JPS60250783A - 撮像用照明装置 - Google Patents
撮像用照明装置Info
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- JPS60250783A JPS60250783A JP59107097A JP10709784A JPS60250783A JP S60250783 A JPS60250783 A JP S60250783A JP 59107097 A JP59107097 A JP 59107097A JP 10709784 A JP10709784 A JP 10709784A JP S60250783 A JPS60250783 A JP S60250783A
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、たとえば印刷配線基板に取付けられたチップ
などと呼ばれる電子回路素子のはんだ付は状態を検査す
る検査装置に関する。
などと呼ばれる電子回路素子のはんだ付は状態を検査す
る検査装置に関する。
背景技術
たとえば電子回路が実装された印刷配線基板を自動的に
はんだ付けする場合、はんだ不足やはんだ欠如をなくす
ためはんだ付は状態を検査する必要があり、はんだ付け
が正しく行なわれて初めて電子回路の正しい動作が実現
される。そこで従来は第１図および第２図に示される検
査方法を行なっている。印刷配線基板１には、電子回路
素子２やリード３がはんだ４，５によってそれぞれ取付
けられる。この印刷配線基板１の上方には、はんだ４．
５の各はんだ面４ａ、５ａを検査するための工業用テレ
ビカメラ６が設けられる。はんだ面４ａ、５ａを検査す
るにあたっては、第１図に示すようなビーム光を照射す
る照明装置７や、ライン光を照射する照明装置８が用い
られる。このようにビーム光を照射する照明装置７では
、はんだ面４ａ、５ａの複雑な形状のためはんだ面４ａ
。
はんだ付けする場合、はんだ不足やはんだ欠如をなくす
ためはんだ付は状態を検査する必要があり、はんだ付け
が正しく行なわれて初めて電子回路の正しい動作が実現
される。そこで従来は第１図および第２図に示される検
査方法を行なっている。印刷配線基板１には、電子回路
素子２やリード３がはんだ４，５によってそれぞれ取付
けられる。この印刷配線基板１の上方には、はんだ４．
５の各はんだ面４ａ、５ａを検査するための工業用テレ
ビカメラ６が設けられる。はんだ面４ａ、５ａを検査す
るにあたっては、第１図に示すようなビーム光を照射す
る照明装置７や、ライン光を照射する照明装置８が用い
られる。このようにビーム光を照射する照明装置７では
、はんだ面４ａ、５ａの複雑な形状のためはんだ面４ａ
。
５８全体を均一に明るくすることが困難であり、はんだ
付は状態の良否を精度よく検出することができない。ま
たライン光を使った光切断方式の照明装置８では、はん
だ面４ａ、５ａの立体的な特徴は検出できるがライン光
のため複雑な形状認識が必要であり、またスキャンして
全画面の光切断像を取り込んで見る必要があり、検査に
時間がかかる。またある程度はんだ取付は位置が固定し
ていないとはんだ不良を認識することができないため、
たとえばチップずれなどには対処しにくいという欠点が
ある。
付は状態の良否を精度よく検出することができない。ま
たライン光を使った光切断方式の照明装置８では、はん
だ面４ａ、５ａの立体的な特徴は検出できるがライン光
のため複雑な形状認識が必要であり、またスキャンして
全画面の光切断像を取り込んで見る必要があり、検査に
時間がかかる。またある程度はんだ取付は位置が固定し
ていないとはんだ不良を認識することができないため、
たとえばチップずれなどには対処しにくいという欠点が
ある。
目 的
本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、被検査物
体のはんだ付は状態を正確に、かつ容易に検出すること
ができるようにした検査装置を提供することである。
体のはんだ付は状態を正確に、かつ容易に検出すること
ができるようにした検査装置を提供することである。
実施例
第３図は本発明の一実施例の断面図、第４図は第３図の
切断面線ＩＶ−ＩＶから見た断面図、第５図は第１保持
部材９の展開図、第６図は第２保持部材１０の断面図で
ある。印刷配線基板１１の検査されるべきリード１２の
はんだ面１３は、ドーム状の拡散部材１４によって覆わ
れる。この拡散部材１４は、たとえばアクリル樹脂など
のような透光性材料から成る。拡散部材１４の被検査物
体１５の真上にあたる位置には、透孔１６が形成される
。拡散部材１４は、ドーム状のカバ一体１７によって穫
れる。拡散部材１４の印刷配線基板１１側に開放した下
端部１４ａおよびカバ一体１７の下端部１７ａは、水平
方向に延びる環状の底板１８に連設される。この底板１
８上には、拡散部材１４の外周面１４ｂを囲んで環状の
第２保持部材１０が固定される。第２保持部材１０は、
第６図に示されるように半径方向、、内方に延びる挿通
孔１９が形成されており、この挿通孔１９に複数の光フ
ァイバ２０が個別的に挿通される。各光ファイバ２０の
端面２０ａは、拡散部材１４に臨んで配置される。この
光ファイバ２０の基端部２０ｂは、カバ一体１７の外部
に配置された第１光源２１に臨んで配置される。第２保
持部材１０の上方、かつカバ一体１７の内周壁には、高
周波電力によって付勢される蛍光灯２２．２３が配置さ
れる。この蛍光灯２２．２３によってカバ一体１７内に
は、斜め上方からの均一な拡散光が得られる。
切断面線ＩＶ−ＩＶから見た断面図、第５図は第１保持
部材９の展開図、第６図は第２保持部材１０の断面図で
ある。印刷配線基板１１の検査されるべきリード１２の
はんだ面１３は、ドーム状の拡散部材１４によって覆わ
れる。この拡散部材１４は、たとえばアクリル樹脂など
のような透光性材料から成る。拡散部材１４の被検査物
体１５の真上にあたる位置には、透孔１６が形成される
。拡散部材１４は、ドーム状のカバ一体１７によって穫
れる。拡散部材１４の印刷配線基板１１側に開放した下
端部１４ａおよびカバ一体１７の下端部１７ａは、水平
方向に延びる環状の底板１８に連設される。この底板１
８上には、拡散部材１４の外周面１４ｂを囲んで環状の
第２保持部材１０が固定される。第２保持部材１０は、
第６図に示されるように半径方向、、内方に延びる挿通
孔１９が形成されており、この挿通孔１９に複数の光フ
ァイバ２０が個別的に挿通される。各光ファイバ２０の
端面２０ａは、拡散部材１４に臨んで配置される。この
光ファイバ２０の基端部２０ｂは、カバ一体１７の外部
に配置された第１光源２１に臨んで配置される。第２保
持部材１０の上方、かつカバ一体１７の内周壁には、高
周波電力によって付勢される蛍光灯２２．２３が配置さ
れる。この蛍光灯２２．２３によってカバ一体１７内に
は、斜め上方からの均一な拡散光が得られる。
ドーム状のカバ一体１７の被検査物体１５の真上にあた
る位置には透孔２４が形成され、この透（Ｌ２４および
拡散部材１４の前記透孔１６を介して工業用テレビカメ
ラ２５．２６によって、予め定められた位置に置かれて
いる被検査物体１５を撮像することができる。
る位置には透孔２４が形成され、この透（Ｌ２４および
拡散部材１４の前記透孔１６を介して工業用テレビカメ
ラ２５．２６によって、予め定められた位置に置かれて
いる被検査物体１５を撮像することができる。
カバ一体１７の透孔２４を囲む位置には、環状の第１保
持部材９が固定される。第１保持部材９には、複数の挿
通孔２７が形成され、この挿通孔２７に複数の光ファイ
バ２８が個別的に４挿通される。光ファイバ２８の第５
図に示される各端面２８ａは、被検査物体１５に臨んで
配置され、光ファイバ２８の基端部２８ｂはカック一体
１７の外部に設けられた第２光源２９に臨んで配置され
、このｌｌ５２光源２９と前記第１光源２１とは、半円
形状の遮光板３０ａを回転する駆動シャッタ３０の切り
換え動作によって選択的に光７アイ／＜ ２０ 。
持部材９が固定される。第１保持部材９には、複数の挿
通孔２７が形成され、この挿通孔２７に複数の光ファイ
バ２８が個別的に４挿通される。光ファイバ２８の第５
図に示される各端面２８ａは、被検査物体１５に臨んで
配置され、光ファイバ２８の基端部２８ｂはカック一体
１７の外部に設けられた第２光源２９に臨んで配置され
、このｌｌ５２光源２９と前記第１光源２１とは、半円
形状の遮光板３０ａを回転する駆動シャッタ３０の切り
換え動作によって選択的に光７アイ／＜ ２０ 。
２８に光が送られるように構成される。
被検査物体１５と、拡散部材１４の透孔１６と、カバ一
体１７の透孔２４とを結ぶ鉛直線上には、工業用テレビ
カメラ２５およびその側方に工業用テレビカメラ２６が
それぞれ配置される。被検査物体１５からの光は、被検
査物体１５と工業用テレビカメラ２５との間に介在され
たハーフミラ−３１に入射される。ハーフミラ−３１か
らの直線光は、青色フィルタ３２を介して工業用テレビ
カメラ２５の撮像レンズに入射される。また））−７ミ
ラー３１からの直角光は、反射ミラー３４によって９０
度に屈曲されて赤色フィルタ３５を介して工業用テレビ
カメラ２６の撮像レンズに入射される。このように被検
査物体１５の像を２台の工業用テレビカメラ２５．２６
にフィルタ分割することによって、後述するような被検
査物体１５のはんだ不足部分と、はんだ欠如部分とを区
別して検出することが可能となる。
体１７の透孔２４とを結ぶ鉛直線上には、工業用テレビ
カメラ２５およびその側方に工業用テレビカメラ２６が
それぞれ配置される。被検査物体１５からの光は、被検
査物体１５と工業用テレビカメラ２５との間に介在され
たハーフミラ−３１に入射される。ハーフミラ−３１か
らの直線光は、青色フィルタ３２を介して工業用テレビ
カメラ２５の撮像レンズに入射される。また））−７ミ
ラー３１からの直角光は、反射ミラー３４によって９０
度に屈曲されて赤色フィルタ３５を介して工業用テレビ
カメラ２６の撮像レンズに入射される。このように被検
査物体１５の像を２台の工業用テレビカメラ２５．２６
にフィルタ分割することによって、後述するような被検
査物体１５のはんだ不足部分と、はんだ欠如部分とを区
別して検出することが可能となる。
第７図は照明の分布状態を示す図であり、第８図および
第９図は水平拡散光と原理を示す図であり、第１０図は
＃９図の撮像状態を示す図である。
第９図は水平拡散光と原理を示す図であり、第１０図は
＃９図の撮像状態を示す図である。
光ファイバ２０．２８および高周波蛍光灯２２゜２３か
らの各光は、被検査物体１５にむけて第７図に示される
ように照射される。光ファイバ２０および蛍光灯２２．
２３からの光の強度ベクトルは、矢符Ａで示されるよう
に水平方向の拡散光と垂直方向の落射光との光度比は、
たとえば１０：１〜１０：５に設定されており、光ファ
イバ２８からの垂直方向の落射光のベクトルは矢符Ａ′
で示されるように設定されている。一般に被検査物体１
５のはんだ面１３が、第８図に示されるようにその傾斜
角θ１が４５度以下である部分は矢符Ｂで示されるよう
に正反射の光が返るため、少ない光量でも明かるく見え
るが、第９図に示されるように傾斜角θ２が４５度以上
である部分は矢符Ｂ″で示されるように光が上方に配置
した工業用テレビカメラ２５．２６に向けて反射されず
、したがって第１０図に示されるようにはんだ而１３が
暗く見えることとなる。このようなはんだ面１３は鏡面
に近く、真上に反射する光の量は極めて少ない。そこで
第７図に示されるように水平方向の拡散光になるにつれ
て、光度を強く設定すルコとによってはんだ面１３が傾
斜角４５度以上の場合であっても、第８図の矢符Ｂ′で
示されるように二重反射が起こり、水平方向の拡散光を
はんだ面１３の真上に反射させるようにすることができ
る。
らの各光は、被検査物体１５にむけて第７図に示される
ように照射される。光ファイバ２０および蛍光灯２２．
２３からの光の強度ベクトルは、矢符Ａで示されるよう
に水平方向の拡散光と垂直方向の落射光との光度比は、
たとえば１０：１〜１０：５に設定されており、光ファ
イバ２８からの垂直方向の落射光のベクトルは矢符Ａ′
で示されるように設定されている。一般に被検査物体１
５のはんだ面１３が、第８図に示されるようにその傾斜
角θ１が４５度以下である部分は矢符Ｂで示されるよう
に正反射の光が返るため、少ない光量でも明かるく見え
るが、第９図に示されるように傾斜角θ２が４５度以上
である部分は矢符Ｂ″で示されるように光が上方に配置
した工業用テレビカメラ２５．２６に向けて反射されず
、したがって第１０図に示されるようにはんだ而１３が
暗く見えることとなる。このようなはんだ面１３は鏡面
に近く、真上に反射する光の量は極めて少ない。そこで
第７図に示されるように水平方向の拡散光になるにつれ
て、光度を強く設定すルコとによってはんだ面１３が傾
斜角４５度以上の場合であっても、第８図の矢符Ｂ′で
示されるように二重反射が起こり、水平方向の拡散光を
はんだ面１３の真上に反射させるようにすることができ
る。
第１１図（１）に示されるブローホール３６、第１２図
（１）に示されるリード孔ふさがり、第１３図（１）に
示される近接、第１４図で示されるチップずれをそれぞ
れ検出するにあたっては、前記駆動シャッタ３０を切り
換えて第１光源２１から光ファイバ２０を介して水平方
向から拡散光を拡散部材１４に照射する。このとき工業
用テレビカメラ２５．２６ではんだ面１３を見たとき、
はんだ面１３の輪郭がはっきり現われ、第１１図（２）
、第１２図（２）、第１３図（２）で示されるようにブ
ローホール３６、リード、孔ふさがり３７、はんだ面１
３の近接被検査物体１５のずれの各部分が黒くなり、良
品のはんだ面とはつき９区別することが可能である。
（１）に示されるリード孔ふさがり、第１３図（１）に
示される近接、第１４図で示されるチップずれをそれぞ
れ検出するにあたっては、前記駆動シャッタ３０を切り
換えて第１光源２１から光ファイバ２０を介して水平方
向から拡散光を拡散部材１４に照射する。このとき工業
用テレビカメラ２５．２６ではんだ面１３を見たとき、
はんだ面１３の輪郭がはっきり現われ、第１１図（２）
、第１２図（２）、第１３図（２）で示されるようにブ
ローホール３６、リード、孔ふさがり３７、はんだ面１
３の近接被検査物体１５のずれの各部分が黒くなり、良
品のはんだ面とはつき９区別することが可能である。
第１５図（１）に示されるはんだ不足、第１６図（１）
に示される銅面３８の露出、第１７図（１）、ｆＩＳ１
７図（２）に示されるはんだ過剰をそれぞれ検出するに
あたっては、駆動シャッタ３０を切り換えて第２光源２
９から光ファイバ２８を介して、垂直方向の落射光を拡
散部材１４の透孔１６を介して被検査物体１５に照射す
る。このようにはんだ面１３を垂直方向の落射光を照射
することによって、工業用テレビカメラ２５．２６では
んだ面１３を見た場合、第１５図（２）、第１６図（２
）、第１７図（３）に示されるようにはんだ不足部分３
９．４０、銅面露出部分４１．．４２、はんだ過剰部分
４３の各部分が黒くなり、良品のはんだ面と区別するこ
とが可能となる。銅面露出部分４１゜４２は、前記青色
フィルタ３２、赤色フィルタ３５の働きによって、また
はんだ過剰はランド中央部におけるパターンの明暗部が
現われることによって、それぞれの検出が正確となる。
に示される銅面３８の露出、第１７図（１）、ｆＩＳ１
７図（２）に示されるはんだ過剰をそれぞれ検出するに
あたっては、駆動シャッタ３０を切り換えて第２光源２
９から光ファイバ２８を介して、垂直方向の落射光を拡
散部材１４の透孔１６を介して被検査物体１５に照射す
る。このようにはんだ面１３を垂直方向の落射光を照射
することによって、工業用テレビカメラ２５．２６では
んだ面１３を見た場合、第１５図（２）、第１６図（２
）、第１７図（３）に示されるようにはんだ不足部分３
９．４０、銅面露出部分４１．．４２、はんだ過剰部分
４３の各部分が黒くなり、良品のはんだ面と区別するこ
とが可能となる。銅面露出部分４１゜４２は、前記青色
フィルタ３２、赤色フィルタ３５の働きによって、また
はんだ過剰はランド中央部におけるパターンの明暗部が
現われることによって、それぞれの検出が正確となる。
このように駆動シャッタ３０の切り換え動作を高速に行
なうことにより、垂直方向の落射光、水平方向の拡散光
を被検査物体１５に選択的に照射することにより、被検
査物体１５のはんだ面１３の不良検査を確実に行なうこ
とができる。
なうことにより、垂直方向の落射光、水平方向の拡散光
を被検査物体１５に選択的に照射することにより、被検
査物体１５のはんだ面１３の不良検査を確実に行なうこ
とができる。
前述の実施例では、中間照明として高周波電力によって
イ」勢される蛍光灯２２．２３を用いたけれども、光フ
ァイバを用いるような構成にしてもよい。また拡散部材
１４は、乳白色のアクリル樹脂に限定されず、たとえば
乳白色以外の擦りガラスなどであってもよい。
イ」勢される蛍光灯２２．２３を用いたけれども、光フ
ァイバを用いるような構成にしてもよい。また拡散部材
１４は、乳白色のアクリル樹脂に限定されず、たとえば
乳白色以外の擦りガラスなどであってもよい。
効 果
本発明によれば、被検査物体を照射する光源の光度を垂
直方向の落射光から水平方向の拡散光になるにりけて順
次大きくなるように設定し、垂直方向の落射光と、水平
方向の拡散光との光度を選択的に設定することによって
、被検査物体のはんだ面の不良状態を確実に検査するこ
とが可能となる。
直方向の落射光から水平方向の拡散光になるにりけて順
次大きくなるように設定し、垂直方向の落射光と、水平
方向の拡散光との光度を選択的に設定することによって
、被検査物体のはんだ面の不良状態を確実に検査するこ
とが可能となる。
第１図および第２図は先行技術を説明するための図、第
３図は本発明の一実施例の断面図、第４図は第３図の切
断面線ＩＶ−ＩＶから見た断面図、第５図は第１保持部
材９の展開図、第６図は第３図の切断面線Ｖｌ−Ｖｌか
ら見た断面図、第７図は光ファイバ２０．２８および蛍
光灯２２．２３の各照明の強度分布を示す図、第８図お
よび第９図は水平方向の拡散光の原理を示す図、第１０
図は第９図の撮像状態を示す図、第１１図はブローホー
ル３６を示す図、第１２図はリード孔ふさがり３７を示
す図、＄ １３図は被検査物体１５のはんだ面１３の近
接を示す図、ｔＩＳｌ、４図は被検査物体１５のずれを
示す図、第１５図ははんだ不足を示す図、！＠１６図は
銅面３８の露出を示す図、第１７図ははんだ過剰を示す
図である。 １．１１・・・印刷配線基板、６．２５．２６・・・工
業用テレビカメラ、９・・・第１保持部材、１０・・・
第２保持部材、１３・・・はんだ面、１４・・・拡散部
材、１５・・・被検査物体、２０．２８・・・光７アイ
バ代理人 弁理士 画数 圭一部 第１図 第２図 ′００４０ 第３図 第７図 第１２図 ３ ど 第１５図 、第１６図 手続補ＩＦ７１ 昭和５９年１０月１６日 ４〜背庁長官殿 件の表示 特願昭５９−１０７ ＋１９ ’７ 明の名称 照明装置 ７ｒ５をする者 との関係 出願人 （５８３）松下電−Ｆ株式会社 埋入 大阪市西区西本町１丁目１３番３８号 新興産ビル国装
置ＥＸ ０５２５−５９８５ ＴＮＴΔＰＴ、Ｊ国際Ｆ
ＡＸ Ｇｒｌｌ＆Ｇｌ （０６）５３８−０２４７６、
補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面７、補正の内
容 （１）明細書第３頁第１１行目において「検査装置」と
あるを、 ［検査照明装Ｎ］に訂正する。 （２）明細書第４頁第１１行目において［形成されてお
り；とあるを、 ［全周にわたり形成されてお９１に訂
正する。 （３）明細書第５頁第９行目において［複数の１とある
を、 ［全周にわたり複数の１に訂■する。 （４）明１ｌｌｌ書第８頁第４行目を下記のとおりに訂
正する。 記 る。またｆＰＪ９図のＢ゛の垂直方向拡散光の割り合い
も多くなる。 （５）明細書第８頁第１５行目ｌこおいて「リード孔ふ
さがり３７」の後に下記の文を挿入する。 記 の各部分が黒くなり （６）明細書＠８８頁第１６１１−第１７行目を下記の
とおりに訂正する７ 記 面１３の近接ｄ１、被検査物体１５のずれ量ｄ２を測る
事で良品のはんだ面とはっきり〆別すること （７）明細書第８頁第２０行目において［銅面３８−１
とあるを、 ［銅面４１１に訂正する。 （８）明細書ｆｌｓ ９頁第１行目において［第１７図
（２）１とあるを削除する。 （９）明細書ＰｔＪ９頁第９行目において１ｔｔＳ１７
図（３）−１とあるを、 「第１７１１３２Ｉｌ）ｌ＋
こ訂−＋Ｆする。 （１０）明細書第９更第１１行目において 「各部分が
黒くなり１とあるを、［各部分が白くなＴ）１に訂正す
る。 （１１）明細書第９頁第１５行目を下記のとおりに訂正
する。 一記 部にパターンの明部が現われることによ（１２）図面の
第６図、第８図、第９図、！ｌ’ｓ’ｔｏ図、第１３図
（２）、１ｊＳ１５図、第１６図および第１７図を別紙
のとおりに訂正する。 以上 第６図 第８図 第１０図 第１５図 第１３図 第１６図 １７図
３図は本発明の一実施例の断面図、第４図は第３図の切
断面線ＩＶ−ＩＶから見た断面図、第５図は第１保持部
材９の展開図、第６図は第３図の切断面線Ｖｌ−Ｖｌか
ら見た断面図、第７図は光ファイバ２０．２８および蛍
光灯２２．２３の各照明の強度分布を示す図、第８図お
よび第９図は水平方向の拡散光の原理を示す図、第１０
図は第９図の撮像状態を示す図、第１１図はブローホー
ル３６を示す図、第１２図はリード孔ふさがり３７を示
す図、＄ １３図は被検査物体１５のはんだ面１３の近
接を示す図、ｔＩＳｌ、４図は被検査物体１５のずれを
示す図、第１５図ははんだ不足を示す図、！＠１６図は
銅面３８の露出を示す図、第１７図ははんだ過剰を示す
図である。 １．１１・・・印刷配線基板、６．２５．２６・・・工
業用テレビカメラ、９・・・第１保持部材、１０・・・
第２保持部材、１３・・・はんだ面、１４・・・拡散部
材、１５・・・被検査物体、２０．２８・・・光７アイ
バ代理人 弁理士 画数 圭一部 第１図 第２図 ′００４０ 第３図 第７図 第１２図 ３ ど 第１５図 、第１６図 手続補ＩＦ７１ 昭和５９年１０月１６日 ４〜背庁長官殿 件の表示 特願昭５９−１０７ ＋１９ ’７ 明の名称 照明装置 ７ｒ５をする者 との関係 出願人 （５８３）松下電−Ｆ株式会社 埋入 大阪市西区西本町１丁目１３番３８号 新興産ビル国装
置ＥＸ ０５２５−５９８５ ＴＮＴΔＰＴ、Ｊ国際Ｆ
ＡＸ Ｇｒｌｌ＆Ｇｌ （０６）５３８−０２４７６、
補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄および図面７、補正の内
容 （１）明細書第３頁第１１行目において「検査装置」と
あるを、 ［検査照明装Ｎ］に訂正する。 （２）明細書第４頁第１１行目において［形成されてお
り；とあるを、 ［全周にわたり形成されてお９１に訂
正する。 （３）明細書第５頁第９行目において［複数の１とある
を、 ［全周にわたり複数の１に訂■する。 （４）明１ｌｌｌ書第８頁第４行目を下記のとおりに訂
正する。 記 る。またｆＰＪ９図のＢ゛の垂直方向拡散光の割り合い
も多くなる。 （５）明細書第８頁第１５行目ｌこおいて「リード孔ふ
さがり３７」の後に下記の文を挿入する。 記 の各部分が黒くなり （６）明細書＠８８頁第１６１１−第１７行目を下記の
とおりに訂正する７ 記 面１３の近接ｄ１、被検査物体１５のずれ量ｄ２を測る
事で良品のはんだ面とはっきり〆別すること （７）明細書第８頁第２０行目において［銅面３８−１
とあるを、 ［銅面４１１に訂正する。 （８）明細書ｆｌｓ ９頁第１行目において［第１７図
（２）１とあるを削除する。 （９）明細書ＰｔＪ９頁第９行目において１ｔｔＳ１７
図（３）−１とあるを、 「第１７１１３２Ｉｌ）ｌ＋
こ訂−＋Ｆする。 （１０）明細書第９更第１１行目において 「各部分が
黒くなり１とあるを、［各部分が白くなＴ）１に訂正す
る。 （１１）明細書第９頁第１５行目を下記のとおりに訂正
する。 一記 部にパターンの明部が現われることによ（１２）図面の
第６図、第８図、第９図、！ｌ’ｓ’ｔｏ図、第１３図
（２）、１ｊＳ１５図、第１６図および第１７図を別紙
のとおりに訂正する。 以上 第６図 第８図 第１０図 第１５図 第１３図 第１６図 １７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検査物体の真上付近の位置からその被検出物体に向け
て照射光を照射する第１光源と、前記被検査物体に関し
て第１光源寄りで、かつ被検出物体の側方に環状に配置
され、被検査物体に向けて照射光を照射し、その光度は
第１光源寄りから被検査物体に近付くにつれて大きくな
るように構成しである第２光源とを含み、 第１光源および第２光源を選択的に電力付勢し、被検査
物体の真上付近の位置において被検査物体を撮像するこ
とを特徴とする照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59107097A JPS60250783A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 撮像用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59107097A JPS60250783A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 撮像用照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60250783A true JPS60250783A (ja) | 1985-12-11 |
| JPH029506B2 JPH029506B2 (ja) | 1990-03-02 |
Family
ID=14450379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59107097A Granted JPS60250783A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 撮像用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60250783A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277406A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査方法および装置 |
| WO2003064973A1 (fr) * | 2002-02-01 | 2003-08-07 | Ckd Corporation | Instrument de mesure tridimensionnelle, plaque de filtre a raies et dispositif d'eclairage |
| JP2003530993A (ja) * | 2000-04-14 | 2003-10-21 | フィリップ・モーリス・プロダクツ・ソシエテ・アノニム | シガレット包装工程を視覚的に検査するためのシステムおよび方法 |
| WO2009154182A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | 株式会社コベルコ科研 | 端面観察装置 |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP59107097A patent/JPS60250783A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003530993A (ja) * | 2000-04-14 | 2003-10-21 | フィリップ・モーリス・プロダクツ・ソシエテ・アノニム | シガレット包装工程を視覚的に検査するためのシステムおよび方法 |
| JP2002277406A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-25 | Saki Corp:Kk | 外観検査方法および装置 |
| WO2003064973A1 (fr) * | 2002-02-01 | 2003-08-07 | Ckd Corporation | Instrument de mesure tridimensionnelle, plaque de filtre a raies et dispositif d'eclairage |
| US7019848B2 (en) | 2002-02-01 | 2006-03-28 | Ckd Corporation | Three-dimensional measuring instrument, filter striped plate, and illuminating means |
| WO2009154182A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | 株式会社コベルコ科研 | 端面観察装置 |
| JP2010002216A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Kobelco Kaken:Kk | 端面観察装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029506B2 (ja) | 1990-03-02 |
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