JPS60230336A - Manufacture of electric discharge display device - Google Patents

Manufacture of electric discharge display device

Info

Publication number
JPS60230336A
JPS60230336A JP59086760A JP8676084A JPS60230336A JP S60230336 A JPS60230336 A JP S60230336A JP 59086760 A JP59086760 A JP 59086760A JP 8676084 A JP8676084 A JP 8676084A JP S60230336 A JPS60230336 A JP S60230336A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
layer
trigger electrode
glass
discharge display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59086760A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiji Munemoto
宗本 英治
Shin Kawakubo
伸 川久保
Mitsuru Toyokawa
満 豊川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP59086760A priority Critical patent/JPS60230336A/en
Publication of JPS60230336A publication Critical patent/JPS60230336A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00Gas-filled discharge tubes with solid cathode
    • H01J17/38Cold-cathode tubes
    • H01J17/48Cold-cathode tubes with more than one cathode or anode, e.g. sequence-discharge tube, counting tube, dekatron
    • H01J17/49Display panels, e.g. with crossed electrodes, e.g. making use of direct current
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems

Abstract

PURPOSE:To enable a good trigger electrode to be made by printing a glass paste on a glass base plate before an Al paste is printed in a given pattern on the glass paste layer, followed by simultaneously sintering these layers. CONSTITUTION:First, a low-melting glass paste layer 11 is formed on a back glass base plate 3 by screen printing, then the layer 11 is temporarily dried. Next, an Al paste layer 12 with the same pattern as a trigger electrode to be formed is formed on the glass paste layer 11 by screen printing, then the layer 12 is temporarily dried. After that, the thus formed layers 11 and 12 are simultaneously sintered in air at a temperature of about 600 deg.C, thereby making a good Al trigger electrode 8.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、トリガー放電方式の放電表示装置の製法、特
にそのトリガー電極の形成に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a trigger discharge type discharge display device, and in particular to the formation of a trigger electrode thereof.

背景技術とその問題点 近年、放電表示装置特にXYマトリックスの直流放電表
示パネル(プラズマ・ディスプレイ・パネルFDP)の
開発が進められている。
BACKGROUND ART AND PROBLEMS In recent years, development of discharge display devices, particularly XY matrix direct current discharge display panels (plasma display panels FDP), has been progressing.

第1図は、先に本出願人が開発したトリガー放電方式の
直流型放電表示パネルの構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a trigger discharge type DC discharge display panel previously developed by the present applicant.

この表示パネル(1)は前面ガラス基板(2)、背面ガ
ラス基板(3)及びこれらに挾まれたXYマトリックス
形状の陽極(4)、陰極(5)から成り、各陽極(4)
は絶縁性バリア(6)によって仕切られている。背面ガ
ラス基板(3)では、陰極f5)の下部に絶縁誘電層(
7)を介してトリガー電極(8)が陰極(5)と平行に
設けられる。
This display panel (1) consists of a front glass substrate (2), a rear glass substrate (3), and an XY matrix-shaped anode (4) and a cathode (5) sandwiched between these.
are separated by an insulating barrier (6). On the rear glass substrate (3), an insulating dielectric layer (
Via 7) a trigger electrode (8) is provided parallel to the cathode (5).

この表示パネル(1)の製造は通常法のように′なされ
る。先ず前面ガラス基板(2)上に陽極(4)と絶縁性
のバリア(6)が厚膜印刷法によって形成される。また
背面ガラス基板(3)上にトリガー電極(8)、絶縁誘
電層(7)及び陰極(5)が順次厚膜印刷法によって形
成される。これら各構成部は印刷後、焼成される。次い
で、この2枚のガラス基板(2)及び(3)を陽極(4
)と陰極(5)とが互いに直交するように対向して配し
、フリットシールされる。その後、加熱排気、ガス封入
(例えばNe−Arガス)及び最終封止等の工程を経て
完成される。
The display panel (1) is manufactured in the usual manner. First, an anode (4) and an insulating barrier (6) are formed on a front glass substrate (2) by a thick film printing method. Further, a trigger electrode (8), an insulating dielectric layer (7) and a cathode (5) are sequentially formed on the rear glass substrate (3) by a thick film printing method. After printing, each of these constituent parts is fired. Next, these two glass substrates (2) and (3) are connected to the anode (4).
) and the cathode (5) are disposed facing each other perpendicularly and are frit-sealed. Thereafter, it is completed through processes such as heating and exhausting, gas filling (for example, Ne-Ar gas), and final sealing.

かかる放電表示パネル(1)においては、陽極(4)と
陰極(5)に夫々選択的に駆動電圧が印加されることに
よって、その選択された陽極(4)と陰極(5)間の交
点で放電発光され、例えば線順次的に表示される。
In such a discharge display panel (1), a driving voltage is selectively applied to the anode (4) and the cathode (5), so that the intersection between the selected anode (4) and the cathode (5) The light is emitted by discharge and displayed, for example, in a line-sequential manner.

特にこの表示パネル(1)では陽極(4)及び陰極(5
)間の主放電に先だってトリガー電極(8)にトリガー
電圧が与えられ、これによってトリガー電極(8)に対
応する部分の絶縁誘電層(7)上に壁電圧が誘起され、
゛此処と選択された陰極(5)間で瞬時の放電がなされ
、陰極(5)に沿ったガス空間がイオン化されることに
よって以後の選択された陽極(4)及び陰極(5)間の
放電を容易にしている。
In particular, this display panel (1) has an anode (4) and a cathode (5).
) A trigger voltage is applied to the trigger electrode (8) prior to the main discharge between the trigger electrodes (8), thereby inducing a wall voltage on the insulating dielectric layer (7) at a portion corresponding to the trigger electrode (8),
``An instantaneous discharge occurs between this and the selected cathode (5), and the gas space along the cathode (5) is ionized, thereby creating a subsequent discharge between the selected anode (4) and the cathode (5). is facilitated.

ところで、従来この様な放電表示パネルにおけるトリガ
ー電極の形成にはAgペースト(特別な場合で篩ペース
ト)が使用されていた。しかし乍ら、へgペーストは周
知のごとく、その上に上述の如きガラス質の絶縁誘電層
(7)が形成されると絶縁誘電層(7)内部へのマイグ
レーションが発生する。この現象はアルカリイオンとA
gイオンのイオン交換による相互拡散として顕著にみら
れる。また、無アルカリの鉛ホウ珪酸系のガラスにおい
てもトリガー電極を介して絶縁誘電FW (7)に電圧
を印加した場合に八gはイオン化される傾向があり、ガ
ラス中のイオン性pbを還元しながら内部へ貫入してく
ると考えられる。即ち絶縁誘電JM (7)の破壊を容
易に引き起こすことがへg電極を用いた場合の大きな欠
点であった。従って上述の放電表示% 4 )しにおむ
)でトリガー電極(8)上の絶縁誘電層(7)の厚味番
まa・要以上に厚くしなければならず、それに伴む)必
要な誘電容量が減少する。引いてはトリガーとして働く
絶縁誘電層(7)の表面に誘起される壁電圧(即ち電荷
量)が少くなる為、トリガー電極(8)の印加電圧は高
くせざるを得ないという悪循環を繰り返すことになる。
By the way, Ag paste (sieve paste in special cases) has conventionally been used to form trigger electrodes in such discharge display panels. However, as is well known, when the above-mentioned glassy insulating dielectric layer (7) is formed on the heg paste, migration into the insulating dielectric layer (7) occurs. This phenomenon is caused by alkali ions and A
This is clearly seen as interdiffusion due to ion exchange of g ions. Furthermore, even in alkali-free lead borosilicate glass, 8g tends to be ionized when voltage is applied to the insulated dielectric FW (7) via the trigger electrode, reducing ionic PB in the glass. It is thought that it penetrates into the interior. That is, a major drawback of using a heg electrode is that it easily causes breakdown of the insulating dielectric JM (7). Therefore, the thickness of the insulating dielectric layer (7) on the trigger electrode (8) must be made thicker than the above-mentioned discharge display (% 4), and accordingly Dielectric capacitance decreases. As a result, the wall voltage (i.e., the amount of charge) induced on the surface of the insulating dielectric layer (7) that acts as a trigger decreases, so the voltage applied to the trigger electrode (8) has to be increased, a vicious cycle that repeats. become.

一方、本発明者達はAg、Cr等の蒸着膜、或番まNi
ペースト、 Cuペースト等を用いてトリガー電極(8
)を形成することを試みたが、いずれも好ましし)結果
が得られなかった。すなわねち、蒸着膜の場合には第2
図及び第3図に示すようにトリガー電極(8)の端子部
(8a)において、空気中での焼成時に酸化が起る為に
その部分を別材料を用いなければならない。その際、へ
gペーストを用いると電極部との接合部では八gの酸化
剤としての作用が働き、11j!、Crは酸化され電気
的導通がとれない。N1ペーストであれば可能であるが
、このときには接合部でのプリスタリング(発泡)が発
生する。また大型装置を必要とし、放電表示パネルの大
型化に対応し雌いこと、大面積に於て均一かつ密着の良
好な膜が得難い。また空気中焼成タイプの旧ペーストの
場合は絶縁誘電層(7)として多層m層するがその2層
目の焼成以降で端子部(8a)とガラス基板(3)との
接着面でプリスタリングが発生し、またフリットシール
部(9)で真空リークが発生し、使用し難い。さらにC
uペーストの場合は、低温空気焼成タイプのものが現在
までのところ良好なものがなく、仮に出来たとしても露
出されている端子部(8a)での酸化の問題が残る。
On the other hand, the present inventors have investigated the use of vapor-deposited films such as Ag and Cr, or Ni.
Using paste, Cu paste, etc., attach the trigger electrode (8
), but none of them yielded favorable results. In other words, in the case of a vapor deposited film, the second
As shown in the figure and FIG. 3, the terminal portion (8a) of the trigger electrode (8) undergoes oxidation during firing in air, so a different material must be used for that portion. At that time, if heg paste is used, it acts as an oxidizing agent of 8g at the joint with the electrode, and 11j! , Cr is oxidized and cannot be electrically conductive. This is possible with N1 paste, but in this case plistering (foaming) occurs at the joint. Further, it requires a large-sized device, cannot cope with the increase in the size of discharge display panels, and is difficult to obtain a uniform and well-adhered film over a large area. In addition, in the case of the old in-air firing type paste, m multi-layers are used as the insulating dielectric layer (7), but after the second layer is fired, pristering occurs at the adhesive surface between the terminal part (8a) and the glass substrate (3). Also, a vacuum leak occurs at the frit seal portion (9), making it difficult to use. Further C
In the case of U-paste, there is currently no good low-temperature air firing type, and even if one were made, the problem of oxidation at the exposed terminal portion (8a) would remain.

発明の目的 本発明は、上述の欠点が改善され、良好なトリガー電極
を形成することができる放電表示装置の製法を提供する
ものである。
OBJECTS OF THE INVENTION The present invention provides a method for manufacturing a discharge display device in which the above-mentioned drawbacks are improved and a good trigger electrode can be formed.

発明の概要 本発明は、ガラス基板上にガラス質下地ペーストを印刷
して後、この上にAlペーストを所定パターンに印刷し
、同時焼成してトリガー電極を形成するようになす。
Summary of the Invention In the present invention, after printing a glass base paste on a glass substrate, an Al paste is printed thereon in a predetermined pattern and simultaneously fired to form a trigger electrode.

この製法ではマイグレーションが起きず且つガラス基板
に対して接着力の強いトリガー電極が得られる。従って
放電表示装置の製造の歩留りが改善される。
This manufacturing method provides a trigger electrode that does not cause migration and has strong adhesion to the glass substrate. Therefore, the manufacturing yield of discharge display devices is improved.

実施例 以下、本発明の詳細な説明する。Example The present invention will be explained in detail below.

本発明においては、先ず第4図Aに示すように背面ガラ
ス基板(3)上に低融点ガラスペースト層(11)をス
クリーン印刷し、仮乾燥する。
In the present invention, first, as shown in FIG. 4A, a low melting point glass paste layer (11) is screen printed on the rear glass substrate (3) and temporarily dried.

次に第4図Bに示すようにこのガラスペースト1id(
11)上にへlペースト層(12)をその形成すべきト
リガー電極と同じパターンにスクリーン印加し、仮乾燥
する。
Next, as shown in FIG. 4B, this glass paste 1id (
11) Apply a paste layer (12) on the screen in the same pattern as the trigger electrode to be formed, and temporarily dry it.

次に第4図Cに示すようにこのガラスペースト層(11
)とANペースト層(12)を空気中で例えば600℃
の温度で同時焼成する。焼成温度が620℃を越えると
酸化が進行し焼成後のトリガー電極の抵抗値が高くなっ
て好ましくない。この焼成処理によってAN)リガー電
極(8)が形成される。同時 ゛にガラス質下地層(1
3)が形成され、この下地層(13)によって^eトリ
ガー電極(8)はガラス基板(3)に対して強く接着さ
れる。
Next, as shown in FIG. 4C, this glass paste layer (11
) and AN paste layer (12) in air at, for example, 600°C.
Simultaneously fired at a temperature of If the firing temperature exceeds 620°C, oxidation will progress and the resistance value of the trigger electrode after firing will increase, which is not preferable. This firing process forms a AN) rigger electrode (8). At the same time, a glassy base layer (1
3) is formed, and the trigger electrode (8) is strongly adhered to the glass substrate (3) by this underlayer (13).

次に、第4図りに示すように端子部(8a)を残して電
極部(8b)上に絶縁誘電層(7)を形成する。
Next, as shown in the fourth diagram, an insulating dielectric layer (7) is formed on the electrode part (8b) leaving the terminal part (8a).

この絶縁誘電層(7)はガラスペーストを用いスクリー
ン印刷−焼成(例えば560℃)を繰り返して4層の積
層構造とする。
This insulating dielectric layer (7) is formed into a four-layer laminated structure by repeating screen printing and firing (for example, at 560° C.) using glass paste.

次に、第4図Eに示すように絶縁誘電層(7)上に陰極
(5)を通品の厚膜印刷によって形成する。
Next, as shown in FIG. 4E, a cathode (5) is formed on the insulating dielectric layer (7) by thick film printing.

一方、図示せざるも通常通り前面ガラス基板(2)上に
陽極(4)及び絶縁性バリア(6)を厚膜印刷法で形成
する。これ以後は前述した通り、2枚のガラス基板(2
)及び(3)をフリットシールし、加熱排気、ガス封入
及び最終封止等の工程を経て完成する。なお、この場合
の陽極(4)はNiで構成され、陰極はNi上にLaB
5を被着して構成される。
On the other hand, although not shown, an anode (4) and an insulating barrier (6) are formed on the front glass substrate (2) by a thick film printing method as usual. After this, as mentioned above, two glass substrates (2
) and (3) are frit-sealed and completed through processes such as heating exhaust, gas filling, and final sealing. Note that the anode (4) in this case is made of Ni, and the cathode is made of LaB on Ni.
5 is applied.

この製法において、トリガー電極の抵抗値は、AIペー
ストを用い600℃で焼成した時点での初期値が7Ωで
あり、その後、4層構造の絶縁誘電層(7)を形成する
際、各層形成毎に7Ω〜9Ω。
In this manufacturing method, the initial resistance value of the trigger electrode is 7Ω when fired at 600°C using AI paste, and thereafter, when forming the insulating dielectric layer (7) of the four-layer structure, each layer is 7Ω to 9Ω.

14Ω、18Ωと増加し、4i目後で22Ωとなった。The resistance increased to 14Ω, 18Ω, and became 22Ω after 4i.

この抵抗値は充分使用に耐える値いである。そして、A
lトリガー電極であるのでマイグレーションの発生はな
く、またトリガー電圧(8)の特に露出した端子部(8
a)でも、ガラス質下地1’1W(13)との同時焼成
によってガラス基板に対して強く接着されていた。また
、フリットシール部での真空リークも異常は見られなか
った。
This resistance value is sufficient for use. And A
Since it is a trigger electrode, no migration occurs, and especially the exposed terminal part (8) of the trigger voltage (8)
In case a), it was also strongly adhered to the glass substrate by co-firing with the glass substrate 1'1W (13). Furthermore, no abnormality was observed in the vacuum leak at the frit seal section.

面上例では、端子部(8a)を含むトリガー電極(8)
の全面にガラス質下地層(13)を形成したが、その他
生くとも2枚のガラス基板(21,(31をフリットシ
ールした後で接着に問題がある外部に露出する端子部分
下のみにガラス質下地1it(13)を形成するように
してもよい。
In the surface example, the trigger electrode (8) including the terminal portion (8a)
A glass base layer (13) was formed on the entire surface of the glass substrate (13), but after frit-sealing at least two other glass substrates (21, (31), a glass base layer (13) was formed only under the terminal part exposed to the outside where there was a problem with adhesion. A textured base 1it (13) may also be formed.

発明の効果 上述せる本発明によれば、ANペーストを用いてトリガ
ー電極を形成したことにより、Agの如きマイグレーシ
ョンによる絶縁耐圧の劣下が生じない。この結果絶縁誘
電層の層厚を減少させることが可能となり、トリガー電
圧の低減が図れる。またAlトリガー電極の形成に際し
てガラス質下地ペースト層上にAAペーストを印刷し、
同時焼成することにより、ガラス基板との接着力が増す
Effects of the Invention According to the present invention described above, since the trigger electrode is formed using AN paste, deterioration in dielectric strength voltage due to migration such as Ag does not occur. As a result, it is possible to reduce the layer thickness of the insulating dielectric layer, and the trigger voltage can be reduced. In addition, when forming the Al trigger electrode, AA paste was printed on the glass base paste layer,
Co-firing increases the adhesive strength with the glass substrate.

さらに^lペーストによる場合は蒸着法の場合と異なり
抵抗値も充分使用に耐えるものである。従って、この種
のトリガー放電方式の放電表示波デの製法の歩留も改善
されるものである。
Furthermore, when using paste, the resistance value is sufficient to withstand use, unlike when using the vapor deposition method. Therefore, the production yield of this type of trigger discharge type discharge display waveform is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の説明に供する放電表示パネルの一例を
示す部分破断斜視図、第2図及び第3図はその要部を示
す断面図及び平面図、第4図A〜Eは本発明の製法の一
例を示す要部の工程図である。 (2)は前面ガラス基板、(3)は背面ガラス基板、(
4)は陽極、(5)は陰極、(7)は絶縁誘電層、(8
)はトリガー電極、(11)はガラスペースト層、(1
2)は^lペースト屓、(13)はガラス質下地層であ
る。 、′7”1.1 代理人 伊藤 貞″″1・ 第1図 − 第2図 第8図
FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing an example of a discharge display panel used for explaining the present invention, FIGS. 2 and 3 are sectional views and plan views showing essential parts thereof, and FIGS. 4 A to E are views of the present invention. FIG. (2) is the front glass substrate, (3) is the back glass substrate, (
4) is an anode, (5) is a cathode, (7) is an insulating dielectric layer, (8
) is the trigger electrode, (11) is the glass paste layer, (1
2) is the paste layer, and (13) is the glassy base layer. ,'7''1.1 Agent Sada Ito''1. Figure 1 - Figure 2 Figure 8

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] ガラス基板上にガラス質下地ペーストを印刷して後、こ
の上にAJペーストを所定のパターンに印刷し、同時焼
成してトリガー電極を形成して成る放電表示装置の製法
A method for manufacturing a discharge display device, in which a glass base paste is printed on a glass substrate, an AJ paste is printed thereon in a predetermined pattern, and a trigger electrode is formed by simultaneous firing.
JP59086760A 1984-04-27 1984-04-27 Manufacture of electric discharge display device Pending JPS60230336A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59086760A JPS60230336A (en) 1984-04-27 1984-04-27 Manufacture of electric discharge display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59086760A JPS60230336A (en) 1984-04-27 1984-04-27 Manufacture of electric discharge display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60230336A true JPS60230336A (en) 1985-11-15

Family

ID=13895697

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59086760A Pending JPS60230336A (en) 1984-04-27 1984-04-27 Manufacture of electric discharge display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60230336A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0693702A1 (en) * 1994-07-21 1996-01-24 Sony Corporation Plasma-addressed display device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0693702A1 (en) * 1994-07-21 1996-01-24 Sony Corporation Plasma-addressed display device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930000380B1 (en) Manufacturing method of discharge indicating system
JPH0950769A (en) Plasma display panel and manufacture thereof
JPH1049072A (en) Gas discharge type display device and its manufacture
US4024613A (en) Method of permanently attaching metallic spacers in gaseous discharge display panels
US4600397A (en) Method of producing discharge display device
JPS60230336A (en) Manufacture of electric discharge display device
JPH0348622Y2 (en)
JPH09274860A (en) Plasma display panel
JPH1040818A (en) Plasma display panel and its manufacture
JPH08293259A (en) Method for forming gas-discharge display panel and its electrode
JPH06103902A (en) Plasma display panel and its manufacture
JP3532557B2 (en) Method for manufacturing plasma display panel
JPH06103903A (en) Plasma display panel
JPH08293260A (en) Plasma display panel and its manufacture
JPH01264137A (en) Plasma display device
JPS6230780Y2 (en)
JPH08167373A (en) Electrode forming method in gas discharge display panel
JPS6345729Y2 (en)
JP2000011892A (en) Gas-discharge type display panel and display device using the same
JPS6322404B2 (en)
JPH02291648A (en) Lamination type fluorescent display panel
JPS5830690B2 (en) Gas Hoden Panel Noden Kiyokusei Zohouhou
JPH04206235A (en) Gaseous discharge panel
JPS6011405B2 (en) Method of forming conductive film
JP2003151448A (en) Plasma display panel and its manufacturing method