JPS60210705A - 厚さ測定方法 - Google Patents

厚さ測定方法

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Publication number
JPS60210705A
JPS60210705A JP6589384A JP6589384A JPS60210705A JP S60210705 A JPS60210705 A JP S60210705A JP 6589384 A JP6589384 A JP 6589384A JP 6589384 A JP6589384 A JP 6589384A JP S60210705 A JPS60210705 A JP S60210705A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet material
electronic circuit
thickness
light
light receiver
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6589384A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideyuki Hanabusa
秀行 花房
Toshiaki Mihara
俊朗 三原
Yoshihiro Ugawa
鵜川 義弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HIYUUTEC KK
Original Assignee
HIYUUTEC KK
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Publication date
Application filed by HIYUUTEC KK filed Critical HIYUUTEC KK
Priority to JP6589384A priority Critical patent/JPS60210705A/ja
Publication of JPS60210705A publication Critical patent/JPS60210705A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0691Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はフィルム等′の透明あるいは半透明シート材の
厚さ測定方法に関する。
従来、透明あるいは半透明シート材の全面金中に渡るオ
ンライン厚さ測定方法には、放射線透過率法、光線透過
率法、静電容量法、光干渉分光法、エアマイクロ法など
があった。
放射線透過率法は放射線を使うため危険かつ高価であり
、光線透過率法はフィルム等シート材の色の地合ムラの
影響を受け厚さの測定精度が出す、また静電容量法はシ
ート材走行時の静電気帯電ノイズの影響を受け、更に温
度と湿度変化によるシート材の誘電率の変動のため厚さ
の測定精度が出ない。光干渉分光法は光の干渉現象を利
用するため、シート材が透明で10ミクロン程度以下の
薄さでなければならないなどの制限がある。またエアマ
イクロ法は片側測定であるため、シート材のおもて側と
裏側に各1台エアマイクロヘッドを配設し、かつシート
材全中方向の厚さを測定するためこの2台のヘッドの間
隔を一定に保ってシート材の巾方向を走査しなければな
らない。この間隔を一定に保つのは高価かつ困難な機構
であるので結局実現性がない。
本発明は以上の事情にもとづいてなされたものである。
以下本発明の実施例を第1図〜第7図にもとづいて説明
する。
!s2図に示されるシート材3をシート材の面の垂線に
対し光軸10が斜めになるようにして顕微鏡2で肉眼6
で観察すると、第1図の様な像が視野1内に認められる
。第2図で顕微鏡の焦点の合った平面11とシート材の
おもて面4の交る所を8Aとし、顕微鏡の焦点の合った
平面11とシート材の裏面5の交る所を9Aとすると、
第1図視野内の偉でシート材のおもて面8Aに相当する
位置は矢印8、シート材の裏面9Aに相当する位置は矢
印9で示される。
従って第1図矢印8と矢印9間の距離を測定すれば、第
2図のシート材厚さく矢印21)が算出できる。
第1図のような像が得られる理由は次の通υである。す
なわち、第1図の矢印8.9の間は顕微鏡の焦点がシー
ト材の構成微粒子に合っているので鮮明な微粒子像12
が見える。一方矢印8.90間以外は顕微鏡の焦点が合
った所に物体が存在しないので、ピンボケ像の微粒子像
13忙なる。
本発明の実施例を第3図にもとづいて説明する。シート
材のおもて面8Bと裏面9Bを含む像をレンズなどの撮
像装置14によって受光器15上に投影する。受光器1
5の出力信号を電子回路16で信号処理して、シート材
の厚さ21が得られる。
第3図においてシート材はこの紙面に垂直方向に走行す
る。シート材が走行しているので、受光器15および電
子回路16は工夫を必要とする。受光器15と電子回路
16の具体例を2例示すが、他の例も合理的であれば良
い。
受光器15と電子回路16の一つの例は、受光器がN個
の個別のホトダイオードあるいは個別のホトトランジス
タ18からなる列であり、電子回路がバイパスフィルタ
ー19を含む回路の場合である(第4図、Nは100前
後)。
個別の素子18の出力は、シート材が走行するので微粒
子像が素子18上を高速走行し、高周波出力となる。微
粒子像が細かければよυ高周波になり、ピンボケ像なら
ば低周波になる。
第5図u各バイパスフィルター(バイパスフィルターは
フーリエ展開周波数の成分の差を判別する一つの方法で
ある)の出力を縦軸に、横軸にはホトダイオードあるい
はホトトランジスタの列方向としてプロツトしたもので
ある。
第4図の電子回路20でバイパスフィルター19の出力
を、上記の列方向17に電子走査すれば、等価的にシー
ト材の方向7(第1.2.3図)の方向に電子走査した
ことKなシ、第5図の判別レベル22Cでシート材のお
もて面相自位置8Cと裏面相当位置9Cがまる。
受光器1.5と電子回路16(第3歯)の他の一つの例
は、受光器がCCDイメージセンサであり、電子回路が
微分波高値を判別する回路を含む電子回路の場合である
。CCDイメージセンサはホトダイオード個別素子と応
答時間特性が異シ、倫出力を得るには一定時間(蓄積時
間)を要する。一方シート材は走行しているのでCCD
上の微粒子像も高速走行する。蓄積時間内のCCD上の
微粒子上の像の走行(像のブレ)を等価的に止めて、静
止微粒子像を得るため次の公知の方法などを利用する。
一つの方法は図示しない、シート材照明用光源を短時間
パルス点灯する。他の方法は図示しない回転鏡あるいは
、図示しない電子光学シャッターを図示しないシート材
照明用光源と受光器の間の光路中に配設すれば良い。
図6はCCDイメージセンサの出力波形であシ、イメー
ジセンサはNビット構成(CODIJニアアレーイメー
ジセンサの場合で、CCCエリアアレーイメージセンサ
の場合はNビット列かけるMビット行のうちの任意の列
のNピットとする。NSMは通常数十〜数千の値。)で
あるとしている。
第3図でシート面おもて面位置8Bと裏面位置9Bの間
はシート材の微粒子に焦点が合っているので鮮明な密集
微粒子像が得られ、8Bと9Bの間以外は微粒子に焦点
が合っていないのでピンボケな、不鮮明、まばらな微粒
支像となる。従って第6図の様な出力波形が結果として
得られる。
第7図は第6図波形の微分波形であシ、判別設定レベル
22Dで判別して、シート材おもて面に相当する位置8
Dと裏面に相当する位置9Dを得る。第3図の電子回路
16でシート材厚さを位置8D、9B間距離をもとに演
算する。
走行シートの巾方向(走行方向に直角方向)に、第3図
の厚さ測定装置を走査移動すれば、走行シートの食中に
渡って厚さ測定が可能である。
インフレーションフィルム(ブローフィルム)のように
円筒状にて走行するシート材については、単に円筒外面
に沿って第3図の厚さ測定装置を円周移動させればシー
ト材食中に渡る厚さ測定が可能でおる。
以上の説明のように、本発明は従来実用的には困難であ
るとされていた、走行シート材のオンライン食中の厚さ
測定を可能にした。それに伴う、シート材の厚さムラの
品質管理、および歩留向上に有益であり、産業上有益で
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図はシート材を第2図に示した方向から顕微鏡で観
察した像、第2図は顕微鏡の配置図、第3図は本発明の
厚さ測定の構成図、第4図は受光器と電子回路の接続図
、第5.6.7図は信号波形図である。 1・・・視野、3・・・シート材、4・・・シート材お
もて面、5・・・シート材裏面、11・・・焦点の合っ
た面、14・・・撮像装置、15・・・受光器、16・
・・電子回路。 特許出願人 株式会社 ヒユーチック Ml 図 11i21igl 武 1 M 3 図 第4図 第6図 171−一一〇

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被測浮体表面の垂線に対して撮像装置の光軸を斜め
    に配置し、被測浮体のおもて面と裏面を含む像を受光器
    上に投影し、受光器の出力信号を電子回路で信号処理し
    て被測浮体の厚さをめることを特徴とする厚さ測定方法
    。 2上記受光器はホトダイオード列またはホトトランジス
    タ列であシ、上記電子回路は受光器出力信号波形のフー
    リエ展開周波数成分の差を判別する回路を含む電子回路
    であることを特徴とする特許請求の範囲第19項記載の
    厚さ測定方法。 3、上記受光器はCCDなどのイメージセンサであり、
    上記電子回路は受光器の出力信号の微分波高値を判別す
    る回路を含む電子回路であることを特徴とする特許請求
    の範囲第10項記載の厚さ測定方法。
JP6589384A 1984-04-04 1984-04-04 厚さ測定方法 Pending JPS60210705A (ja)

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JP6589384A JPS60210705A (ja) 1984-04-04 1984-04-04 厚さ測定方法

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Publication Number Publication Date
JPS60210705A true JPS60210705A (ja) 1985-10-23

Family

ID=13300095

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6589384A Pending JPS60210705A (ja) 1984-04-04 1984-04-04 厚さ測定方法

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JP (1) JPS60210705A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5177564A (en) * 1990-12-21 1993-01-05 Nikon Corporation Apparatus for measuring thickness of plate-shaped article

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5177564A (en) * 1990-12-21 1993-01-05 Nikon Corporation Apparatus for measuring thickness of plate-shaped article

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