JPS60238748A - Soldered part inspecting method - Google Patents

Soldered part inspecting method

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JPS60238748A
JPS60238748A JP59094541A JP9454184A JPS60238748A JP S60238748 A JPS60238748 A JP S60238748A JP 59094541 A JP59094541 A JP 59094541A JP 9454184 A JP9454184 A JP 9454184A JP S60238748 A JPS60238748 A JP S60238748A
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fillet
solder
fluorescence
light
reflected
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高志 広井
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隆典 二宮
Yasuo Nakagawa
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence

Abstract

PURPOSE:To inspect whether a solder fillet is good or not by emitting fluorescence by irradiating excitation light from right above of a soldered part, and detecting the size of a reflecting area of the fluorescence of a solder fillet part. CONSTITUTION:When excitation light 5 is irradiated from right above of an object to be inspected, fluorescence 6 is generated from a base plate 111, but it is emitted directly in the right upper direction, and also reflected fluorescence 7 emitted in the right upper direction after being reflected by a fillet serving as the outside surface of a solder 110 exists, too. Therefore, by taking notice of a fact that its reflecting state is different in accordance with a shape of the fillet, this method is constituted so that whether the fillet is good or not can be discriminated by its size. In this way, the fillet can be inspected with high accuracy even in case of a fined solder 110 part without being affected by the peripheral parts.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、基板上にはんだ付された電子部品のはんだ何
部を検査する方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a method for inspecting solder portions of electronic components soldered onto a board.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

第1図(a)はフラットパッケージ形部品のその部品リ
ード101が基板上のバンド102にはんだ何部103
を介し接合されている状態を示したものである、また、
同図(b)はビン形部品の部品ピン104がスルーホー
ル105にはんだ何部106で接合されている状態を、
更に同図(C)は面付部品107が基板上のバンド10
8にはんだ何部109で接合されている状態をそれぞれ
示すが、フィレット小欠陥はこれまで精度良好にして検
出し得ないでいるのが実状である。第2図<&)# (
b)は第1図(a)におけるはんだ何部103とその周
辺を断面としてフィレットが良好、不良のものについて
それぞれ示すが、これまでのフィレット検査方法として
は特開昭55−51342号公報に開示されているもの
が挙げられる。この方法によると検査対象には真上よシ
光が照射される一方、その検量対象から反射された光は
検査対象真上にて検出されるものとなっている。光の照
射領域を順次移動させて検査対象を走査すれば、検出さ
れた光の信号波形よシフイレットの良否が知られるもの
である。
FIG. 1(a) shows how many parts 103 of a flat package type component are soldered to the band 102 on the board.
This shows the state where they are joined through the
The same figure (b) shows a state in which the component pin 104 of the bottle-shaped component is joined to the through hole 105 with a solder portion 106.
Furthermore, in the same figure (C), the surface-mounted part 107 is attached to the band 10 on the board.
8 shows the state in which the fillet is joined at a solder portion 109, but the reality is that small fillet defects have not been detected with good accuracy so far. Figure 2<&)# (
b) shows cross-sections of the solder portion 103 and its surroundings in FIG. 1(a), showing good and bad fillets, respectively; a conventional fillet inspection method is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-51342. The following are examples of what has been done. According to this method, the test object is irradiated with light directly above the test object, while the light reflected from the calibration object is detected directly above the test object. By scanning the inspection object by sequentially moving the light irradiation area, the quality of the fillet can be known from the signal waveform of the detected light.

しかしながら、第3図(−)に示す如く真上から光11
2をスポット状に照射し反射光を検出する場合は、はん
だ何部の微細化に伴う急勾配のフイレツト部に対しては
フィレットの形成状態によらず殆ど同一の反射光量分布
になるという不具合がある。
However, as shown in Figure 3 (-), the light 11 comes from directly above.
2 in the form of a spot and detecting the reflected light, there is a problem that the distribution of the amount of reflected light is almost the same regardless of the fillet formation state for steeply sloped fillet parts due to the miniaturization of solder parts. be.

第3図(b)に示す如くフィレット小に対する光量分布
Aとフィレット良に対する光量分布Bとには殆ど差異が
ないというわけである。
As shown in FIG. 3(b), there is almost no difference between the light amount distribution A for a small fillet and the light amount distribution B for a good fillet.

一方、第4図(a)、 (b)に示す如く光112を斜
上方よシ照射することによってフィレット小に対する光
量分布りとフィレット良に対する光量分布Cとに大きな
差異を生じさせることも考えられている。
On the other hand, it is also conceivable that by irradiating the light 112 obliquely upward as shown in FIGS. 4(a) and 4(b), a large difference is caused between the light amount distribution for a small fillet and the light amount distribution C for a good fillet. ing.

しかしながら、このようにして検査を行なう場合は周囲
に存在する部品によって光路がしゃ断されてしまい検査
を行ない得ないという不具合がある。
However, when performing an inspection in this manner, there is a problem in that the optical path is blocked by surrounding components, making it impossible to perform the inspection.

なお、第2図(aL (b)、第3図(a)および第4
図(a)における符号110. 111はそれぞれはん
だ、基板を示す。
In addition, Figure 2 (aL (b), Figure 3 (a) and Figure 4
Reference numeral 110 in figure (a). Reference numerals 111 indicate solder and a substrate, respectively.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

よって本発明の目的は、周囲に存在する部品によって影
響されることなく、しかも微細化されたはんだ付部であ
っても精度良好にしてフィレットを検査し得るはんだ何
部検査方法を供するにある。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a method for inspecting solder parts, which is not influenced by surrounding components and can inspect fillets with good precision even in miniaturized soldering parts.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この目的のため本発明は、基材を構成するポリイミドや
ガラスエポキシなどの有機物のバンドギャップは低いが
、はんだ付部を構成するはんだや鉄、銅などのそれは高
いことに着目し、基板のバンドギャップのエネルギ対応
の波長よシ十分短い波長の光を励起光として検査対象真
上よシ照射することによって基材部のみよシ蛍光を発生
させるようにし、この蛍光のフィレットでの反射具合よ
シフイレットの良否が知れるようにしたものである。
For this purpose, the present invention focuses on the fact that organic materials such as polyimide and glass epoxy that make up the base material have a low band gap, but that the band gaps of the solder, iron, and copper that make up the soldering part are high. By irradiating light with a wavelength sufficiently shorter than the wavelength corresponding to the energy of the gap directly above the inspection object as excitation light, fluorescence is generated just above the base material, and the degree of reflection of this fluorescence on the fillet is measured. This allows you to know whether the product is good or bad.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、本発明を第5図から第9図によシ説明する。 The present invention will be explained below with reference to FIGS. 5 to 9.

先ず本発明の原理について説明する。第5図(a)に示
す如く検査対象真上よシその検査対象に励起光5を照射
すれば、基板111からは蛍光6が発生されるが、蛍光
6は直接真上方向に達する他、はんだ110外表面とし
てのフィレットで反射されたうえ真上方向に達する反射
蛍光7も存在するというものである。反射蛍光7のフィ
レットでの真上方向への反射具合はフィレット形状によ
って異なるというわけである。即ち、真上方向よシフイ
レットからの反射蛍光7を見た場合、フィレットが良の
場合は反射蛍光7が反射図太にして帯状に検出されるが
、フィレットが小である場合には実際には反射図太であ
るにしても反射面小にして、したがって幅小として帯状
に検出されるか、あるいは殆ど反射蛍光7は検出され得
ないというものである。第5図(b)にフィレットが良
の場合での光量分布Fとフィレットが小である場合での
光量分布E′f:示すが、明らかに差異が存在するもの
となっている。よって、その差異部分の幅が一定以上あ
ることを似てフィレットが良であると判定し得、それ以
下である場合にはフィレット小であると判足し得るもの
である。
First, the principle of the present invention will be explained. As shown in FIG. 5(a), when the excitation light 5 is irradiated directly above the inspection object, fluorescence 6 is generated from the substrate 111, but the fluorescence 6 reaches directly above the inspection object. There is also reflected fluorescence 7 that is reflected by the fillet as the outer surface of the solder 110 and reaches directly above. The degree to which the reflected fluorescent light 7 is reflected directly above the fillet differs depending on the shape of the fillet. That is, when looking at the reflected fluorescence 7 from the fillet directly above, if the fillet is good, the reflected fluorescence 7 will be detected as a thick band, but if the fillet is small, it will actually be detected as a band. Even if the reflection pattern is thick, the reflection surface is made small and therefore the width is small and is detected as a band, or almost no reflected fluorescence 7 can be detected. FIG. 5(b) shows the light amount distribution F when the fillet is good and the light amount distribution E'f when the fillet is small, and there is clearly a difference. Therefore, if the width of the difference is greater than a certain value, it can be determined that the fillet is similar, and if it is less than that, it can be determined that the fillet is small.

さて、本発明をフラットパッケージ形部品について以下
具体的に説明するが、はんだ付部としてはビンタイプや
面付部品のそれでのフィレット検査にも同様に適用可と
なっている。
Now, the present invention will be specifically explained below regarding flat package type parts, but it can be similarly applied to fillet inspection of bottle type and surface mounted parts as soldering parts.

先ずフラットパッケージ形部品の基板上へのはんだ付状
態について説明する。第6図はその状態を示したもので
ある。図示の如くフラットパッケージ形部品10はその
側面よシ外部に導出された部品リード11が基板12上
に予め形成されているパッド13にはんだフィレット1
4によって接続されることによシ、基板12上に実装さ
れるが、はんだフィレット14に小欠陥が生じているか
否かは第7図に示すはんだ何部検査装置によって検査さ
れるものとなっている。即ち、本発明に係る検査装置は
その全体が光照射系19.蛍光像検出系おおよび制御系
nよシなシ、制御系nによっては基板仔搭載X−Yテー
ブルあが駆動制御されるものとなっている。先ず励起光
のはんだ付部への照射について説明すれば、これは光照
射系19によっている。kレーザ15からのスポット状
の励起光はシリンドリカルレンズ16.17によってス
リット状にされたうえ励起光波長のみを反射させるダイ
クロイックミラー18ヲ介しはんだ付部に照射されるも
のである。
First, the soldering state of the flat package type component onto the board will be explained. FIG. 6 shows this state. As shown in the figure, a flat package type component 10 has a solder fillet 1 attached to a pad 13 formed in advance on a substrate 12 with a component lead 11 led out from its side surface.
4, the solder fillet 14 is mounted on the board 12, but whether or not a small defect has occurred in the solder fillet 14 is inspected by the solder inspection device shown in FIG. There is. That is, the inspection apparatus according to the present invention is entirely composed of a light irradiation system 19. The fluorescent image detection system and the control system N are used to drive and control the X-Y table on which the substrate is mounted depending on the control system N. First, the irradiation of the excitation light onto the soldering part will be explained. This is done by the light irradiation system 19. The spot-shaped excitation light from the K laser 15 is made into a slit by cylindrical lenses 16 and 17, and is irradiated onto the soldering portion via a dichroic mirror 18 that reflects only the wavelength of the excitation light.

この励起光の照射によシLんだ何部近傍の基板12部分
からは蛍光が発生されるわけであるが、この蛍光による
像は蛍光像検出系乙によって検出されるようになってい
る。その基板12部分からの直接的な蛍光およびはんだ
フィレットからの反射蛍光はダイクロイックミラー18
.結像光学系加、励起光カットフィルタ21ヲ介し固体
TVカメラnによって検出されるようになっているわけ
である。
By irradiating this excitation light, fluorescence is generated from some portions of the substrate 12 in the vicinity of the substrate 12, and an image of this fluorescence is detected by a fluorescence image detection system B. The direct fluorescence from the substrate 12 portion and the reflected fluorescence from the solder fillet are absorbed by the dichroic mirror 18.
.. The light is detected by a solid-state TV camera n via an imaging optical system and an excitation light cut filter 21.

検査に先立っては先ず全体制御部5からの指令によシテ
ーブルコントローラがを介しX−Yテーブル列が検査開
始位置へ移動され、またにレーザ15が点燈されるよう
になっている。しかして、以下の動作を繰シ返し行なえ
ば、はんだ付部に対する検査が行なえるものである。
Prior to the inspection, first, the XY table row is moved to the inspection start position via the table controller in accordance with a command from the overall control section 5, and the laser 15 is turned on. Therefore, by repeatedly performing the following operations, the soldered portion can be inspected.

即ち、X−Yテーブル28ヲ駆動することによってフラ
ットパッケージ形部品10における検査対象部品リード
を検査対象領域に位置決めした状態で、固体TVカメラ
ηによって検査対象領域における蛍光像を検出するもの
である。第8図はそのようにして検出された蛍光像の一
例をはんだ付部のみを抽出して示したものである。1示
の如く地が基板対応の検出1四とされた中にはんだ付部
対応の検出像G、Hが存在するものと々っているが、検
出像G、Hには何れもはんだフィレット像間が含まれる
ようになっている。因みに検出像G、Hはそれぞれはん
だフィレット良、はんだフィレット小欠陥のものを示す
。はんだフィレット良の場合にははんだフィレット像間
はその幅大として検出されるが、はんだフィレット小欠
陥の場合はその幅小として検出されるか、あるいは殆ど
はんだフィ1レット像蜀は検出され得ないものである。
That is, the solid-state TV camera η detects a fluorescent image in the inspection target area with the inspection target component lead of the flat package component 10 positioned in the inspection target area by driving the X-Y table 28. FIG. 8 shows an example of a fluorescent image detected in this manner, with only the soldered portion extracted. As shown in 1, there are detection images G and H corresponding to soldered parts in detection 14 where the ground corresponds to the board, but both detection images G and H are solder fillet images. It now includes a gap. Incidentally, the detected images G and H show those with a good solder fillet and a solder fillet with a small defect, respectively. If the solder fillet is good, the width between the solder fillet images is detected as large, but in the case of a small solder fillet defect, the width is detected as small, or almost no solder fillet image can be detected. It is something.

したがって、はんだフィレット像間の幅を検出したうえ
これが一足以上であるか否かを判定すればはんだフィレ
ットの良否が判定し得るものである。
Therefore, the quality of solder fillets can be determined by detecting the width between solder fillet images and determining whether the width is one foot or more.

この判定について詳細に説明すれば、欠陥判定部冴にお
いては先ず第8図に示すような蛍光像をパッド位置情報
を含む設計データと比較することによって第9図(a)
に示す如くにパッド部あるいははんだ付部のみを抽出す
る。次に、これをy方向に加算することによって位置x
fパラメータとする1次元の光量関数を第9図(b)に
示す如くに得たうえその光量関数の値を予め定めておい
たしきい値で2値化するようになっている。しきい値以
上であればゝI′として、それ未満のものは10′とし
て第9図(e)に示すように2値化するわけであるが、
このようにして得られる2値化光量関数における111
部分の幅全測定したうえこの値を別に予め定めておいた
しきい値と比較すれば、そのノ(ラド部あるいははんだ
付部におけるはんだフィレットの良否が簡単容易にして
、速やかに判定され得るわけである。なお、上記処理に
おいて蛍光像のy方向加算が行なわれているのは、これ
は微細な凸凹形状やノイズに影響されることなくはんだ
フィレットの全体を考慮して誤りなくはんだフィレット
の良否を判定するためである。
To explain this determination in detail, the defect determination section first compares the fluorescence image as shown in FIG.
As shown in the figure, only the pad part or the soldered part is extracted. Next, by adding this in the y direction, the position x
A one-dimensional light amount function as the f parameter is obtained as shown in FIG. 9(b), and the value of the light amount function is binarized using a predetermined threshold. If it is above the threshold value, it is set as 'I', and if it is less than that, it is set as 10' and binarized as shown in FIG. 9(e).
111 in the binary light amount function obtained in this way
By measuring the entire width of the part and comparing this value with a separately predetermined threshold value, the quality of the solder fillet at that part (rad part or soldering part) can be easily and quickly determined. The reason why the fluorescent images are added in the y direction in the above process is that the entire solder fillet is considered without being affected by minute irregularities or noise, and the quality of the solder fillet can be accurately determined. This is for the purpose of making a judgment.

本発明は以上のようなものであるが、励起光源としては
600鰭以下の波長をもつレーザ、または水銀燈紫外蛍
光燈など600瓢以下の波長成分を含む光源と光学フィ
ルタとを組合せたものを用い得る。また、蛍光像を検出
するものとしては撮像管を用いたTVカメラ、またはり
ニアセンサとガルバノミラ−などの走査機構と全組合せ
たもの、光電子増倍管などの1点での光量検出用センサ
と走査機構とを組合せたものなど種々考えられるものと
なっている。
The present invention is as described above, but as an excitation light source, a laser having a wavelength of 600 rays or less, or a combination of a light source containing a wavelength component of 600 rays or less, such as a mercury lamp or an ultraviolet fluorescent light, and an optical filter is used. obtain. In addition, devices for detecting fluorescent images include a TV camera using an image pickup tube, a complete combination of a scanning mechanism such as a linear sensor and a galvano mirror, and a sensor for detecting the amount of light at one point such as a photomultiplier tube and a scanning device. There are various possibilities, such as a combination of mechanisms.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明は、検査対象真上よシ照射さ
れた励起光によって基板部のみよシ蛍光を発生せしめ、
この蛍光のはんだフィレットでの反射具合を検査対象真
上よシ検出することによって、はんだフィレットの良否
が知れるようにしたものである。したがって、本発明に
よる場合は、周囲に存在する部品にも影響されることな
く、しかも微細化されたはんだ付部であっても精度良好
にしてはんだフィレット、即ち、はんだ付部の良否を検
査し7得るという効果がある。
As explained above, the present invention generates fluorescence only from the substrate part by the excitation light irradiated directly above the inspection object,
The quality of the solder fillet can be determined by detecting the degree of reflection of this fluorescence on the solder fillet from directly above the object to be inspected. Therefore, according to the present invention, the quality of the solder fillet, that is, the soldered part, can be inspected with good precision even in the case of miniaturized soldered parts, without being affected by surrounding parts. It has the effect of gaining 7 points.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)、 (b)、 (e)は、各種部品の基板
上へのはんだ付部による実装・接合状態を示す図、第2
図(a)、 (b)は、第1図(、)におけるはんだ付
部とその周辺を断面としてフィレットが良好、不良のも
のについて示す図、第3図(a)、 (b)は、急勾配
フィレット真上上シ光を照射して反射光を検出する場合
での不具合を説明するための図、第4図(a) 、 (
b)は、検査対象斜上方より光を照射することによって
フィレットの良否を検査し得ることを説明するための図
、第5図(a)、ω)は、本発明の詳細な説明するため
の図、第6図は、フラットパッケージ形部品の基板上へ
のはんだ付状態を示す図、第7図は、本発明に係るはん
だ何部検査装置を部品実装基板とともに示す図、第8図
は、その構成における固体TVカメラによるはんだ何部
に関しての検出蛍光像の一例を示す図、第9図(a)、
か)、 (0)は、同じくその構成における欠陥判定部
による処理の一例を説明するための図である。 10・・・フラットパッケージ形部品、11・・・部品
リード、12・・・基板、14・・・はんだフィレット
、15・・・kレーザ、 16.17・・・シリンドリ
カルレンズ、18・・・ダイクロイックミラー、加・・
・結像光学系、21・・・励起光カットフィルタ、n・
・・固体TVカメラ、ム・・・欠陥判定部、25・・・
全体制御部、%・・・テーブルコントローラ、脂・・・
X−Yテーブル 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第1図 (0) (C) 第2図 (b) 第3図 (q) (b) イnン1i 第4図 (b) 第5図 (b) イ立僅 第6図 第7図 第8図 第9図 (0) (C”l lm−債X (b)
Figures 1 (a), (b), and (e) are diagrams showing the mounting and joining states of various components on the board by soldering parts, and Figure 2
Figures (a) and (b) are cross-sectional views of the soldered part and its surroundings in Figure 1 (,), showing good and bad fillets, and Figure 3 (a) and (b) are cross-sectional views of soldered parts and their surroundings. Figures 4(a) and 4(a) are diagrams for explaining problems when detecting reflected light by irradiating light directly above the gradient fillet.
b) is a diagram for explaining that the quality of the fillet can be inspected by irradiating light from diagonally above the inspection object, and FIG. 5(a), ω) is a diagram for explaining the present invention in detail. 6 is a diagram showing the state of soldering of flat package type components onto a board, FIG. 7 is a diagram showing a solder part inspection device according to the present invention together with a component mounting board, and FIG. A diagram showing an example of a fluorescent image detected by a solid-state TV camera regarding some parts of the solder in this configuration, FIG. 9(a),
), (0) is a diagram for explaining an example of processing by the defect determination section in the same configuration. 10... Flat package type component, 11... Component lead, 12... Board, 14... Solder fillet, 15... K laser, 16.17... Cylindrical lens, 18... Dichroic Miller, Ka...
- Imaging optical system, 21... excitation light cut filter, n.
・・Solid-state TV camera, ・Defect determination section, 25...
Overall control section, %...table controller, fat...
X-Y Table Agent Patent Attorney Tadashi Akimoto Figure 1 (0) (C) Figure 2 (b) Figure 3 (q) (b) Inn 1i Figure 4 (b) Figure 5 ( b) Figure 6 Figure 7 Figure 8 Figure 9 (0) (C”l lm-Bond X (b)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 基板に実装された各種部品のはんだ何部でのはんだフィ
レットの良否を検査する方法にして、検査対象としての
はんだ何部真上よシ励起元を照射することによって基板
基材部のみよシ蛍光を発生せしめ、該蛍光のはんだフィ
レットでの反射領域の大きさをはんだ何部真上で検出し
、該検出に係る反射領域の大きさにもとづきはんだ何部
でのはんだフィレットの良否を検査することを特徴とす
るはんだ何部検査方法。
This is a method for inspecting the quality of solder fillets at various parts of solder on various parts mounted on a board. By irradiating an excitation source directly above the solder part to be inspected, fluorescence is generated only at the base material of the board. , detect the size of the reflective area of the fluorescent solder fillet directly above the solder, and inspect the quality of the solder fillet at the solder based on the size of the detected reflective area. A method for inspecting several parts of solder.
JP59094541A 1984-05-14 1984-05-14 Soldered part inspecting method Granted JPS60238748A (en)

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