JPS60235067A - レ−ザドツプラ速度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、レーザ光を用いて被測定体の速度を検出す
るレーザドツプラ速度計に関するものである。

〔従来技術〕

従来のレーザドツプラ速度針の概略構成図を第１図に示
す。図において、■はレーザ光源、２は光ファイバ、３
はレーザ光を分配する光分配器、５はマイクロレンズ、
４はマイクロレンズ５と光ファイバ２とを一体化した送
光用光プローブ、８は流体などの被測定体、９は光散乱
粒子、１１はマイクロレンズ５を光ファイバ２に付加し
た受光用光プローブ、１２はＡＰＤ　（アバランシェホ
トダイオード）、ＰＩＮＰＤ（ピンホトダイオード）。

光電子増倍管などの光検出器、１３は前置増幅器。

バンドパスフィルタ、主増幅器等で構成される光受信機
、１４はプローブ固定用治具である。

次に動作にってい説明する。レーザ光源１から出射する
レーザ光は光分配器３によって２分配され、これらは２
本の送光用光プローブ４に入射する。２本の送光用光プ
ローブ４は、該各プローブ４からの出射光が被測定体８
内で互いに交差するように配置されており、このため、
この交差領域に速度■で動く光散乱粒子９があれば、光
はドツプラ効果を受けて散乱される。この散乱光の内の
後方散乱光が受光用光プローブ１１で受光され、該受光
された光は光ファイバ２で伝送されて光検出器１２に導
かれる。２本の送光用光プローブ４からの出射光に対す
る散乱光は、それぞれ異なったドツプラシフト量を受け
ており、これらの散乱光は光検出器１２によりへテロダ
イン検波される。

この場合における検波周波数ｆＤは、下記の（１）式に
よって表わされる。

ここで、ｎは被測定体８の屈折率、λは真空中の光の波
長、δは２本の入射ビームの交差角、Ｖ土は２本の出射
光の光軸の垂直２等分線と直交する方向の速度Ｖの成分
である。上記（１）式により、検波周波数ｆＤを測定す
れば、速度Ｖ土を知ることができる。

従来の光ファイバを用いたレーザドツプラ速度計は以上
のように構成されているので、各送光用光プローブ４か
らの出射光の広がり角が大きくなり、このため各送光用
光プローブ４の先端から被測定体８までの距離の変動に
対する測定誤差が大きくなるという欠点があった。即ち
、第２図に示すように、各送光用光プローブ４からの出
射光の広がり角をαとすると、２つの出射光が交差する
領域ａ、ｂ、ｃに被測定体８が存在する時の各検波周波
数ｆａ、ｆｂ、ｆｃは、それぞれ下記の（２）。

＋３１．　（４１式によって表わされる。

このように、被測定体８の存在する位置の変動によって
、検出される検波周波数ｆＤは、例えば上記の（２）〜
（４）式に示すように変化してしまい、正確な測定結果
が得られないという欠点があった。

〔発明の概要〕

この発明は、上記のような従来のものの欠点を除去する
ためになされたもので、送光用光プローブの前部に凸レ
ンズを付加し、これにより送光用光プローブからの出射
光が、被測定体の測定領域の近傍で平行光線となるよう
にすることにより、送光用光プローブの先端から被測定
体までの距離の変動に対する測定誤差を低減でき、がっ
送光用光プローブから被測定体までの距離を従来に比し
長くすることのできるレーザドツプラ速度針を提供する
ことを目的としている。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の実施例を図について説明する。

第３図はこの発明の第１の実施例によるレーザドツプラ
速度計の概略構成図で、図において、５゜はレーザ光源
１からの光を被測定物８に導くための送光用光学系であ
り、この送光用光学系５ｏにおいて、３はレーザ光源ｌ
からのレーザ光を２分岐する光分配器、１５ａ、１５ｂ
はそれぞれ光ファイバ２．該光ファイバ２の一端に隣接
して設けられたマイクロレンズ（集束用レンズ）、及び
該マイクロレンズ５と支持体７を介して一体化された凸
レンズ６からなる送光用光プローブであり、これは光フ
ァイバ２からの光をほぼ平行光線にコリメートさせ、該
コリメートされた光をさらにコリメートさせて該光を所
定領域で平行光線とするものである。そしてこの２つの
送光用光プローブ１５ａ、１５ｂは、該プローブ１５ａ
、１５ｂからの出射光が上記所定領域、即ち被測定物８
の存在する領域で交差するよう配置されている。

また６０は受光用光学系であり、これは上記所定領域を
通過する被測定物８による上記２つの送光用プローブ１
５ａ、１５ｂからの光の散乱光を検出するものである。

そしてこの受光用光学系６０において、１６は光ファイ
バ２．該光ファイバ２の一端に隣接して設けられたマイ
クロレンズ５゜及び該マイクロレンズ５に支持体７を介
してこれと一体化された凸レンズ１０からなる受光用光
プローブ、１２は該受光用光プローブ１６からの光を受
光する光検出器、１３は光受信機である。そしてさらに
本実施例装置には、上記受光用光学系６０の検出出力よ
り上記被測定物８の速度を検出する速度検出手段（図示
せず）が設けられている。

なお、上記受光用光プローブ１６としては、単に端面を
鏡面研磨した光ファイバ、又はマイクロレンズを付加し
た光ファイバであってもよい。

またその他の構成は第１図と同様である。

第４図はマイクロレンズ５と凸レンズ６との位置関係及
び出射光の様子を示しており、本実施例では、上記凸レ
ンズ６は上記マイクロレンズ５の端面からほぼ該凸レン
ズ６の焦点距離ｆの位置に設置されている。

次に動作について説明する。レーザ光源１から出射され
たレーザ光は光分配器３によって２分配され、２本の送
光用光プローブ１５ａ、１５ｂに入れられる。そして各
送光用光プローブ１５ａ。

１５ｂにおいて、光ファイバ２からの光はマイクロレン
ズ５によってほぼ平行光線にコリメートされ、該マイク
ロレンズ５からの光は凸レンズ６によってよりさらにコ
リメートされる。従って各送光用光プローブ１５ａ、１
５ｂからの出射光は、第４図に示すように、上記凸レン
ズ６から該凸レンズ６の焦点距離ｆ離れた位置の近傍、
即ち被測定体８内でビームウェストＢＷを形成し、この
部分で上記出射光は実質的に平行光線となる。

そしてこのビームウェストＢＷが形成された部分で各送
光用光プローブ１５ａ、１５ｂの出射光は角度δで交差
する。このため、この交差領域に速度■で動く被測定体
８（光散乱粒子９）があれば、光はドツプラ効果を受け
て散乱され、この散乱光の内の後方散乱光が受光用光プ
ローブ１６で受光される。この受光用光プローブ１６に
受光された光は光ファイバ２により伝送され、光検出器
１２に導かれる。２本の送光用光プローブ１５ａ。

１５ｂからの出射光に対する散乱光は光検出器１２でヘ
テロゲイン検波される。この光検出器１２におけるヘテ
ロゲイン検波周波数ｆＤは、前述した通り、 で与えられる。この時、上記交差領域ではビームウェス
トＢＷが形成されているため、上記検波周波数ｆｏは該
交差領域のいずれの点（第４図に示すａｌ、ｂｌ、ｃｌ
の点）でも上記の＋１１式で表わされ、被測定体８の位
置変動による測定誤差は生じない。

このようにして、光検出器１２に検波周波数ｆＤの光電
流が流れるので、この光電流を光受信機Ｉ３で増幅し、
図示されない周波数分析装置又はＦＶコンバータ、周波
数トラッカなどで周波数分析をすれば、上記のＴｌ１式
から被測定体８の速度Ｖ土を知ることができる。

このような本実施例では、各送光用光プローブ１５ａ、
１５ｂのマイクロレンズ５からその焦点距離ｆ離れた位
置に凸レンズ６を付加し、該各送光用光プローブ１５ａ
、１５ｂからの出射光が被測定体８の測定領域の近傍で
平行光線となるようにしたので、各送光用光プローブ１
５ａ、１５ｂの先端から被測定体８までの距離の変動に
対する測定誤差を極めて低減することができる。さらに
、マイクロレンズ５．凸レンズ６を適当に選択すること
により平行光線が得られる領域を広くすることができ、
従って光プローブと被測定体との距離を長くすることが
でき、高温物体等の速度計測にも適用できる。

第５図は本発明の第２の実施例による送光用光プローブ
１本当りの構成と、その出射光の様子を示したもので、
本実施例は、送光用光プローブからのレーザ光がその凸
レンズの焦点位置から所定距離の範囲内で平行光線とな
るようにしたものである。

即ち、凸レンズ６はマイクロレンズ５の端面がγ　１ ｔｉｌ　＝ｒ＋□　・・・（５） θ１ 但し、ｆ　；凸レンズ６の焦点距離 γ１：マイクロレンズ５出射端におけ る出射光のビーム半径 θ１：光軸に対する最大出射角度 の位置におかれている。今、マイクロレンズ５として、
０．２５ピンチの屈折率分布形ロンドレンズ（（ＧＲＩ
Ｎレンズ）を仮定すると、γ１．θ１は、それぞれ以下
のように表わせる。

γ１−□θ０　・・・（６） ｎｏ！ θ１　＝ｎＯハγ０　・・・（７） 但Ｌ、ｙｏ、θ０：使用する光ファイバのコア半径、開
口数 ｎｏ：ＧＲＩＮレンズの光軸上の屈折率６　：　Ｇ　Ｒ
Ｉ　Ｎレンズの屈折率分布定数このように、凸レンズ６
に対して上述した１１の位置に、マイクロレンズ付光フ
ァイバを配置すると、被測定体８側では、凸レンズ６か
ら、ｆｆ１ｊ　−ｆ の距離β２の範囲で平行光線が得られる（第５図参照）
。この時、平行光線のビーム径りは、Ｄ＝２ｆθ１　・
・・（８） となる。

そしてこのような２本の送光用光プローブ１５ａ、１５
ｂからの出射光は、それぞれの出射光が平行光線となる
領域で、角度δで交差する。以後上記実施例と全く同様
の動作で被測定体８の速度を知ることができる。

このような実施例においても、上記第４図で示した実施
例と同様に、２本の送光用光プローブ１５．１５ｂから
出射されたレーザ光は、交差領域で平行光線となってい
るので、被測定体８　（光散乱粒子９）の位置変動によ
る測定誤差は生じない。

また、送光用光プローブ１５ａ、１５ｂからの出射光が
平行光線となる範囲は、上述のように、であり、１１は
（５）式で与えられるので、その上限は、 で表わせる。

従って、ｎＱσの大きな０ＲＩＮレンズまたはγ０／θ
０の大きな光ファイバを使用することにより、その上限
ＩＶ１　ｆ／　（ｊ！１−ｆ）を大きくすることができ
る。例えば、 ｎＱび−０，９７８ ＴＯ＝２５Ｘ１０　ｍｍ θＯ＝０．２　ｒａｄ ｆ　＝１０Ｏｎ＋ｍ とすると、 となり、高温物体等の速度計測に特に有効となる。

またこの時、ビーム径りは、４　、９ｍｍとなる。

第６図に本発明の第３の実施例による送光用光プローブ
１本当たりの構成と、その出射光の様子を示し、この実
施例は、送光用光プローブからのレーザ光がその凸レン
ズの中心位置からその焦点位置までの範囲内で平行光線
となるようにしたものである。

即ち、凸レンズ６は、マイクロレンズ５からβ°１−ｆ
−γ１／θ１　・・・Ｑ呻 の位置におかれている。この時被測定体側では、凸レン
ズから Ｑ＜４！’２＜ｆ の距離ｘ’　２の範囲で平行光線が得られ、該平行光線
のビーム径りは、 Ｄ＝２ｆθ１　・・・（１１） で与えられる。

このような２本の送光用光プローブ１５ａ、１５ｂから
の出射光は、それぞれの出射光が平行光線となる領域で
は常に角度δで交差する。従って、上記実施例と同様に
、この交差領域に速度Ｖの被測定体８が存在すると該被
測定体８の位置変動による測定誤差は生じない。

また、例えば、マイクロレンズ５としてＧＲＩＮレンズ
を想定し、 ｎＱび−０，３８６ また光ファイバとして、 １０４２μｍ θｏ　＝０．２ とし、レンズの焦点距離ｆを、 ｆ　＝７００ｍｍ とすると、 ｅ’　１　＝２８．８ｍｍ となり、 ０　〈ｊ２　’　２　＜７００ｍｍ の距離ａ’２の範囲で、ビーム径１　、０８＋ｎｍの平
行光線が得られる。

なお、上記各実施例では、受光用光プローブは２本の送
光用光プローブの間に設置した場合を示したが、２本の
送光用光プローブの外側に設置しても良く、また、２本
の送光用光プローブと受光用光プローブとは同一平面内
になくても良い。

また、上記各実施例では、被測定体の一例として流体を
用いたが、回転又は並進している固体などの移動物体で
も良い。また、固体の振動計測や流体の流量計測に適用
することもできる。

また、上記各実施例では、レーザ光源と分配器との間を
空間伝搬としたが、両者の間に光ファイバを設置しても
よい。

また、上記各実施例での２本の送光用光プローブと受光
用光プローブとは、治具などにより一体化固定しても良
い。

また、上記各実施例では、散乱光を受光用光プローブを
介して光検出器に導くようにしたが、光検出器としてＡ
ＰＤなどを用い、散乱光を直接受光するようにしても良
い。

また上記各実施例では、送光用光学系と受光用光学系と
を被測定物に対して同一の側に配置し、散乱光の内の後
方散乱光を受光する場合を示したが、第７図に示すよう
に、送光用光学系と受光用光学系とを被測定物８に対し
て相互に反対の側に配置し、凸レンズ１０ａ、１０ｂ及
び受光用光プローブ１６を用いてレーザ光の上記被測定
物８による前方散乱光を受光するようにしても良い。

さらに上記各実施例では、送光用光プローブを２本使用
する差動形光ファイバレーザドツプラ速度計について述
べたが、本発明は送受光用光プローブを共用した参照形
光ファイバレーザドツプラ速度計にも通用できる。この
場合の実施例を第８図に示している。この実施例では、
送光用光学系は上記第３図の送光用光プローブと同一構
成になる１本の送受兼用光プローブ２０ａからなり、ま
た受光用光学系は上記送受兼用光プローブ２０ａと、該
プローブ２０ａにより導かれる散乱光及び上記送受兼用
光プローブ２０ａの他端からの反射レーザ光を光方向性
結合器３゛を介して導く光プローブ２０ｂと、光検出器
１２とからなっている。

そしてこの第８図に示す実施例では、上記送受兼用光プ
ローブ２０ａの他端からの反射レーザ光を基準として上
記散乱光におけるドツプラシフト量から上記被測定物８
の速度を検出するようにしており、このような実施例に
おいても上記各実施例と同様の効果が得られる。

また、上記各実施例では、レーザ光源近傍でレーザ光を
２分配するようにしたが、これは第９図に示すように１
本の送光用光ファイバ２でレーザ光を伝送した後、該レ
ーザ光を２分配するようにしてもよい。なお、第９図中
、１７は反射ミラーである。

また、１本の送光用光ファイバ２でレーザ光を伝送した
後、該レーザ光を２分配する場合の他の実施例を第１０
図、第１１図に示す。

第１０図に示した実施例では、レーザ光源からのレーザ
光を１本の光ファイバ２で伝送し、この光をまずマイク
ロレンズ５でほぼ平行光線にコリメートし、該マイクロ
レンズ５の出射光を光分配器３で２分配している。そし
てこの２分配された光のそれぞれを反射ミラー１７ａ、
１７ｂで反射させて凸レンズ６に導き、これを該凸レン
ズ６でさらによりコリメートさせて被対象物９近傍で実
質的に平行光線としている。

また第１１図の実施例では、上記実施例と同様にして一
旦はぼ平行光線にコリメートした光を、光分配器３に入
る前に１つの凸レンズ６でさらによりコリメートさせ、
上記光分配器３及び２つの反射ミラー１７ａ、１７ｂか
らなる光学ブロックを経た後の各所定領域、即ち被測定
物近傍領域で実質的な平行光線を作っている。

そして上記第９図〜第１１図の実施例におけるマイクロ
レンズ５、光分配器３、反射ミラー１７、及び凸レンズ
６と、受光用光学系のレンズ１０とはセンサヘッドとし
て一体化されている。

このような第９図〜第１１図に示す実施例によっても、
上記各実施例と同様に測定誤差が少なく、また光プロー
ブと被測定物との距離を大きくとることができ、実用上
非常に有効である。

なお、光ファイバとしては、単一モードファイハ、偏波
面保持ファイバ、多モードファイバのいずれを使用して
もよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、レーザ光を用いて被
測定体の速度を検出するレーザドツプラ速度計において
、送光用光プローブの前方に凸レンズを付加し、これに
より上記送光用光プローブからの出射ビームが所定範囲
で平行光線となるようにしたので、送光用光プローブの
先端から被測定体までの距離を長くすることができ、ま
た、距離の変動に対する測定誤差を極めて低減できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のレーザドツプラ速度針の概略構成図、第
２図は第１図のレーザドツプラ速度計の動作説明図、第
３図はこの発明の第１実施例によるレーザドツプラ速度
計の概略構成図、第４図は該レーザドツプラ速度針の動
作説明するための図、第５図〜第１１図はそれぞれこの
発明の他の実施例によるレーザドツプラ速度針の概略構
成図である。 ■・・・レーザ光源、２・・・光ファイバ、３・・・光
分配器、３′・・・光方向性結合器、１５ａ、１５ｂ・
・・送光用光プローブ、５・・・マイクロレンズ（集束
用レンズ）、６．１０・・・凸レンズ、７・・・支持体
、８・・・被測定体、９・・・光散乱粒子、１６．２０
ｂ・・・受光用光プローブ、１２・・・光検出器、１３
・・・光受信機、２０ａ・・・送受兼用光プローブ。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　大岩増雄 第１０図 弔１１図 手続補正書（自発） １、オ。６龜５．．２２８ 特許庁長官殿 １、事件の表示　特願昭５９−９１３６（３号３、補正
をする者 代表者片山仁へ部 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 ６、補正の内容 （１１明細書第９頁第８行の「入射ビーム」を「出射ビ
ーム」に訂正する。 （２）　同第１０頁第６行のｒｆａ＝Ｊを「ｆｂ＝Ｊに
訂正する。 （３）　同第１０頁第７行のｒｆａ＝Ｊを「「Ｃ−」に
訂正する。 （４）同第１３頁第１７行の「位置の近傍」を１位置を
中心とする所定領域」に訂正する。 （５）同第２０頁４行〜第５行の「この・・・該」を削
除する。 （６）同第２０頁第１３行のルンズ」を「凸レンズ６」
に訂正する。 （７）　同第２２図頁第１８行〜第１９行の「他端から
の・・・を介し７て」を「他端で反射し光方向性結合器
３゛を経た光を」に訂正する。 以上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　レーザ光を用いて被測定物の速度を検出するレ
   ーザドツプラ速度針において、レーザ光を出射するレー
   ザ光源と、該レーザ光源からのレーザ光を導くための光
   ファイバ、該光ファイバに隣接して設けられ該光ファイ
   バからの光をほぼ平行光線にコリメートさせる集束用レ
   ンズ７該集束用レンズからの光を所定領域で平行光線と
   なるようコリメートさせる凸レンズを含む送光用光学系
   と、該送光用光学系からのレーザ光の上記被測定物によ
   る散乱光を検出する受光用光学系と、該受光用光学系の
   検出出力より上記被測定物の速度を検出する速度検出手
   段とを備えたことを特徴とするレーザドツプラ速度計。 （２）上記送光用光学系と受光用光学系とは、上記被測
   定物に対して同一の側に配置されており、上記受光用光
   学系は上記レーザ光の上記被測定物による後方散乱光を
   受光するものであることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のレーザドツプラ速度針。 （３）　上記送光用光学系と受光用光学系とは、上記被
   測定物に対して相互に反対の側に配置されており、上記
   受光用光学系は上記レーザ光の上記被測定物による前方
   散乱光を受光するものであることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のレーザドツプラ速度計。 （４）上記凸レンズは、上記集束用レンズの端面から該
   凸レンズの焦点距離の位置にあり、上記所定領域は該凸
   レンズの焦点位置をその中心とした位置に位置している
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザド
   ツプラ速度針。 （５）上記凸レンズは、上記集束用レンズからのレーザ
   光が該凸レンズの被測定物側の焦点位置から所定距離の
   範囲内で平行光線となるような位置に設置されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザドツ
   プラ速度針。 （６）　上記凸レンズは、上記集束用レンズからのレー
   ザ光が該凸レンズの中心位置からその焦点位置までの範
   囲内で平行光線となるような位置に設置されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザドツプ
   ラ速度計。 （７）上記送光用光学系は、上記レーザ光源からのレー
   ザ光を２分岐する光分配器と、光ファイバ。 集束用レンズ、及び凸レンズを一体化してなりそれぞれ
   の出射光が所定領域で交差するよう配置された２つの送
   光用光プローブとからなるものであり、上記受光用光学
   系は、上記所定領域を通過する被測定物による上記２つ
   の送光用光プローブからの光の散乱光を受光するもので
   あり、上記速度検出手段は、上記２つの散乱光における
   相異なるドツプラシフト量から上記被測定物の速度を検
   出するものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のレーザドツプラ速度計。 （８）　上記受光用光学系は、凸レンズを含むレンズ系
   と光ファイバとからなる受光用光プローブと、該受光用
   光プローブからの光を受光する光検出器とからなるもの
   であることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載のレ
   ーザドツプラ速度計。 （９）　上記受光用光学系は、凸レンズを含むレンズ系
   と、該レンズ系からの光を直接受光する光検出器とから
   なるものであることを特徴とする特許請求の範囲第７項
   記載のレーザドツプラ速度針。 αω　上記送光用光学系は、光ファイバと築束用記送受
   兼用光プローブからのレーザ光の上記被測定物による散
   乱光を再び受光する上記送受兼用光プローブと、該プロ
   ーブにより導かれる上記散乱光及び上記送受兼用光プロ
   ーブの他端からの反射レーザ光を光方向性結合器を介し
   て導く光プローブと、該光プローブからの光を受光する
   光検出器とからなるものであり、上記速度検出手段は、
   上記反射レーザ光を基準として上記散乱光におけるドツ
   プラシフト量から上記被測定物の速度を検出するもので
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレー
   ザドツプラ速度計。 （１１）上記送光用光学系の凸レンズと集束用レンズと
   は支持体を介して一体化されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第７項記載のレーザドツプラ速度計。 （１２）上記し〜ザ光源からの出射レーザ光は、空間伝
   搬により上記送光用光学系に導かれることを特徴とする
   特許請求の範囲第７項記載のレーザドツプラ速度針。 （１３）上記レーザ光源からの出射レーザ光は、光ファ
   イバを介して上記送光用光学系に導かれることを特徴と
   する特許請求の範囲第７項記載のレーザドツプラ速度計
   。 （１４）上記送光用光学系の送光用光プローグと、上記
   受光用光学系の受光用光プローブとは一体化してなるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第８項記載のレーザドツ
   プラ速度針。 （１５）上記送光用光学系の送光用光プローブと、上記
   受光用光学系のレンズ系及び光検出器とは一体化してな
   る←分で赤部ことを特徴とする特許請求の範囲第９項記
   載のレーザドツプラ速度針。 （１６）上記送光用光学系は、上記レーザ光源からのレ
   ーザ光を導くだめの１つの光ファイバと、該光ファイバ
   からの光をほぼ平行光線にコリメートさせる１つの集束
   用レンズと、該集束用レンズからの光を２分岐させる光
   分配器と、該分配された２つの光を反射させる２つの反
   射ミラーと、該ミラーからの光を所定領域で平行光線と
   なるようコリメートさせる２つの凸レンズとからなるも
   のであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   レーザドツプラ速度計。 （１７）上記送光用光学系は、１つの光ファイバ。 １つの集束用レンズ、光分配器、２つの反射ミラー、及
   び２つの凸レンズからなるものであり、該送光用光学系
   は上記受光用光学系と一体化されてセンサヘッドを構成
   していることを特徴とする特許請求の範囲第１６項記載
   のレーザドツプラ速度計。 （１８）上記送光用光学系は、上記レーザ光源からのレ
   ーザ光を導くための１つの光ファイバと、該光ファイバ
   からの光をほぼ平行光線にコリメートさせる１つの集束
   用レンズと、該集束用レンズからの光を集束させて１つ
   の光分配器と２つの反射ミラーとからなる光学ブロック
   を経た後の各所定領域で平行光線を作る１つの凸レンズ
   とからなるものであることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載のレーザドツプラ速度針。 （１９）上記送光用光学系は、１つの光ファイバ。 １つの集束用レンズ、１つの凸レンズ、光分配器。 ２つの反射ミラーからなるものであり、該送光用光学系
   は上記受光用光学系と一体化されてセンサヘッドを構成
   していることを特徴とする特許請求の範囲第１８項記載
   のレーザドツプラ速度計。