JPS6024190B2 - selective plating jig - Google Patents

selective plating jig

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Publication number
JPS6024190B2
JPS6024190B2 JP7013880A JP7013880A JPS6024190B2 JP S6024190 B2 JPS6024190 B2 JP S6024190B2 JP 7013880 A JP7013880 A JP 7013880A JP 7013880 A JP7013880 A JP 7013880A JP S6024190 B2 JPS6024190 B2 JP S6024190B2
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JP
Japan
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plating
base plate
partial
jig
electrode
Prior art date
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Application number
JP7013880A
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Japanese (ja)
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JPS56166392A (en
Inventor
光男 宮本
正雄 関端
勲 杉谷
寛治 大塚
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS6024190B2 publication Critical patent/JPS6024190B2/en
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、部分めつき治具に関し、特に半導体用セラミ
ック・パッケージ等の電子部品全般の部分めつき治具に
関するのである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a partial plating jig, and more particularly to a partial plating jig for general electronic components such as ceramic packages for semiconductors.

半導体用セラミック・パッケージに、シリコン・チップ
を実装するには、Au−Si共晶法が用いられる。
The Au-Si eutectic method is used to mount silicon chips in semiconductor ceramic packages.

Au−Si共晶法は、AuとSiが重量比で滋/6のと
き37000の共晶点を持つので、40ぴ0程度に加熱
したAuメッキ導体やAuを含む厚腰導体上に、Siベ
レットを押しつけてこすりつけると熱励起によって接触
面で双方の金属の拡散が生じ、融点が共晶温度まで下が
って溶融し接着する方法であり、他のマウント法に比べ
てオーミック・コンタクト性や熱伝導性が優れている。
従釆、上記の場合のように、あらかじめ部分的に金めつ
きを必要とする場合には、第1図に示すように、セラミ
ック基板1に装着されたスタッド(ネジ付きパッケージ
のネジのついた部分)2の上面3に、金めつき液を部分
的に吹き付ける方法(スプレー法)が探られる。
The Au-Si eutectic method has a eutectic point of 37,000 when Au and Si have a weight ratio of 1/6. When the bullet is pressed and rubbed, both metals diffuse at the contact surface due to thermal excitation, and the melting point drops to the eutectic temperature, melting and bonding. Excellent conductivity.
As in the above case, if gold plating is required partially in advance, as shown in Fig. A method of partially spraying gold plating liquid onto the upper surface 3 of part 2 (spray method) is being explored.

通常、金めつき液には青化金溶液が用いられ下地のめつ
きのように全面にめつきする場合には陰極に品物を取付
けて電流を流し、電気分解させて陰極上に金属を折出さ
せる電気メッキを行う。
Usually, a blued gold solution is used as the gold plating solution, and when plating the entire surface such as plating a base, the item is attached to the cathode and an electric current is applied to cause electrolysis and metal is precipitated onto the cathode. Perform electroplating.

しかし、前述のスプレー法であると、事前に全面に下地
めつきが必要な場合には、工程や使用するめつき装置が
異り、作業性が非常に悪く工程や時間が多くかかり、設
備費も高価になるという欠点がある。本発明の目的は、
このような従来の欠点を除去するため、めつき液を部分
的に吹き付ける方法によることなく、下地めつきの工程
に使用するのと同一装置で、都分めつきすることができ
る都分めつき治具を提供することにある。
However, with the above-mentioned spray method, if the entire surface needs to be plated in advance, the process and plating equipment used are different, and the workability is very poor and takes a lot of time and process, and equipment costs are high. It has the disadvantage of being expensive. The purpose of the present invention is to
In order to eliminate these conventional drawbacks, we have developed a special plating method that can perform partial plating using the same equipment used for the base plating process, without relying on the method of partially spraying the plating solution. The goal is to provide the tools.

本発明の都分めつき治具は、めつき用電源をとるめつき
ベース板と、めつき部分を残し自身でもしくはめつきベ
ース板との共同で被めつき物をおおう形状で気密シール
を行うゴムベース等の弾力性のある気密シール物と、前
記めつきベース板に接続されて被めつき物との通電を行
う、ばね性のある電極と、被めつき物に圧力を加え、被
めつき物と気密シールを押える手段を有することを特徴
としている。
The plating jig of the present invention has a plating base plate that takes the power source for plating, and a shape that covers the object to be plated by itself or together with the plating base plate and forms an airtight seal while leaving the plating part. An elastic airtight seal such as a rubber base, a springy electrode that is connected to the plating base plate to conduct electricity between the plating object, and a plating object that applies pressure to the plating object. It is characterized by having means for pressing the plating and the airtight seal.

以下、図面により、本発明の実施例を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第2図は、本発明の部分めつき治具の構造図である。FIG. 2 is a structural diagram of the partial plating jig of the present invention.

第2図aはその平面図、第2図bは正面図である。第2
図においては、電極4に接続されるめつきベース板5に
、はんだ付け等によってばね電極6を取付け、前記めつ
きベース板5上にはゴムベース7を設ける。
FIG. 2a is a plan view thereof, and FIG. 2b is a front view thereof. Second
In the figure, a spring electrode 6 is attached by soldering or the like to a plating base plate 5 connected to an electrode 4, and a rubber base 7 is provided on the plating base plate 5.

ゴムベース7には、パッケージ挿入部12が設けられて
いる。このゴムベース7には、後述するように、ばね電
極6を貫通することのできるスリット8が凹部底面に設
けられる。さらに、ゴムべ−ス7上に、第1図に示され
るようなスタッド2、めつき部3を有するセラミック基
板1が乗せられる。前記めつきベース板5には、支点9
に基板押え10が取付けられ、これを固定点11におい
て固定する。
The rubber base 7 is provided with a package insertion portion 12. The rubber base 7 is provided with a slit 8 at the bottom of the recess, which allows the spring electrode 6 to pass through, as will be described later. Furthermore, a ceramic substrate 1 having studs 2 and plating portions 3 as shown in FIG. 1 is placed on the rubber base 7. The plating base plate 5 has a fulcrum 9
A substrate holder 10 is attached to the substrate holder 10 and fixed at a fixing point 11.

第3図は、第2図に示されるゴムベース7の構造図でる
FIG. 3 is a structural diagram of the rubber base 7 shown in FIG. 2.

第3図aはその上面図、第3図bは正面図、第3図cは
下面図である。第3図においては、前記セラミック基板
1の挿入および保持が可能なパッケ−ジ挿入部12とセ
ラミック基板1との気密シールを行うシール部13と、
めつきベース板5のヱポキシ・コーティングされた部分
との気密シールを行うシール部14が設けられる。
FIG. 3a is a top view, FIG. 3b is a front view, and FIG. 3c is a bottom view. In FIG. 3, a package insertion part 12 into which the ceramic substrate 1 can be inserted and held, a seal part 13 which performs an airtight seal between the ceramic substrate 1,
A seal portion 14 is provided for airtight sealing with the epoxy coated portion of the plating base plate 5.

シール部13および14は気密性をよくするため、円形
に突出した形状にし、かつその断面は半円形にして、気
密性を良くしている。さらに、ゴムベース7の凹部底面
にはばね電極6を貫通するためのスリット8が穿ってあ
る。第4図は、第2図aに示されるAA′における縦断
面図である。第4図に示されるように、電極4を通った
電流は、ばね電極6を介して、基板押え1川こよって押
えられたセラミック基板1のスタッド2に伝わり、次に
めつき部3に伝わる。
The seal portions 13 and 14 have a circularly protruding shape and a semicircular cross section to improve airtightness. Further, a slit 8 for passing the spring electrode 6 through the bottom of the concave portion of the rubber base 7 is provided. FIG. 4 is a longitudinal sectional view taken along AA' shown in FIG. 2a. As shown in FIG. 4, the current passing through the electrode 4 is transmitted via the spring electrode 6 to the stud 2 of the ceramic substrate 1 held by the substrate holder 1, and then to the plated portion 3. .

ここで、めつきベース板5は電極2にェボキシ・コーテ
ィング部15が設けられたものである。したがって、セ
ラミック基板1に装着されたスタッド部2は、ゴムベー
ス7の凹部内に密閉され、外部から完全に気密シールさ
れる。
Here, the plating base plate 5 has an epoxy coating portion 15 provided on the electrode 2. Therefore, the stud portion 2 mounted on the ceramic substrate 1 is hermetically sealed within the recess of the rubber base 7, and is completely hermetically sealed from the outside.

このため、上面のめつき部3を除き、めつきは行われな
い。第5図は、本発明の部分めつき拾具の他の実施例を
示す図である。
Therefore, no plating is performed except for the plating portion 3 on the top surface. FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the partial plating pick-up tool of the present invention.

即ち、半導体用セラミック・パッケージの構造が、第5
図aに示されるように、セラミック基板16にリード1
7が取付けられ、リード17と金めつき部18とが、セ
ラミック内にメタラィズされた内層において電気的に接
続されている場合である。
That is, the structure of the ceramic package for semiconductors is
As shown in Figure a, the lead 1 is attached to the ceramic substrate 16.
7 is attached, and the lead 17 and the gold-plated portion 18 are electrically connected in the inner layer metallized within the ceramic.

第5図bに示すように、ゴムベース19に上記セラミッ
ク基板16を挿入し、シール部20、シール部21を設
けて、セラミック基板16およびェポキシ・コーティン
グ部15とをそれぞれ気密シールし、さらに電極4上に
コの字形のはね電極22を設けて、リード17と接触さ
せ通電する。
As shown in FIG. 5b, the ceramic substrate 16 is inserted into the rubber base 19, a seal portion 20 and a seal portion 21 are provided to airtightly seal the ceramic substrate 16 and the epoxy coating portion 15, and the electrode A U-shaped spring electrode 22 is provided on the lead 17 and is brought into contact with the lead 17 to be energized.

以上説明したように、本発明によれば、めつき用電源を
とるめつきベース板と、めつき部分を残して自身でもし
くはめつきベース板との共同で被めつき物との気密シー
ルを行うゴムベースと、ベース板に接続され被めつき物
との通電を行うばね電極と、被めつき物とゴムベースと
の気密シールを行うために、被めつき物に圧力を加える
手段を設けたので、めつき不要部分にめつき液が入らず
、下地めつきと同一の装置を使用することができかつ、
めつき金属(金、銀)の高価なものを必要最小限に限定
してめつきすることができ、大幅な原価低減を計ること
が可能となる。
As explained above, according to the present invention, the plating base plate that takes the power source for plating and the plated object can be airtightly sealed by itself or together with the plating base plate, leaving the plating part intact. A rubber base is provided, a spring electrode is connected to the base plate and conducts electricity between the covered object, and a means is provided to apply pressure to the covered object in order to create an airtight seal between the covered object and the rubber base. As a result, the plating liquid does not enter areas that do not need plating, and the same equipment used for base plating can be used.
Expensive plating metals (gold, silver) can be plated to the minimum necessary amount, making it possible to significantly reduce costs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はめつき部を有するネジ付きパッケージの断面図
、第2図は本発明の実施例を示す部分めつき治具の構造
図、第3図は第2図に示されるゴムベースの構造図、第
4図は第2図に示されるAA′における断面図、第5図
は本発明の他の実施例を示す部分めつき拾具の断面図で
ある。 1,16・・・・・・セラミック基板、2・・・・・・
スタッド、3,18・・・・・・金めつき部、4・・・
・・・電極、5・・・・・・めつきベース板、6,22
・・・・・・ばね電極、7,19……ゴムベース、8…
…スリット、9……支点、10・・…・基板押え、11
・・・・・・固定点、12・・・.・・パッケージ挿入
部、13,14,20,21・・・…シール部、15…
…ェポキシ・コーティング、17……リード。 オー図 オ2図 オ3図 オ4図 才S四
Fig. 1 is a sectional view of a threaded package having a mating part, Fig. 2 is a structural diagram of a partial plating jig showing an embodiment of the present invention, and Fig. 3 is a structural diagram of the rubber base shown in Fig. 2. , FIG. 4 is a sectional view taken along line AA' shown in FIG. 2, and FIG. 5 is a sectional view of a partial plating pick-up tool showing another embodiment of the present invention. 1, 16...Ceramic substrate, 2...
Stud, 3, 18...Gold plated part, 4...
... Electrode, 5 ... Plating base plate, 6, 22
...Spring electrode, 7,19...Rubber base, 8...
...slit, 9...fulcrum, 10...board holder, 11
...Fixed point, 12... ...Package insertion part, 13, 14, 20, 21... Seal part, 15...
...Epoxy coating, 17...Lead. O Figure O 2 Figure O 3 Figure O 4 Figure Sai S 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 複数の被めつき物を保持して部分めつきを行う部分
めつき治具であつて、めつき用電源をとるめつきベース
板と、各被めつき物のめつき部分を残し、自身でもしく
は前記めつきベース板としの共同で被めつき物をおおう
形状で気密シールを行うゴムベース等の弾力性のある気
密シール物と、前記めつきベース板に接続され、各被め
つき物との通電を行うばね性のある電極と、被めつき物
に圧力を加え、被めつき物と気密シール物を一体的に前
記めつきベース板に押える手段を有することを特徴とす
る部分めつき治具。
1. A partial plating jig that holds multiple objects to be plated and performs partial plating. or an elastic air-tight sealing material such as a rubber base that forms an airtight seal in a shape that covers the plating object jointly with the plating base plate, and each plating object connected to the plating base plate. A partial part characterized by having a springy electrode for energizing the plating base plate, and a means for applying pressure to the plating object and pressing the plating object and the hermetic sealing object integrally against the plating base plate. Fixing jig.
JP7013880A 1980-05-28 1980-05-28 selective plating jig Expired JPS6024190B2 (en)

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JPS56166392A JPS56166392A (en) 1981-12-21
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JPS63194589U (en) * 1987-06-04 1988-12-14
CN103074651A (en) * 2013-02-16 2013-05-01 马国荣 Electroplating jig for local gold plating of cover plate

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JPS59145591A (en) * 1983-02-09 1984-08-21 株式会社日立製作所 Board for electronic circuit
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