A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | プラズマ装置における自動同調回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60264126A true JPS60264126A (ja) | 1985-12-27 |
Family
ID=14815241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12159984A Pending JPS60264126A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | プラズマ装置における自動同調回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60264126A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014518026A (ja) * | 2011-03-31 | 2014-07-24 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | ２点電圧サンプリングを用いるｒｆインピーダンス検出 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5428544A (en) * | 1977-08-05 | 1979-03-03 | Kokusai Electric Co Ltd | Device for automatically matching impedance |
| JPS54130814A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-11 | Philips Nv | Method of and device for taking radio frequency impedance information of electric circuit network |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP12159984A patent/JPS60264126A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5428544A (en) * | 1977-08-05 | 1979-03-03 | Kokusai Electric Co Ltd | Device for automatically matching impedance |
| JPS54130814A (en) * | 1978-03-20 | 1979-10-11 | Philips Nv | Method of and device for taking radio frequency impedance information of electric circuit network |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014518026A (ja) * | 2011-03-31 | 2014-07-24 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | ２点電圧サンプリングを用いるｒｆインピーダンス検出 |
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