JPS60264112A - Surface wave filter - Google Patents

Surface wave filter

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JPS60264112A
JPS60264112A JP12138984A JP12138984A JPS60264112A JP S60264112 A JPS60264112 A JP S60264112A JP 12138984 A JP12138984 A JP 12138984A JP 12138984 A JP12138984 A JP 12138984A JP S60264112 A JPS60264112 A JP S60264112A
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JP
Japan
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electrode
output
input
interdigital
output electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP12138984A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromichi Yamada
山田 弘通
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS60264112A publication Critical patent/JPS60264112A/en
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02874Means for compensation or elimination of undesirable effects of direct coupling between input and output transducers

Abstract

PURPOSE:To reduce spurious radiation by constituting an input electrode with a normal interdigital electrode and constituting an output electrode with an interdigital electrode applied with crossing width weighting so as to eliminate unbalance of direct waves. CONSTITUTION:Since the output electrode 24 is subjected to crossing width weight, the area of the electrode is large. Thus, a capacitance with a shield electrode at the back face is large. A direct wave output Vs01 extracted from a bus bar 32 placed between an input electrode 23 and the output electrode 24 is a voltage division of the level of the direct wave from the electrode 23 to the 24 through a capacitance Cs1 between both the electrodes and a capacitance C01 between the bus bar 32 and the 2nd shield electrode at the back face. This is similar as to a bus bar 33. In this case, the relation of the capacitances is Cs1<<C01 and since the C01 is nearly 5 times the capacitance of the normal output electrode in using a PZT substrate, the direct wave output is decreased to nearly 1/5. Since the direct wave amount propagated to the bus bars 32 and 33 is reduced largely, the amount of unbalance of the propagated direct wave is reduced largely.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的 技術分野 この発明は、表面波フィルタの構造、特に交差幅重み付
けが施されたインターディジタル・トランスデユーサに
より電極が構成されている表面波フィルタの構造の改良
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION OBJECT OF THE INVENTION Technical Field The present invention relates to improvements in the structure of surface wave filters, particularly in the structure of surface wave filters in which the electrodes are constituted by cross-width weighted interdigital transducers. Regarding.

従来の技術 第4図は、従来の表面波フィルタの一例を示す平面図で
ある。第4rj!Jに示した表面波フィルタ1では、圧
電基板2の表面にインターディジタル形入力電極3およ
びインターディジタル形出力電極4が形成され、それぞ
れ圧電基板2とともにインターディジタル・トランスデ
ユーサが構成されているが、所望の周波数特性を得るた
めに、入力電極3には図示のように交差幅重み付けが施
されており、他方出力電極4は正規型の構成にされてい
る。第4図に示されているように、入力電極3において
は、ホット側およびアース側の各電極指が、交互にホッ
ト側バスパー5およびアース側バスパー6に引出されて
いる。なお、ホット側バスパー5およびアース側バスパ
ー6は、それぞれ、−万端部においてホット側引出電極
7およびアース側引出電極8に接続されている。また、
交差幅重み付けが施された部分の外側に配置されたダミ
ーの電極指群からなるダミーの電極9.10もまた、そ
れぞれ、ホット側バスパー5およびアース側バスパー6
に接続されており、さらにアース側バスパー6は、入力
電極3と出力電極4との間に配置された第1のシールド
電極11に接続されている。
BACKGROUND OF THE INVENTION FIG. 4 is a plan view showing an example of a conventional surface wave filter. 4th rj! In the surface wave filter 1 shown in J, an interdigital input electrode 3 and an interdigital output electrode 4 are formed on the surface of a piezoelectric substrate 2, and each constitutes an interdigital transducer together with the piezoelectric substrate 2. In order to obtain a desired frequency characteristic, the input electrode 3 is subjected to cross-width weighting as shown, while the output electrode 4 has a regular configuration. As shown in FIG. 4, in the input electrode 3, the hot-side and ground-side electrode fingers are alternately drawn out to the hot-side busper 5 and the ground-side buspar 6. Note that the hot-side buspar 5 and the ground-side buspar 6 are connected to the hot-side extraction electrode 7 and the earth-side extraction electrode 8 at the negative end portions, respectively. Also,
Dummy electrodes 9 and 10 consisting of a group of dummy electrode fingers placed outside the cross-width weighted portion are also connected to the hot-side busper 5 and the ground-side busper 6, respectively.
The ground busper 6 is further connected to a first shield electrode 11 disposed between the input electrode 3 and the output electrode 4.

第1のシールド電極11がこのように構成されているた
め、はんだ付けを行なわねばならない部分を減らすこと
が可能にされている。
Since the first shield electrode 11 is configured in this way, it is possible to reduce the number of parts that need to be soldered.

他方、出力電極4においても、各電極指は交互にバスパ
ー12.13に接続されているが、各バスパー12.1
3はいずれも接地されていない。
On the other hand, also in the output electrode 4, each electrode finger is alternately connected to the buspars 12.13.
3 are not grounded.

なお、特に図示はしないが、圧電基板2の裏面にはほぼ
全面にわたり第2のシールド電極が形成されている。
Although not particularly shown, a second shield electrode is formed on the back surface of the piezoelectric substrate 2 over almost the entire surface.

ところで、第4図に示した従来の表面波フィルタ1では
、実際に動作させてみると、スプリアスの原因となる直
達波は、出力電極4の下側のバスパー13よりも上側の
バスパー12に多く伝播され、この直達波レベルの不均
衡によりスプリアスレベルが高くなるという欠点があっ
た。
By the way, when the conventional surface wave filter 1 shown in FIG. 4 is actually operated, the direct waves that cause spurious waves are more likely to reach the upper buspar 12 than the lower buspar 13 of the output electrode 4. The disadvantage is that the spurious level becomes high due to the imbalance in the level of the direct wave.

発明が解決しようとする問題点 それゆえに、この発明の目的は、直達波の不均衡を効果
的に解消し、直達波に基づくスプリアスを低減し得る表
面波フィルタを提供することにある。
Problems to be Solved by the Invention Therefore, an object of the present invention is to provide a surface wave filter that can effectively eliminate the imbalance of direct waves and reduce spurious waves based on direct waves.

発明の構成 問題点を解決するための手段 この発明は、要約すれば、圧電基板の一方面側にインタ
ーディジタル形入出力電極と、該入力電極と出力電極と
の間に配置され、かつ入力電極のアース側バスパーに接
続された第1のシールド電極とを備え、他方面側に第2
のシールド電極を備える表面波フィルタにおいて、入力
電極が、正規型インターディジタル電極により構成され
ており、出力電極が交差幅重み付けの施されたインター
ディジタル電極により構成されていることを特徴とする
、表面波フィルタである。
Means for Solving the Constituent Problems of the Invention To summarize, the present invention includes an interdigital input/output electrode disposed on one side of a piezoelectric substrate, and an input electrode disposed between the input electrode and the output electrode. A first shield electrode connected to the ground side buspar of the
A surface wave filter comprising a shield electrode, characterized in that the input electrode is constituted by a regular interdigital electrode, and the output electrode is constituted by an interdigital electrode subjected to cross-width weighting. It is a wave filter.

実施例 第1図は、この発明の一実施例を示す平面図である。こ
の実施例の表面波フィルタ21では、入力電極23が正
規型インターディジタル電極により構成されており、他
方出力電極24が図示のように重み付番プを施されたイ
ンターディジタル電極により構成されている。その他の
点については、第4図に示した従来の表面波フィルタ1
と同様であるため、相当の部分に相当の参照番号を附す
ることによりその説明を省略する。 ここでは、出力電
極24が図示のように交差幅重み付け・を施されている
。したがって、出力電極24の重み付けが施された電極
は面積がかなり大きいため、裏面のシールド電極との間
の容量がかなり大きくなることがわかる。これは、たと
えばPZT基板を用いた場合には、正規型の出力電極に
比べて約5倍になることが確められている。
Embodiment FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention. In the surface wave filter 21 of this embodiment, the input electrode 23 is constituted by a regular interdigital electrode, and the output electrode 24 is constituted by an interdigital electrode which is weighted and numbered as shown. . Regarding other points, the conventional surface wave filter 1 shown in FIG.
Since it is the same as that, the description thereof will be omitted by assigning the corresponding reference numbers to the corresponding parts. Here, the output electrode 24 is subjected to cross-width weighting as shown. Therefore, it can be seen that since the weighted output electrode 24 has a considerably large area, the capacitance between it and the shield electrode on the back side becomes considerably large. It has been confirmed that, for example, when a PZT substrate is used, this is about five times as large as that of a regular output electrode.

今、入力型tii23から出力電極24へ伝播する直達
波の出力は、出力電極24の一方のバスパー32より取
出される直達波出力について考えると、第3図に示すよ
うに、入出力1!極間容量C11と、出力tU[i24
のバスパー32と裏面の第2のシールドN4#Iiとの
間の容fileo+どの電圧分割により、直達波出力V
so+は、 Vso + −Vt x[cs +/(Cs + +G
o、+ )]で与えられる。下側のバスパー33につい
ても添字1を2に変更することにより、同様の式で表わ
すことができる。
Now, if we consider the direct wave output that is taken out from one busper 32 of the output electrode 24, the output of the direct wave propagating from the input type tii 23 to the output electrode 24 is as shown in FIG. Interelectrode capacitance C11 and output tU[i24
Direct wave output V
so+ is Vso + −Vt x[cs +/(Cs + +G
o, + )]. The lower busper 33 can also be expressed by a similar formula by changing the subscript 1 to 2.

上述のように、交差幅重み付けが施された出力型1!!
!24では、裏面の第2のシールド電極との間の容量が
極めて大きいため、上記の式においてCs + <<Q
o+であり、たとえばPZT基板を用いた場合にはGo
 +が正規型の出力電極に比べて約5倍であることから
、直達波出力は約115になることがわかる。このよう
に、第1図に示した実施例では、出力電極24を交差幅
重み付けが施されたインターディジタル形により構成し
たので、直達波の伝′播される量自体が大きく低減され
る。
As mentioned above, the output type 1! with cross-width weighting is applied. !
! 24, the capacitance between it and the second shield electrode on the back surface is extremely large, so in the above equation, Cs + <<Q
o+, and for example, when using a PZT substrate, Go
It can be seen that the direct wave output is about 115, since + is about 5 times that of the normal type output electrode. In this manner, in the embodiment shown in FIG. 1, the output electrode 24 is constructed of an interdigital type with cross-width weighting, so that the amount of direct waves propagated is greatly reduced.

よって、出力電極24のバスパー32および33に伝播
される直達波量が大きく減少するため、伝播される直達
波量の不均衡の量もまた大きく低減されることがわかる
Therefore, it can be seen that since the amount of direct waves propagated to the buspers 32 and 33 of the output electrode 24 is greatly reduced, the amount of imbalance in the amount of direct waves propagated is also greatly reduced.

なお、表面波出力は、裏面の°シールド電極との間の容
儀に彰智されない。したがって、上記のように重み付け
が施された出力電極を用いた場合に裏面のシールド電極
との閣の容量が5倍となった場合には、直達波抑圧度は
、−2010(1+ a (115)−14dB改善さ
れることになる。
Note that the surface wave output does not depend on the relationship between the back surface and the shield electrode. Therefore, if the output electrode weighted as described above is used and the capacitance with the shield electrode on the back side becomes five times, the degree of direct wave suppression will be -2010 (1 + a (115 ) -14dB improvement.

なお、第1図に示した実施例のように出力電極24にお
いてバスパー32.33をいずれも接地しない場合には
、直達波出力は各バスパー32゜33より取出された出
力の差すなわちVso+−■、。2で与えられるが、プ
リント回路基板に実装した場合には、■、。1.■、。
In addition, when none of the buspars 32 and 33 are grounded in the output electrode 24 as in the embodiment shown in FIG. ,. 2, but when mounted on a printed circuit board, ■. 1. ■,.

2がばらつくため、直達波抑圧を安定に行なうには、V
$OT+Vso2の値自体の小さいことが望ましい。よ
って、第1図に示した実施例では、上述のようにVso
++Vs。2自身が飛躍的に小さくなるため、プリント
回路基板に実装する際に非常に好ましいものであること
がわかる。
2 varies, so in order to stably suppress direct waves, V
It is desirable that the value of $OT+Vso2 itself be small. Therefore, in the embodiment shown in FIG. 1, Vso
++Vs. It can be seen that since 2 itself becomes dramatically smaller, it is very preferable when mounting it on a printed circuit board.

第2図は、この発明の他の実施例を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing another embodiment of the invention.

ここでも、第1図に示した実施例と同様に入力電極43
は正規型インターディジタル電極により構成されており
、出力電極44は交差幅重み付けが施されたインターデ
ィジタル電極により構成されている。よりて、第1図に
示した実施例と同様に入出力電極間の容量Cs + +
 C富2と、出力電極44の対シールド電極容量C81
,C02との電圧分割により、出力電極44の各バスパ
ー52.53に伝播される直達波の量は飛躍的に低減さ
れ得ることがわかる。
Here too, the input electrode 43 is similar to the embodiment shown in FIG.
is constituted by a regular type interdigital electrode, and the output electrode 44 is constituted by an interdigital electrode subjected to cross-width weighting. Therefore, as in the embodiment shown in FIG. 1, the capacitance Cs + + between the input and output electrodes
C wealth 2 and output electrode 44 shield electrode capacitance C81
, C02, the amount of direct waves propagated to each bus spar 52, 53 of the output electrode 44 can be dramatically reduced.

さらに、第2図に示した実施例では、出力電極44の1
対のバスパー52.53のうち入力電極43のホット側
バスパー45に近い方のバスパー52が、入力電極43
の側において、該出力電極44の重み付けされた部分の
包絡線に近接するように配置されて(する。すなわちバ
スパー52は52aで示す部分が包格線に沿って中心側
に折曲げて形成されている。なお、第2図に示した実施
例では、出力電極44の他方側のバスパー53も53a
で示すように包l5IIAに沿って内側に折曲げられて
いる。
Furthermore, in the embodiment shown in FIG.
Of the pair of buspars 52 and 53, the buspar 52 that is closer to the hot side buspar 45 of the input electrode 43 is connected to the input electrode 43.
The busbar 52 is arranged so as to be close to the envelope of the weighted portion of the output electrode 44 (i.e., the buspar 52 is formed by bending the portion indicated by 52a toward the center along the envelope line). In the embodiment shown in FIG. 2, the busper 53 on the other side of the output electrode 44 is also
As shown, it is bent inward along envelope I5IIA.

さらに、各バスパーの折曲げられた部分52a。Further, a bent portion 52a of each bus spar.

53aの外側に、ダミーの電極58.59を構成するI
I極指鮮が配着されており、該電極指群はバスパー60
.61により接続されており、各バスパー60.61は
第1のシールド電極51に接続されている。
53a, forming dummy electrodes 58 and 59.
An electrode finger group is attached, and the group of electrode fingers is a busper 60.
.. 61 , and each buspar 60 , 61 is connected to the first shield electrode 51 .

第25gに示した実施例では、上述のように出力電極4
4のバスパー52.53に折曲げられた部分52a 、
53aが形成されており、その外側にダミー電極58.
59が設けられており、各ダミー電極58.59がシー
ルド電極51に接続されているため、第1図に示した実
Im例の場合に比較して、山男電極44の各バスパー5
2.53は入力電極43のホット側バスパー45からよ
り遠ざけられている。したがって、この入力電極43の
ホット側バスパー45からの距舘がより大きくなること
により、直達波の伝播量はm−低減されることになる。
In the embodiment shown in No. 25g, the output electrode 4 is
The portion 52a bent to the buspar 52 and 53 of No. 4,
53a is formed, and a dummy electrode 58.53a is formed on the outside thereof.
59 is provided, and each dummy electrode 58,59 is connected to the shield electrode 51. Therefore, compared to the case of the actual Im example shown in FIG.
2.53 is further away from the hot side busper 45 of the input electrode 43. Therefore, by increasing the distance of the input electrode 43 from the hot bus spar 45, the amount of direct wave propagation is reduced by m.

よって、出力電極44における直達波量mtxの不均衡
は第isに示した実績例に比べてさらに改善されること
がわかる。 なお、この発明における交差幅重み付けは
、第1図および第2図に示したような交差幅重み付けに
限らず、任意の形状に構成し得る。
Therefore, it can be seen that the imbalance in the amount of direct waves mtx at the output electrode 44 is further improved compared to the actual example shown in No. IS. Note that the cross-width weighting in this invention is not limited to the cross-width weighting shown in FIGS. 1 and 2, but may be configured in any shape.

発明の効果 以上のように、この発明では、圧電基板の一方面側に正
規型インターディジタル電極よりなる入力電極と交差幅
重み付けが施されたインターディジタル電極よりなる出
力電極とが形成されており、他方面側に第2のシールド
電極が設けられているので、入出力電極間の容量と、出
力電極と裏面の第2のシールド電極との間の容量との電
圧分割により、直・速波の出力が飛躍的に低減され、よ
って直達波の出力電極における不均衡の問題を効果的に
解消することができ、それゆえに直達波の伝播に基づ(
スプリアスを低減し得ることが可能となる。
Effects of the Invention As described above, in this invention, an input electrode made of a regular interdigital electrode and an output electrode made of an interdigital electrode subjected to cross-width weighting are formed on one side of a piezoelectric substrate. Since the second shield electrode is provided on the other side, direct and fast waves are The output power is reduced dramatically, so the problem of imbalance at the output electrode of the direct wave can be effectively eliminated, and therefore based on the propagation of the direct wave (
It becomes possible to reduce spurious components.

この発明は、適宜の材料からなる基板を用いた表面波フ
ィルター般に適用し得るものであるが、特に、PZT、
 Lt Nb amおよびLiTa0@などの誘電率の
大きな基板材料に用いた場合には、この種の材料では直
達波の伝播量が大きくなりがちであるため、特に有効で
あることを指摘しておく。
This invention can be applied to surface wave filters in general using substrates made of appropriate materials, but in particular PZT,
It should be pointed out that this method is particularly effective when used for substrate materials with high dielectric constants such as LtNb am and LiTa0@, since the amount of direct wave propagation tends to be large in these types of materials.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明の一実施例を示す平面図である。第
2図は、この発明の他の実施例を示す平面図である。第
3図は、入出力電極間の容量と、出力電極と裏面の第2
のシールド電極との関の容量との電圧分割を説明するた
めの図である。第4図は、従来の表面波フィルタの一例
を示す平面図である。 図において、21.41は表面波フィルタ、22.42
)は圧電基板、23.43は入力電極、24.44は出
力電極、25.45は入力電極のホット側バスバー、2
6.46は入力電極のアース側バスバー、31.51は
第1のシールド電極、52.53は出力電極のバスバー
、52a、53aは出力電極の入力電極側において包絡
線に近接するように折曲げられた部分、58.59はダ
ミーの電極、60.61はダミーの電極指群を接続する
バスバーを示す: 第1図 第3図 SI 第4図
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing another embodiment of the invention. Figure 3 shows the capacitance between the input and output electrodes and the output electrode and the second
FIG. 3 is a diagram for explaining voltage division between the shield electrode and the capacitance of the capacitor. FIG. 4 is a plan view showing an example of a conventional surface wave filter. In the figure, 21.41 is a surface wave filter, 22.42
) is the piezoelectric substrate, 23.43 is the input electrode, 24.44 is the output electrode, 25.45 is the hot side bus bar of the input electrode, 2
6.46 is the ground side bus bar of the input electrode, 31.51 is the first shield electrode, 52.53 is the bus bar of the output electrode, and 52a and 53a are bent so as to be close to the envelope on the input electrode side of the output electrode. 58.59 indicates the dummy electrode, and 60.61 indicates the bus bar connecting the dummy electrode finger group: Fig. 1 Fig. 3 SI Fig. 4

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1) 圧電基板の一方面側にインターディジタル電極
よりなる入出力電極と、該入力電極と出力電極との間に
配貨され、かつ入力電極のアース側バスバーに接続され
た第1のシールド電極とを備え、他方面側に第2のシー
ルド電極を備える表面波フィルタにおいて、 前記入力電極が、正規型インターディジタル電極により
構成されており、 前記出力電極が交差幅重み付けを施されたインターディ
ジタル電極により構成されていることを特徴とする、表
面波フィルタ。
(1) An input/output electrode consisting of an interdigital electrode on one side of the piezoelectric substrate, and a first shield electrode distributed between the input electrode and the output electrode and connected to the ground side bus bar of the input electrode. and a second shield electrode on the other surface side, wherein the input electrode is a regular interdigital electrode, and the output electrode is an interdigital electrode subjected to cross-width weighting. A surface wave filter comprising:
(2) 前記出力電極の1対のバスバーのうち少なくと
も入力電極のホット側バスバーに近い方のバスバーが、
入力電極の側において、該出力電極の重み付けされた部
分の包絡線に近接するように配置されており、かつ 出力電極の該バスバーの入力電極側部分の外側にダミー
の電極を構成する電極指群が配置されており、該ダミー
の電極指群を接I!するバスバーが、前記第1のシール
ド電極に接続されている、号許請求の範囲第1項記載の
表面波フィルタ。
(2) Of the pair of busbars of the output electrode, at least the busbar that is closer to the hot side busbar of the input electrode,
a group of electrode fingers arranged on the input electrode side so as to be close to the envelope of the weighted portion of the output electrode, and forming a dummy electrode outside the input electrode side portion of the output electrode of the bus bar; is arranged, and the dummy electrode finger group is connected to I! 2. The surface acoustic wave filter according to claim 1, wherein a bus bar is connected to the first shield electrode.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013520898A (en) * 2010-02-22 2013-06-06 エプコス アクチエンゲゼルシャフト Microacoustic filter with compensated crosstalk and method for compensation

Cited By (2)

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