JPS60250657A - 電器回路によつて生じた熱を散らすためのカプセル入りハウジング - Google Patents

電器回路によつて生じた熱を散らすためのカプセル入りハウジング

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JPS60250657A
JPS60250657A JP60099455A JP9945585A JPS60250657A JP S60250657 A JPS60250657 A JP S60250657A JP 60099455 A JP60099455 A JP 60099455A JP 9945585 A JP9945585 A JP 9945585A JP S60250657 A JPS60250657 A JP S60250657A
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metal
housing according
recess
alloy
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JP60099455A
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ジヤン・クロード・タヴエルデ
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ERU SEE SEE SEE II SEE UU CO YUUROPEENU DOYU KONPOZAN EREKUTORONITSUKU
EUROP COMPOSANTS ELECTRON
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ERU SEE SEE SEE II SEE UU CO YUUROPEENU DOYU KONPOZAN EREKUTORONITSUKU
EUROP COMPOSANTS ELECTRON
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Publication date
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は電気回路によって生じた熱を散らすためのカプ
セル入りハウジングあるいは箱に関する。
集積回路および混成回路の最近の発展により単位面積当
りの熱消散那は着実に増えていることは知られ【いる。
かようにして生じた熱号は組立てられた回路のためのハ
ウジングの媒介物を通して排棄しなければならない。
したがって、作業中において半導体デバイスの接合部を
最高推奨値より明らかに高い温度に熱するとき、それら
デバイスの表面状態が変化し、この結果デバイスの特性
は不可逆的にかつ累積的に劣化あるいは損なわれていく
。シリコンで作られた成る!の要素の場合、接合部の最
高温度は約200℃であるが、デバイスが特にプラスチ
ック材料内に封入された場合は、限界温度を下げる必要
がしばしば生じる。一般的に、信頼性は最高推奨値より
明らかに低い温既における作業工程によって高まる。
したがって大切IIことは、基板の単位面積当り高い値
の熱量を確実に散逸させるようになされたハウジングが
最適熱抵抗体として確かに機能することである2、(た
とえば、l 0C/ wはど低い熱抵抗値が望ましい)
集積回路はしばしば組立てられて、金属キャップを有す
るモジュールあるいは単位体が得られる。
熱量@は、集積回路から外部の散逸体への移動を指す。
散らさねばならない熱量が比較的小さいときは、モジュ
ールあるいは基準体の金属キャップは空気中に開放出来
、モジュールあるいは基準体の底部はビンを介在として
プリント回路に連結される。D)<シて集積回路の熱は
、モジュールあるいは基準体が組込まれた回路の基板お
よびこの基準体の金属キャップを介し1散らされる。
ある適用例の場合、かようにして散らされる熱量は不十
分である。
消散し得る集積回路の熱量を増大出来るデバイスは各種
のものがある。
したがって、密封シールされた公知の箱あるいはハウジ
ングが現在利用出来るが、これらはボデーあるいはシン
クあるいはカップで構成され、それらの上側は鉄・ニッ
ケル・コバルト合金でも作り得るホウ硅醗塩ガラスシー
ルでシールされる。
基板はハウジングの底部に取付けられるかノ・ンダ付け
されるが、このハウジングは鉄・ニッケル・コバルト合
金で作られているが故に放熱器としては劣る。
それに関連して、1977年1月の19巻8号「IBM
技術発表会報」の記事「多モード熱シンク」は、受容器
を備えた熱放散器を含むデバイスを説明している。プリ
ント回路上に組立てられた単位体は、受容器の内側に配
置される。低溶融温度で溶接することにより、単位体と
受容器底部との連結が確実になる。この熱放散器は、熱
を外部に運び去るための水循環回路を含み得る。
しかしかようなデバイスは基準型ではない。反対に、本
発明によるハウジングによれば、熱移動流体の循環網が
得られるので、部片の可能な限り近接した点での冷却が
可能となり、したがって低温維持中の部片が再加熱され
ることは回避され得る0 発明の要約 本発明の目的は、電気回路によって生じた熱を散らすた
めのカプセル入りハウジングあるいは箱にあり、このI
・ウジングはその上部に凹部付きの金属アーマチマを含
み、その底部には電気回路が取付ゆられるようになされ
、その横壁は断熱シールの介在を経ての連結部を支持す
る。ハウジングはさらに、密封するため凹部の表面に配
置されたキャップを含む。このキャップは、少くとも1
種類の熱移動流体を冷却するための手段をその下部分に
有し、この横壁は規則的に離隔し平行方向に延びる貫通
穴と、これら貫通穴のいずれもの端部に形成された開口
とを有し、かくて熱移動流体の所望の循環網が得られ、
そして前記穴と開口の端をシールするためこの単−組立
体の横壁に配設された2つの金属要素が得られ、これら
冷却手段は熱移動流体の入口と出口な形成する少なくと
も2つのホールを含む。
好適具体例の説明 第1図は、「IBM技術発表会報J 1977年1月付
の19巻8号記事「多モード熱シンク」に記された従来
技欝によるデバイスを示し、こ\におけるモジュールつ
まり基準体あるいは単位体1は任意の従来技術による基
板4上に組込まれている。反対に単位体1の下側は、熱
消散器3上の受容器2内に入る。第1図はこれを組立て
ない構成として示す。低溶融点溶接は硬化後に負の縮少
現象を伴うWi類でもよいが、この方法により、台単位
体は包囲され、単位体と熱消散器3間の密着連結が達成
される。この消散D3は水循環のための通路5を含み得
、かくて熱は外部に伝達される。
この構成は、溶接部を溶かし、消散器3の受容器2内に
基板を単位体1と共に入れることによって組立てられる
本発明それ自体は、電気回路用のカプセル入りハウジン
グに関し、この場合ハウジング内には、熱移動流体の循
環を介する冷却システムが組込まれる。第2図に示すよ
うに、宅のハウジングは、金属アーマチェアロを含み、
このアーマチiは電気回路の接続ワイヤと、アーマチュ
アに溶接された少なくとも1つのカバー15と、循環網
16と共に熱移動流体を用いる1つあるいは数個の冷却
システムとを支持する。
より特定的には本発明は、強力な熱消散を生じさせる要
素と共に用いられる強力カプセル入りI・ウジングを製
造するのに利用出来る。
ハウジングのアーマチーL76は、数個の部品を含む。
すなわち、要素の位置決めを許容する凹部12であり、
この位置決めは、機械的取付具あるいは低温ハンダ付け
あるいは凹部!2の底部13に取付けられたプリワイヤ
回路によってなされ、接続ワイヤは、金属シール連合に
よってシールされ、ハンダ付けによってアーマチュア上
に植え付けられ、電子ワイヤ作業標準によって2.54
ミリあるいはs、osミリしはしば離される各種寸法の
ビン11によって得られる。
したがって、接続はピン11の形態で示され。
それぞれはたとえば鋼製シンクlO内に配置された断熱
シール9によって定位置に保持される。従来例によれば
、ガラスパールがこの目的のために用いられる。各ピン
11は、ハウジングの外側から突出し、末端にはノーズ
片がある部分と、ハウジングの外側から突出し、ハウジ
ング必携の回路からの接続ワイヤを溶接するための部分
とを有す。
ハウジング上の凹部!2内に数個の基板を組込んだのち
、カバー15がフレーム!7に溶接あるいはハンダ付け
され、ハウジングは密封シールされる。
かくして、この凹部12の底部および金属フレーム17
の添加により、溶接あるいはハンダ付けで閉鎖すること
が出来、たとえば耐ヘリウム性□のカプセル入りハウジ
ングも得られる。
単一組立体を構成する該カプセル入り/%ウジング上に
は、1つあるいは数個の冷凍回路16を全体的に統合す
ることが出来る。熱移動流体の循環用回路16は、深(
穴明けすることによりボディ内に得られる。穴の端に開
11があるので、流体は自由に循環し、密着性はこれら
の穴の各側8にハンダ付けされた2つの金属片7によっ
て得られる、第3図は、金属アーマチーアロを示し、そ
の上部にのみ空洞12がある。空洞の底部は電気回路の
取付を意図されており、それの横壁には連結ビン!■を
定置させるためのホール23がある。このアーマチャ6
はその下部に冷却手段16を備えており、少な(ともI
ll類の熱移動流体の循環によって冷却する該手段16
は、横壁30と31間に単一組立体を含む。これら横壁
には平行方向の貫通穴2!があり、それぞれは、線A−
A’による断面図である第4図に示すように規則的に離
隔される。
開口22がその後、該貫通穴21の端部に貫通されるが
、かくして、□”同じぐ線A−にによる断面図である第
1図に示すように、熱移動流体の所望の循環網が得られ
る。
第6図はこの金属アーマチュアの側面31から視た図で
あり、貫通穴21と開口22が設けられている。
゛第2図に示す2つの金属要素7は金属アーマガア6の
横壁ao、alに設けられ、これら穴21と開口22の
端をシールする2 これらの冷却手段16は、少な(とも2つのホール19
.20を含み、か(て熱移動流体の導入と排出が行なえ
る。ホール19.20は第7図に示すように1個の金属
要素7に設けることが出来るが、しかしそれらを金属ア
ーマチ茅アロの底に同じように設けることも出来る。
かくして流体の供給と排出は、ハンダ付けあるいは接着
された接続部によってなされるので、熱交換器あるいは
冷凍流体源との相互連結が迅速且つ容易になされる。
第7.8図は、第1図に示す本発明によるハウジングの
側面と底面を示す。
したがって、本発明によるハウジングは、凹部6の底部
13と穴21との間にある金屑アーマガアの材料厚を貫
通して、電気回路と冷却手段との間に伝導機能をもたら
す。
またこれにより、少な(とも1種類の熱移動流体を利用
することによって交換機能が果される。
かくして、熱の伝導部分と熱交換部分とが統合される。
本発明によるハウジングは基準型の冷却手段を有する。
事実、必要に応じて平行流体循環式の直列回路が形成さ
れ、冷温維持される部分を加熱することな(加熱部分に
可能な限り接近させて冷却を行うことが出来る。これは
交換表面を変動させることな(行なえ、そしてこれは一
定流比における穴径と貫通スロットによって決まる関数
であるから、冷却手段全体の熱抵抗を変えることが出来
る。
かようなハウジングによって、所定温度での熱移動を調
節することも可能となる。さらに、独立あるいは互いに
接続された数個の冷却回路を考えることも可能である。
本発明によるハウジングにより、たとえば150ミリ×
150ミリの寸法を有する大型システムをカプセル入り
させることが出来る。
金属アーマ九76と2つの金属要素7に用いられる材料
は一般的に、それらの艮好な熱伝導率によって選ばれた
銅あるいはアルミベース合金である。
したがって、銅ベース合金はたとえば、銅・クロムある
いは銅・ベリリウム・コバルト合金でもよく、この結果
耐腐食性と高い熱消散率を有する硬質材料が得られる。
かくして、約780℃で溶融する高温銀・銅共融材のハ
ンダ付けを利用し得るO アルミベース合金はアルミ・シリコン合金でもよい。か
くて、ハンダ付けは、約315℃で溶ける鉛・銀共融合
金のハンダ付けでよい。
フレーム17とカバー15は、鉄・ニッケル・コバルト
で作り得る。
保護被覆を、たとえばニッケル、錫あるいは金で作られ
たハウジングの全体に適用することが可能である。
熱移動流体は、たとえば水あるいは油でもよい。
電気回路は、四部12の底+3に貼着されたプリント回
路に配設された要素でもよい。これらは、凹部12の底
13に機械的に取付けられる超周波数回路であってもよ
い。
【図面の簡単な説明】
断面図、第7図は本発明によるハウジングの側面図、第
8図は本発明によるハウジングの底面図である。 6・・・アーマチェア 15・・・カバー16・・・循
環網 12・・・凹部 lO・・・シンク。 FIG、7 手続補正内 昭和60年6月2乙日 2、発明の名称 電気回路によって生じた熱を散らすた
めのカプセル入りハウジング 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 エル、セー、セー、−セー、イー、セー。 クー。コンパニー・コーロベエンヌ・ドウ・コンボーザ
ン・エレクトロニック 4、代 理 人 東京都新宿区新宿1丁目1番14号 
山田ピル(郵便番号160)電話(03) 354−8
623補正する。 2、特許請求の範囲 (1)上部に凹部を備えた金属アーマチュア、密封シー
ル出来るように該凹部の表面に配置されたカバー、開口
、および2つの金属要素を含む、電気回路によって生じ
た熱を散らすためのハウジングあるいは箱であって、前
記凹部の底には前記電気回路を取付けるようになされて
おシ、凹部の横壁は絶縁シールの中間材を介して接続部
を支持し、前記カバーは下部には少なくとも1種類の熱
移動流体の循環のための冷却手段を有し、冷却手段は前
記横壁間に金属の単一組立体を含み、該横壁は平行方向
で且つ規則的に離隔された貫通穴を有し、前記開口はこ
れら貫通穴のいくつかの端において貫通しておシ、かく
て熱移動流体の所望の循環網が得られ、前記金属要素は
前記穴と開口の端をシールするべく該単一組立体の横壁
に設けられ、前記冷却手段は熱移動流体の入口と出口を
なす少なくとも2つの開口を含むハウジング。 (2)2つの金属要素は金属アーマチュアの下部のいず
れかの側にノ・ンダ付けされる特許請求の範囲第1項記
載のハウジング。 (3) カバーを金属アーマチュアに溶接するべく金属
アーマチュアとカバー間に配置された金属フレームを含
む、特許請求の範囲第1項記載のノーウジング。 (4)絶縁シールはガラス、Q−ルである、特許請求の
範囲第1項記載のハウジング。 (5) ガラスパールは鋼製シンク又はキャップ内に配
置される、特許請求の範囲第4項記載のハウジング。 (6) 接続部はI・ンダ付けによって植付けられたビ
ンである、特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (7)接続部は、熱移動流体の供給と排出がなされるよ
う該開口内に配置される、特許請求の範囲第1項記載の
ハウジング。 (8)接続部はハンダ付けによって取付けられる、特許
請求の範囲第7項記載のハウジング。 (9)接続部は周辺シール用接着剤を用いる粘着によっ
て取付けられる、特許請求の範囲第7項記載のハウジン
グ。 α1 金属アーマチュアと2つの金属要素は銅ベース合
金から作られる、特許請求の範囲第1項記載のハウジン
グ。 aυ 前記銅ベース合金は銅クロム合金である、特許請
求の範囲第10項記載のハウジング。 鰭 前記鋼ベース合金は銅・ベリリウム・コバルト合金
である、特許請求の範囲第10項記載のハウジング。 a漕 使われるハンダ付は材料は銀・銅共融合金である
、特許請求の範囲第10項記載のハウジング。 04 金属アーマチュアと2つの金属要素はアルミペー
ス合金から作られる、特許請求の範囲第1項記載のハウ
ジング。 a場 前記アルミベース合金はアルミ・シリコン合金で
ある、特許請求の範囲第14項記載のハウジング。 (1G 使われるハンダ付は材料は鉛・銀共融合金であ
る、特許請求の範囲第14項記載の)・ウジング。 住η フレームとカバーはフェロ・ニッケル・コバルト
から作られる、特許請求の範囲第1項記載のハウジング
。 fil ニッケル、錫、金の材料から選ばれた材料で作
られた被覆を有する、特許請求の範囲第1項記載のハウ
ジング。 翰 熱移動流体は水である、特許請求の範囲第1項記載
のハウジング。 (2)熱移動流体は油である、特許請求の範囲第1項記
載のハウジング。 (21)電気回路は溶接によって凹部の底に取付けられ
る、特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (2)電気回路はハンダ付けによって凹部の底に取付け
られる、特許請求の範囲第1項記載の/%ウジング。 (ハ)電気回路は凹部の底に粘着されたプリント回路に
配設される、特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (財)電気回路は凹部の底に機械的に取付けられた超周
波数回路である、特許請求の範囲第1項記載のハウジン
グ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1) 上部に凹部な備えた金属アーマチュア、密封シ
    ール出来るように該凹部の表面に配置されたカバー、開
    口、および2つの金属要素を含む、電気回路によって生
    じた熱を散らすためのハウジングであって、前記6辞の
    底°には前記電気回路を取付けるようになされており。 熱移動流体の循環のための冷却手段オ・9t’。 玲太M役は前記横壁間に金属の単一組立体を含み、該横
    壁は平行方向で且つ規則的に離隔された貫通穴を有し、
    前記開口はこれら貫通穴の端において貫通しており、か
    くて熱移動流体の所望の循環網が得られ、前記金属要素
    は前記穴と開口の端をシールするべ(該単一組立体の横
    壁に設けられ、前記冷却手段は熱移動流体の入口と出口
    をなす少なくとも2つの開口を含むハウジング。 (2) 2つの金属要素は金属アーマチュアの下部のい
    ずれかの側にノ・ンダ付けされる特許請求の範囲第1項
    記載のハウジング。 (3)カバーを金属アーマチュアに溶接するべく金属ア
    ーマチュアとカバー間に配置された金属フレームを含む
    、特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (4)絶縁シールはガラスパールである、特許請′プ内
    に配置される。!f#許請求の範囲第4項記載のハウジ
    ング。 (6) 接続部はハンダ付けによって植付けられたピン
    である。特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (7)接続部は、熱移動流体の供給と排出がなされるよ
    う該開口内に配置される。特許請求の範囲第1項記載の
    ハウジング。 (8)接続部はハンダ付けによって取付けられる特許請
    求の範囲第7項記載のハウジング。 (9)接続部は周辺シール用接着剤を用いる貼着くよっ
    て取付けられる。特許請求の範囲第7項記載のハウジン
    グ。 H金属アーマチュアと2つの金属要素は銅ペース合金か
    ら作られる。特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 0 前記銅ペース合金は銅クロム合金である。 特許請求の範囲第10項記載のハウジング。 (13前記銅ペース合金は銅・ベリリウム・コバルト合
    金である。特許請求の範囲第10項記載のハウジング。 as 使われるハンダ付は材料は銀・銅共融合金である
    。特許請求の範囲第10項記載のハウジング。 a4 金属アーマチュアと2つの金属要素はアルミペー
    ス合金から作られる。特許請求の範囲第1項記載のハウ
    ジング。 a5 前記アルミベース合金はアルミ・シリコン合金で
    ある。特許請求の範囲第14項記載のハウジング。 ae 使われるハンダ付は材料は鉛・銀共融合金である
    。特許請求の範囲第14項記載のハウジングO aη フレームトカハーはフェロ・ニッケル・コバルト
    から作られる。特許請求の範囲第1項記載のハウジング
    、 0・ ニッケル、錫、金の材料から選ばれた材料で作ら
    れた被覆を有する、特許請求の範囲第1項記載のハウジ
    ング。 O9熱移動流体は水である。fF許請求の範囲第、1項
    記載の)・ウジング。 (2)熱移動流体は油である。特許請求の範囲第1項記
    載のハウジング、 ・ (財)電気回路は溶接によって凹部の底に取付けられる
    。特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (2)電気回路はハンダ付けによって凹部の底に取付け
    られる。特許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (2)電気回路は凹部の底に貼着されたプリント回路に
    配設される1%許請求の範囲第1項記載のハウジング。 (財)電気回路は凹部の底に機械的に取付けられた超周
    波数回路である。特許請求の範囲第1項記載のハウジン
    グ。 、
JP60099455A 1984-05-11 1985-05-10 電器回路によつて生じた熱を散らすためのカプセル入りハウジング Pending JPS60250657A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8407297 1984-05-11
FR8407297A FR2564243B1 (fr) 1984-05-11 1984-05-11 Boitier a dissipation thermique d'encapsulation de circuits electriques

Publications (1)

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JPS60250657A true JPS60250657A (ja) 1985-12-11

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ID=9303885

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JP60099455A Pending JPS60250657A (ja) 1984-05-11 1985-05-10 電器回路によつて生じた熱を散らすためのカプセル入りハウジング

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US (1) US4680673A (ja)
EP (1) EP0165829B1 (ja)
JP (1) JPS60250657A (ja)
AT (1) ATE41266T1 (ja)
DE (1) DE3568670D1 (ja)
FR (1) FR2564243B1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT392186B (de) * 1987-09-25 1991-02-11 Siemens Ag Oesterreich Vorrichtung zur kuehlung von bauelementen der leistungselektronik
CA1303238C (en) * 1988-05-09 1992-06-09 Kazuhiko Umezawa Flat cooling structure of integrated circuit
US6052284A (en) * 1996-08-06 2000-04-18 Advantest Corporation Printed circuit board with electronic devices mounted thereon
US6167952B1 (en) 1998-03-03 2001-01-02 Hamilton Sundstrand Corporation Cooling apparatus and method of assembling same
US6141219A (en) * 1998-12-23 2000-10-31 Sundstrand Corporation Modular power electronics die having integrated cooling apparatus
WO2002035899A1 (de) * 2000-10-24 2002-05-02 Siemens Aktiengesellschaft Kühlvorrichtung
US20050123418A1 (en) * 2003-12-08 2005-06-09 Manole Dan M. Compact compressors and refrigeration systems
US7478541B2 (en) * 2004-11-01 2009-01-20 Tecumseh Products Company Compact refrigeration system for providing multiple levels of cooling
US7617696B2 (en) * 2004-11-12 2009-11-17 Tecumseh Products Company Compact refrigeration system and power supply unit including dynamic insulation
EP3032227B1 (en) * 2014-12-08 2020-10-21 Sensirion AG Flow sensor package

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56150841A (en) * 1980-04-23 1981-11-21 Hitachi Ltd Cooling material for electric parts
JPS5839044A (ja) * 1981-08-14 1983-03-07 ゼロツクス・コ−ポレ−シヨン 半導体装置用集積パツケ−ジ・薄膜熱交換器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE760031A (fr) * 1969-12-11 1971-05-17 Rca Corp Boitier pour module de puissance hybride a semiconducteurs
DD104895A1 (ja) * 1973-02-19 1974-03-20
US4180414A (en) * 1978-07-10 1979-12-25 Optical Coating Laboratory, Inc. Concentrator solar cell array module
US4266090A (en) * 1978-09-14 1981-05-05 Isotronics, Incorporated All metal flat package
FR2500215A1 (fr) * 1981-02-13 1982-08-20 Thomson Csf Dispositif de refroidissement d'un composant electronique de puissance, et composant encapsule dans un boitier muni d'un tel dispositif
US4450472A (en) * 1981-03-02 1984-05-22 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Method and means for improved heat removal in compact semiconductor integrated circuits and similar devices utilizing coolant chambers and microscopic channels
FR2526585A1 (fr) * 1982-05-07 1983-11-10 Thomson Csf Boitier d'encapsulation de circuit microelectronique a haute dissipation thermique et son procede de fabrication

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56150841A (en) * 1980-04-23 1981-11-21 Hitachi Ltd Cooling material for electric parts
JPS5839044A (ja) * 1981-08-14 1983-03-07 ゼロツクス・コ−ポレ−シヨン 半導体装置用集積パツケ−ジ・薄膜熱交換器

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Publication number Publication date
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