JPS60263309A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS60263309A JPS60263309A JP11833184A JP11833184A JPS60263309A JP S60263309 A JPS60263309 A JP S60263309A JP 11833184 A JP11833184 A JP 11833184A JP 11833184 A JP11833184 A JP 11833184A JP S60263309 A JPS60263309 A JP S60263309A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- substrate
- recording medium
- head
- reproduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば再生ヘッドといった薄膜型の磁気ヘッ
ドに関するものである。
ドに関するものである。
薄膜プロセスを用いた再生ヘッドとして、磁気記録媒体
とヘッドの相対スピードが遅い場合には、磁気抵抗効果
型ヘッド（ＭＲヘッド）が用いられており、このような
ＭＲヘッドは第３図ａ、ｂ 、第４．５図に示す如く構
成されている。
とヘッドの相対スピードが遅い場合には、磁気抵抗効果
型ヘッド（ＭＲヘッド）が用いられており、このような
ＭＲヘッドは第３図ａ、ｂ 、第４．５図に示す如く構
成されている。
すなわち、第３１ｍａ、ｂに示すように、基板１の磁気
記録媒体摺接面に垂直な面上にＭＲ素子２と電極３とが
形成され、そして保護膜４が設けられたノンシールド型
のヘッド５は、構造が簡単で、かつ再生感度が高いとい
つだ特長があるものの、ＭＲ素子が磁気テープ摺接面側
において露出していることより損傷する恐れがあったり
する等信頼性に乏しい欠点があり、又、さらにはＭＲ素
子幅が広いと短波長での分解能が低下することよりＭＲ
素子幅は狭くせざるを得す、この為必然的に摺接面の研
磨に高精度（サブミクロンのオーダーの精度）が要求さ
れ、量産性が極度に悪くなるといった欠点もある。
記録媒体摺接面に垂直な面上にＭＲ素子２と電極３とが
形成され、そして保護膜４が設けられたノンシールド型
のヘッド５は、構造が簡単で、かつ再生感度が高いとい
つだ特長があるものの、ＭＲ素子が磁気テープ摺接面側
において露出していることより損傷する恐れがあったり
する等信頼性に乏しい欠点があり、又、さらにはＭＲ素
子幅が広いと短波長での分解能が低下することよりＭＲ
素子幅は狭くせざるを得す、この為必然的に摺接面の研
磨に高精度（サブミクロンのオーダーの精度）が要求さ
れ、量産性が極度に悪くなるといった欠点もある。
又、第４図に示すようにヨーク６がさらに設けられたシ
ールド型のヘッド７は、前記ノンシールド型のヘッド５
に比べて量産性の欠点は解決されるものの、依然として
信頼性に劣る欠点は解決されておらず、又、逆に構造は
複雑になるのみならず、再生感度が低下するといつだ欠
点が引き起こされる。
ールド型のヘッド７は、前記ノンシールド型のヘッド５
に比べて量産性の欠点は解決されるものの、依然として
信頼性に劣る欠点は解決されておらず、又、逆に構造は
複雑になるのみならず、再生感度が低下するといつだ欠
点が引き起こされる。
又、第５図に示すヨーク型のヘッド８は、信頼性及び量
産性の面ではノンシールド型のヘット５に比べて改善さ
れるものの、再生感度はシールド型のヘッド７の場合よ
りもＭＲ，素子２にかがる磁場が小さくなることより一
層低下するといった欠点がある。
産性の面ではノンシールド型のヘット５に比べて改善さ
れるものの、再生感度はシールド型のヘッド７の場合よ
りもＭＲ，素子２にかがる磁場が小さくなることより一
層低下するといった欠点がある。
つまり、従来のノンシールド型のヘッド５、シールド型
のヘッド７及びヨーク型のヘッド８のメリット及びデメ
リットは、表１に示すように評価され、総合判断すると
好捷しいものとは言えない。
のヘッド７及びヨーク型のヘッド８のメリット及びデメ
リットは、表１に示すように評価され、総合判断すると
好捷しいものとは言えない。
又、上記のようなＭＲ素子ではなく、第６，７図に示さ
れるように、基板１の磁気記録媒体摺接面に垂直な面に
ホール素子９を設けた三端子型のヘッド１０又はに型の
ヘッド１１が提案されているが、ホール素子としての能
力が充分に発揮されているものではなく、再生感度が低
く、好ましいものと〔問題点を解決する為の手段〕 磁気記録媒体の磁性面に対向する基体の面に磁気検出素
子を設けると共に、前記磁気検出素子が保護されるよう
耐摩耗性の非磁性膜を設ける。
れるように、基板１の磁気記録媒体摺接面に垂直な面に
ホール素子９を設けた三端子型のヘッド１０又はに型の
ヘッド１１が提案されているが、ホール素子としての能
力が充分に発揮されているものではなく、再生感度が低
く、好ましいものと〔問題点を解決する為の手段〕 磁気記録媒体の磁性面に対向する基体の面に磁気検出素
子を設けると共に、前記磁気検出素子が保護されるよう
耐摩耗性の非磁性膜を設ける。
〔実施例１〕
第１図ａ、ｂは、本発明に係る磁気ヘッドの１実施例の
説明図である。
説明図である。
同図中、２１は、例えばガラス、サファイヤ等からなる
基板であり、この基板２１は磁気記録媒体との対向摺接
側の面が磁気記録媒体の摺接に適した曲面、例えば曲率
半径約０．５〜１０ｍｍの断面円弧形をもつ曲面に研磨
仕上げされたものである。
基板であり、この基板２１は磁気記録媒体との対向摺接
側の面が磁気記録媒体の摺接に適した曲面、例えば曲率
半径約０．５〜１０ｍｍの断面円弧形をもつ曲面に研磨
仕上げされたものである。
２２は、基板２１の磁気記録媒体摺接面側の略頂点（略
中央位置）上に形成されたＭＲ素子である。
中央位置）上に形成されたＭＲ素子である。
２３は前記ＭＲ素子２２に接続された電極であり、この
電極２３は基板２１面上に設けられている。
電極２３は基板２１面上に設けられている。
２４は、例えば炭化チタン、窒化チタン、炭化タングス
テン、炭化ハフニウム、カーボン等耐摩耗性に優れた非
磁性膜であり、この非磁性膜２４は約１００〜３０００
人厚となるよう形成されたものであり、しかもこの非磁
性膜２４はＭＲ素子２２等が設はうしている基板２１面
に設けられたものであって、ＭＲ素子２２等が保護され
るようになっている。
テン、炭化ハフニウム、カーボン等耐摩耗性に優れた非
磁性膜であり、この非磁性膜２４は約１００〜３０００
人厚となるよう形成されたものであり、しかもこの非磁
性膜２４はＭＲ素子２２等が設はうしている基板２１面
に設けられたものであって、ＭＲ素子２２等が保護され
るようになっている。
」二記のように構成された薄膜型の再生ヘッドは、ＭＲ
，素子２２全体が非磁性膜２４を挾んで磁気記録媒体に
略密接するようになるので、ＭＲ素子に充分な磁場がか
かり、従来のノンシールド型の再生ヘッドよりも再生効
率に極めて優れたものである。
，素子２２全体が非磁性膜２４を挾んで磁気記録媒体に
略密接するようになるので、ＭＲ素子に充分な磁場がか
かり、従来のノンシールド型の再生ヘッドよりも再生効
率に極めて優れたものである。
又、ＭＲ素子２２は耐摩耗性に優れた非磁性膜２４で覆
われているので、再生に際して矢印方向に走行する磁気
記録媒体によって磁気ヘッドが厳しく擦られても損傷す
ることなく、耐久性に富み、信頼性が高い。つまり、従
来のノンシールド型及びシールド型の再生ヘッドよりも
信頼性に富み、従来のヨーク型の再生ヘッドと比べても
信頼性に劣るものではない。
われているので、再生に際して矢印方向に走行する磁気
記録媒体によって磁気ヘッドが厳しく擦られても損傷す
ることなく、耐久性に富み、信頼性が高い。つまり、従
来のノンシールド型及びシールド型の再生ヘッドよりも
信頼性に富み、従来のヨーク型の再生ヘッドと比べても
信頼性に劣るものではない。
又、上記実施例の再生ヘッドは、磁気記録媒体との摺接
面側の基板２１の面をあらかじめ研磨しておくので、ウ
ェハプロセス終了後の研磨は要らず生産性は高い。つま
シ、上記実施例の再生ヘッドの製造工程における研磨に
は寿命寸法のコントロールといった面倒なことはなく、
従って研磨精度に著しい高精度を要求され々くてもすみ
、量産性に富むことになる。
面側の基板２１の面をあらかじめ研磨しておくので、ウ
ェハプロセス終了後の研磨は要らず生産性は高い。つま
シ、上記実施例の再生ヘッドの製造工程における研磨に
は寿命寸法のコントロールといった面倒なことはなく、
従って研磨精度に著しい高精度を要求され々くてもすみ
、量産性に富むことになる。
又、構造的には従来のノンシールド型のヘッドに匹敵す
る簡単なものであり、ウェハプロセスの量産性にも優れ
ている。
る簡単なものであり、ウェハプロセスの量産性にも優れ
ている。
つまり、再生効率が良く、信頼性の高い再生ヘッドであ
り、生産性良く製造できるものであり、表１と同一基準
で評価すると表２に示す通りである。
り、生産性良く製造できるものであり、表１と同一基準
で評価すると表２に示す通りである。
表 ２
〔実施例２〕
第２図ａ、ｂは、本発明に係る磁気ヘッドの他の実施例
の説明図である。
の説明図である。
同図中、３１は、前記実施例の基板２１と同様に構成さ
れた基板である。
れた基板である。
３２は、基板３１シ磁気記録媒体摺接面側の略頂点（略
中央位置）上に形成されたＩｎＳｂ 、 ＧａＡｓ等の
半導体薄膜又はＮｉＣｏ 、 Ｎ１ｃｅ等の強磁性薄膜
のホール素子である。
中央位置）上に形成されたＩｎＳｂ 、 ＧａＡｓ等の
半導体薄膜又はＮｉＣｏ 、 Ｎ１ｃｅ等の強磁性薄膜
のホール素子である。
３３は前記ホール素子３２に接続された電極であシ、こ
の電極３３は基板３１面上に設けられている。
の電極３３は基板３１面上に設けられている。
３４は、例えば炭化チタン、窒化チタン、炭化タングス
テン、炭化ハフニウム、カーボン等耐摩耗性に優れた非
磁性膜であり、この非磁性膜３４は約１００〜３０００
Ａ厚となるよう形成されたものであり、しかもこの非磁
性膜３４はホール素子３２等が設けられている基板３１
面に設けられたものであって、ホール素子等が保護され
るようになっている。
テン、炭化ハフニウム、カーボン等耐摩耗性に優れた非
磁性膜であり、この非磁性膜３４は約１００〜３０００
Ａ厚となるよう形成されたものであり、しかもこの非磁
性膜３４はホール素子３２等が設けられている基板３１
面に設けられたものであって、ホール素子等が保護され
るようになっている。
そして、本実施例の薄膜型の再生ヘッドも前記実施例の
場合と同様に優れたものであり、表１と□ 同一基準で
評価すると表３に示す通りである。
場合と同様に優れたものであり、表１と□ 同一基準で
評価すると表３に示す通りである。
表 ３
〔効果〕
再生効率が良く、信頼性の高いものである。
又、製造に際しては、基体の磁気記録媒体摺接面側を所
定の形状に仕上げ、その後磁気検出素子を設けることに
なるので、研磨に著しい高精度を要求しなくてもすみ、
従って量産性に富む。
定の形状に仕上げ、その後磁気検出素子を設けることに
なるので、研磨に著しい高精度を要求しなくてもすみ、
従って量産性に富む。
第１図ａ、ｂ及び第２図ａ、ｂは本発明に係る磁気ヘッ
ドの説明図、第３図ａ、ｂ、第４図、第５図、第６図及
び第７図は従来の磁気ヘッドの説明図である。 ２１．３１・・・基板（基体）、２２・・・ＭＲ，素子
（磁気検出素子）、２４．３４・・・非磁性膜、３２・
・・ホール素子（磁気検出素子）。 ケ １ 餌 ７２臼 ｔ ３ 岨 （り） （ｂ） ２４ ｎ 才 ５１ 才 ６７ 才 ７／２１］
ドの説明図、第３図ａ、ｂ、第４図、第５図、第６図及
び第７図は従来の磁気ヘッドの説明図である。 ２１．３１・・・基板（基体）、２２・・・ＭＲ，素子
（磁気検出素子）、２４．３４・・・非磁性膜、３２・
・・ホール素子（磁気検出素子）。 ケ １ 餌 ７２臼 ｔ ３ 岨 （り） （ｂ） ２４ ｎ 才 ５１ 才 ６７ 才 ７／２１］
Claims (1)
- 磁気記録媒体の磁性面に対向する基体の面に磁気検出素
子を設けると共に、前記磁気検出素子が保護されるよう
耐摩耗性の非磁性膜を設けたことを特徴とする磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11833184A JPS60263309A (ja) | 1984-06-11 | 1984-06-11 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11833184A JPS60263309A (ja) | 1984-06-11 | 1984-06-11 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60263309A true JPS60263309A (ja) | 1985-12-26 |
Family
ID=14734012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11833184A Pending JPS60263309A (ja) | 1984-06-11 | 1984-06-11 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60263309A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01125708A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Canon Electron Inc | 磁気ヘッド |
-
1984
- 1984-06-11 JP JP11833184A patent/JPS60263309A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01125708A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Canon Electron Inc | 磁気ヘッド |
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