JPH08328629A - Method for correcting moving position error and method for correcting and confirming moving position error for nc machine tool - Google Patents

Method for correcting moving position error and method for correcting and confirming moving position error for nc machine tool

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JPH08328629A
JPH08328629A JP7135047A JP13504795A JPH08328629A JP H08328629 A JPH08328629 A JP H08328629A JP 7135047 A JP7135047 A JP 7135047A JP 13504795 A JP13504795 A JP 13504795A JP H08328629 A JPH08328629 A JP H08328629A
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moving
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実 濱村
Jun Fujita
純 藤田
Yasuo Ozaki
安男 尾崎
Sadaji Hayama
定治 羽山
Katsuji Kakuhari
勝治 覚張
Hideki Hayashi
英樹 林
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Abstract

PURPOSE: To make a fine moving position correction into the one with high accuracy and to properly perform a moving position correction even for a moving position error including a dynamic error factor by performing a moving position error correction based on calculated dynamic position error amount. CONSTITUTION: NC program execution part 9 of an NC device 7 executes an NC program and outputs a moving command to a driving control part 11. The driving control part 11 controls the rotation control of a servo motor 3. The moving command for the measurement of the moving position of this machine is also outputted to a dynamic position error arithmetic computer 25. The dynamic position error arithmetic part 29 of the dynamic position error arithmetic computer 25 calculates dynamic position error amount by the difference of the machine positional data of a command value data storage part 27 and the measured value data of a measured value data storage part 28. Further, a moving location error correction arthmethic computer 31 calculates the moving position error correction value based on the dynamic position error amount and outputs the correction value data to the correction arithmetic part 33 of the driving control part 11. Namely, dynamic position error amount data is converted into moving position error correction value data.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、NC工作機械の移動位
置誤差補正方法および移動位置誤差補正確認方法に関
し、特に動的変位計測法により計測される機械の移動位
置に基づく移動位置の誤差補正方法および移動位置誤差
補正結果を確認する方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving position error correction method and a moving position error correction confirmation method for an NC machine tool, and more particularly to a moving position error correction based on a moving position of a machine measured by a dynamic displacement measuring method. The present invention relates to a method and a method of confirming a movement position error correction result.

【0002】[0002]

【従来の技術】NC工作機械において、送りねじピッチ
のサイクリックエラー等に起因する工作機械の移動位置
誤差を補正する方法として、所定ピッチをもって複数個
の測定点を設定し、この各測定点に機械を移動させ、そ
の各測定点において機械を停止させて基準位置よりの機
械の移動位置を計測手段により計測し、その計測値に基
づいて各測定点における位置誤差量からその各測定点を
補正点座標とした移動位置誤差補正量を算出し、その各
補正点座標について移動位置誤差補正量を設定するピッ
チ誤差点補正方法と、各測定点における位置誤差量から
その各測定点における移動位置誤差補正量を算出し、こ
の移動位置誤差補正量より測定点間における移動位置誤
差補正量を直線補間による演算により設定するピッチ誤
差勾配補正方法とが知られている。
2. Description of the Related Art In an NC machine tool, as a method of correcting a moving position error of a machine tool due to a cyclic error of a feed screw pitch, etc., a plurality of measuring points are set at a predetermined pitch and each measuring point is set. The machine is moved, the machine is stopped at each measuring point, the moving position of the machine from the reference position is measured by the measuring means, and each measuring point is corrected from the position error amount at each measuring point based on the measured value. Pitch error point correction method that calculates the moving position error correction amount as point coordinates and sets the moving position error correction amount for each correction point coordinate, and the moving position error at each measuring point from the position error amount at each measuring point A pitch error gradient correction method for calculating a correction amount and setting a movement position error correction amount between measurement points by calculation based on the movement position error correction amount by linear interpolation. It is known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来一般に、ピッチ誤
差点補正方法における補正点座標の設定個数は機械の移
動ストロークに拘らず、数10点程度、多くの場合、最
大で80点程度であり、このためこの補正方法では、5
0〜100mm程度の比較的大きい間隔をもって補正点
座標が設定され、細かい補正を行うことができない。
Generally, the number of correction point coordinates set in the pitch error point correction method is generally about several tens of points regardless of the moving stroke of the machine, and in most cases, about 80 points at maximum. Therefore, in this correction method, 5
The correction point coordinates are set at relatively large intervals of about 0 to 100 mm, and fine correction cannot be performed.

【0004】図8(a)に示されているように、補正点
座標の間隔、換言すれば誤差の測定点ピッチが大きい
と、サイクリックエラーによる誤差を検出できず、サイ
クリックエラーを補償することができない。このことは
図8(b)に示されているように、誤差の測定点ピッチ
を小さくすることにより解消できるが、しかし測定点ピ
ッチを小さくすることも、測定時間の問題によって限度
があり、機械の動きと同等の測定データを得ることが難
しい。
As shown in FIG. 8 (a), when the interval between the correction point coordinates, in other words, the error measurement point pitch is large, the error due to the cyclic error cannot be detected and the cyclic error is compensated. I can't. This can be solved by reducing the measurement point pitch of the error as shown in FIG. 8B, but the reduction of the measurement point pitch is also limited due to the problem of the measurement time. It is difficult to obtain measurement data equivalent to the movement of

【0005】ピッチ誤差勾配補正方法では、補正精度が
少し改善されるが、しかし機械の移動位置の計測点個数
はピッチ誤差点補正方法における場合と同等であるか
ら、大幅には改善されない。
In the pitch error gradient correction method, the correction accuracy is slightly improved, but since the number of measuring points at the moving position of the machine is the same as in the pitch error point correction method, it is not significantly improved.

【0006】またピッチ誤差点補正方法とピッチ誤差勾
配補正方法の何れにおいても、機械の移動位置の計測
は、機械を停止させて行うため、測定に時間がかかり、
補正精度の向上のために計測点間隔が微小化されるほど
測定に時間がかかることになる。
Further, in both the pitch error point correction method and the pitch error gradient correction method, since the machine moving position is measured while the machine is stopped, it takes a long time to perform the measurement.
The smaller the measurement point interval for improving the correction accuracy, the longer the measurement takes.

【0007】また何れの場合も機械の移動位置の計測が
機械を停止させて行う静的測定であるため静的誤差要因
による移動位置誤差を補正できても、機械移動の速度、
加減速、ロストモーションなどの影響を受ける動的誤差
要因を含む移動位置誤差について補正することはできな
い。
In any case, since the measurement of the moving position of the machine is a static measurement performed by stopping the machine, even if the moving position error due to the static error factor can be corrected, the speed of the machine movement,
It is not possible to correct the moving position error including the dynamic error factors affected by acceleration / deceleration, lost motion, and the like.

【0008】また、従来は、移動位置誤差補正の結果を
容易に確認することができない。
Further, conventionally, the result of the movement position error correction cannot be easily confirmed.

【0009】本発明は、上述の如き問題点に着目してな
されたものであり、移動位置誤差検出のための機械の移
動位置の計測に時間がかかることがなく、細かい移動位
置補正を行え、しかも動的誤差要因を含む移動位置誤差
に関しても適切に移動位置補正を行い、更にはドループ
量、温度変化を加味して更に高精度な移動位置誤差補正
を行うNC工作機械の移動位置誤差補正方法および移動
位置誤差補正の結果を容易に確認できるようにする移動
位置誤差補正確認方法を提供することを目的としてい
る。
The present invention has been made by paying attention to the above-mentioned problems, and it does not take time to measure the moving position of the machine for detecting the moving position error, and fine moving position correction can be performed. Moreover, a moving position error correction method for an NC machine tool that appropriately corrects the moving position error including a dynamic error factor, and further corrects the moving position error in consideration of the droop amount and temperature change. Another object of the present invention is to provide a moving position error correction confirmation method that enables the result of moving position error correction to be easily confirmed.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上述の如き目的を達成す
るために、請求項1によるNC工作機械の移動位置誤差
補正方法は、NC装置より工作機械のサーボモータの駆
動制御部へ移動指令を出力し、この移動指令により機械
を移動させながら機械の移動位置を動的変位計測法によ
り計測し、前記駆動制御部へ出力した移動指令が示す機
械位置と前記動的変位計測法により計測された機械の移
動位置との差より動的位置誤差量を算出し、この動的位
置誤差量に基づいて移動位置誤差補正を行うことを特徴
としている。
In order to achieve the above-mentioned object, a method of correcting a moving position error of an NC machine tool according to a first aspect of the present invention issues a movement command from a NC device to a drive control section of a servo motor of a machine tool. The moving position of the machine was measured by the dynamic displacement measuring method while the machine was moved according to this moving command, and the machine position indicated by the moving command output to the drive control section and the dynamic displacement measuring method were measured. It is characterized in that the dynamic position error amount is calculated from the difference from the moving position of the machine, and the moving position error is corrected based on this dynamic position error amount.

【0011】この補正方法で使用される動的変位計測法
には、ダイナミックレーザシステムを使用してレーザビ
ームを固定配置のビームスプリッタおよび反射用プリズ
ムと機械移動体に配置した反射用プリズムとに照射し、
ドップラ効果によるレーザビームの周波数差を検出して
機械の移動位置を計測するレーザ干渉法を応用したもの
がある。
The dynamic displacement measuring method used in this correction method uses a dynamic laser system to irradiate a laser beam to a beam splitter and a reflecting prism which are fixedly arranged and a reflecting prism which is arranged on a mechanical moving body. Then
There is an application of a laser interferometry method for measuring the moving position of a machine by detecting the frequency difference of the laser beam due to the Doppler effect.

【0012】請求項2によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、NC装置より工作機械のサーボモータの
駆動制御部へ移動指令を出力し、この移動指令により機
械を移動させながら機械の移動位置を動的変位計測法に
より計測すると共に前記サーボモータの回転量を検出
し、前記動的変位計測法により計測された機械の移動位
置と前記サーボモータの回転量検出値が示す機械位置と
の差より動的位置誤差量を算出し、この動的位置誤差量
に基づいて移動位置誤差補正を行うことを特徴としてい
る。
According to the moving position error correcting method of the NC machine tool according to the second aspect, a moving command is output from the NC device to the drive control section of the servo motor of the machine tool, and the moving position of the machine is moved while moving the machine according to this moving command. Is detected by a dynamic displacement measuring method and the rotation amount of the servo motor is detected, and the difference between the moving position of the machine measured by the dynamic displacement measuring method and the machine position indicated by the rotation amount detected value of the servo motor. It is characterized in that the dynamic position error amount is calculated more and the moving position error is corrected based on the dynamic position error amount.

【0013】請求項3によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、請求項1または2に記載のNC工作機械
の移動位置誤差補正方法において、前記動的変位計測法
による機械の移動位置の計測を機械移動の往路と復路の
各々で行って往路と復路とで各々個別に前記動的位置誤
差量を算出し、動的位置誤差量に基づく移動位置誤差補
正を往路と復路とで各々個別に行うことを特徴としてい
る。
A moving position error correcting method for an NC machine tool according to a third aspect is the moving position error correcting method for an NC machine tool according to the first or second aspect, in which the moving position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring method. Is performed for each of the forward and return paths of the machine movement, and the dynamic position error amount is calculated for each of the forward and return paths, and the movement position error correction based on the dynamic position error amount is separately performed for the forward and return paths. It is characterized by doing.

【0014】請求項4によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、請求項1または2に記載のNC工作機械
の移動位置誤差補正方法において、前記動的変位計測法
による機械の移動位置の計測を機械移動の往路と復路の
各々で行い、往路と復路とで各々個別に前記動的位置誤
差量を算出し、往路と復路の動的位置誤差量の平均値に
基づいて移動位置誤差補正を行うことを特徴としてい
る。
A moving position error correcting method for an NC machine tool according to a fourth aspect is the moving position error correcting method for an NC machine tool according to the first or second aspect, in which the moving position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring method. Is performed for each of the forward and return paths of mechanical movement, the dynamic position error amount is calculated for each of the forward and return paths, and the movement position error correction is performed based on the average value of the dynamic position error amounts for the forward and return paths. It is characterized by doing.

【0015】請求項5によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、請求項1〜4の何れかに記載のNC工作
機械の移動位置誤差補正方法において、前記動的位置誤
差量のサンプリング間隔を所要の補正サイクルピッチに
応じて設定することを特徴としている。
A moving position error correcting method for an NC machine tool according to a fifth aspect of the present invention is the moving position error correcting method for an NC machine tool according to any one of the first to fourth aspects, in which a sampling interval of the dynamic position error amount is set. It is characterized in that it is set according to a required correction cycle pitch.

【0016】請求項6によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、請求項1〜5の何れかに記載のNC工作
機械の移動位置誤差補正方法において、前記動的位置誤
差量より高周波成分を除去した値に基づいて移動位置誤
差補正を行うことを特徴としている。
A moving position error correcting method for an NC machine tool according to a sixth aspect is the moving position error correcting method for an NC machine tool according to any one of the first to fifth aspects, in which a higher frequency component than the dynamic position error amount is added. It is characterized in that the moving position error is corrected based on the removed value.

【0017】この高周波成分の除去はローパスフィルタ
による信号処理により行うことができる。
This high frequency component can be removed by signal processing using a low pass filter.

【0018】請求項7によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、請求項1〜6の何れかに記載のNC工作
機械の移動位置誤差補正方法において、前記動的位置誤
差量あるいは当該動的位置誤差量に基づく移動位置誤差
補正量が設定値以上の場合には前記動的変位計測法によ
る機械の移動位置の計測を再度行い、動的位置誤差量の
算出を再度行うことを特徴としている。
A moving position error correction method for an NC machine tool according to a seventh aspect is the moving position error correction method for an NC machine tool according to any one of the first to sixth aspects, wherein the dynamic position error amount or the dynamic position error is corrected. When the moving position error correction amount based on the position error amount is equal to or more than a set value, the moving position of the machine is measured again by the dynamic displacement measuring method, and the dynamic position error amount is calculated again. .

【0019】請求項8によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、請求項1〜7の何れかに記載のNC工作
機械の移動位置誤差補正方法において、多軸同時移動に
おいて、前記動的変位計測法による機械の移動位置の計
測を各軸毎に行なって前記動的位置誤差量の算出を各軸
毎に行い、その各軸毎の動的位置誤差量に基づて移動位
置誤差補正を各軸毎に行うことを特徴としている。
A method for correcting a moving position error of an NC machine tool according to claim 8 is the method for correcting a moving position error of an NC machine tool according to any one of claims 1 to 7, wherein the dynamic displacement is performed in multi-axis simultaneous movement. The moving position of the machine is measured by the measuring method for each axis and the dynamic position error amount is calculated for each axis, and the moving position error is corrected based on the dynamic position error amount for each axis. The feature is that it is performed for each axis.

【0020】請求項9によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法は、請求項1〜8の何れかに記載のNC工作
機械の移動位置誤差補正方法において、機械移動速度と
前記サーボモータの位置フィードバックのループゲイン
よりドループ量を算出し、ドループ量を加味して前記移
動位置誤差補正を行うことを特徴としている。
A method of correcting a moving position error of an NC machine tool according to a ninth aspect is the method of correcting a moving position error of an NC machine tool according to any one of the first to eighth aspects, wherein the machine moving speed and the position feedback of the servomotor are fed back. The droop amount is calculated from the loop gain and the moving position error is corrected by adding the droop amount.

【0021】請求項10によるNC工作機械の移動位置
誤差補正方法は、請求項1〜9の何れかに記載のNC工
作機械の移動位置誤差補正方法において、温度検出手段
により温度を検出し、前記温度検出手段により検出され
た温度を加味して前記移動位置誤差補正を行うことを特
徴としている。
A moving position error correcting method for an NC machine tool according to a tenth aspect is the moving position error correcting method for an NC machine tool according to any one of the first to ninth aspects, in which a temperature is detected by a temperature detecting means, It is characterized in that the moving position error correction is performed in consideration of the temperature detected by the temperature detecting means.

【0022】請求項11によるNC工作機械の移動位置
誤差補正確認方法は、NC装置より工作機械のサーボモ
ータの駆動制御部へ移動位置誤差補正された移動指令を
出力し、この移動指令により機械を移動させながら機械
の移動位置を動的変位計測法により計測し、前記駆動制
御部へ出力した移動指令が示す機械位置と前記動的変位
計測法により計測された機械の移動位置との差より動的
位置誤差量を算出し、この動的位置誤差量を出力するこ
とを特徴としている。
According to the method for confirming the correction of the moving position error of the NC machine tool according to the eleventh aspect of the present invention, the NC device outputs a moving command corrected for the moving position error to the drive control section of the servo motor of the machine tool, and the machine is driven by this moving command. While moving, the moving position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring method, and the movement is calculated from the difference between the machine position indicated by the moving command output to the drive control unit and the moving position of the machine measured by the dynamic displacement measuring method. It is characterized in that the dynamic position error amount is calculated and the dynamic position error amount is output.

【0023】[0023]

【作用】請求項1によるNC工作機械の移動位置誤差補
正方法では、NC装置より工作機械のサーボモータの駆
動部へ出力した移動指令により機械が移動している状態
にてレーザ干渉法等による動的変位計測法により機械の
移動位置を連続的に計測し、この動的変位計測法により
連続的に計測した機械の移動位置とサーボモータ駆動部
へ出力した移動指令が示す機械位置との差より動的位置
誤差量を算出し、この動的位置誤差量により移動位置誤
差補正を行う。
According to the moving position error compensating method for the NC machine tool according to the first aspect of the present invention, the moving position error is corrected by the laser interference method or the like while the machine is moving according to the moving command output from the NC device to the drive section of the servo motor of the machine tool. The moving position of the machine is continuously measured by the dynamic displacement measuring method, and the difference between the moving position of the machine continuously measured by this dynamic displacement measuring method and the machine position indicated by the movement command output to the servo motor drive is calculated. The dynamic position error amount is calculated, and the moving position error is corrected based on this dynamic position error amount.

【0024】請求項2によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、NC装置より工作機械のサーボモータ
の駆動部へ出力した移動指令により機械が移動している
状態にてレーザ干渉法等による動的変位計測法により機
械の移動位置を連続的に計測すると共にサーボモータの
回転量を検出し、動的変位計測法により計測された機械
の移動位置とサーボモータの回転量検出値が示す機械位
置との差より動的位置誤差量を算出し、この動的位置誤
差量に基づいて移動位置誤差補正を行う。
According to the moving position error correcting method of the NC machine tool according to the second aspect of the present invention, the moving position error is corrected by the laser interference method or the like while the machine is moving according to the moving command output from the NC device to the drive unit of the servo motor of the machine tool. The machine displacement position is continuously measured by the dynamic displacement measurement method, the rotation amount of the servo motor is detected, and the machine movement position measured by the dynamic displacement measurement method and the machine position indicated by the servo motor rotation amount detection value. Then, the dynamic position error amount is calculated from the difference between and, and the moving position error correction is performed based on this dynamic position error amount.

【0025】請求項3によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、上述の動的変位計測法による機械の移
動位置の計測を機械移動の往路と復路の各々で行って往
路と復路とで個別に前記動的位置誤差量を算出し、移動
位置誤差補正を往路と復路とで個別の動的位置誤差量に
基づいて行う。
In the NC machine tool moving position error correcting method according to the third aspect, the moving position of the machine is measured by the above-mentioned dynamic displacement measuring method on each of the forward and backward paths of the machine movement, and the forward and backward paths are individually performed. Then, the dynamic position error amount is calculated, and the moving position error correction is performed on the forward path and the return path based on the individual dynamic position error amount.

【0026】請求項4によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、上述の動的変位計測法による機械の移
動位置の計測を機械移動の往路と復路の各々で行って往
路と復路とで個別に前記動的位置誤差量を算出し、往路
と復路の動的位置誤差量の平均値に基づいて往路と復路
の移動位置誤差補正を行う。
In the NC machine tool moving position error correction method according to the fourth aspect, the moving position of the machine is measured by the above-mentioned dynamic displacement measuring method on each of the forward and backward paths of the machine movement, and the forward and backward paths are individually performed. Then, the dynamic position error amount is calculated, and based on the average value of the dynamic position error amounts of the forward and backward passes, the moving position error of the forward and backward passes is corrected.

【0027】請求項5によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、必要以上に移動位置誤差補正が行われ
ることを回避すべく、前記動的位置誤差量のサンプリン
グ間隔を所要の補正サイクルピッチに応じて設定する。
In the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the fifth aspect, the sampling interval of the dynamic position error amount is set to a required correction cycle pitch in order to avoid performing the moving position error correction more than necessary. Set accordingly.

【0028】請求項6によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、ローパスフィルタによる信号処理など
によって前記動的位置誤差量のうち再現性がない高周波
成分が除去された値に基づいて移動位置誤差補正を行
う。
In the moving position error correcting method for an NC machine tool according to a sixth aspect of the invention, the moving position error is corrected based on a value obtained by removing a non-reproducible high frequency component of the dynamic position error amount by signal processing by a low pass filter. Make a correction.

【0029】請求項7によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、前記動的位置誤差量あるいは当該動的
位置誤差量に基づく移動位置誤差補正量が設定値以上の
場合には機械の移動位置計測時に一過性の大きい外乱が
生じたとして前記動的変位計測法による機械の移動位置
の計測を再度行なって動的位置誤差量の再計算する。
In the NC machine tool moving position error correction method according to the present invention, when the dynamic position error amount or the moving position error correction amount based on the dynamic position error amount is equal to or more than a set value, the moving position of the machine is moved. Assuming that a large transient disturbance occurs during measurement, the moving position of the machine is measured again by the dynamic displacement measuring method to recalculate the dynamic position error amount.

【0030】請求項8によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、上述の動的変位計測法による機械の移
動位置の計測を各軸毎に行い、その各軸毎の動的位置誤
差量に基づて各軸毎に移動位置誤差補正を行う。
In the NC machine tool moving position error correcting method according to the eighth aspect, the moving position of the machine is measured for each axis by the above-mentioned dynamic displacement measuring method, and the dynamic position error amount for each axis is calculated. Based on this, the movement position error is corrected for each axis.

【0031】請求項9によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、動的位置誤差量により移動位置誤差補
正を、ドループ量を加味して行う。
In the NC machine tool moving position error correction method according to the ninth aspect, the moving position error correction is performed by the dynamic position error amount in consideration of the droop amount.

【0032】請求項10によるNC工作機械の移動位置
誤差補正方法では、動的位置誤差量により移動位置誤差
補正を、温度を加味して行う。
In the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the tenth aspect, the moving position error is corrected by the dynamic position error amount in consideration of temperature.

【0033】請求項11によるNC工作機械の移動位置
誤差補正確認方法では、NC装置より工作機械のサーボ
モータの駆動部へ出力した移動位置誤差補正後の移動指
令により機械が移動している状態にてレーザ干渉法等に
よる動的変位計測法により機械の移動位置を連続的に計
測し、動的変位計測法により連続的に計測した機械の移
動位置と移動位置誤差補正後の移動指令が示す機械位置
との差より動的位置誤差量を算出し、この動的位置誤差
量を出力する。この出力情報より移動位置誤差補正結果
を定量的に確認、評価することができる。
In the NC machine tool moving position error correction confirmation method according to the eleventh aspect of the present invention, the machine is moved by the moving command after the moving position error correction output from the NC device to the servomotor drive unit of the machine tool. The machine's movement position is continuously measured by the dynamic displacement measurement method using laser interferometry, etc., and the machine's movement position continuously measured by the dynamic displacement measurement method and the machine indicated by the movement command after the movement position error is corrected The dynamic position error amount is calculated from the difference from the position, and this dynamic position error amount is output. From this output information, the moving position error correction result can be quantitatively confirmed and evaluated.

【0034】[0034]

【実施例】以下に添付の図を参照して本発明を実施例に
ついて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0035】図1は本発明によるNC工作機械の移動位
置誤差補正方法の実施に使用する移動位置誤差補正シス
テムの一実施例を示している。図1において、符号1は
NC工作機械のテーブルを示している。テーブル1はサ
ーボモータ3によって回転駆動される送りねじ5により
図1において左右方向に移動する。
FIG. 1 shows an embodiment of a moving position error correcting system used for implementing the moving position error correcting method for an NC machine tool according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 indicates a table of the NC machine tool. The table 1 is moved in the left-right direction in FIG. 1 by a feed screw 5 which is rotationally driven by a servo motor 3.

【0036】NC装置7は、NCプログラム実行部9
と、サーボモータ3の駆動制御部11とを有している。
NCプログラム実行部9は、NCプログラムを実行し、
移動指令を駆動制御部11へ出力する。駆動制御部11
はサーボモータ3に接続されたロータリエンコーダ13
よりサーボモータ3の回転量を位置フィードバック信号
として入力し、セミクローズドループ方式にてサーボモ
ータ3の回転駆動を制御する。
The NC device 7 includes an NC program execution unit 9
And a drive control unit 11 of the servo motor 3.
The NC program execution unit 9 executes the NC program,
The movement command is output to the drive control unit 11. Drive controller 11
Is a rotary encoder 13 connected to the servomotor 3.
The rotation amount of the servo motor 3 is input as a position feedback signal, and the rotation drive of the servo motor 3 is controlled by the semi-closed loop method.

【0037】機械の移動位置の計測時には、NC工作機
械に動的変位計測装置15が取り付けられる。動的変位
計測装置15は、レーザ干渉計を利用したものであり、
レーザ出力装置やレーザ受光器などを含む計測器本体1
7と、固定配置のビームスプリッタ19およびビームス
プリッタ19に接続された反射用プリズム21と、テー
ブル1に取り付けられた可動反射用プリズム23とを有
している。
At the time of measuring the moving position of the machine, the dynamic displacement measuring device 15 is attached to the NC machine tool. The dynamic displacement measuring device 15 uses a laser interferometer,
Measuring instrument body 1 including laser output device and laser receiver
7, a fixedly arranged beam splitter 19, a reflecting prism 21 connected to the beam splitter 19, and a movable reflecting prism 23 attached to the table 1.

【0038】動的変位計測装置15は、計測器本体17
より出射されたレーザビームをビームスプリッタ19に
よって分光し、分光したレーザビームの一方を参照光と
して反射用プリズム21にて計測器本体17に折り帰え
させ、他方のレーザビームの一方を計測光として可動反
射用プリズム23にて計測器本体17に折り帰えさせ、
テーブル1の移動によって計測光の光路長さが変化する
ことによりドップラ効果で変化する計測光の周波数と参
照光の周波数との差を検出し、これによりテーブル1を
移動させながら、その移動位置、即ち機械の移動位置を
連続的に計測する。以下、この計測値を機械移動位置計
測値と云う。
The dynamic displacement measuring device 15 includes a measuring device main body 17
The laser beam emitted from the laser beam is split by the beam splitter 19, one of the split laser beams is reflected by the reflecting prism 21 to the measuring instrument body 17, and the other laser beam is used as the measuring beam. With the movable reflecting prism 23, the measuring instrument body 17 is folded back.
The difference between the frequency of the measurement light and the frequency of the reference light, which changes due to the Doppler effect due to the change of the optical path length of the measurement light due to the movement of the table 1, is detected, and the movement position of the table 1 is moved while moving the table 1. That is, the moving position of the machine is continuously measured. Hereinafter, this measurement value is referred to as a machine movement position measurement value.

【0039】動的変位計測装置15による機械の移動位
置の計測は、NCプログラム実行部9より駆動制御部1
1へ移動指令を出力し、サーボモータ3によってテーブ
ル1を要求される所要の計測ストロークだけ往復動させ
ることにより、その計測ストロークの往路と復路の各々
で行う。
The measurement of the moving position of the machine by the dynamic displacement measuring device 15 is performed by the drive control unit 1 from the NC program execution unit 9.
A movement command is output to 1 and the table 1 is reciprocated by the servo motor 3 by a required required measurement stroke, so that the forward stroke and the backward stroke of the measured stroke are performed.

【0040】この機械の移動位置の計測のための移動指
令は駆動制御部11への出力と共に動的位置誤差演算コ
ンピュータ25にも出力する。
The movement command for measuring the movement position of this machine is output to the drive control unit 11 and also to the dynamic position error calculation computer 25.

【0041】動的位置誤差演算コンピュータ25は、指
令値データ記憶部27と、計測値データ記憶部28と、
動的位置誤差演算部29とを有している。
The dynamic position error computing computer 25 includes a command value data storage unit 27, a measured value data storage unit 28,
It has a dynamic position error calculator 29.

【0042】指令値データ記憶部27はNCプログラム
実行部9が出力する移動指令が示す機械位置のデータを
一計測ストローク分の時系列データとしてストアする。
The command value data storage unit 27 stores the machine position data indicated by the movement command output by the NC program execution unit 9 as time series data for one measurement stroke.

【0043】計測値データ記憶部28は動的変位計測装
置15よる機械の移動位置の計測値データを一計測スト
ローク分の時系列データとしてストアする。
The measured value data storage unit 28 stores the measured value data of the moving position of the machine by the dynamic displacement measuring device 15 as time series data for one measuring stroke.

【0044】動的位置誤差演算部29は、指令値データ
記憶部27がストアしている移動指令による機械位置デ
ータと計測値データ記憶部28がストアしている機械の
移動位置の計測値データとを読み出し、指令値データ記
憶部28の機械位置データと計測値データ記憶部28の
計測値データとの差より動的位置誤差量を演算する。
The dynamic position error calculation unit 29 stores the machine position data according to the movement command stored in the command value data storage unit 27 and the measurement value data of the machine movement position stored in the measurement value data storage unit 28. And the dynamic position error amount is calculated from the difference between the machine position data in the command value data storage unit 28 and the measurement value data in the measurement value data storage unit 28.

【0045】この動的位置誤差量の演算に際して指令値
データ記憶部27がストアしている機械位置データに対
して計測値データ記憶部28がストアしている機械の移
動位置の計測値データは、時系列で見て、サーボパラメ
ータや送り速度、加減速特性等により決まる定常的な位
相遅れ(時間遅れ)を有しているから、この位相遅れ度
を同定し、同定した位相遅れ度を考慮して各記憶部2
7、28よりのデータを対応させて読み出しを行い、指
令値データ記憶部27の機械位置データと計測値データ
記憶部28の計測値データとの差による動的位置誤差量
の演算は、同一位相のデータで行う。
In calculating the dynamic position error amount, the measured value data of the moving position of the machine stored in the measured value data storage unit 28 with respect to the machine position data stored in the command value data storage unit 27 is as follows: Since it has a steady phase delay (time delay) that is determined by servo parameters, feed rate, acceleration / deceleration characteristics, etc. when viewed in time series, this phase delay is identified and the identified phase delay is considered. Each storage unit 2
The data from 7 and 28 are read in association with each other, and the calculation of the dynamic position error amount based on the difference between the machine position data in the command value data storage unit 27 and the measurement value data in the measurement value data storage unit 28 is performed in the same phase. Data.

【0046】動的変位計測装置15による機械の移動位
置の計測を機械移動の往路と復路の各々で行うことで、
動的位置誤差演算部29は、機械移動の往路と復路とで
各々個別に動的位置誤差値量を算出する。
By measuring the moving position of the machine by the dynamic displacement measuring device 15 in each of the forward and backward paths of machine movement,
The dynamic position error calculation unit 29 individually calculates the dynamic position error value amount for each of the forward and backward paths of machine movement.

【0047】動的誤差演算部29が演算した動的位置誤
差量のデータは移動位置誤差補正量演算コンピュータ3
1に入力する。移動位置誤差補正値演算コンピュータ3
1は、動的位置誤差量に基づいて移動位置誤差補正値を
演算し、その補正値データを駆動制御部11の補正演算
部33へ出力する。即ち、移動位置誤差補正値演算コン
ピュータ31は動的位置誤差量データを移動位置誤差補
正値データに変換する。
The data of the dynamic position error amount calculated by the dynamic error calculation unit 29 is used as the moving position error correction amount calculation computer 3.
Enter 1. Moving position error correction value calculation computer 3
1 calculates a moving position error correction value based on the dynamic position error amount, and outputs the correction value data to the correction calculation unit 33 of the drive control unit 11. That is, the moving position error correction value calculation computer 31 converts the dynamic position error amount data into moving position error correction value data.

【0048】動的誤差演算部29による移動位置誤差補
正値の演算は、次に云う何れかの方法により行われれば
よい。
The calculation of the moving position error correction value by the dynamic error calculation unit 29 may be performed by any of the following methods.

【0049】(1)機械移動の往路と復路の動的位置誤
差量によって移動位置誤差補正値を往路と復路とで各々
個別に算出する。
(1) A moving position error correction value is calculated for each of the forward and backward paths according to the dynamic position error amount of the forward and backward paths of machine movement.

【0050】この場合には、機械移動の往路と復路とで
各々最適な移動位置誤差補正が行われることになる。
In this case, the optimum movement position error correction is performed for each of the forward and backward paths of machine movement.

【0051】(2)機械移動の往路と復路の動的位置誤
差量の平均値によって往路と復路とで共用する移動位置
誤差補正値を算出する。
(2) A moving position error correction value shared by the forward and return paths is calculated from the average value of the dynamic position error amounts of the forward and return paths of machine movement.

【0052】この場合には、移動位置誤差補正値データ
をストアするメモリのメモリ容量の軽減が図られる。
In this case, the memory capacity of the memory for storing the moving position error correction value data can be reduced.

【0053】(3)上述の(1)あるいは(2)におい
て移動位置誤差補正値演算のための動的位置誤差量のサ
ンプリング間隔を所要の補正サイクルピッチ(補正ピッ
チ)に応じて設定し、補正サイクルピッチをもって移動
位置誤差補正値を算出する。
(3) In (1) or (2) above, the sampling interval of the dynamic position error amount for calculating the moving position error correction value is set according to the required correction cycle pitch (correction pitch), and the correction is performed. The moving position error correction value is calculated with the cycle pitch.

【0054】この場合には、必要最小限の移動位置誤差
補正が行われ、移動位置誤差補正値データをストアする
メモリのメモリ容量の軽減が図られる。
In this case, the minimum necessary moving position error correction is performed, and the memory capacity of the memory for storing the moving position error correction value data is reduced.

【0055】動的位置誤差量のうち高周波成分は再現性
がない外乱成分であるとし、この高周波成分をローパス
フィルタによる信号処理によって除去することができ
る。
It is assumed that the high frequency component of the dynamic position error amount is a disturbance component having no reproducibility, and this high frequency component can be removed by signal processing by a low pass filter.

【0056】従って、移動位置誤差補正値の演算は、高
周波成分を除去された動的位置誤差量によって行われ
る。
Therefore, the calculation of the moving position error correction value is performed by the dynamic position error amount from which the high frequency component is removed.

【0057】また動的位置誤差量あるいは動的位置誤差
量に基づく移動位置誤差補正量が設定値以上の場合には
機械の移動位置計測時に一過性の大きい外乱が生じたと
して動的変位計測装置15による機械の移動位置の計測
と機械の移動位置演算部27による機械の移動位置の算
出および動的位置誤差量演算部29による動的位置誤差
量の算出を再度行う。
If the dynamic position error amount or the moving position error correction amount based on the dynamic position error amount is equal to or greater than the set value, it is considered that a large transient disturbance has occurred at the time of measuring the moving position of the machine and dynamic displacement measurement is performed. The measurement of the movement position of the machine by the device 15, the calculation of the movement position of the machine by the movement position calculation unit 27 of the machine, and the calculation of the dynamic position error amount by the dynamic position error amount calculation unit 29 are performed again.

【0058】次に図2〜図4を参照して移動位置誤差補
正の補正データの作成手順を説明する。図2は補正デー
タ作成のゼネラルフローを示している。このフローで
は、先ずNCプログラム実行部9より移動指令を駆動制
御部11と機械の移動位置データ記憶部27とに出力す
る(ステップ10)。これによりサーボモータ3が駆動
され、テーブル1が移動する(ステップ20)。
Next, a procedure for creating correction data for moving position error correction will be described with reference to FIGS. FIG. 2 shows a general flow for creating correction data. In this flow, first, the NC program execution unit 9 outputs a movement command to the drive control unit 11 and the movement position data storage unit 27 of the machine (step 10). As a result, the servo motor 3 is driven and the table 1 moves (step 20).

【0059】次に機械移動位置演算部27により図3に
示されている動的位置誤差演算ルーチンをもって動的位
置誤差量を演算する(ステップ30)。
Next, the machine movement position calculation unit 27 calculates the dynamic position error amount by the dynamic position error calculation routine shown in FIG. 3 (step 30).

【0060】次に移動位置誤差補正値演算コンピュータ
31により図4に示されている補正値演算ルーチンをも
って移動位置誤差補正値を演算する(ステップ40)。
Next, the moving position error correction value calculation computer 31 calculates the moving position error correction value by the correction value calculation routine shown in FIG. 4 (step 40).

【0061】次に移動位置誤差補正値が許容精度範囲内
であるか否かを判別する(ステップ50)。移動位置誤
差補正値が許容精度範囲内であれば、補正値演算を完了
するる。これに対し移動位置誤差補正値が許容精度範囲
内でない場合には、その移動位置誤差補正値によって補
正した位置指令を作成し(ステップ60)、ステップ1
0に戻って、その位置指令を駆動制御部11と指令値デ
ータ記憶部27へ出力し、これより以降、移動位置誤差
補正値が許容精度範囲内になるまでステップ10〜50
を繰り返す。なお、この繰り返し回数に制限を与え、所
定回数に亙って補正値演算が行われても移動位置誤差補
正値が許容精度範囲内に入らない場合にはアラーム出力
を行うことができる。
Next, it is determined whether or not the moving position error correction value is within the allowable accuracy range (step 50). If the moving position error correction value is within the allowable accuracy range, the correction value calculation is completed. On the other hand, when the moving position error correction value is not within the allowable accuracy range, a position command corrected by the moving position error correction value is created (step 60), and step 1
Returning to 0, the position command is output to the drive control unit 11 and the command value data storage unit 27, and thereafter, steps 10 to 50 are performed until the moving position error correction value falls within the allowable accuracy range.
repeat. It should be noted that a limit can be given to the number of repetitions and an alarm can be output if the movement position error correction value does not fall within the allowable accuracy range even if the correction value calculation is performed a predetermined number of times.

【0062】次に図3に示されている動的位置誤差演算
ルーチンを説明する。このルーチンでは、NCプログラ
ム実行部9が駆動制御部11へ出力する移動指令が示す
機械位置のデータを指令値データ記憶部27に、順次、
時系列データとして一計測ストローク分、ストア(ステ
ップ100)し、動的変位計測装置15より計測された
機械の移動位置の計測値データを計測値データ記憶部2
8に、順次、時系列データとして一計測ストローク分、
ストア(ステップ110)する。
Next, the dynamic position error calculation routine shown in FIG. 3 will be described. In this routine, the machine position data indicated by the movement command output from the NC program execution unit 9 to the drive control unit 11 is sequentially stored in the command value data storage unit 27.
One measurement stroke worth of time-series data is stored (step 100), and the measured value data of the moving position of the machine measured by the dynamic displacement measuring device 15 is measured value data storage unit 2.
8, one measurement stroke worth of time series data,
Store (step 110).

【0063】一計測ストローク分のデータストアが完了
すれば、指令値データ記憶部27がストアしている移動
指令による機械位置データと計測値データ記憶部28が
ストアしている機械の移動位置の計測値データとをサー
ボパラメータや送り速度、加減速特性等により決まる位
相遅れを考慮した同期をとって読み出し、読み出した機
械位置データと計測値データとの差より動的位置誤差量
を演算する(ステップ120)。
When the data storage for one measurement stroke is completed, the machine position data according to the movement command stored in the command value data storage unit 27 and the movement position of the machine stored in the measurement value data storage unit 28 are measured. The value data is read in synchronization with the phase delay determined by the servo parameters, feed rate, acceleration / deceleration characteristics, etc., and the dynamic position error amount is calculated from the difference between the read machine position data and the measured value data (step 120).

【0064】次に図4に示されている補正値演算ルーチ
ンを説明する。このルーチンでは、先ず動的位置誤差量
のデータを入力する(ステップ200)。次に補正値演
算のモードが高周波成分除去モードであるか否かの判別
(ステップ210)と、平均値による補正モードである
か否かの判別(ステップ230)と、動的位置誤差量の
サンプリング間隔を所要の補正サイクルピッチに応じて
設定して補正データ個数を必要最小限にする必要最小限
モードであるか否かの判別(ステップ250)を順に行
う。
Next, the correction value calculation routine shown in FIG. 4 will be described. In this routine, first, data of the dynamic position error amount is input (step 200). Next, it is determined whether or not the correction value calculation mode is the high frequency component removal mode (step 210), whether or not it is the correction mode based on the average value (step 230), and sampling of the dynamic position error amount. It is sequentially determined whether or not the mode is the minimum required mode in which the interval is set according to the required correction cycle pitch and the number of correction data is minimized to the minimum (step 250).

【0065】高周波成分除去モードであれば、動的位置
誤差量のデータにローパスフィルタ処理を施し、動的位
置誤差量より高周波成分を除去する(ステップ22
0)。
In the high frequency component removal mode, the data of the dynamic position error amount is low-pass filtered to remove the high frequency component from the dynamic position error amount (step 22).
0).

【0066】平均値による補正モードであれば、テーブ
ル移動の往路と復路の動的位置誤差量の平均値を計算す
る(ステップ240)。
If the correction mode is based on the average value, the average value of the dynamic position error amounts on the forward and backward paths of table movement is calculated (step 240).

【0067】必要最小限モードであれば、動的位置誤差
量のデータ群より必要な動的位置誤差量データを抽出す
る(ステップ260)。
If it is the minimum required mode, the required dynamic position error amount data is extracted from the data group of the dynamic position error amount (step 260).

【0068】上述の各モードに応じたデータ処理のの
ち、動的位置誤差量より移動位置誤差補正値を演算する
(ステップ270)。
After the data processing according to each mode described above, the moving position error correction value is calculated from the dynamic position error amount (step 270).

【0069】なお、図2のゼネラルフローでは、移動位
置誤差補正値が許容精度範囲内であるか否かの判別によ
り補正値演算の繰り返しの必要性を判断したが、図5に
示されているように、動的位置誤差量が許容精度範囲内
であるか否かの判別により補正値演算の繰り返しの必要
性を判断してもよい。この場合にはステップ35にて動
的位置誤差量が許容精度範囲内であるか否かの判別を行
い、動的位置誤差量が許容精度範囲内であれば、補正値
演算(ステップ45)を行って補正値演算を完了する。
これに対し動的位置誤差量が許容精度範囲内でない場合
には、補正値演算(ステップ40)を行い、その補正値
によって補正した位置指令を作成し(ステップ60)、
ステップ10に戻る。
In the general flow of FIG. 2, the necessity of repeating the correction value calculation is judged by judging whether or not the moving position error correction value is within the allowable accuracy range, which is shown in FIG. As described above, the necessity of repeating the correction value calculation may be determined by determining whether or not the dynamic position error amount is within the allowable accuracy range. In this case, it is determined in step 35 whether the dynamic position error amount is within the allowable accuracy range, and if the dynamic position error amount is within the allowable accuracy range, the correction value calculation (step 45) is performed. Then, the correction value calculation is completed.
On the other hand, when the dynamic position error amount is not within the allowable accuracy range, the correction value calculation (step 40) is performed, and the position command corrected by the correction value is created (step 60),
Return to step 10.

【0070】駆動制御部11の補正演算部33は、NC
プログラム実行部9より入力する移動指令を移動位置誤
差補正量演算コンピュータ31より与えられた移動位置
誤差補正値によって補正量を決定し、移動位置誤差補正
を行う。
The correction calculation unit 33 of the drive control unit 11 is
The movement command input from the program execution unit 9 is used to determine the correction amount based on the movement position error correction value provided by the movement position error correction amount calculation computer 31 to perform the movement position error correction.

【0071】より具体的には、補正演算部33は、動的
誤差演算部29による移動位置誤差補正量の演算がパラ
メータ設定される補正開始座標値と補正ピッチに応じて
補正ピッチ毎に行うものとし、図6に例示されているよ
うに、各補正点の補正値データR0 〜Rnを補正点間で
直線補間することにより機械座標をアドレスとする折れ
線グラフ状の補正値データ列を作成し、スキャンタイム
毎にその補正値データ列より該当する機械座標の補正値
を読み出し、この補正値を補正量としてNCプログラム
実行部9より入力する移動指令に対し移動位置誤差補正
を行う。
More specifically, the correction calculation unit 33 calculates the moving position error correction amount by the dynamic error calculation unit 29 for each correction pitch in accordance with the correction start coordinate value and the correction pitch which are set as parameters. As illustrated in FIG. 6, the correction value data R0 to Rn of each correction point is linearly interpolated between the correction points to create a line graph-shaped correction value data string having machine coordinates as addresses. The correction value of the corresponding machine coordinate is read from the correction value data string for each scan time, and the movement position error correction is performed on the movement command input from the NC program execution unit 9 using this correction value as the correction amount.

【0072】図7は移動位置誤差補正後と補正前の機械
の移動位置計測値を示している。図7により、移動位置
誤差補正が行われると、ピッチが10mm程度のサイク
リックエラーが補償されていることが解る。
FIG. 7 shows the measured values of the moving position of the machine after the moving position error correction and before the correction. From FIG. 7, it is understood that when the moving position error correction is performed, the cyclic error with the pitch of about 10 mm is compensated.

【0073】また補正演算部33は、機械移動速度とサ
ーボモータ13の位置フィードバックのループゲインよ
りドループ量を算出し、移動位置誤差補正に併せてドル
ープ補正を行う。ドループ量の算出は下式により行う。
Further, the correction calculator 33 calculates the droop amount from the machine movement speed and the loop gain of the position feedback of the servomotor 13, and performs the droop correction together with the movement position error correction. The droop amount is calculated by the following formula.

【0074】S=(F/60)/Kv 但し、S:ドループ量(mm)、F:送り速度(mm/
min)、Kv:位置ループゲイン(rad/sec) これにより動的位置誤差に併せてドループによる位置誤
差が解消される。
S = (F / 60) / Kv However, S: droop amount (mm), F: feed speed (mm /
min), Kv: position loop gain (rad / sec) As a result, the position error due to the droop is eliminated in addition to the dynamic position error.

【0075】補正演算部33は、温度センサ35により
NC工作機械の温度を検出し、移動位置誤差補正に併せ
て温度補償補正を行う。この温度補償補正は、検出温度
に応じて補正係数を設定された一次関数式により行われ
る。
The correction calculation unit 33 detects the temperature of the NC machine tool by the temperature sensor 35 and performs temperature compensation correction in addition to the movement position error correction. This temperature compensation correction is performed by a linear function equation in which a correction coefficient is set according to the detected temperature.

【0076】これにより動的位置誤差に併せて温度変化
による位置誤差が解消される。
As a result, in addition to the dynamic position error, the position error due to the temperature change is eliminated.

【0077】多軸同時移動においては、動的変位計測装
置15による機械の移動位置の計測および動的位置誤差
量演算部29による動的位置誤差量を各軸毎に行い、そ
の各軸毎の動的位置誤差量に基づて移動位置誤差補正を
各軸毎に行う。またドループ補正も温度補償補正も同様
に各軸毎に行う。
In the multi-axis simultaneous movement, the movement position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring device 15 and the dynamic position error amount is calculated by the dynamic position error amount calculating section 29 for each axis. Moving position error correction is performed for each axis based on the dynamic position error amount. Further, droop correction and temperature compensation correction are similarly performed for each axis.

【0078】これにより多軸同時移動による加工も精度
よく行われる。
As a result, machining by simultaneous multi-axis movement is also performed accurately.

【0079】図9は本発明によるNC工作機械の移動位
置誤差補正方法の実施に使用する移動位置誤差補正シス
テムの他の実施例を示している。この実施例では、動的
位置誤差演算コンピュータ25は、ロータリエンコーダ
13が出力するサーボモータ3の回転量の計測値データ
を一計測ストローク分の時系列データとしてストアする
回転量データ記憶部26と、動的変位計測装置15よる
機械の移動位置の計測値データを一計測ストローク分の
時系列データとしてストアする計測値データ記憶部28
と、動的位置誤差演算部29とを有している。
FIG. 9 shows another embodiment of the moving position error correcting system used for implementing the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the present invention. In this embodiment, the dynamic position error calculation computer 25 stores a rotation amount data storage unit 26 that stores the measurement value data of the rotation amount of the servo motor 3 output by the rotary encoder 13 as time series data for one measurement stroke. Measurement value data storage unit 28 that stores the measurement value data of the moving position of the machine by the dynamic displacement measuring device 15 as time series data for one measurement stroke.
And a dynamic position error calculation unit 29.

【0080】動的位置誤差演算部29は、回転量データ
記憶部26がストアしているサーボモータ3の回転量検
出値データと計測値データ記憶部28がストアしている
機械の移動位置の計測値データとを読み出し、回転計測
値データ記憶部28の回転量検出値データが示す機械の
移動位置と計測値データ記憶部28の計測値データとの
差より動的位置誤差量を演算する。
The dynamic position error calculation unit 29 measures the rotation amount detection value data of the servo motor 3 stored in the rotation amount data storage unit 26 and the moving position of the machine stored in the measurement value data storage unit 28. The value data is read out, and the dynamic position error amount is calculated from the difference between the movement position of the machine indicated by the rotation amount detection value data in the rotation measurement value data storage unit 28 and the measurement value data in the measurement value data storage unit 28.

【0081】回転量データ記憶部26がストアしている
サーボモータ3の回転量検出値データに対して計測値デ
ータ記憶部28がストアしている機械の移動位置の計測
値データは、時系列で見て、送り速度、加減速特性等に
より決まる定常的な位相遅れを有しているから、この位
相遅れ度を同定し、同定して位相遅れ度を考慮して各記
憶部26、28よりのデータの読み出しを行い、回転量
データ記憶部26の回転量検出値データが示す機械移動
位置と計測値データ記憶部28の計測値データとの差に
よる動的位置誤差量の演算は、同一位相のデータで行
う。
The measured value data of the moving position of the machine stored in the measured value data storage unit 28 with respect to the detected amount of rotation value data of the servo motor 3 stored in the rotational amount data storage unit 26 is time-series. As seen, since there is a steady phase delay determined by the feed rate, the acceleration / deceleration characteristics, etc., the phase delay degree is identified, and the phase delay degree is identified and the phase delay degree is taken into consideration. Data is read, and the calculation of the dynamic position error amount based on the difference between the machine movement position indicated by the rotation amount detection value data of the rotation amount data storage unit 26 and the measurement value data of the measurement value data storage unit 28 is performed in the same phase. Do with data.

【0082】この機械の移動位置の計測のための移動指
令は駆動制御部11への出力と共に動的位置誤差演算コ
ンピュータ25にも出力する。
The movement command for measuring the movement position of the machine is output to the drive control unit 11 and also to the dynamic position error calculation computer 25.

【0083】動的位置誤差演算コンピュータ25は、指
令値データ記憶部27と、計測値データ記憶部28と、
動的位置誤差演算部29とを有している。
The dynamic position error calculation computer 25 includes a command value data storage unit 27, a measured value data storage unit 28,
It has a dynamic position error calculator 29.

【0084】指令値データ記憶部27はNCプログラム
実行部9が出力する移動指令が示す機械位置のデータを
一計測ストローク分の時系列データとしてストアする。
The command value data storage unit 27 stores the machine position data indicated by the movement command output by the NC program execution unit 9 as time series data for one measurement stroke.

【0085】計測値データ記憶部28は動的変位計測装
置15よる機械の移動位置の計測値データを一計測スト
ローク分の時系列データとしてストアする。
The measured value data storage unit 28 stores the measured value data of the moving position of the machine by the dynamic displacement measuring device 15 as time series data for one measuring stroke.

【0086】動的位置誤差演算部29は、位置ループゲ
インなどのサーボパラメータと送り速度、加減速特性な
どのデータを与えられ、機械の移動位置記憶部27がス
トアしている機械位置データと計測値データ記憶部28
がストアしている機械の移動位置の計測値データとを読
み出し、計測値データ記憶部28の機械位置データと計
測値データ記憶部28の計測値データとの差より動的位
置誤差量を演算する。
The dynamic position error calculation unit 29 is provided with servo parameters such as position loop gain and data such as feed rate and acceleration / deceleration characteristics, and measures and measures the machine position data stored in the machine movement position storage unit 27. Value data storage unit 28
And the measured value data of the moving position of the machine stored by are read, and the dynamic position error amount is calculated from the difference between the machine position data of the measured value data storage unit 28 and the measured value data of the measured value data storage unit 28. .

【0087】計測値データ記憶部28がストアしている
機械の移動位置の計測値データに対して計測値データ記
憶部28がストアしている機械の移動位置の計測値デー
タは、時系列で見て、サーボパラメータや送り速度、加
減速特性等により決まる定常的な位相遅れ(時間遅れ)
を有しているから、この位相遅れ度を同定し、同定した
位相遅れ度を考慮して各記憶部27、28よりのデータ
の読み出しを行い、計測値データ記憶部28の機械位置
データと計測値データ記憶部28の計測値データとの差
による動的位置誤差量の演算は、同一位相のデータで行
う。
The measured value data of the moving position of the machine stored in the measured value data storage unit 28 is compared with the measured value data of the moving position of the machine stored in the measured value data storage unit 28 in time series. The steady phase delay (time delay) determined by the servo parameters, feed rate, acceleration / deceleration characteristics, etc.
Since the phase delay degree is identified, the data is read from each of the storage units 27 and 28 in consideration of the identified phase delay degree, and the machine position data and the measurement of the measurement value data storage unit 28 are measured. The calculation of the dynamic position error amount based on the difference from the measured value data of the value data storage unit 28 is performed on the data of the same phase.

【0088】この実施例においても、動的位置誤差演算
部29が演算する動的位置誤差量に基づいて上述の実施
例における場合と同様の移動位置誤差補正が行われる。
Also in this embodiment, the moving position error correction similar to that in the above-described embodiment is performed based on the dynamic position error amount calculated by the dynamic position error calculating section 29.

【0089】これにより、この実施例でも上述の実施例
とほぼ同等の効果が得られる。
As a result, the same effect as that of the above embodiment can be obtained in this embodiment.

【0090】次に本発明によるNC工作機械の移動位置
誤差補正確認方法について説明する。
Next, the method for checking the moving position error correction of the NC machine tool according to the present invention will be described.

【0091】移動位置誤差補正確認方法は、図1に示さ
れているシステムを使用して実施される。この移動位置
誤差補正確認方法の実施においては、NC装置1のNC
プログラム実行部9より移動位置誤差補正された移動指
令を駆動制御部11へ出力し、サーボモータ3によりテ
ーブル1を駆動する。この場合のテーブル1の移動は移
動位置誤差を補正されたものになる。
The moving position error correction confirmation method is implemented using the system shown in FIG. In performing this moving position error correction confirmation method, the NC of the NC device 1 is
The program execution unit 9 outputs a movement command corrected for the movement position error to the drive control unit 11, and the servo motor 3 drives the table 1. The movement of the table 1 in this case is such that the movement position error is corrected.

【0092】このテーブル1の移動位置を動的変位計測
装置15により計測し、この計測により得られる機械移
動値計測値を動的位置誤差演算部29へ出力する。
The moving position of the table 1 is measured by the dynamic displacement measuring device 15, and the measured value of the mechanical movement value obtained by this measurement is output to the dynamic position error calculating section 29.

【0093】またこれとは別にNC装置1のNCプログ
ラム実行部9より移動位置誤差補正前の移動指令が示す
機械位置のデータを指令値データ記憶部27へ出力し、
指令値データ記憶部27に機械の移動位置データを順次
ストアする。
Separately from this, the NC program execution unit 9 of the NC device 1 outputs the machine position data indicated by the movement command before the movement position error correction to the command value data storage unit 27,
Machine movement position data is sequentially stored in the command value data storage unit 27.

【0094】動的位置誤差演算部29においては、動的
変位計測装置15により計測されて計測値データ記憶部
28にストアされている移動位置データと指令値データ
記憶部27にストアされている機械位置データとの差よ
り動的位置誤差量を算出し、これをディスプレイ出力あ
るいはプリント出力する。この場合も、上述の実施例と
同様に、同定した位相遅れ度を考慮して各記憶部27、
28よりのデータの読み出しを行い、計測値データ記憶
部28の機械位置データと計測値データ記憶部28の計
測値データとの差による動的位置誤差量の演算は、同一
位相のデータで行う。
In the dynamic position error calculation unit 29, the moving position data measured by the dynamic displacement measuring device 15 and stored in the measurement value data storage unit 28 and the machine stored in the command value data storage unit 27 are stored. The dynamic position error amount is calculated from the difference with the position data, and this is output to a display or printed. Also in this case, similarly to the above-described embodiment, each storage unit 27 in consideration of the identified phase delay degree,
The data is read from 28, and the calculation of the dynamic position error amount based on the difference between the machine position data of the measurement value data storage unit 28 and the measurement value data of the measurement value data storage unit 28 is performed with the data of the same phase.

【0095】ディスプレイ出力あるいはプリント出力さ
れた出力情報は、動的位置誤差について移動位置誤差補
正前と補正後の差を定量的に示すから、この出力情報よ
り移動位置誤差補正結果を定量的に確認、評価すること
ができる。
The output information printed or printed out quantitatively shows the difference between the dynamic position error before and after the moving position error correction. Therefore, the moving position error correction result is quantitatively confirmed from this output information. , Can be evaluated.

【0096】[0096]

【発明の効果】以上の説明から理解される如く、請求項
1によるNC工作機械の移動位置誤差補正方法によれ
ば、移動指令によって機械が実際に移動している状態で
動的変位計測法により機械の移動位置を連続的に計測
し、この動的変位計測法により連続的に計測した機械の
移動位置とサーボモータ駆動部へ出力した移動指令が示
す機械位置との差より動的位置誤差量を算出し、この動
的位置誤差量に基づいて移動位置誤差補正を行うから、
移動位置誤差検出のための機械の移動位置の計測に時間
がかかることがなく、細かい移動位置補正が極めて高精
度に行われ、しかも動的誤差要因を含む移動位置誤差に
関しても適切に移動位置補正が行われることになる。
As can be understood from the above description, according to the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the first aspect, the dynamic displacement measuring method is used in the state where the machine is actually moving according to the movement command. The moving position of the machine is continuously measured and the amount of dynamic position error is calculated from the difference between the moving position of the machine continuously measured by this dynamic displacement measurement method and the machine position indicated by the movement command output to the servo motor drive. Is calculated and the moving position error is corrected based on this dynamic position error amount,
Since it does not take time to measure the moving position of the machine to detect the moving position error, fine moving position correction is performed with extremely high accuracy, and moving position error including dynamic error factors is also properly corrected. Will be done.

【0097】請求項2によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法によれば、移動指令によって機械が実際に移
動している状態で動的変位計測法により機械の移動位置
を連続的に計測すると共にロータリエンコーダ等によっ
て計測し、機械の移動位置の計測値とサーボモータの回
転量検出値が示す機械移動位置との差より動的位置誤差
量を算出し、この動的位置誤差量に基づいて移動位置誤
差補正を行うから、移動位置誤差検出のための機械の移
動位置の計測に時間がかかることがなく、細かい移動位
置補正が高精度に行われ、しかも動的誤差要因を含む移
動位置誤差に関しても適切に移動位置補正が行われるこ
とになる。
According to the moving position error correcting method of the NC machine tool of the second aspect, the moving position of the machine is continuously measured by the dynamic displacement measuring method while the machine is actually moving by the movement command. Measure with a rotary encoder, calculate the dynamic position error amount from the difference between the measured value of the machine movement position and the machine movement position indicated by the rotation amount detection value of the servo motor, and move based on this dynamic position error amount. Since the position error correction is performed, it does not take time to measure the moving position of the machine for detecting the moving position error, fine moving position correction is performed with high accuracy, and moving position error including dynamic error factors Also, the moving position correction is appropriately performed.

【0098】請求項3によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、動的変位計測法による機械の移動位置
の計測を機械移動の往路と復路の各々で行って往路と復
路とで個別に動的位置誤差量を算出し、移動位置誤差補
正を往路と復路とで個別動的位置誤差量に基づいて行う
から、機械移動の往路と復路とで各々最適な移動位置誤
差補正が行われることになる。
In the NC machine tool moving position error correcting method according to the third aspect, the moving position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring method in each of the forward and backward paths of the machine movement, and the forward and backward paths are individually operated. Since the target position error amount is calculated and the moving position error correction is performed based on the individual dynamic position error amount in the forward path and the return path, the optimum moving position error correction is performed in the forward path and the backward path of the machine movement. Become.

【0099】請求項4によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、動的変位計測法による機械の移動位置
の計測を機械移動の往路と復路の各々で行って往路と復
路とで各々個別に動的位置誤差量を算出し、往路と復路
の動的位置誤差量の平均値に基づいて往路と復路の移動
位置誤差補正を行うから、移動位置誤差補正値データを
ストアするメモリのメモリ容量の軽減が図られる。
In the NC machine tool moving position error correcting method according to the fourth aspect, the moving position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring method in each of the forward and backward paths of the machine movement and individually in the forward and backward paths. Since the dynamic position error amount is calculated and the moving position error correction for the forward and backward passes is performed based on the average value of the dynamic position error amounts for the forward and backward passes, the memory capacity of the memory that stores the moving position error correction value data Reduction is achieved.

【0100】請求項5によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、動的位置誤差量のサンプリング間隔を
所要の補正サイクルピッチに応じて設定するから、必要
最小限の移動位置誤差補正が行われ、移動位置誤差補正
値データをストアするメモリのメモリ容量の軽減が図ら
れる。
In the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the fifth aspect, since the sampling interval of the dynamic position error amount is set according to the required correction cycle pitch, the minimum necessary moving position error correction is performed. The memory capacity of the memory for storing the moving position error correction value data can be reduced.

【0101】請求項6によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、ローパスフィルタによる信号処理など
によって動的位置誤差量のうち再現性がない高周波成分
を除去し、高周波成分除去後の動的位置誤差量に基づい
て移動位置誤差補正を行うから、移動位置誤差補正値に
再現性がない高周波成分が含まれることがなく、適正な
移動位置誤差補正が行われる。
In the NC machine tool moving position error correction method according to the sixth aspect, high-frequency components that are not reproducible in the dynamic position error amount are removed by signal processing using a low-pass filter, and the dynamic position after removal of the high-frequency components is removed. Since the moving position error correction is performed based on the error amount, the moving position error correction value does not include a high frequency component that does not have reproducibility, and the moving position error correction is appropriately performed.

【0102】請求項7によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、動的位置誤差量あるいは動的位置誤差
量に基づく移動位置誤差補正量が設定値以上の場合には
機械の移動位置計測時に一過性の外乱が生じたとして動
的変位計測法による機械の移動位置の計測を再度行って
動的位置誤差量の算出を再度行うから、機械の移動位置
計測時に生じた一過性の外乱の影響を受けた誤った移動
位置誤差補正が行われることが回避される。
In the NC machine tool moving position error correction method according to the seventh aspect, when the moving position error correction amount based on the dynamic position error amount or the dynamic position error amount is equal to or more than a set value, the moving position of the machine is measured. It is assumed that a transient disturbance has occurred, the moving position of the machine is measured again by the dynamic displacement measurement method, and the amount of dynamic position error is calculated again. It is possible to avoid erroneous movement position error correction that is affected by.

【0103】請求項8によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、多軸同時移動において動的変位計測法
による機械の移動位置の計測を計測し、動的位置誤差量
を多軸同時移動における各軸について計算し、その各軸
毎の動的位置誤差量に基づて移動位置誤差補正を各軸毎
に行うから、多軸同時移動による加工が精度よく行われ
るようになる。
In the NC machine tool movement position error correction method according to the eighth aspect, the movement position measurement of the machine by the dynamic displacement measurement method is measured in the multi-axis simultaneous movement, and the dynamic position error amount in the multi-axis simultaneous movement is measured. Since the calculation is performed for each axis and the moving position error correction is performed for each axis based on the dynamic position error amount for each axis, machining by simultaneous multi-axis movement can be performed accurately.

【0104】請求項9によるNC工作機械の移動位置誤
差補正方法では、動的位置誤差量による移動位置誤差補
正に併せてドループ補正が行われ、位置精度がより一層
向上する。
In the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the ninth aspect, the droop correction is performed in addition to the moving position error correction based on the dynamic position error amount, and the position accuracy is further improved.

【0105】請求項10によるNC工作機械の移動位置
誤差補正方法では、動的位置誤差量による移動位置誤差
補正に併せて温度補償補正が行われるから、温度変化に
拘らず位置精度が保たれる。
In the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the tenth aspect, since the temperature compensation correction is performed in addition to the moving position error correction based on the dynamic position error amount, the position accuracy is maintained regardless of the temperature change. .

【0106】請求項11によるNC工作機械の移動位置
誤差補正確認方法では、動的位置誤差の補正前と補正後
の差を定量的に示す情報が的確に得られるから、この情
報より移動位置誤差補正結果を定量的に確認、評価する
ことができる。
In the moving position error correction confirmation method for the NC machine tool according to the eleventh aspect, since the information quantitatively showing the difference between the dynamic position error before and after the correction is accurately obtained, the moving position error can be obtained from this information. The correction result can be quantitatively confirmed and evaluated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるNC工作機械の移動位置誤差補正
方法および移動位置誤差補正確認方法の実施に使用する
移動位置誤差補正システムの一実施例を示すブロック線
図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an example of a moving position error correcting system used for carrying out a moving position error correcting method and a moving position error correction confirming method of an NC machine tool according to the present invention.

【図2】本発明によるNC工作機械の移動位置誤差補正
方法における補正データ作成のゼネラルフローを示すフ
ローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing a general flow of correction data creation in a moving position error correction method for an NC machine tool according to the present invention.

【図3】本発明によるNC工作機械の移動位置誤差補正
方法における動的位置誤差演算ルーチンを示すフローチ
ャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing a dynamic position error calculation routine in a moving position error correction method for an NC machine tool according to the present invention.

【図4】本発明によるNC工作機械の移動位置誤差補正
方法における補正値演算ルーチンを示すフローチャート
である。
FIG. 4 is a flowchart showing a correction value calculation routine in a moving position error correction method for an NC machine tool according to the present invention.

【図5】本発明によるNC工作機械の移動位置誤差補正
方法における補正データ作成の他のゼネラルフローを示
すフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart showing another general flow of correction data creation in the moving position error correction method for the NC machine tool according to the present invention.

【図6】本発明によるNC工作機械の移動位置誤差補正
方法における補正値データ列の作成要領と補正量の決定
要領を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing a procedure for creating a correction value data string and a procedure for determining a correction amount in the moving position error correction method for an NC machine tool according to the present invention.

【図7】移動位置誤差補正後と補正前の機械の移動位置
計測値を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing measured values of the moving position of the machine after and after the moving position error correction.

【図8】(a)、(b)は各々従来の移動位置誤差の測
定要領を示すグラフである。
8 (a) and 8 (b) are graphs showing a conventional measuring procedure of a moving position error.

【図9】本発明によるNC工作機械の移動位置誤差補正
方法の実施に使用する移動位置誤差補正システムの他の
実施例を示すブロック線図である。
FIG. 9 is a block diagram showing another embodiment of the moving position error correcting system used for implementing the moving position error correcting method for the NC machine tool according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 テーブル 3 サーボモータ 5 送りねじ 7 NC装置 9 NCプログラム実行部 11 駆動制御部 13 ロータリエンコーダ 15 動的変位計測装置 25 動的位置誤差演算コンピュータ 26 回転量データ記憶部 27 指令値データ記憶部 28 計測値データ記憶部 29 動的位置誤差演算部 31 移動位置誤差補正量演算コンピュータ 33 補正演算部 35 温度センサ 1 table 3 servo motor 5 feed screw 7 NC device 9 NC program execution unit 11 drive control unit 13 rotary encoder 15 dynamic displacement measuring device 25 dynamic position error calculation computer 26 rotation amount data storage unit 27 command value data storage unit 28 measurement Value data storage unit 29 Dynamic position error calculation unit 31 Moving position error correction amount calculation computer 33 Correction calculation unit 35 Temperature sensor

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成7年6月15日[Submission date] June 15, 1995

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】発明の名称[Name of item to be amended] Title of invention

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【発明の名称】 NC工作機械の移動位置誤差補
正方法および移動位置誤差補正確認方法
Title: Moving position error correction method for NC machine tool and moving position error correction confirmation method

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 羽山 定治 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 覚張 勝治 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 林 英樹 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Sadaharu Hayama 2068-3 Ooka, Numazu City, Shizuoka Prefecture, Numazu Plant, Toshiba Machine Co., Ltd. On-site (72) Inventor Hideki Hayashi 2068 Ooka, Numazu City, Shizuoka Prefecture Numazu Office, Toshiba Machine Co., Ltd.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 NC装置より工作機械のサーボモータの
駆動制御部へ移動指令を出力し、この移動指令により機
械を移動させながら機械の移動位置を動的変位計測法に
より計測し、前記駆動制御部へ出力した移動指令が示す
機械位置と前記動的変位計測法により計測された機械の
移動位置との差より動的位置誤差量を算出し、この動的
位置誤差量に基づいて移動位置誤差補正を行うことを特
徴とするNC工作機械の移動位置誤差補正方法。
1. An NC device outputs a movement command to a drive control unit of a servomotor of a machine tool, and the movement position of the machine is measured by a dynamic displacement measuring method while the machine is moved by the movement command, and the drive control is performed. The dynamic position error amount is calculated from the difference between the machine position indicated by the movement command output to the section and the movement position of the machine measured by the dynamic displacement measurement method, and the movement position error is calculated based on this dynamic position error amount. A method for correcting a moving position error of an NC machine tool, which comprises performing a correction.
【請求項2】 NC装置より工作機械のサーボモータの
駆動制御部へ移動指令を出力し、この移動指令により機
械を移動させながら機械の移動位置を動的変位計測法に
より計測すると共に前記サーボモータの回転量を検出
し、前記動的変位計測法により計測された機械の移動位
置と前記サーボモータの回転量検出値が示す機械位置と
の差より動的位置誤差量を算出し、この動的位置誤差量
に基づいて移動位置誤差補正を行うことを特徴とするN
C工作機械の移動位置誤差補正方法。
2. An NC device outputs a movement command to a drive control unit of a servo motor of a machine tool, and while moving the machine according to the movement command, the movement position of the machine is measured by a dynamic displacement measuring method and the servo motor is also used. The amount of rotation of the machine is detected, and a dynamic position error amount is calculated from the difference between the moving position of the machine measured by the dynamic displacement measurement method and the machine position indicated by the detected rotation amount of the servo motor. N characterized by performing moving position error correction based on the amount of position error
C Moving position error correction method for machine tools.
【請求項3】 前記動的変位計測法による機械の移動位
置の計測を機械移動の往路と復路の各々で行って往路と
復路とで各々個別に動的位置誤差量を算出し、動的位置
誤差量に基づく移動位置誤差補正を往路と復路とで各々
個別に行うことを特徴とする請求項1または2に記載の
NC工作機械の移動位置誤差補正方法。
3. The moving position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring method in each of the forward and backward paths of the machine movement, and the dynamic position error amount is calculated individually in the forward and backward paths to obtain the dynamic position. The moving position error correction method for an NC machine tool according to claim 1 or 2, wherein the moving position error correction based on the error amount is individually performed for each of the forward path and the backward path.
【請求項4】 前記動的変位計測法による機械の移動位
置の計測を機械移動の往路と復路の各々で行い、往路と
復路とで各々個別に動的位置誤差量を算出し、往路と復
路の動的位置誤差量の平均値に基づいて移動位置誤差補
正を行うことを特徴とする請求項1または2に記載のN
C工作機械の移動位置誤差補正方法。
4. The moving position of the machine is measured by the dynamic displacement measuring method on each of the forward and backward paths of machine movement, and the dynamic position error amount is calculated individually for the forward and backward paths, and the forward and backward paths are calculated. 3. The N according to claim 1, wherein the moving position error correction is performed based on the average value of the dynamic position error amount of N.
C Moving position error correction method for machine tools.
【請求項5】 前記動的位置誤差量のサンプリング間隔
を所要の補正サイクルピッチに応じて設定することを特
徴とする請求項1〜4の何れかに記載のNC工作機械の
移動位置誤差補正方法。
5. The moving position error correction method for an NC machine tool according to claim 1, wherein a sampling interval of the dynamic position error amount is set according to a required correction cycle pitch. .
【請求項6】 前記動的位置誤差量より高周波成分を除
去した値に基づいて移動位置誤差補正を行うことを特徴
とする請求項1〜5の何れかに記載のNC工作機械の移
動位置誤差補正方法。
6. The moving position error of the NC machine tool according to claim 1, wherein the moving position error correction is performed based on a value obtained by removing a high frequency component from the dynamic position error amount. Correction method.
【請求項7】 前記動的位置誤差量あるいは当該動的位
置誤差量に基づく移動位置誤差補正量が設定値以上の場
合には前記動的変位計測法による機械の移動位置の計測
を再度行い、動的位置誤差量の算出を再度行うことを特
徴とする請求項1〜6の何れかに記載のNC工作機械の
移動位置誤差補正方法。
7. When the dynamic position error amount or the moving position error correction amount based on the dynamic position error amount is equal to or more than a set value, the moving position of the machine is measured again by the dynamic displacement measuring method, 7. The moving position error correction method for an NC machine tool according to claim 1, wherein the dynamic position error amount is calculated again.
【請求項8】 多軸同時移動において、前記動的変位計
測法による機械の移動位置の計測を各軸毎に行なって前
記動的位置誤差量の算出を各軸毎に行い、その各軸毎の
動的位置誤差量に基づて移動位置誤差補正を各軸毎に行
うことを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のNC
工作機械の移動位置誤差補正方法。
8. In multi-axis simultaneous movement, the movement position of the machine is measured for each axis by the dynamic displacement measurement method, and the dynamic position error amount is calculated for each axis. 8. The NC according to claim 1, wherein the moving position error correction is performed for each axis based on the dynamic position error amount of.
Method of moving position error correction for machine tools.
【請求項9】 機械移動速度と前記サーボモータの位置
フィドバックのループゲインよりドループ量を算出し、
ドループ量を加味して前記移動位置誤差補正を行うこと
を特徴とする請求項1〜8の何れかに記載のNC工作機
械の移動位置誤差補正方法。
9. A droop amount is calculated from a machine moving speed and a loop gain of position feedback of the servo motor,
9. The moving position error correcting method for an NC machine tool according to claim 1, wherein the moving position error correction is performed in consideration of a droop amount.
【請求項10】 温度検出手段により温度を検出し、前
記温度検出手段により検出された温度を加味して前記移
動位置誤差補正を行うことを特徴とする請求項1〜9の
何れかに記載のNC工作機械の移動位置誤差補正方法。
10. The temperature detecting means detects the temperature, and the moving position error correction is performed in consideration of the temperature detected by the temperature detecting means. NC machine tool moving position error correction method.
【請求項11】 NC装置より工作機械のサーボモータ
の駆動制御部へ移動位置誤差補正された移動指令を出力
し、この移動指令により機械を移動させながら機械の移
動位置を動的変位計測法により計測し、前記駆動制御部
へ出力した移動指令が示す機械位置と前記動的変位計測
法により計測された機械の移動位置との差より動的位置
誤差量を算出し、この動的位置誤差量を出力することを
特徴とするNC工作機械の移動位置誤差補正確認方法。
11. An NC device outputs a movement command corrected for movement position error to a drive control unit of a servo motor of a machine tool, and the movement position of the machine is moved by the dynamic displacement measuring method while moving the machine according to the movement command. The dynamic position error amount is calculated from the difference between the machine position indicated by the movement command output to the drive control unit and the movement position of the machine measured by the dynamic displacement measuring method, and the dynamic position error amount is calculated. A method for confirming the correction of the moving position error of the NC machine tool, which is characterized by outputting
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