JPS5834048B2 - surface acoustic wave device - Google Patents
surface acoustic wave deviceInfo
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- JPS5834048B2 JPS5834048B2 JP9079778A JP9079778A JPS5834048B2 JP S5834048 B2 JPS5834048 B2 JP S5834048B2 JP 9079778 A JP9079778 A JP 9079778A JP 9079778 A JP9079778 A JP 9079778A JP S5834048 B2 JPS5834048 B2 JP S5834048B2
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はマルチストリップカプラーを用いた弾性表面波
装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a surface acoustic wave device using a multi-strip coupler.
第1図はマルチストリップカプラーを用いた一般的な弾
性表面波フィルタを示す。FIG. 1 shows a general surface acoustic wave filter using a multi-strip coupler.
この表面波フィルタは、圧電体1上に、入出カドランス
ジューサ2,3がそれぞれの伝播路をずらせて配置され
、両伝播路を跨いで入出カドランスジューサ2,3間に
マルチストリップカプラー4が設けられたものである。In this surface wave filter, input and output quadrature reducers 2 and 3 are arranged on a piezoelectric body 1 with their respective propagation paths shifted, and a multi-strip coupler 4 is arranged between the input and output quadrature reducers 2 and 3 across both propagation paths. It has been established.
マルチストリップカプラー4は、入出カドランスジュー
サ2,3の電極指と同方向の多数の電極指4a、4b、
・・・・・・・・・4nで構成されており、しかもそれ
らの電極指4a、4b、・・・・・・・・・4nは浮遊
電極として構成されている。The multi-strip coupler 4 has a large number of electrode fingers 4a, 4b in the same direction as the electrode fingers of the input/output transducers 2, 3,
. . . 4n, and these electrode fingers 4a, 4b, . . . 4n are configured as floating electrodes.
このような表面波フィルタでは、マルチストリップカプ
ラー4の多数の電極指4a、4b、・・・・・・・・・
4nはそれぞれ浮遊電極であるため、入出カドランスジ
ューサ2,3間が大きなコンデンサにより電気的に結合
された状態となる。In such a surface wave filter, a large number of electrode fingers 4a, 4b, . . . of the multi-strip coupler 4 are used.
Since 4n is a floating electrode, the input and output quadrant transducers 2 and 3 are electrically coupled by a large capacitor.
この結果入カドランスジューサ2に加えられる信号がマ
ルチストリップカプラー4による容量を介して出カドラ
ンスジューサ3に直接伝達され、すなわち直達波レベル
が増大して、フィルタ特性にスプリアスが生ずる。As a result, the signal applied to the input quadrature transducer 2 is directly transmitted to the output transducer 3 via the capacitance of the multi-strip coupler 4, that is, the level of the direct wave increases and spurious occurs in the filter characteristics.
そこで本発明は、マルチストリップカプラーを用いる本
来の目的であるバルク波によるスプリアスの抑圧効果を
得ると同時に、直達波によるレベルも小さくできるよう
にした弾性表面波装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a surface acoustic wave device that can obtain the effect of suppressing spurious waves caused by bulk waves, which is the original purpose of using a multi-strip coupler, and at the same time reduce the level caused by direct waves.
以下、本発明の一実施例を図面を参照しつつ詳述する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第2図において、10は圧電体で、例えばZnO等の圧
電薄膜、PZT等の圧電磁器、LiNbO2等の単結晶
で構成されている。In FIG. 2, numeral 10 denotes a piezoelectric material, which is made of, for example, a piezoelectric thin film such as ZnO, a piezoelectric ceramic such as PZT, or a single crystal such as LiNbO2.
11.12は入出カドランスジューサで、圧電体10上
に一対のくし歯電極を相互に差し込んだインターディジ
タル電極を形成して構成されている。Reference numerals 11 and 12 denote an input/output quadrant transducer, which is constructed by forming interdigital electrodes in which a pair of comb-shaped electrodes are inserted into each other on the piezoelectric body 10.
各くし歯電極は通常A7等の電極材料を用い蒸着、ホト
エツチング等のパターン形成技術により圧電体10上に
形成される。Each comb-teeth electrode is usually formed on the piezoelectric body 10 using an electrode material such as A7 using a pattern forming technique such as vapor deposition or photo-etching.
入出カドランスジューサ11,12は、各トランスジュ
ーサ11,12の伝播路が重ならないように、かつ各電
極指が平行で′、しかも適当距離を隔てて圧電体10上
に配置されている。The input/output quadrant transducers 11, 12 are arranged on the piezoelectric body 10 so that the propagation paths of the transducers 11, 12 do not overlap, with the electrode fingers parallel to each other, and separated by an appropriate distance.
13はマルチストリップカプラーで、互いに平行に配置
1ルた多数の電極指14,15,16,17,18,1
920で構成されている。Reference numeral 13 denotes a multi-strip coupler, which has a large number of electrode fingers 14, 15, 16, 17, 18, 1 arranged parallel to each other.
920.
カプラー13は、入出カドランスジューサlL12間で
あって、その電極指14〜20がトランスジューサ11
,12の電極指と平行になるように、かつ電極指14〜
20の長さがトランスジューサ11,12の両伝播路を
跨ぐように配置されている。The coupler 13 is connected between the input and output quadrant transducers 1L12, and its electrode fingers 14 to 20 are connected to the transducer 11.
, 12, and parallel to the electrode fingers 14 to 12.
The length of 20 is arranged so as to straddle both the propagation paths of the transducers 11 and 12.
しかもカプラー13は、電極指14〜20のうち同位相
となる電極指14,16,18,20が他の電極指15
,17゜19よりも圧電体10側面に向は延長され、そ
れらの延長部が互いに取出し電極21により電気的に結
合されている。Moreover, in the coupler 13, among the electrode fingers 14 to 20, the electrode fingers 14, 16, 18, 20 that are in the same phase are different from the other electrode fingers 15.
, 17° 19 toward the side surface of the piezoelectric body 10, and these extensions are electrically coupled to each other by an extraction electrode 21.
この取出し電極21に接続されたリード22はアースさ
れ、電極指14,16゜18.20がアースされた状態
となる。The lead 22 connected to this extraction electrode 21 is grounded, and the electrode fingers 14, 16.degree. 18.20 are grounded.
多数の電極指のうち、どの電極指が同位相になるかにつ
いては、電極指のピッチにより決定される。Which electrode fingers among a large number of electrode fingers have the same phase is determined by the pitch of the electrode fingers.
すなわち図示しているようにピッチがち(λ。In other words, as shown in the figure, the pitch tends to vary (λ).
:中心周波数での表面波の波長)となる場合には電極指
は1本毎に位相が反転し、1本毎交互に同位相となる。: the wavelength of the surface wave at the center frequency), the phase of each electrode finger is reversed, and each electrode finger is alternately in the same phase.
また図示していないが、ピッチをふとした場合には電極
指は2本毎交互に同位相となる。Although not shown, if the pitch is random, every two electrode fingers will be in the same phase alternately.
上記カプラー13および取出し電極21はトランスジュ
ーサー1,12のくし歯電極と同様にして圧電体10上
に形成される。The coupler 13 and extraction electrode 21 are formed on the piezoelectric body 10 in the same manner as the comb-like electrodes of the transducers 1 and 12.
23,24は入カドランスジューサー1の各くし歯電極
に接続された入力用リード、25,26は出カドランス
ジューサー2の各くし歯電極に接続された出力用リード
である。Input leads 23 and 24 are connected to the comb electrodes of the input juicer 1, and output leads 25 and 26 are connected to the comb electrodes of the output juicer 2.
上記実施例ではカプラー13の電極指14〜20のうち
同位相となる電極指14,16,18,20をすべてア
ースさせているが、これに限らずアースさせるのはいず
れか1本の電極指、もしくは数本の電極指であってもよ
い。In the above embodiment, among the electrode fingers 14 to 20 of the coupler 13, all of the electrode fingers 14, 16, 18, and 20 that are in the same phase are grounded, but the present invention is not limited to this, and only one electrode finger is grounded. , or several electrode fingers.
また、電極指をアースさせるのにその電極指を取出し電
極21まで延長させて行わずに、各電極指にアース用リ
ードを個別に接続してもよい。Further, in order to ground the electrode fingers, a grounding lead may be connected to each electrode finger individually, without having to take out the electrode finger and extend it to the electrode 21.
次に上記実施例の作動について説明する。Next, the operation of the above embodiment will be explained.
まず、入カドランスジューサー1にリード23゜24を
介して信号を加えると、トランスジューサー1が励振し
、そのトランスジューサー1から表面波が電極指と直角
方向に圧電体10表面に沿って伝播し、矢印Aで示した
一方向の表面波がカプラー13に到達すると、カプラー
13も励振する。First, when a signal is applied to the input quadratic transducer 1 through the leads 23 and 24, the transducer 1 is excited, and a surface wave is propagated from the transducer 1 along the surface of the piezoelectric body 10 in a direction perpendicular to the electrode finger. , when the unidirectional surface wave shown by arrow A reaches the coupler 13, the coupler 13 is also excited.
このカプラー13の対数を所定数に設定しておくと、カ
プラー13で励振された表面波の大部分は矢印B方向に
伝播し、出カドランスジューサー2に到達し、トランス
ジューサー2によってリード25.26間に出力電圧が
導き出される。When the logarithm of this coupler 13 is set to a predetermined number, most of the surface waves excited by the coupler 13 propagate in the direction of arrow B, reach the output juicer 2, and are carried by the transducer 2 into the lead 25. The output voltage is derived between 26 and 26.
そしてカプラー13は第1図のカプラー4と同様に太き
な容量を形成するが、この容量はアースされているので
、入出カドランスジューサ11.12間は容量によって
結合されることは少なく、入出カドランスジューサ11
,12間の容量が小さくなるため、直達波によるレベル
が減少する。The coupler 13 forms a large capacitor like the coupler 4 in FIG. cadran juicer 11
, 12 becomes smaller, the level due to direct waves decreases.
また、入カドランスジューサ11によって生ずるバルク
波は圧電体10中をそのトランスジューサ11の伝播方
向に向かって伝わるので、出カドランスジューサ12に
は到達せず、バルク波によるスプリアスもほとんど生じ
ない。Further, since the bulk wave generated by the input quadrature transducer 11 propagates through the piezoelectric body 10 in the direction of propagation of the transducer 11, it does not reach the output transducer 12, and almost no spurious waves are generated due to the bulk wave.
しかも上記実施例では、カプラー13において同位相の
電極指のみをアースさせているので、入カドランスジュ
ーサ11からの表面波によってカプラー13の励振され
る状態が、第3図aに示すように、表面波の振幅と同相
となり、表面波はカプラー13を通過中に悪影響を受け
ることはない。Moreover, in the above embodiment, only the electrode fingers of the same phase in the coupler 13 are grounded, so that the state in which the coupler 13 is excited by the surface wave from the input quadrature transducer 11 is as shown in FIG. 3a. It is in phase with the amplitude of the surface wave, and the surface wave is not adversely affected while passing through the coupler 13.
一方、位相の異なる電極指をアースさせると、第3図す
に示すように、表面波伝播に支障をきたし、損失が大き
くなる。On the other hand, if electrode fingers having different phases are grounded, as shown in FIG. 3, surface wave propagation will be hindered and loss will increase.
しかし本考案は、同位相の電極指のみをアースさせたも
のに限定されず、表面波歪の発生を許容できる場合には
位相の異なる電極指をアースさせてもよく、要はカプラ
ーの少なくとも1本の電極指をアースさせて直達波によ
るレベルを減少させるものである。However, the present invention is not limited to the case where only the electrode fingers of the same phase are grounded, and if the occurrence of surface wave distortion can be tolerated, the electrode fingers of different phases may be grounded.In short, at least one of the couplers The main electrode finger is grounded to reduce the level due to direct waves.
本発明は、以上説明したように、入出カドランスジュー
サの間に配置されるマルチストリップカプラーの少なく
ても1本の電極指をアースさせているので、直達波が抑
圧され、スプリアスが減少し、さらにアースさせる電極
指を同位相のものに設定するとカプラーによる表面波歪
の発生を抑えることができるという効果も有する。As explained above, in the present invention, at least one electrode finger of the multi-strip coupler disposed between the input and output quadrature transducers is grounded, so direct waves are suppressed, spurious waves are reduced, Furthermore, if the electrode fingers to be grounded are set to have the same phase, there is also the effect that generation of surface wave distortion due to the coupler can be suppressed.
第1図は従来の弾性表面波装置を示す平面図、第2図は
本発明による弾性表面波装置の一実施例を示す平面図、
第3図a、bはカプラーの励振状態を示す図である。
10は圧電体、11,12はトランスジューサ、13は
マルチストリップカプラー 14〜20は電極指。FIG. 1 is a plan view showing a conventional surface acoustic wave device, FIG. 2 is a plan view showing an embodiment of the surface acoustic wave device according to the present invention,
Figures 3a and 3b are diagrams showing the excitation state of the coupler. 10 is a piezoelectric body, 11 and 12 are transducers, 13 is a multi-strip coupler, and 14 to 20 are electrode fingers.
Claims (1)
マルチストリップカプラーを設けた弾性表面波装置にお
いて、 前記マルチストリップカプラーの少なくとも1本の電極
指をアースしたことを特徴とする弾性表面波装置。 2 前記アースされる電極指は少なくとも2本で、かつ
同位相の電極指とした、特許請求の範囲第1項記載の弾
性表面波装置。[Scope of Claims] 1. A surface acoustic wave device in which a multi-strip coupler consisting of a large number of electrode fingers is provided between output quadrature reducers, characterized in that at least one electrode finger of the multi-strip coupler is grounded. surface acoustic wave device. 2. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the number of electrode fingers to be grounded is at least two, and the electrode fingers are in the same phase.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9079778A JPS5834048B2 (en) | 1978-07-24 | 1978-07-24 | surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9079778A JPS5834048B2 (en) | 1978-07-24 | 1978-07-24 | surface acoustic wave device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5518141A JPS5518141A (en) | 1980-02-08 |
JPS5834048B2 true JPS5834048B2 (en) | 1983-07-23 |
Family
ID=14008568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9079778A Expired JPS5834048B2 (en) | 1978-07-24 | 1978-07-24 | surface acoustic wave device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5834048B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6234545A (en) * | 1985-08-07 | 1987-02-14 | 株式会社東芝 | Mechanical sector probe |
JPH0460651B2 (en) * | 1984-03-30 | 1992-09-28 | Toshiba Kk |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS594215A (en) * | 1982-06-29 | 1984-01-11 | Fujitsu Ltd | Surface acoustic wave device |
-
1978
- 1978-07-24 JP JP9079778A patent/JPS5834048B2/en not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0460651B2 (en) * | 1984-03-30 | 1992-09-28 | Toshiba Kk | |
JPS6234545A (en) * | 1985-08-07 | 1987-02-14 | 株式会社東芝 | Mechanical sector probe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS5518141A (en) | 1980-02-08 |
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