JPS60240047A - エネルギ−分析器 - Google Patents

エネルギ−分析器

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Publication number
JPS60240047A
JPS60240047A JP59094694A JP9469484A JPS60240047A JP S60240047 A JPS60240047 A JP S60240047A JP 59094694 A JP59094694 A JP 59094694A JP 9469484 A JP9469484 A JP 9469484A JP S60240047 A JPS60240047 A JP S60240047A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grid
energy analyzer
wire mesh
wire
wires
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59094694A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshihiro Ishizuka
俊弘 石塚
Akio Ito
昭夫 伊藤
Yoshiaki Goto
後藤　善朗
Kazuyuki Ozaki
一幸 尾崎
Kazuo Okubo
大窪　和生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP59094694A priority Critical patent/JPS60240047A/ja
Publication of JPS60240047A publication Critical patent/JPS60240047A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
    • H01J49/46—Static spectrometers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明はエネルギー分析器の改良に関するものである。
従来技術と問題点 従来より、ＩＯ内部の配線上の電圧を測定するために第
１図に示す如きエネルギー分析器が用いられている。こ
れは試料１の測定点に電子ビーム２を照射し、そこから
出て半球状の金網グリッド３を通過した２次電子４を２
次電子検出器５によって検出し、測定点の電圧を測定す
ることができるようになっている。
このようなエネルギー分析器において、従来の金網グリ
ッド３は第２図の如く１００メツシユ程度の一様メッシ
ュの金網で作られてお９、その開口率は４０〜５０％程
度であった。このためグリッドを３枚使用するとその開
口率は６〜１２％程度となシ、２次電子捕獲効率が悪い
という問題があった。このため、グリッドの開口率を上
げるために一様に細い針金で形成された金網を使用する
と機械的に弱くなり半球状の形状がくずれやすくなると
いう問題が生ずる。
発明の目的 本発明は上記従来の問題点に鑑み、２次電子の捕獲効率
が良く、且つ機械的強度のある金網グリッドを有するエ
ネルギー分析器を提供することを目的とするものである
。
発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば、金網で作られたグリ
ッドを使用するエネルギー分析器において、該金網を構
成する線材を部分的に細くした領域を１箇所または複数
箇所設けた金網グリッドを有することを特徴とするエネ
ルギー分析器を提供することによって達成される。
発明の実施例 以下、本発明実施例を図面によって詳述する。
第３図は本発明によるエネルギー分析器における金網グ
リッドを説明するための図である。
本実施例は、金網グリッド３を部分的に線材を細くした
部分６を１乃至複数箇所設けたものである。この線材を
細くした部分６は例えば一様メッシュの金網を部分的に
エツチングすることによって形成することができる。
このように構成された本実施例は線材を細くした部分６
の開口率が増加する。例えば線材の直径を元のＶ４程度
にすることにより開口率を８０％程度にすることができ
、３枚のグリッドを使用しても５０チ程度となる。従っ
てこれを用いたエネルギー分析器の２次電子捕獲効率は
従来に比して数倍の向上が得られる。また線材を細くし
た部分は部分的であるので強度の低下はさほど大きくな
く、（３） 半球状の形状を充分保持することができる。
発明の効果 以上詳細に説明したように本発明のエネルギー分析器は
、その金網グリッドを部分的に線材を細くすることによ
り、強度をさほど低下させずに２次電子の捕獲効率を向
上できるといった効果大なるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のエネルギー分析器を説明するだめの図、
第２図はその金網グリッドの斜視図、第３図は本発明に
よるエネルギー分析器の金網グリッドを説明するだめの
図である。 図面において、１は試料、２は電子ビーム、３は金網グ
リッド、４は２次電子、５は２次電子検出器、６は金網
グリッドの線材を部分的に細くした部分をそれぞれ示す
。 （４） Ｃつ 藪

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、金網で作られたグリッドを使用するエネルギー分析
    器において、該金網を構成する線材を部分的に細くした
    領域を１箇所筐たは複数箇所設けた金網グリッドを有す
    ることを特徴とするエネルギー分析器。
JP59094694A 1984-05-14 1984-05-14 エネルギ−分析器 Pending JPS60240047A (ja)

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JP59094694A JPS60240047A (ja) 1984-05-14 1984-05-14 エネルギ−分析器

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JPS60240047A true JPS60240047A (ja) 1985-11-28

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JP59094694A Pending JPS60240047A (ja) 1984-05-14 1984-05-14 エネルギ−分析器

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62262000A (ja) * 1986-05-01 1987-11-14 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション 荷電粒子を集束するための球面格子
WO2012081428A1 (ja) * 2010-12-16 2012-06-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 走査電子顕微鏡及びそれを用いた測長方法

Cited By (3)

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