JPS60222707A - Distance measuring device for machine tool - Google Patents

Distance measuring device for machine tool

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Publication number
JPS60222707A
JPS60222707A JP7903784A JP7903784A JPS60222707A JP S60222707 A JPS60222707 A JP S60222707A JP 7903784 A JP7903784 A JP 7903784A JP 7903784 A JP7903784 A JP 7903784A JP S60222707 A JPS60222707 A JP S60222707A
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JP
Japan
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distance
distance measuring
ultrasonic
incremental
measuring means
Prior art date
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Pending
Application number
JP7903784A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Isobe
磯部 信一
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Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

PURPOSE:To measure the absolute distance value between the reference point on a machine tool and a tool, by providing an ultrasonic wave emitting means, which emits ultrasonic waves, along a moving path of the tool on the machine tool. CONSTITUTION:A tool 5 is supported by a moving table 2 of a lathe 1. An ultrasonic wave emitting means 6, which emits a ultrasonic wave R along the moving path of the tool 5, is provided. A first ultrasonic wave reflecting means 7 is provided at the tool 5. A second ultrasonic wave reflecting means 8 is provided at the end of the moving path of the tool. An ultrasonic wave receiving means receives the reflected waves S and T from the first and second reflecting means 7 and 8. A first distance measuring means 10 computes the distance of the tool 5 from the reflected waves S and T. The output of an incremental distance measuring means 13 is inputted to an absolute distance measuring means 14 together with the output of the distance measuring means 10. The absolute distance is judged by a judging means 15. Thus the position of the tool can be accurately measured.

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は、工作機械に使用される直線距離測定装置に関
する。特に、工作機械上に設けられた基準点と工作機械
上を移動する移動体例えば工具との間の絶対距離を簡易
にしかも精密に測定しうる工作機械用距離測定装置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Technical Field of the Invention The present invention relates to a linear distance measuring device used in a machine tool. In particular, the present invention relates to a distance measuring device for a machine tool that can easily and accurately measure the absolute distance between a reference point provided on the machine tool and a moving object such as a tool moving on the machine tool.

(2)技術の背景 NC工作機械等自動制御工作機械にあっては、加工形状
の制御を工具等の位置制御をもってなすので、工具等工
作機械上を移動する移動体の絶対位置(工作機械上に設
けられた基準点と移動体との間の直線距離)を測定する
ことが必要である。
(2) Background of technology In automatically controlled machine tools such as NC machine tools, the machining shape is controlled by controlling the position of tools, etc., so the absolute position of moving objects such as tools (on the machine tool) It is necessary to measure the straight line distance between the reference point provided at the center and the moving body.

NC工作機械等にあっては、工具等移動体のインクリメ
ンタル移動距離の測定を正確・精密になしうろことは周
知である。レゾルバ、インタクトシン等を使用して角位
置や距離を正確・精密に測定する手法が確立しているか
らである。
It is well known that in NC machine tools and the like, it is necessary to accurately and precisely measure the incremental movement distance of a moving object such as a tool. This is because a method for accurately and precisely measuring angular positions and distances using resolvers, intact sins, etc. has been established.

工作機械上を移動する移動体のインクリメンタル移動距
離にもとづいて、その移動体の絶対位置を検出するには
、(イ)工作機械上に設けられたノ^準点と、その直近
に存在するインクリメンタル移動距離測定基準点(例え
ば、回転軸上に設けられた基準点に対応する点、ベッド
上に設けられた基準点等)との距離(オフセット)を検
出し。
In order to detect the absolute position of a moving object based on the incremental movement distance of the moving object moving on the machine tool, (a) the reference point provided on the machine tool and the incremental movement distance The distance (offset) from the moving distance measurement reference point (for example, a point corresponding to a reference point provided on the rotation axis, a reference point provided on the bed, etc.) is detected.

(ロ)このオフセットの値Aと、インクリメンタル距離
の測定ストロークB(例えば上記せる軸の1回転に対応
する直線距離)とインクリメンタル距離測定ストローク
の通過数Nから1を減した値(N−1)との積と現に表
示しているインクリメンタル距離C(インクリメンタル
移動距離測定基準点からの距離)との和、 A+B (、N −1) 十C を検出すればよい。
(b) The value obtained by subtracting 1 from the value A of this offset, the incremental distance measurement stroke B (for example, the linear distance corresponding to one rotation of the above-mentioned axis), and the number of passes N of the incremental distance measurement stroke (N-1) What is necessary is to detect the sum of the product and the currently displayed incremental distance C (distance from the incremental movement distance measurement reference point), A+B (, N -1) 10C.

(3)従来技術と問題点 従来、工作機械用距離測定装置に使用されているインク
リメタル距離測定装置は、リードスクリュウ等またはこ
れらを駆動するモータ等にレゾルバを設け、その1回転
(380°)をリードスクリュウの歩み2IIII程度
に対応させる方式、または、移動体にインダクトシンを
設けておきこのインダクトシンの測定ストロークを2a
m程度に設定しておく方式か一般である。そして、し1
づれの方式にあっても、精度は0.1%程度であり、測
定ストロークが2日程度であるから、誤差は2p、m程
度である。
(3) Conventional technology and problems The incremental metal distance measuring device conventionally used as a distance measuring device for machine tools has a resolver installed in the lead screw or the motor that drives them, and rotates one rotation (380°). A method in which the stroke of the lead screw corresponds to about 2III, or an inductosin is provided on the moving body and the measured stroke of this inductosin is set to 2a.
A common method is to set it to about m. And then 1
Even with either method, the accuracy is about 0.1%, and since the measurement stroke is about 2 days, the error is about 2p.m.

このインクリメンタル距離にもとづいて絶対距離を検出
するには、工作機械の基準点にリミ−/ )スイッチを
設けておき移動体をもってこのりミツトスイッチを動作
させることとし、l連の加工の当初(例えば1日の作業
の開始時)に移動体を基準点にもたらしてリミットスイ
ッチを動作させ、その動作点においてインクリメンタル
距離測定装置が示す値を検出してこれをオフセラ)Aと
している。そして、移動体の絶対位置を検出するには、
インクリメンタル距離測定装置を動作させなから移動体
を移動してインクリメンタル距離測定装置の測定ストロ
ーク通過回数Nを計数し、これから(N−1)を演算し
、この値(N−1)と既に知られている測定ストローク
Bとの積(N−1)Bをめ請求める位置においてインク
リメンタル距離測定手段が示す値(インクリメンタル距
離測定装置の読み)Cをめ、これらを合計して、 A+ (N−1)B+C として絶対距離をめている。
In order to detect the absolute distance based on this incremental distance, a limit switch is provided at the reference point of the machine tool, and the limit switch is operated with a moving object. At the start of the day's work), the moving body is brought to a reference point, the limit switch is operated, and the value indicated by the incremental distance measuring device is detected at the operating point, and this value is defined as offset A). Then, to detect the absolute position of the moving object,
Without operating the incremental distance measuring device, move the moving object, count the number of times N passing the measurement stroke of the incremental distance measuring device, calculate (N-1) from this, and calculate (N-1) from this value (N-1). Find the value C indicated by the incremental distance measuring means (reading of the incremental distance measuring device) at the position where B can be estimated as the product (N-1) of the measured stroke B, and add these together to obtain A+ (N-1) ) The absolute distance is determined as B+C.

上記の従来技術に係る工作機械用距III測定装置にお
いてはl連の加工の当初(例えば1日の作業の開始時)
に移動体を基準点にもたらしてリミ・ントスイッチを動
作させ、その動作点においてインクリメンタル距離測定
装置が示す値すなわちオフセットを再確認するとともに
、インクリメンタル距離測定装置の測定ストローク通過
回数Nを零(または特定の値)に復帰させる必要があり
、この作業に時間も要し、また、作業も繁雑であるとい
う欠点がある。
In the distance III measuring device for machine tools according to the above-mentioned prior art, at the beginning of one series of machining (for example, at the start of a day's work)
Bring the moving object to the reference point and operate the limit switch, reconfirm the value indicated by the incremental distance measuring device at that operating point, that is, the offset, and set the number of times N of passing the measurement stroke of the incremental distance measuring device to zero (or It is necessary to restore the data to a specific value), and this work requires time and is also complicated.

(4)発明の目的 本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、工作
機械上に設けられた基準点と工作機械上を移動する移動
体例えば工具との間の絶対距離を、簡易にしかも精密に
測定しうる工作機械用距離測定装置を提供することにあ
る。
(4) Purpose of the Invention The purpose of the present invention is to eliminate this drawback, and to easily calculate the absolute distance between a reference point provided on a machine tool and a moving object such as a tool that moves on the machine tool. The object of the present invention is to provide a distance measuring device for a machine tool that can measure accurately.

(5)発明の構成 本出願は三つの独立した発明を含み、その第1の構成は
、工作機械上を移動する移動体の移動経路にそって超音
波を射出する超音波射出手段と、ll1j記移動体に設
けられる第1の超音波反射手段と、前記移動経路の末端
に配設される第2の超音波反射手段と、前記二つの反射
手段の反射波を受信する超音波受信手段と、前記二つの
反射手段の反射波の伝播時間を検出し、それらの比を演
算し、これに前記射出手段と前記第2の反射手段との距
離を乗じて前記射出手段と前記移動体との距gIAをめ
る第1の距離測定手段と、該第1の距離測定手段によっ
て測定された距離A近傍におけるインクリメンタル距離
を測定するインクリメンタル距離測定手段と、前記距離
Aを前記インクリメンタル距離測定手段の最大測定距離
aをもって除し、その商Bを整数化して整数化されたB
゛をめ、これに前記最大測定距離aを乗じ、前記インク
リメンタル距離測定手段の読みdを加え、その和から前
記インクリメンタル距離測定手段のオフセットCを減じ
て絶対距離Cをめる絶対距離測定手段と、該絶対距離C
か、 A+d>C>A−d 但し、 dは第1の距離測定手段の精度である。
(5) Structure of the Invention This application includes three independent inventions, the first of which is an ultrasonic wave emitting means for emitting ultrasonic waves along the movement path of a movable body moving on a machine tool; a first ultrasonic reflecting means provided on the movable body; a second ultrasonic reflecting means disposed at the end of the moving path; and an ultrasonic receiving means for receiving reflected waves from the two reflecting means. , detecting the propagation time of the reflected waves of the two reflecting means, calculating their ratio, and multiplying this by the distance between the emitting means and the second reflecting means to determine the distance between the emitting means and the moving body. a first distance measuring means for measuring a distance gIA; an incremental distance measuring means for measuring an incremental distance in the vicinity of the distance A measured by the first distance measuring means; Divided by the measured distance a, the quotient B is converted into an integer, and B is converted into an integer.
an absolute distance measuring means that calculates the absolute distance C by multiplying the value by the maximum measurement distance a, adding the reading d of the incremental distance measuring means, and subtracting the offset C of the incremental distance measuring means from the sum; , the absolute distance C
or A+d>C>A-d where d is the accuracy of the first distance measuring means.

であることを判定する判定手段とを有する、工作機械用
距離測定装置にある。
A distance measuring device for a machine tool has a determining means for determining that the distance measuring device is a machine tool.

その第2の発明の構成は、工作機械上を移動する移動体
の移動経路にそって超音波を射出する超音波射出手段と
、前記移動体に設けられる第1の超音波受信手段と、前
記移動経路の末端に配設される第2の超音波受信手段と
、前記二つの受信手段の受信する超音波の伝播時間を検
出し、それらの比を演算し、これに前記射出手段と前記
第2の受信手段との距離を乗じて前記射出手段と前記移
動体との距離Aをめる第1の距離測定手段と、該第1の
距離測定手段によって測定された距離A近傍におけるイ
ンクリメンタル距離を測定するインクリメンタル距離測
定手段と、前記距離Aを前記インクリメンタル距離測定
手段の最大測定距leaをもって除し、その商Bを整数
化して整数化されたBoをめ、これに前記最大測定距離
aを来し、前記インクリメンタル距離測定手段の読みd
を加え、その和から前記インクリメンタル距離測定手段
のオフセットCを減して絶対距離Cをめる絶対距離測定
手段と、該絶対距離Cが、A+d>C>A−d 但し、 dは第1の距離測定手段の精度である。
The configuration of the second invention includes: an ultrasonic wave emitting means for emitting ultrasonic waves along a movement path of a movable body moving on a machine tool; a first ultrasonic wave receiving means provided on the movable body; A second ultrasonic receiving means disposed at the end of the moving path detects the propagation time of the ultrasonic waves received by the two receiving means, calculates the ratio thereof, and calculates the ratio between the two ultrasonic waves. a first distance measuring means that calculates the distance A between the emitting means and the moving object by multiplying the distance to the second receiving means; and an incremental distance in the vicinity of the distance A measured by the first distance measuring means. Incremental distance measuring means to be measured, divide the distance A by the maximum measured distance lea of the incremental distance measuring means, convert the quotient B to an integer, obtain the integer Bo, and add the maximum measured distance a to this. and the reading d of the incremental distance measuring means
and subtracts the offset C of the incremental distance measuring means from the sum to obtain the absolute distance C, and the absolute distance C is A+d>C>A-d, where d is the first This is the accuracy of the distance measuring means.

であることを判定する判定手段とを有する、工作機械用
距離測定装置にある。
A distance measuring device for a machine tool has a determining means for determining that the distance measuring device is a machine tool.

第3の発明の構成は、工作機械上を移動する移動体に設
けられ該移動体の移動経路にそって超音波を射出する超
音波射出手段と、前記移動経路の両端に配設される第1
と第2の超音波受信手段と、前記二つの受信手段の受信
する超音波の伝播時間を検出し、これらの和をもって前
記第1の受信手段の受信する超音波の伝播時間を除し、
これに前記第1と第2の受信手段間の距離を乗じて前記
第1の超音波受信手段と前記移動体との距離Aをめる第
1の距離測定手段と、該第1の距離測定手段によって測
定された距離A近傍におけるインクリメンタル距離を測
定するインクリメンタル距離測定手段と、前記距離Aを
前記インクリメンタル距離測定手段の最大測定距離aを
もって除し、その商Bを整数化して整数化されたBoを
め、これに前記最大測定距離aを乗じ、前記インクリメ
ンタル距離測定手段の読みdを加え、その和から前記イ
ンクリメンタル距離測定手段のオフセットCを減じて絶
対距離Cをめる絶対距離測定手段と、該絶対距離Cが、 A+d>C>A−d 但し、 dは第1の距離測定手段の精度である。
A third aspect of the present invention has an ultrasonic wave emitting means that is provided on a movable body that moves on a machine tool and emits ultrasonic waves along a moving path of the moving body; 1
and a second ultrasonic receiving means, detecting the propagation time of the ultrasonic waves received by the two receiving means, and dividing the propagation time of the ultrasonic waves received by the first receiving means by the sum of these,
a first distance measuring means that calculates a distance A between the first ultrasonic receiving means and the moving body by multiplying this by the distance between the first and second receiving means; an incremental distance measuring means for measuring an incremental distance in the vicinity of the distance A measured by the means; and Bo, which is obtained by dividing the distance A by the maximum measurement distance a of the incremental distance measuring means and converting the quotient B into an integer. , multiplying this by the maximum measurement distance a, adding the reading d of the incremental distance measuring means, and subtracting the offset C of the incremental distance measuring means from the sum to obtain the absolute distance C; The absolute distance C is A+d>C>A-d, where d is the accuracy of the first distance measuring means.

であることを判定する判定手段とを有する、工作機械用
距離測定装置にある。
A distance measuring device for a machine tool has a determining means for determining that the distance measuring device is a machine tool.

本発明は、(イ)超音波の伝播時間を、適当なりロック
信号をもってサンプリングし、サンプリング回数とクロ
ック信号間隔(時間)に対応する距離とを乗算して絶対
距離をめる手段(第1の距離測定手段)と、レゾルバ、
インタクトシン等を使用してなすインクリメンタル距離
測定手段とを併用することとし、計算機を使用して、両
手段の測定結果に適当な演算を実行して、簡易・正確に
絶対距離を測定しうることとしたものであり、(ロ)第
1の距離測定手段の誤差をインクリメンタル距離測定手
段の最大測定距離(例えば、軸1回転に対応する直線距
離等であり通常2m腸程度)の局より小さく選定してお
き、(ハ)測定にあたっては、まず、第1の距離測定手
段を使用して、精度は必ずしも良好ではない絶対距離A
をめ、(ニ)この絶対距離Aをインクリメンタル距離測
定手段の最大測定距離a(例えば、軸1回転に対応する
直線距離等であり通常2mm程度)をもって除し、その
商Bの少数点以下を切り捨てる等の手法をもって整数化
して整数化された商B。
The present invention provides (a) a means (first method) for sampling the propagation time of an ultrasonic wave using an appropriate lock signal and multiplying the number of sampling times by a distance corresponding to a clock signal interval (time) to obtain an absolute distance; distance measuring means), a resolver,
It is possible to easily and accurately measure absolute distances by using an incremental distance measurement method using intact sin, etc., and by using a calculator to perform appropriate calculations on the measurement results of both methods. (b) The error of the first distance measuring means is selected to be smaller than the maximum measurement distance of the incremental distance measuring means (for example, the straight line distance corresponding to one rotation of the axis, which is usually about 2 m). (c) When measuring, first, use the first distance measuring means to measure the absolute distance A, which is not necessarily accurate.
(d) Divide this absolute distance A by the maximum measurement distance a of the incremental distance measuring means (for example, the straight line distance corresponding to one rotation of the shaft, usually about 2 mm), and then calculate the decimal point of the quotient B. Quotient B that has been converted into an integer by rounding down or other methods.

をめてこれに上記のインクリメンタル最大測定距離aを
乗して、上記絶対距離Aを、インクリメンタル最大測定
距離をもって正規化(換言すれば、第1の距離測定手段
を使用してめた絶対距離Aを、インクリメンタル距離測
定手段の最大測定距離を尺度としてその端数を切り捨て
)し、(ホ)これに、インクリメンタル距[1定手段の
読みdを加え、さらに、これからインクリメンタル距離
測定手段の初期値すなわちオフセットCを減じて、一旦
絶対距離C゛をめ、(へ)このCoが正しい値であるか
否かを、第1の距離測定手段の精度dを使用して判定す
るものであり、こ 。
The absolute distance A is normalized by the incremental maximum measurement distance (in other words, the absolute distance A obtained using the first distance measurement means) is multiplied by the incremental maximum measurement distance a. (e) Add the reading d of the incremental distance [1 constant means] to this, and then calculate the initial value of the incremental distance measuring means, that is, the offset. The absolute distance C is determined by subtracting C, and then it is determined whether or not this Co is the correct value using the accuracy d of the first distance measuring means.

の利足手法として、上記(ロ)に述へた条件(第1の距
離測定手段の誤差がインクリメンタル距離測定手段の最
大測定距離の局より小さく選んであ゛す、上記第1の距
離測定手段の測定結果が誤差を含むことはやむを得ない
が、その誤差は、上記の限界内にあるから正しい値は、
上記の如くしてめた絶対距離C°よりインクリメンタル
距離測定手段の最大測定距離aだけ大きいか、または小
さい筈であるという条件)にもとづき、上記の値C′と
(A−・d)とを比較して値C°が値(A−d)より大
きくなかったら、上記B°からlを減じて更めてCoを
めて値C′が4ri(A−d)より大きいことを確認し
、次に、値C′ と値(A十d)とを比較して値C′が
値(A+d)より小さくなかったら上記B′にlを加え
て史めてC゛をめ値C′が値(A+d)より小さいこと
を確認して、その値C′をもってめる絶対値Cと認定す
るものであり、上記の演算を計算機に実行させるもので
ある。
As an advantageous method, the conditions mentioned in (b) above (the error of the first distance measuring means is selected to be smaller than the station of the maximum measurement distance of the incremental distance measuring means; It is unavoidable that the measurement results include errors, but since the errors are within the above limits, the correct value is
Based on the condition that the absolute distance C° determined as above should be larger or smaller by the maximum measurement distance a of the incremental distance measuring means, the above values C' and (A-・d) can be calculated. If the value C° is not larger than the value (A-d) after comparison, subtract l from the above B° and further add Co to confirm that the value C' is larger than 4ri (A-d), Next, compare the value C' with the value (A + d), and if the value C' is not smaller than the value (A + d), add l to the above B' and calculate C'. After confirming that it is smaller than (A+d), the value C' is recognized as the absolute value C, and the above calculation is caused to be executed by the computer.

以上要するに、超音波の伝播時間を利用して絶対距離を
測定する第1の距離測定手段の測定結果を、インクリメ
ンタル距離測定手段の最大測定距離を尺度として区分し
、その剰余は切り捨てることとし、その切り捨てられた
部分にはインクリメンタル距離測定装置の測定結果をは
めこみ、インクリメンタル距gii測定手段の高精度を
活用するとともに、その欠点である絶対距離楠定不可能
性をカバーしたものであり、計算機を使用してなす演蜀
能力を利用して、この概念を簡易に実現したものである
In summary, the measurement results of the first distance measuring means that measure absolute distance using the propagation time of ultrasonic waves are divided using the maximum measurement distance of the incremental distance measuring means as a scale, and the remainder is discarded. The measurement result of the incremental distance measuring device is inserted into the cut-off part to take advantage of the high precision of the incremental distance gii measurement method and to overcome its drawback, which is the inability to determine the absolute distance, using a calculator. This concept was easily realized by using the ability to perform.

(6)発明の実施例 以下図面を参照しつ覧、本出願に含まれる各発明の実施
例に係る工作機械用距離測定装置をさらに説明する。
(6) Embodiments of the Invention Hereinafter, distance measuring devices for machine tools according to embodiments of each invention included in this application will be further described with reference to the drawings.

第1の の 第1図参照 図において、■は工作機械例えば旋盤であり、2はテー
ブルであり、リードスクリュウ3によってベッド4にそ
って移動され、工具(移動体)5を支持する。6は超音
波射出手段であり工具(移動体)5の移動経路にそって
超音波Rを射出する。そして、この超音波射出手段6は
工作機械上に設けられた基準点に設けることが望ましい
。7は工具(移動体)5に設けられる第1の超音波反射
手段であり、反射波Sを反射する。8は第2の超音波反
射手段であり、工具(移動体)5の移動経路の末端に配
設され、反射波Tを反射する。9は、上記二つの反射波
S、Tを受ける超音波受信手段であり、超音波射出手段
6と同一の位置に設けることが望ましい、 10は、上
記二つの反射手段7.8の反射波S、Tの゛伝播時間(
射出されてから受信されるまでの時間)を検出し、それ
らの比を演算し、その結果に、射出手段6と第2の反射
手段8との距離(基準長)を来して、射出手段6と第1
の反射手段7(工具すなわち移動体5)との距gIAを
める手段(第1の距離測定手段)である。すなわち、こ
の第1の距離測定手段lOは、(イ)超音波射出手段6
に超音波Rを射出させ、超音波受信手段9に反射波S、
Tを受信させ、(ロ)同時にクロック信号を発生してお
り、このクロック信号を使用して二つの反射波S、Tの
伝播時間T 、T、を検出した後、下記の演算を実行す
る。
In the first diagram of FIG. 1, 2 is a machine tool such as a lathe, and 2 is a table, which is moved along a bed 4 by a lead screw 3 and supports a tool (moving body) 5. Reference numeral 6 denotes an ultrasonic wave emitting means that emits ultrasonic waves R along the movement path of the tool (moving body) 5. It is desirable that this ultrasonic emitting means 6 be provided at a reference point provided on the machine tool. Reference numeral 7 denotes a first ultrasonic wave reflecting means provided on the tool (moving body) 5, which reflects the reflected wave S. Reference numeral 8 denotes a second ultrasonic wave reflecting means, which is disposed at the end of the moving path of the tool (moving body) 5 and reflects the reflected wave T. 9 is an ultrasonic receiving means that receives the two reflected waves S and T, and is preferably provided at the same position as the ultrasonic emitting means 6; 10 is an ultrasonic receiving means that receives the two reflected waves S and T; 10 receives the reflected waves S of the two reflecting means 7 and 8; , the propagation time of T (
The time from ejection to reception) is detected, their ratio is calculated, and the distance (reference length) between the ejection means 6 and the second reflection means 8 is added to the result, and the ejection means 6 and 1st
This is means (first distance measuring means) for measuring the distance gIA between the reflector 7 (tool or moving body 5). In other words, this first distance measuring means 1O includes (a) the ultrasonic wave emitting means 6;
The ultrasonic waves R are emitted to the ultrasonic receiving means 9, and the reflected waves S,
(b) At the same time, a clock signal is generated, and after detecting the propagation times T and T of the two reflected waves S and T using this clock signal, the following calculation is performed.

第2図参照 第1の反射手段7の反射波Sの伝播時間TSを第2の反
射手段8の反射波Tの伝播時11JI T 7をもって
除してその比Tをめ、この比Tに射出手段6と第2の反
射手段8との距gILを乗じて射出手段6と第1の反射
手段7(工具すなわち移動体5)との距離Aをめる。こ
の例においては、この第1の距離測定手段の誤差dはべ
・ント長を1mとして1mmである。
Refer to Fig. 2. Divide the propagation time TS of the reflected wave S of the first reflecting means 7 by the propagation time 11JI T 7 of the reflected wave T of the second reflecting means 8 to find the ratio T, and inject into this ratio T. Multiply the distance gIL between the means 6 and the second reflecting means 8 to find the distance A between the injection means 6 and the first reflecting means 7 (tool or moving body 5). In this example, the error d of this first distance measuring means is 1 mm, assuming a bench length of 1 m.

なんとなれば、被測定超音波が通過する経路の超音波の
伝播媒体である空気の密度と基準超音波が通過する経路
の超音波の伝播媒体である空気の密度とに相違がある場
合、超音波を使用してなす距離測定手段の誤差は大きく
なるか、上記の第1の距離測定手段10にあっては、第
1の反射波(被測定波)Sと第2の反射波(基準波)T
とはお\むね同一の経路を通過するので精度は良好にな
り、数値的には0.1%程度となり、工作機械のヘンF
長を1mとすれば、その誤差はl+amとなる。
This is because if there is a difference between the density of the air that is the propagation medium of the ultrasonic wave on the path that the measured ultrasonic wave passes through and the density of the air that is the propagation medium of the ultrasonic wave on the path that the reference ultrasonic wave passes through, the ultrasonic The error of the distance measuring means using sound waves becomes large, or in the first distance measuring means 10 described above, the first reflected wave (measured wave) S and the second reflected wave (reference wave) )T
The accuracy is good because it passes through roughly the same path as the machine tool, and the numerical value is about 0.1%.
If the length is 1 m, the error will be l+am.

第1図再参照 11はリードスクリュウ3を駆動するモータであり、1
2はモータ11の軸に直結されているレンル/へであり
、13はレツルバ12を使用するインクリメンタル距離
測定手段であり、この例においては、その最大測定距離
aは2xrmであり、その誤差は2用l11(精度0.
1%)である。
Referring back to FIG. 1, 11 is a motor that drives the lead screw 3;
2 is a lens directly connected to the shaft of the motor 11, and 13 is an incremental distance measuring means using a resolver 12, in this example, its maximum measurement distance a is 2xrm, and its error is 2xrm. For l11 (accuracy 0.
1%).

14は絶対距離測定手段であり、15は判定手段であり
、いづれも計算機をもって構成される。
14 is an absolute distance measuring means, and 15 is a determining means, both of which are configured with a calculator.

第3図参照 絶対距離測定手段14は、下記の演算を実行する。すな
わち、第1の距離測定手段1oによってめられた距#A
を、インクリメンタル距離測定手段の最大測定圧111
a(この例においては2■)をもって除してその商Bを
め、その少数点以下を切り捨てる等の手法をもって整数
化してBoとし、この整数化された商B′にインクリメ
ンタル距離測定手段の最大測定距離a(この例において
は2 mm)を乗じ、インクリメンタル距離測定手段1
3の読みdを加え、インクリメンタル距離測定手段13
の初期値(工具すなわち移動体5を基準位置にもたらし
た場合のインクリメンタル距離測定手段13の読み)す
なわちオフセットcを減して、絶対距離C°をめる。
The absolute distance measuring means 14 (see FIG. 3) executes the following calculation. That is, the distance #A measured by the first distance measuring means 1o
, the maximum measuring pressure 111 of the incremental distance measuring means
Find the quotient B by dividing by a (in this example, 2■), convert it into an integer by rounding down the decimal point, etc., to obtain Bo, and add the maximum of the incremental distance measuring means to this integer quotient B'. Multiply the measurement distance a (2 mm in this example) and use the incremental distance measurement means 1
3 reading d is added, and the incremental distance measuring means 13
The initial value of (the reading of the incremental distance measuring means 13 when the tool, that is, the movable body 5 is brought to the reference position), that is, the offset c, is subtracted to obtain the absolute distance C°.

たり、この絶対距離C′は、インクリメンタル距離測定
手段13の最大測定距離aだけ真実の値より大きいか小
さい場合があリラるので、これを判定・修正するため1
判定手段15が下記の演算を実行する。すなわち、上記
の絶対距離C°が、第1の距111′1M定手段10の
I#足結果Aから第1の距離測定手段lOの誤差dを減
じた値より大きいか否かを判定し、もし大きくない場合
は上記の絶対距離C°は上記の値aだけ小さすぎる筈で
あるから、上記の値B′に1を加えてC′を再び演算す
る。
Also, this absolute distance C' may be larger or smaller than the true value by the maximum measured distance a of the incremental distance measuring means 13, so in order to determine and correct this,
The determining means 15 executes the following calculation. That is, it is determined whether the above-mentioned absolute distance C° is larger than the value obtained by subtracting the error d of the first distance measuring means lO from the I# foot result A of the first distance 111'1M determining means 10, If it is not large, then the above absolute distance C° must be too small by the above value a, so 1 is added to the above value B' and C' is calculated again.

また、当初の算出された絶対距離C°が上記の値だけ大
きすぎる場合は、当然上記の判定手段をもっては検知し
えない筈であるからそのときは、その値C゛が、第1の
距離測定手段10の測定結果Aから第1の距離測定手段
lOの誤差dを加えた値より小さいか否かを判定し、も
し、小さくなければ、上記の値B°から1を減してC゛
を再び演算する。
In addition, if the initially calculated absolute distance C° is too large by the above value, it will naturally not be detected by the above determination means, so in that case, the value C′ is the first distance. It is determined whether it is smaller than the value obtained by adding the error d of the first distance measuring means lO to the measurement result A of the measuring means 10, and if it is not smaller, 1 is subtracted from the above value B° to obtain C. Calculate again.

この二つの判定をクリヤーした値がめる真実の値と考え
られるので、これをもって請求める絶対距離Cと認定す
る。
Since the value that clears these two determinations is considered to be the true value, it is recognized as the absolute distance C that can be claimed.

2の の 第4図参照 図において、lは工作機械例えば旋盤であり、2はテー
ブルであり、リードスクリュウ3によってベット4にそ
って移動され、工具(移動体)5を支持する。6は超音
波射出手段であり工具(移動体)5の移動経路にそって
超音波R,RRを射出する。そして、この超音波射出手
段6は工作機械上に設けられた基準点に設けることが望
ましい。81は工具(移動体)5に設けられる第1の超
音波受信手段であり、超音波Rを受信する。92は第2
の超音波受信手段であり、工具(移動体)5の移動経路
の末端に配設され超音波RRを受信する。10は上記二
つの受信手段91.92の入射波R1RRの伝播時間を
検出し、それらの比を演算し、その結果に、射出手段6
と第2の受信手段92との距離(基準長)を乗じて、射
出手段6と第1の受信手段(工具すなわち移動体5)と
の距#Aをめる手段(第1の距離測定手段)である、す
なわち、この第1の距離測定手段10は、(イ)超音波
射出手段6に超音波RとRRとを射出させ、超音波受信
手段81と92とに受信させ、(CI)同時にクロック
信号を発生しており、このクロック信号を使用して二つ
の超音波RとRRの伝播時間T 、TRRを検出した後
、下記の演算を実行する。
2, reference numeral 4 indicates a machine tool, such as a lathe, and 2 a table, which is moved along a bed 4 by a lead screw 3 and supports a tool (moving body) 5. Reference numeral 6 denotes an ultrasonic wave emitting means which ejects ultrasonic waves R and RR along the moving path of the tool (moving body) 5. It is desirable that this ultrasonic emitting means 6 be provided at a reference point provided on the machine tool. Reference numeral 81 denotes a first ultrasonic receiving means provided in the tool (moving body) 5, which receives the ultrasonic waves R. 92 is the second
The ultrasonic receiving means is disposed at the end of the moving path of the tool (moving body) 5 and receives the ultrasonic waves RR. 10 detects the propagation time of the incident waves R1RR of the two receiving means 91 and 92, calculates their ratio, and applies the result to the emitting means 6.
and the second receiving means 92 (reference length) to calculate the distance #A between the injection means 6 and the first receiving means (tool or movable body 5) (first distance measuring means) ), that is, the first distance measuring means 10 (a) causes the ultrasonic wave emitting means 6 to emit ultrasonic waves R and RR, causes the ultrasonic wave receiving means 81 and 92 to receive them, and (CI) At the same time, a clock signal is generated, and after detecting the propagation time T and TRR of the two ultrasonic waves R and RR using this clock signal, the following calculations are performed.

第5[i4参照 第1の受信手段θIの受信する超音波Rの伝播時間TR
を第2の受信手段82の受信する超音波RRの伝播時間
T□をもって除してその比Tをめ、この比にTに射出手
段6と第2の受信手段82との距離りを乗じて射出手段
6と第2の受信手段92(工具すなわち移動体5)との
距離Aをめる。
5th [i4 reference propagation time TR of the ultrasonic wave R received by the first receiving means θI
is divided by the propagation time T□ of the ultrasonic wave RR received by the second receiving means 82 to find the ratio T, and this ratio is multiplied by the distance between the emitting means 6 and the second receiving means 82. A distance A between the injection means 6 and the second receiving means 92 (tool, that is, the moving body 5) is determined.

た−1超音波は指向性となし難いから比較的速く減衰す
るが、この発明にあっては超音波の伝播距離が第1の発
明の場合の展、とされているので、長大な工作機械に適
用可能であり、この発明においては、この第1の距離測
定手段の誤差dはベッド長を2mとして1■鵬である。
-1 Ultrasonic waves are difficult to make directional, so they attenuate relatively quickly, but in this invention, the propagation distance of ultrasonic waves is an extension of that in the first invention, so it is difficult to make ultrasonic waves directional. In the present invention, the error d of this first distance measuring means is 1 sq. when the bed length is 2 m.

第4図再参照 11はリードスクリュウ3を駆動するモータであり、1
2はモーター1の軸に直結されているレゾルバであり、
13はレゾルバ12を使用するインクリメンタル距離測
定手段であり、この例においては、その最大測定距11
11aは2謙層であり、その誤差は2gm(精度0.1
%)である。
Referring again to FIG. 4, reference numeral 11 is a motor that drives the lead screw 3;
2 is a resolver directly connected to the shaft of motor 1,
13 is an incremental distance measuring means using a resolver 12, and in this example, its maximum measuring distance 11
11a is a 2-layer, and its error is 2gm (accuracy 0.1
%).

14は絶対距離測定手段であり、15は判定手段であり
、いづれも計算機をもって構成され、第3図を参照して
説明した第1の発明の実施例の構成と全く同一であり、
これらの手段14.15によりめられる値Cをめる絶対
距離と認定する。
14 is an absolute distance measuring means, 15 is a determining means, both of which are configured with a calculator, and are completely the same in configuration as the embodiment of the first invention described with reference to FIG. 3,
The value C determined by these means 14 and 15 is recognized as the absolute distance.

″フ3の− の 第6図参照 図において、lは工作機械例えば旋盤であり、2はテー
ブルであり、リートスクリュウ3によってへ、ト4にそ
って移動され、工具(移動体)5を支持する。 61は
超音波射出手段であり工具(移動体)5に設けられ、工
具(移動体)5の移動経路にそって互いに逆方向に超音
波U、UUを射出する。93は工作機械上に設けられる
基準点に配設される第1の超音波受信手段であり、94
は工具(移動体)5の移動経路の末端に配設される第2
の超音波受信手段であり、lOは上記二つの受信手段9
3.94の入射波U、UUの伝播時間を検出し、これら
の和(T + T Uυ)をもって第1の受信子段93
の受信する超音波の伝播時間TUを除し、この結果に、
工作機械上に設けられる基準点と工具(移動体)5の移
動経路の末端との距離(基準長)を乗して、基準点と超
音波射出手段61との距離Aをめる手段である。すなわ
ち、この第1の距離測定手段10は、(イ)、t1N音
波射出手段61に超音波U、UUを射出させ、超音波受
信手段93.94に超音波U、UUを受信させ、(ロ)
同時にクロック信号を発生しており、このクロック信号
を使用して二つの超音波U、UUの伝播時間T0、TU
Uを検出した後、下記の演算を実行する。
6, reference numeral 1 is a machine tool, such as a lathe, and 2 is a table, which is moved by a lead screw 3 and along a 4, and supports a tool (moving body) 5. Reference numeral 61 denotes an ultrasonic emitting means, which is provided on the tool (moving body) 5 and emits ultrasonic waves U and UU in mutually opposite directions along the moving path of the tool (moving body) 5. Reference numeral 93 indicates an ultrasonic wave emitting means on the machine tool. a first ultrasonic receiving means disposed at a reference point provided at 94
is the second one located at the end of the moving path of the tool (moving body) 5.
is the ultrasonic receiving means 9, and lO is the above two receiving means 9.
3.94 of the propagation times of the incident waves U and UU are detected, and the sum of these (T + T Uυ) is used as the first receiver stage 93.
Divide the propagation time TU of the received ultrasonic wave, and from this result,
This is a means of calculating the distance A between the reference point and the ultrasonic emission means 61 by multiplying the distance (reference length) between the reference point provided on the machine tool and the end of the moving path of the tool (moving body) 5. . That is, this first distance measuring means 10 (a) causes the t1N sound wave emitting means 61 to emit the ultrasonic waves U and UU, causes the ultrasonic wave receiving means 93 and 94 to receive the ultrasonic waves U and UU, and (b) )
A clock signal is generated at the same time, and this clock signal is used to calculate the propagation times T0 and TU of the two ultrasonic waves U and UU.
After detecting U, perform the following calculation.

第7図参照 第1の受信手段83の受信する超音波Uの伝播時間TU
と第2の受信手段84の受信する超音波UUの伝播時間
T、Uとの和をもって、第1の受信手段83の受信する
超音波Uの伝播時間T、を除してその比Tをめ、この比
Tに工作機械上に設けられる基準点と工具(移動体)5
の移動経路の末端との距til&(基準長)Lを乗じて
、基準点と、超音波射出手段61との距離Aをめる。こ
の発明においては、超音波の伝播距離が第2の発明の場
合より大幅に短縮されているので、この第1の距離測定
手段の誤差dはベッド長を3mとしてll1mであり、
さらに長大な工作機械にも適用可能である。
Refer to FIG. 7 Propagation time TU of the ultrasonic wave U received by the first receiving means 83
The propagation time T of the ultrasonic wave U received by the first receiving means 83 is divided by the sum of the propagation time T, U of the ultrasonic wave UU received by the second receiving means 84, and the ratio T is calculated. , the reference point and tool (moving body) 5 provided on the machine tool at this ratio T.
The distance A between the reference point and the ultrasonic wave emitting means 61 is calculated by multiplying by the distance til & (reference length) L from the end of the moving path. In this invention, the propagation distance of the ultrasonic waves is much shorter than in the second invention, so the error d of the first distance measuring means is 11 m, assuming a bed length of 3 m.
Furthermore, it is also applicable to long machine tools.

第6回内参照 11はリードスクリュウ3を駆動するモータであり、1
2はモータ11の軸に直結されているレゾルバであり、
13はレゾルバ12を使用するインクリメンタル距離測
定手段であり、この例においては、その最大測定距離a
は2■であり、その誤差は2ルm (精度0.1%)で
ある。
Reference 11 in the 6th article is a motor that drives the lead screw 3, and 1
2 is a resolver directly connected to the shaft of the motor 11;
13 is an incremental distance measuring means using the resolver 12, and in this example, its maximum measurement distance a
is 2■, and its error is 2 m (accuracy 0.1%).

14は絶対距離測定手段であり、15は判定手段であり
、いづれも計算機をもって構成され、第3図を参照して
説明した第1の発明の実施例の構成と全く同一であり、
これらの手段14.15によりめられる値Cをめる絶対
距離と認定する。
14 is an absolute distance measuring means, 15 is a determining means, both of which are configured with a calculator, and are completely the same in configuration as the embodiment of the first invention described with reference to FIG. 3,
The value C determined by these means 14 and 15 is recognized as the absolute distance.

(7)発明の詳細 な説明せるとおり、本発明によれば、工作機械上に設け
られた基準点と工作機械上を移動する移動体例えば工具
との間の絶対距離を、簡易にしかも精密に測定しうる工
作機械用距離測定装置を提供することができる。
(7) As described in detail, according to the present invention, the absolute distance between a reference point provided on a machine tool and a moving object such as a tool that moves on the machine tool can be easily and precisely determined. It is possible to provide a distance measuring device for a machine tool that can measure distances.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は第1の発明の実施例に係るクレーム対応図であ
る。第2図はその第1の距離測定手段のフローチャート
である。第3図は、第1.第2、第3の発明の実施例に
含まれる絶対距離測定手段と判定手段のフローチャート
である。第4図は第2の発明の実施例に係るクレーム対
応図である。 第5図はその第1の距離測定手段のフローチャートであ
る。第6図は第3の発明の実施例に係るクレーム対応図
である。第7図はその第1の距離測定手段のフローチャ
ートである。 1−−・工作機械、2.・−テーブル、3.9・リード
スクリュウ、41・へツ]・、5・・・工具(移動体)
、 6.61會 ・・超音波射出手段、 7・・・第1
の超音波反射手段、8・・・第2の超音波反射手段、 
9−拳・超音波受信手段、 10・・・第1の距離測定
手段、11・・拳モータ、 12・壷・レンルパ、13
拳・・インクリメンタル距離測定手段、 14−・・絶
対距離測定手段、 15・・・判定手段、 91.93
・・・第1の超音波受信手段、 92.84・・・第2
の超音波受信手段。 代理人 弁理士 寒用誠− 第
FIG. 1 is a claim correspondence diagram according to the first embodiment of the invention. FIG. 2 is a flowchart of the first distance measuring means. Figure 3 shows the 1. It is a flowchart of an absolute distance measuring means and a determining means included in the embodiments of the second and third inventions. FIG. 4 is a claim correspondence diagram according to the second embodiment of the invention. FIG. 5 is a flowchart of the first distance measuring means. FIG. 6 is a claim correspondence diagram according to the third embodiment of the invention. FIG. 7 is a flowchart of the first distance measuring means. 1--・Machine tools, 2.・-Table, 3.9・Lead screw, 41・Hetsu]・, 5...Tool (moving object)
, 6.61 meeting...Ultrasonic emission means, 7...1st
Ultrasonic wave reflecting means, 8... second ultrasonic wave reflecting means,
9-fist/ultrasonic receiving means, 10... first distance measuring means, 11... fist motor, 12-pot/lenrupa, 13
Fist... Incremental distance measuring means, 14-... Absolute distance measuring means, 15... Judgment means, 91.93
...first ultrasonic receiving means, 92.84...second
ultrasonic receiving means. Agent Patent Attorney Makoto Kanyo - No.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)工作機械上を移動する移動体の移動経路にそって
超音波を射出する超音波射出手段と、前記移動体に設け
られる第1の超音波反射手段と、前記移動経路の末端に
配設される第2の超音波反射f1段と、前記二つの反射
手段の反射波を受信する超音波受信手段と、前記二つの
反射手段の反射波の伝播時間を検出し、それらの比を演
算し、これに前記射出手段と前記第2の反射手段との距
離を乗じて前記射出手段と前記移動体との距離Aをめる
第1の距離測定手段と、該第1の距離測定手段によって
測定された距離A近傍におけるインクリメンタル距離を
測定するインクリメンタル距離測定手段と、前記距離A
を前記インクリメンタル距離測定手段の最大測定距離a
をもって除し、その商Bを整数化して整数化されたB゛
をめ。 これに前記最大測定距離aを乗じ、前記インクリメンタ
ル距離測定手段の読みdを加え、その和から前記インク
リメンタル距離測定手段のオフセットCを減して絶対距
離Cをめる絶対距離測定手段と、該絶対距離Cが、 A+d>C>A−d 但し、 dは第1の距離測定手段の精度である。 であることを判定する判定手段とを有する、工作機械用
距離測定装置。
(1) An ultrasonic wave emitting device that emits ultrasonic waves along a moving path of a moving body moving on a machine tool, a first ultrasonic reflecting device provided on the moving body, and a first ultrasonic reflecting device disposed at the end of the moving path. A second ultrasonic reflection f1 stage provided, an ultrasonic reception means for receiving the reflected waves of the two reflection means, and a propagation time of the reflected waves of the two reflection means are detected, and a ratio thereof is calculated. and a first distance measuring means that calculates the distance A between the emitting means and the moving body by multiplying this by the distance between the emitting means and the second reflecting means; an incremental distance measuring means for measuring an incremental distance in the vicinity of the measured distance A;
is the maximum measurement distance a of the incremental distance measurement means
Divide by , convert the quotient B to an integer, and find the integer B. an absolute distance measuring means that calculates the absolute distance C by multiplying this by the maximum measurement distance a, adding the reading d of the incremental distance measuring means, and subtracting the offset C of the incremental distance measuring means from the sum; The distance C is A+d>C>A-d, where d is the accuracy of the first distance measuring means. A distance measuring device for a machine tool, comprising determining means for determining that the distance measuring device is a machine tool.
(2)工作機械上を移動する移動体の移動経路にそって
超音波を射出する超音波射出手段と、前記移動体に設け
られる第1の超音波受信手段と、前記移動経路の木端に
配設される第2の超音波受信手段と、前記二つの受信手
段の受信する超音波の伝播時間を検出し、それらの比を
演算し、これに前記射出手段と前記第2の受信手段との
距離を乗じて前記射出手段と前記移動体との距離Aをめ
る第1の距離測定手段と、該第1の距離測定手段によっ
て測定された距離A近傍におけるインクリメンタル距離
を測定するインクリメンタル距離測夏手段と、前記距離
Aを前記インクリメンタル距11測定手段の最大測定距
離aをもって除し、そのg6 Bを整数化して整数化さ
れたB″をめ、これに前記最大測定距離aを乗じ、前記
インクリメンタル距離測定手段の読みdを加え、その和
から前記インクリメンタル距離測定手段のオフセットC
を減じて絶対距離Cをめる絶対距離測定手段と、該絶対
距離Cが、 A+d>C>A−d 但し、 dは第1の距離測定手段の精度である。 であることを判定する判定手段とを有する、工作機械用
距離測定装置。
(2) an ultrasonic wave emitting means for emitting ultrasonic waves along a moving path of a moving body moving on a machine tool; a first ultrasonic receiving means provided on the moving body; A second ultrasonic receiving means provided, detects the propagation time of the ultrasonic waves received by the two receiving means, calculates the ratio thereof, and calculates the ratio between the two ultrasonic receiving means and the second receiving means. a first distance measuring means that calculates the distance A between the ejection means and the moving body by multiplying the distance A, and an incremental distance measuring means that measures an incremental distance in the vicinity of the distance A measured by the first distance measuring means. Divide the distance A by the maximum measured distance a of the incremental distance 11 measuring means, convert g6 B into an integer, obtain the integer B'', multiply this by the maximum measured distance a, and divide the distance A by the maximum measured distance a of the incremental distance 11 measuring means. Add the reading d of the incremental distance measuring means, and from the sum, offset C of the incremental distance measuring means.
and an absolute distance measuring means that calculates the absolute distance C by subtracting the absolute distance C, and the absolute distance C is A+d>C>A-d, where d is the accuracy of the first distance measuring means. A distance measuring device for a machine tool, comprising determining means for determining that the distance measuring device is a machine tool.
(3)工作機械上を移動する移動体に設けられ該移動体
の移動経路にそって超音波を射出する超音波射出手段と
、前記移動経路の両端に配設される第1と第2の超音波
受信手段と、前記二つの受信手段の受信する超音波の伝
播時間を検出し、これらの和をもって前記第1の受信手
段の受信する超音波の伝播時間を除し、これに前記第1
と第2の受信手段間の距離を乗じて前記第1の超音波受
信手段と前記移動体との距離Aをめる第1の距離測定手
段と、該第1の距離測定手段によって測定された距離A
近傍におけるインクリメンタル距離を測定するインクリ
メンタル距離測定手段と、前記距離Aを前記インクリメ
ンタル距離測定手段の最大測定距離aをもって除し、そ
の商Bを整数化して整数化されたB′をめ、これに前記
最大測定距離aを乗じ、前記インクリメンタル距離測定
手段の読みdを加え、その和から前記インクリメンタル
距離測定手段のオフセットCを減じて絶対距離Cをめる
絶対距離測定手段と、該絶対距離Cが、 A+d>C>A−d 但し、 dは第1の距離測定手段の精度である。 であることを判定する判定手段とを有する、工作機械用
距離測定装置。
(3) Ultrasonic wave emitting means provided on a movable body moving on a machine tool and emitting ultrasonic waves along the moving path of the moving body, and first and second ultrasonic wave emitting means disposed at both ends of the moving path. The ultrasonic receiving means detects the propagation time of the ultrasonic waves received by the two receiving means, the propagation time of the ultrasonic waves received by the first receiving means is divided by the sum of these, and the propagation time of the ultrasonic waves received by the first receiving means is divided by the sum of these.
and a first distance measuring means that calculates the distance A between the first ultrasonic receiving means and the moving body by multiplying the distance A by the distance between the first ultrasonic receiving means and the second receiving means; distance A
an incremental distance measuring means for measuring incremental distances in the vicinity; dividing the distance A by the maximum measurement distance a of the incremental distance measuring means, converting the quotient B into an integer to obtain the integer B'; Absolute distance measuring means that calculates the absolute distance C by multiplying the maximum measurement distance a, adding the reading d of the incremental distance measuring means, and subtracting the offset C of the incremental distance measuring means from the sum, and the absolute distance C is A+d>C>A-d where d is the accuracy of the first distance measuring means. A distance measuring device for a machine tool, comprising determining means for determining that the distance measuring device is a machine tool.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4762001A (en) * 1986-07-03 1988-08-09 Siemens Aktiengesellschaft Arrangement for identifying the position of a movable body with ultrasound
US5154080A (en) * 1986-10-29 1992-10-13 Westinghouse Electric Corp. Integrated check valve testing system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4762001A (en) * 1986-07-03 1988-08-09 Siemens Aktiengesellschaft Arrangement for identifying the position of a movable body with ultrasound
US5154080A (en) * 1986-10-29 1992-10-13 Westinghouse Electric Corp. Integrated check valve testing system

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