JPS60200145A - クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置Info
- Publication number
- JPS60200145A JPS60200145A JP5600484A JP5600484A JPS60200145A JP S60200145 A JPS60200145 A JP S60200145A JP 5600484 A JP5600484 A JP 5600484A JP 5600484 A JP5600484 A JP 5600484A JP S60200145 A JPS60200145 A JP S60200145A
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- Japan
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- counter
- cleanliness
- clean room
- clean
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/24—Suction devices
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は微小粒子計数器によるクリーンルーム（清浄作
業室）の清浄度遠隔測定装置に関する。
業室）の清浄度遠隔測定装置に関する。
〔発明の背景）
複数のクリーンルームを持つ作業場て各りＩＪ−ンルー
ムの空気清浄度を集中管理する場合には、空気清浄度の
遠隔測定装置が必要である。
ムの空気清浄度を集中管理する場合には、空気清浄度の
遠隔測定装置が必要である。
第１図は従来技術によるクリーンルームの清浄度遠隔測
定装置の一例を示す。この例では、１−１〜１−ｎの各
クリーンルームにそれぞれ微小粒子計数器３を設置し各
微小粒子計数器３の空気吸引口４から測定点２の被検空
気を吸引し、空気排出口５から排出して、被検空気の単
位流量当りの微小粒子数を計測する。各微小粒子計数器
３の計数結果は信号電線６により管理室７の処理装置８
へ送信され、表示装置９に空気清浄度として表示される
。表示装置９はプリンタまたはＣＲＴディスプレイなど
である。
定装置の一例を示す。この例では、１−１〜１−ｎの各
クリーンルームにそれぞれ微小粒子計数器３を設置し各
微小粒子計数器３の空気吸引口４から測定点２の被検空
気を吸引し、空気排出口５から排出して、被検空気の単
位流量当りの微小粒子数を計測する。各微小粒子計数器
３の計数結果は信号電線６により管理室７の処理装置８
へ送信され、表示装置９に空気清浄度として表示される
。表示装置９はプリンタまたはＣＲＴディスプレイなど
である。
この例は、各クリーンルームに微小粒子計数器を設置い
ているため、空気清浄度の正確な測定が可能であるが、
粒子径０．５μ以下の微小粒子を対象とする微小粒子計
数器は非常に高価であるため、装置全体の設備費がかさ
み、実用的でない。
ているため、空気清浄度の正確な測定が可能であるが、
粒子径０．５μ以下の微小粒子を対象とする微小粒子計
数器は非常に高価であるため、装置全体の設備費がかさ
み、実用的でない。
第２図は従来技術によるクリーンルームの清浄度遠隔測
定装置の他の例を示す。この例は、微小粒子計数器３を
処理装置８、表示装置９とともに管理室７に設置し、ク
リーンルーム１−１〜１−ｎの各測定点２から管理室７
まで空気吸引管路１０を布設し、接続切換器１１により
各測定点２からの空気吸引管路１０を微小粒子計数器３
の空気吸引口４に順次切換接続して、各測定点２から吸
引された被検空気中の微小粒子を計数するもので、接続
切換器１１には通常電磁弁を用いて一定時間ごとに順次
切換を行なうものが多い。
定装置の他の例を示す。この例は、微小粒子計数器３を
処理装置８、表示装置９とともに管理室７に設置し、ク
リーンルーム１−１〜１−ｎの各測定点２から管理室７
まで空気吸引管路１０を布設し、接続切換器１１により
各測定点２からの空気吸引管路１０を微小粒子計数器３
の空気吸引口４に順次切換接続して、各測定点２から吸
引された被検空気中の微小粒子を計数するもので、接続
切換器１１には通常電磁弁を用いて一定時間ごとに順次
切換を行なうものが多い。
この方式によると、高価な微小粒子計数器が１台ですみ
、装置全体が安価になるが、下記のような大きな欠点が
ある。
、装置全体が安価になるが、下記のような大きな欠点が
ある。
（１）空気吸引管路１０が長くなるため、測定点２から
微小粒子計数器３に被検空気がとどくまでにかなりの時
間がかかり、測定の待ち時間が長くなる。
微小粒子計数器３に被検空気がとどくまでにかなりの時
間がかかり、測定の待ち時間が長くなる。
特に０１μ粒子測定用のレーザダストモニタ（レーデ光
を利用した微小粒子計数器）などでは吸引空気量が微小
であるために待ち時間が非常に長くなる。
を利用した微小粒子計数器）などでは吸引空気量が微小
であるために待ち時間が非常に長くなる。
（２）微粒子計数器に接続されていない空気吸引管路１
０には空気が滞留して、管内に塵埃かたまる原因となり
、測定の精度を悪くする。
０には空気が滞留して、管内に塵埃かたまる原因となり
、測定の精度を悪くする。
以上のように従来技術では、測定精度を上げようとする
と装置が非常に高価となり、安価な装置では十分な測定
精度が得られず、また測定の待ち時間が長くなるという
問題点があった。
と装置が非常に高価となり、安価な装置では十分な測定
精度が得られず、また測定の待ち時間が長くなるという
問題点があった。
〔発明の目的）
本発明の目的は、測定点が多数ある場合でも比較的安い
費用で正確で特に待時間が少い空気清浄度の遠隔測定が
できるクリーンルームの清浄度遠隔測定装置を提供する
ことにある。
費用で正確で特に待時間が少い空気清浄度の遠隔測定が
できるクリーンルームの清浄度遠隔測定装置を提供する
ことにある。
本発明は、クリーンルームの空気清浄度を微小粒子計数
器により遠隔測定する装置において、測定点から微小粒
子計数器の近くまで一端が測定点に開口し、他端が吸引
ポンプに接続された空気吸引用主管路を布設する２＝と
もに、この主管路に微小粒子計数器へ被検空気を導く分
岐管路を接続し、上記主管路の測定点からの吸引空気量
を微小粒子計数器の吸引空気量より多量としたことを特
徴とするものである。
器により遠隔測定する装置において、測定点から微小粒
子計数器の近くまで一端が測定点に開口し、他端が吸引
ポンプに接続された空気吸引用主管路を布設する２＝と
もに、この主管路に微小粒子計数器へ被検空気を導く分
岐管路を接続し、上記主管路の測定点からの吸引空気量
を微小粒子計数器の吸引空気量より多量としたことを特
徴とするものである。
〔発明の実施例）
本発明の一実施例を第３図により説明する。
第３図に示すように、空気吸引（コ４および空気排出口
５を有する微小粒子計数器３を管理室７に設置し、複数
のクリーンルーム１−１〜ｌ−ｎの各測定点２から微小
粒子計数器３の近くまで空気吸引用主管路１２を布設す
る。この空気吸引用主管路１２は、一端が各測定点２に
それぞれ開口し、他端が吸引ポンプ１３に接続されてい
る。本例では、１台の吸引ポンプ１３により各測定点２
から同時に空気を吸引するようにしているが、各測定点
２からの空気吸引用主管路１２を別々の吸引ポンプに接
続して空気を吸引させてもよい。上記主管路１２の各測
定点２からの吸引空気量は微小粒子計数器３の計測に必
要な吸引空気量より十分多くし、各測定点２から同等量
の空気を吸引するように風量調節弁１４によって調節す
る。
５を有する微小粒子計数器３を管理室７に設置し、複数
のクリーンルーム１−１〜ｌ−ｎの各測定点２から微小
粒子計数器３の近くまで空気吸引用主管路１２を布設す
る。この空気吸引用主管路１２は、一端が各測定点２に
それぞれ開口し、他端が吸引ポンプ１３に接続されてい
る。本例では、１台の吸引ポンプ１３により各測定点２
から同時に空気を吸引するようにしているが、各測定点
２からの空気吸引用主管路１２を別々の吸引ポンプに接
続して空気を吸引させてもよい。上記主管路１２の各測
定点２からの吸引空気量は微小粒子計数器３の計測に必
要な吸引空気量より十分多くし、各測定点２から同等量
の空気を吸引するように風量調節弁１４によって調節す
る。
］５は上記主管路１２から微小粒子計数器３へ被検空気
を導く分岐管路で、上記主管路１２内の発蝿によって測
定精度が影響を受けないよう吸引ポンプ１３および風量
調節弁１４より上流側において、分岐管路１５の一端を
各測定点からの空気吸引用主管路１２内に開口させて接
続し、分岐管路１５の他端は接続切換器１６を介して微
小粒子計数器３の空気吸入口４に切換接続されるように
する。接続切換器１６は第２図の接続切換器１１と同様
に電磁弁を用いて構成することができる。
を導く分岐管路で、上記主管路１２内の発蝿によって測
定精度が影響を受けないよう吸引ポンプ１３および風量
調節弁１４より上流側において、分岐管路１５の一端を
各測定点からの空気吸引用主管路１２内に開口させて接
続し、分岐管路１５の他端は接続切換器１６を介して微
小粒子計数器３の空気吸入口４に切換接続されるように
する。接続切換器１６は第２図の接続切換器１１と同様
に電磁弁を用いて構成することができる。
本実施例では、常時吸引ポンプ１３によりクリーンルー
ム１−１〜ｌ−ｎの各測定点２から主管路１２を通して
空気を吸引し、接続切換器１６により分岐管路１５を微
小粒子計数器３の空気吸引口４に順次切換接続して主管
路１２に流れる各測定点の被検空気を微小粒子計数器３
へ導くことにより、被検空気中の微小粒子を計数し、そ
の計数結果を処理装置８へ送り、表示装置９に各クリー
ンルーム１−１〜１−Ｘ１の空気清浄度を表示させるも
のである。
ム１−１〜ｌ−ｎの各測定点２から主管路１２を通して
空気を吸引し、接続切換器１６により分岐管路１５を微
小粒子計数器３の空気吸引口４に順次切換接続して主管
路１２に流れる各測定点の被検空気を微小粒子計数器３
へ導くことにより、被検空気中の微小粒子を計数し、そ
の計数結果を処理装置８へ送り、表示装置９に各クリー
ンルーム１−１〜１−Ｘ１の空気清浄度を表示させるも
のである。
この構成によれば、主管路１２ｉこは常時性測定点２か
ら吸引された空気が流イユており、また分岐′すｂ 管路１５の接続点から微小粒子計数器３までの距離は比
較的短く、この間の空気が流れ去る時間はわずかである
ため、測定の待ち時間は第２図の装置に比べて著しく短
縮される。それに加えて測定精度の面でも、主管路１２
内に常時クリーンルームから吸引された清浄空気が多量
に流れていて空気の滞留がなく、したがって主管路１２
内に塵埃がたまるこ七がないので、クリーンルームの空
気清浄度を正確に測定できる。
ら吸引された空気が流イユており、また分岐′すｂ 管路１５の接続点から微小粒子計数器３までの距離は比
較的短く、この間の空気が流れ去る時間はわずかである
ため、測定の待ち時間は第２図の装置に比べて著しく短
縮される。それに加えて測定精度の面でも、主管路１２
内に常時クリーンルームから吸引された清浄空気が多量
に流れていて空気の滞留がなく、したがって主管路１２
内に塵埃がたまるこ七がないので、クリーンルームの空
気清浄度を正確に測定できる。
なお、接続切換器１６に三方電磁弁を用い、次曳
の測定点からの被検空気を微小粒子計数器３へ導入する
前に別に設けた清浄空気供給源１７から管へ１ 路１８を通して接続切換器１６と微小粒子計数器３の空
気吸引口４（！：の間の接続チューブ１９に清浄空気を
流すようにすれば、接続チューブ１９内の残存粒子を排
除して測定精度を一層高めることができる。
前に別に設けた清浄空気供給源１７から管へ１ 路１８を通して接続切換器１６と微小粒子計数器３の空
気吸引口４（！：の間の接続チューブ１９に清浄空気を
流すようにすれば、接続チューブ１９内の残存粒子を排
除して測定精度を一層高めることができる。
上記装置において、主管路１２の吸引空気量は各クリー
ンルーム１−１〜ｌ−ｎの循環空気量に比べれば極くわ
ずかであり、クリーンルームの空気清浄度に悪影響を与
える恐れは全くない。
ンルーム１−１〜ｌ−ｎの循環空気量に比べれば極くわ
ずかであり、クリーンルームの空気清浄度に悪影響を与
える恐れは全くない。
〜、
本発明によれば、主管路ｌご微小粒子計数器の吸引空気
量より多量の空気を流しておくこ七により慟、 微小粒子計数器１台で多数の測定点の空気清浄度を正確
に特に少い待時間で遠側測定することができる、クリー
ンルームの清浄度遠隔測定装置を得ることができる。
量より多量の空気を流しておくこ七により慟、 微小粒子計数器１台で多数の測定点の空気清浄度を正確
に特に少い待時間で遠側測定することができる、クリー
ンルームの清浄度遠隔測定装置を得ることができる。
第１図および第２図は従来技術によるクリーンルームの
清浄度遠隔測定装置を示す概要図、第３図は本発明の一
実施例を示す概要図である。 １−１〜１−ｎ：クリーンルーム、２：測定点、ｑ畝 ３：微小粒子計数器、１２：空気吸引用主管路、１３：
吸引ポンプ、１５：分岐管路 代理人 弁理士 高 橋 明 夫 ２ ３６−
清浄度遠隔測定装置を示す概要図、第３図は本発明の一
実施例を示す概要図である。 １−１〜１−ｎ：クリーンルーム、２：測定点、ｑ畝 ３：微小粒子計数器、１２：空気吸引用主管路、１３：
吸引ポンプ、１５：分岐管路 代理人 弁理士 高 橋 明 夫 ２ ３６−
Claims (1)
- クリーンルームの空気清浄度を微小粒子計数器により遠
隔測定する装置において、測定点から微小粒子計数器の
近くまで、一端が測定点に開口し、他端が吸引ポンプに
接続された空気吸引用主管路を布設するとともに、この
主管路に微小粒子計数器へ被検空気を導く分岐管路を接
続し、上記主管路の測定点からの吸引空気量を微小粒子
計数器の吸引空気量より多量としたことを特徴とするク
リーンルームの清浄度遠隔測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5600484A JPS60200145A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5600484A JPS60200145A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200145A true JPS60200145A (ja) | 1985-10-09 |
Family
ID=13014912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5600484A Pending JPS60200145A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200145A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62178348U (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-12 | ||
| US5708218A (en) * | 1994-07-14 | 1998-01-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and device for locating accumulations of pollutants |
| JP2002090269A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | ガス検知システム |
| US6615679B1 (en) * | 2000-08-15 | 2003-09-09 | Particle Measuring Systems, Inc. | Ensemble manifold, system and method for monitoring particles in clean environments |
| JP2021183973A (ja) * | 2016-04-29 | 2021-12-02 | トライコーン テック タイワン | 空気汚染及び処理健全性のインラインモニタのためのシステム及び方法 |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP5600484A patent/JPS60200145A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62178348U (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-12 | ||
| US5708218A (en) * | 1994-07-14 | 1998-01-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and device for locating accumulations of pollutants |
| US6615679B1 (en) * | 2000-08-15 | 2003-09-09 | Particle Measuring Systems, Inc. | Ensemble manifold, system and method for monitoring particles in clean environments |
| JP2002090269A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | ガス検知システム |
| JP2021183973A (ja) * | 2016-04-29 | 2021-12-02 | トライコーン テック タイワン | 空気汚染及び処理健全性のインラインモニタのためのシステム及び方法 |
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