JPS6020960B2 - 圧電型マイクロホンの製造方法 - Google Patents
圧電型マイクロホンの製造方法Info
- Publication number
- JPS6020960B2 JPS6020960B2 JP52001677A JP167777A JPS6020960B2 JP S6020960 B2 JPS6020960 B2 JP S6020960B2 JP 52001677 A JP52001677 A JP 52001677A JP 167777 A JP167777 A JP 167777A JP S6020960 B2 JPS6020960 B2 JP S6020960B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- manufacturing
- microphone
- piezoelectric
- piezoelectric microphone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- JBTHDAVBDKKSRW-UHFFFAOYSA-N chembl1552233 Chemical compound CC1=CC(C)=CC=C1N=NC1=C(O)C=CC2=CC=CC=C12 JBTHDAVBDKKSRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
- H04R17/005—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers using a piezoelectric polymer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高分子圧電フィルムを用し、る圧軍型マイクロ
ホンの製造方法に関するものである。
ホンの製造方法に関するものである。
まず従釆のこの種の伍軍型マイクロホンの製造方法につ
いて第１図、第２図とともに説明する。従来は、第１図
に示すようにまず高結晶化ポリフツ化ビニリデン（ＰＶ
Ｆ２）をポリマー合成し、合成後禾延伸フィルムに成形
する。次にこの未延伸フィルムを一軸方向に３〜５倍延
伸し、この一軸延伸フィルムの両面に蒸着により電極を
設け、両軍極間に電圧を印加して分極する。次にこのフ
ィルム１を、張力を付与した状態で第２図に示すように
湾曲したフレーム２に接着しマイクロホンを構成するも
のである。第２図において、フィルム１に音圧が加わる
と、フィルム１の両面に設けられた電極間に出力が得ら
れるものである。
いて第１図、第２図とともに説明する。従来は、第１図
に示すようにまず高結晶化ポリフツ化ビニリデン（ＰＶ
Ｆ２）をポリマー合成し、合成後禾延伸フィルムに成形
する。次にこの未延伸フィルムを一軸方向に３〜５倍延
伸し、この一軸延伸フィルムの両面に蒸着により電極を
設け、両軍極間に電圧を印加して分極する。次にこのフ
ィルム１を、張力を付与した状態で第２図に示すように
湾曲したフレーム２に接着しマイクロホンを構成するも
のである。第２図において、フィルム１に音圧が加わる
と、フィルム１の両面に設けられた電極間に出力が得ら
れるものである。
しかしながら、第１図に示す工程を経て、第２図に示す
ように構成された従来のマイクロホンでは、周囲の温度
変化によって、その感度、高城共振周波数が変化する欠
点があった。
ように構成された従来のマイクロホンでは、周囲の温度
変化によって、その感度、高城共振周波数が変化する欠
点があった。
上記従来の圧電型マイクロホンにおける温度変化による
特性変化の原因は以下の通りである。
特性変化の原因は以下の通りである。
すなわち、従来の氏母型マイクロホンは、前述の通り一
軸方向に延伸したフィルムを用いているため、延伸時に
フィルム内部に局部的な機械的歪が発生し、また、この
フィルムの延伸方向と横方向とで線膨張係数、抗張力、
伸び率等の物理的定数が異なり、フレーム２に接着され
たフィルム１は、温度変化による延伸方向と横方向とで
伸びが異なり、このためフレーム面に沿って一定の曲率
が保てなくなり、以下に示すように感度、高城共振周波
数が変化するものである。一般にこの極のマイクロホン
においては、感度１事１・高城共振周波ナ０は次式で示
される。
軸方向に延伸したフィルムを用いているため、延伸時に
フィルム内部に局部的な機械的歪が発生し、また、この
フィルムの延伸方向と横方向とで線膨張係数、抗張力、
伸び率等の物理的定数が異なり、フレーム２に接着され
たフィルム１は、温度変化による延伸方向と横方向とで
伸びが異なり、このためフレーム面に沿って一定の曲率
が保てなくなり、以下に示すように感度、高城共振周波
数が変化するものである。一般にこの極のマイクロホン
においては、感度１事１・高城共振周波ナ０は次式で示
される。
藤度峰ｌ学側１（Ｖ′仏ｂａｒ）共振周波柵＝赤み（Ｈ
Ｚ） なお Ｅ。
Ｚ） なお Ｅ。
：開放出力電圧Ｐ：音圧
Ｒ：曲率
ｄ：圧鰭定数
ご：誘電率
Ｅ：フィルムのヤング率
ｐ：密度
前記のように温度変化によって曲率Ｒが変化すると、上
式からも明らかなように惑嬢および商城共振周波数が変
化するものである。
式からも明らかなように惑嬢および商城共振周波数が変
化するものである。
本発明は上記従来の欠点を除去し、温度変化にる特性の
不安定を防止でさる圧囚マイクロホンの製造方法を提供
するものである。
不安定を防止でさる圧囚マイクロホンの製造方法を提供
するものである。
以下に本発明の一実施例について第３図とともに説明す
る。
る。
第３図に示すように、一鞠延伸フィルムの両面に蒸着に
よる鷺極を設け、分極するまでは従来と全く同様であり
、分極後、フィルムを、例えば９０℃で３０分間アニー
ルし、このフィルムを張力を付与した状態で湾曲したフ
レームに接着して、フィルムを円筒面形状にし、このフ
レームをケースに取付けて完成するものである。
よる鷺極を設け、分極するまでは従来と全く同様であり
、分極後、フィルムを、例えば９０℃で３０分間アニー
ルし、このフィルムを張力を付与した状態で湾曲したフ
レームに接着して、フィルムを円筒面形状にし、このフ
レームをケースに取付けて完成するものである。
なおアニールする温度が余り低いとアニールの効果が充
分にあうわれず、逆にアニールする温度が余り高すぎる
とフィルムの圧電定数が低下する。このためアニールの
温度は７０℃〜１０ぴ０が技途である。上記のようにフ
ィルムをアニールした場合には、延伸によりフィルム内
部に生じる局部的な機械的歪がアニールにより緩和され
、またフィルムの延伸方向と横方向との物理的定数の差
が緩和され、フィルムの曲率が変化せず、このため温度
変化により感渡、高城共振周波数が変化せず、安定に動
作するものである。
分にあうわれず、逆にアニールする温度が余り高すぎる
とフィルムの圧電定数が低下する。このためアニールの
温度は７０℃〜１０ぴ０が技途である。上記のようにフ
ィルムをアニールした場合には、延伸によりフィルム内
部に生じる局部的な機械的歪がアニールにより緩和され
、またフィルムの延伸方向と横方向との物理的定数の差
が緩和され、フィルムの曲率が変化せず、このため温度
変化により感渡、高城共振周波数が変化せず、安定に動
作するものである。
なお上記実施例ではアニール工程を分極後に行っている
が、延伸後又は鰭極蒸着後に行つもよいものである。
が、延伸後又は鰭極蒸着後に行つもよいものである。
第４図は本発明の製造方法により製造した圧電型マイク
ロホンの完成状態を示しており、フィルム１が接着され
たフルーム２を孔４を有するケース３の孔部に固定する
ものである。
ロホンの完成状態を示しており、フィルム１が接着され
たフルーム２を孔４を有するケース３の孔部に固定する
ものである。
第４図において、５はキヤビテイボツクス、６はキヤビ
テイボックス５とケース３間に介在された絶縁板、７は
フレーム２の後部に配直された穴あきプレート、０‘ま
穴あきプレート８の後面に設けられた吸音材、９はケー
ス３内に収納されたプリント基板であり、このプリント
基板９に前瞳増幅用ＦＥＴＩＯが取付けられている。な
お第４図に示すマイクロホンにおいて、フィルム１の一
方の電極はフレーム２、穴あきプレート７、キャビティ
ボツクス５を介して取出し、他方の電極はケース３を介
して取出すことができるものである。第５図は本発明の
製造方法によるマイクロホンＡと従来のマイクロホンＢ
との信頼性試験（環境条件、温度７０ｑｏ、湿度９６％
）結果を示している。
テイボックス５とケース３間に介在された絶縁板、７は
フレーム２の後部に配直された穴あきプレート、０‘ま
穴あきプレート８の後面に設けられた吸音材、９はケー
ス３内に収納されたプリント基板であり、このプリント
基板９に前瞳増幅用ＦＥＴＩＯが取付けられている。な
お第４図に示すマイクロホンにおいて、フィルム１の一
方の電極はフレーム２、穴あきプレート７、キャビティ
ボツクス５を介して取出し、他方の電極はケース３を介
して取出すことができるものである。第５図は本発明の
製造方法によるマイクロホンＡと従来のマイクロホンＢ
との信頼性試験（環境条件、温度７０ｑｏ、湿度９６％
）結果を示している。
なお横軸は時間（ｈｒ）、縦軸は感度減衰量（凪）であ
る。第５図からも明らかなように、例えば従来例Ｂでは
１０仇ｒ後に紅Ｂ減衰しているのに対して本発明品Ａで
は１組以内である。
る。第５図からも明らかなように、例えば従来例Ｂでは
１０仇ｒ後に紅Ｂ減衰しているのに対して本発明品Ａで
は１組以内である。
なお第５図に示す測定値は前記環境条件に放置した後、
取り出して沙て放贋した後の測定値である。上記実施例
からも明らかなように本発明によれば、温度変化により
感度、高城共振周波数が変化せず、安定に動作する利点
を有するものである。
取り出して沙て放贋した後の測定値である。上記実施例
からも明らかなように本発明によれば、温度変化により
感度、高城共振周波数が変化せず、安定に動作する利点
を有するものである。
第１図は従来のマイクロホンの製造工程図、第２図は従
来のマイクロホンの斜視図、第３図は本発明の一実施例
におけるマイクロホンの製造工程図、第４図は本発明の
一実施例におけるマイクロホンの断面図、第５図は本発
明および従来例のマイクロホンの信頼性試験結果を示す
図である。 １……フイルム、２……フレーム、３……ケース、４…
…孔、５……キャビテイボックス「 ６…・・・絶縁板
、７・…・・プレート、８・・・・・・吸音材、９・・
・・・・プリント基板、１０…・・・ＦＥＴ。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図
来のマイクロホンの斜視図、第３図は本発明の一実施例
におけるマイクロホンの製造工程図、第４図は本発明の
一実施例におけるマイクロホンの断面図、第５図は本発
明および従来例のマイクロホンの信頼性試験結果を示す
図である。 １……フイルム、２……フレーム、３……ケース、４…
…孔、５……キャビテイボックス「 ６…・・・絶縁板
、７・…・・プレート、８・・・・・・吸音材、９・・
・・・・プリント基板、１０…・・・ＦＥＴ。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 高結晶化高分子圧電フイルムを一軸方向に延伸した
後、一定時間加熱してアニールをし、その後上記高結晶
化高分子圧電フイルムを、張力を付与した状態で、湾曲
したフレームに接着し、上記高結晶化高分子圧電フイル
ムを円筒面形状とすることを特徴とする圧電型マイクロ
ホンの製造方法。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の圧電型マイクロホンの
製造方法において、アニールの温度を７０℃〜１００℃
とした圧電型マイクロホンの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52001677A JPS6020960B2 (ja) | 1977-01-10 | 1977-01-10 | 圧電型マイクロホンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52001677A JPS6020960B2 (ja) | 1977-01-10 | 1977-01-10 | 圧電型マイクロホンの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5391721A JPS5391721A (en) | 1978-08-11 |
| JPS6020960B2 true JPS6020960B2 (ja) | 1985-05-24 |
Family
ID=11508133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52001677A Expired JPS6020960B2 (ja) | 1977-01-10 | 1977-01-10 | 圧電型マイクロホンの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020960B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111834520B (zh) * | 2020-06-29 | 2021-08-27 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种表面均匀性优化的压电单晶薄膜制备方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118716A (ja) * | 1974-02-28 | 1975-09-17 | ||
| JPS5147298A (en) * | 1974-10-18 | 1976-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Atsudenzairyono seizohoho |
-
1977
- 1977-01-10 JP JP52001677A patent/JPS6020960B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118716A (ja) * | 1974-02-28 | 1975-09-17 | ||
| JPS5147298A (en) * | 1974-10-18 | 1976-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Atsudenzairyono seizohoho |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5391721A (en) | 1978-08-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Ueberschlag | PVDF piezoelectric polymer | |
| Oshiki et al. | Inverse piezoelectric effect and electrostrictive effect in polarized poly (vinylidene fluoride) films | |
| US9929679B2 (en) | Electrostatic induction-type vibration power generation device and method of manufacturing the same | |
| US4684337A (en) | Device for polarizing ferroelectric materials | |
| US20050012569A1 (en) | Piezoelectric vibrator filter using the same and method for adjusting piezoelectric vibrator | |
| CA1261930A (en) | Vibrating beam force transducer with a-frame beam root and frequency adjusting means | |
| US10356509B2 (en) | Signal processing method of audio sensing device, and audio sensing system | |
| US3447217A (en) | Method of producing ceramic piezoelectric vibrator | |
| Mokrý et al. | Noise shielding system utilizing a thin piezoelectric membrane and elasticity control | |
| US3697790A (en) | Transducers having piezoelectric struts | |
| EP0605666A1 (en) | Mechanical-vibration-cancelling piezo ceramic microphone | |
| JPS6020960B2 (ja) | 圧電型マイクロホンの製造方法 | |
| JPH07113697A (ja) | ロードセル | |
| US4433264A (en) | Electrode structure for a zinc oxide thin film | |
| JPS6163107A (ja) | 水晶振動子 | |
| US9435704B2 (en) | Shock recording device | |
| US2170318A (en) | Piezoelectric crystal device | |
| RU188677U1 (ru) | Магнитоэлектрический сенсор магнитных полей | |
| JPH07240997A (ja) | 受波型圧電素子 | |
| JPS5931421A (ja) | 振動センサ− | |
| JP2003345381A (ja) | 骨伝導音声振動検出素子及び音声認識システム | |
| Davis | Piezoelectric polymer transducers | |
| JPS5815400A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2023111668A (ja) | 検出装置 | |
| JPS595722A (ja) | 酸化亜鉛薄膜の電極構造 |