JPS60200145A - クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置 - Google Patents

クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置

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JPS60200145A
JPS60200145A JP5600484A JP5600484A JPS60200145A JP S60200145 A JPS60200145 A JP S60200145A JP 5600484 A JP5600484 A JP 5600484A JP 5600484 A JP5600484 A JP 5600484A JP S60200145 A JPS60200145 A JP S60200145A
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JP
Japan
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air
counter
cleanliness
clean room
clean
Prior art date
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Pending
Application number
JP5600484A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuto Yagi
八木 克人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP5600484A priority Critical patent/JPS60200145A/ja
Publication of JPS60200145A publication Critical patent/JPS60200145A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2202Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/24Suction devices

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  • Biochemistry (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は微小粒子計数器によるクリーンルーム(清浄作
業室)の清浄度遠隔測定装置に関する。
〔発明の背景) 複数のクリーンルームを持つ作業場て各りIJ−ンルー
ムの空気清浄度を集中管理する場合には、空気清浄度の
遠隔測定装置が必要である。
第1図は従来技術によるクリーンルームの清浄度遠隔測
定装置の一例を示す。この例では、1−1〜1−nの各
クリーンルームにそれぞれ微小粒子計数器3を設置し各
微小粒子計数器3の空気吸引口4から測定点2の被検空
気を吸引し、空気排出口5から排出して、被検空気の単
位流量当りの微小粒子数を計測する。各微小粒子計数器
3の計数結果は信号電線6により管理室7の処理装置8
へ送信され、表示装置9に空気清浄度として表示される
。表示装置9はプリンタまたはCRTディスプレイなど
である。
この例は、各クリーンルームに微小粒子計数器を設置い
ているため、空気清浄度の正確な測定が可能であるが、
粒子径0.5μ以下の微小粒子を対象とする微小粒子計
数器は非常に高価であるため、装置全体の設備費がかさ
み、実用的でない。
第2図は従来技術によるクリーンルームの清浄度遠隔測
定装置の他の例を示す。この例は、微小粒子計数器3を
処理装置8、表示装置9とともに管理室7に設置し、ク
リーンルーム1−1〜1−nの各測定点2から管理室7
まで空気吸引管路10を布設し、接続切換器11により
各測定点2からの空気吸引管路10を微小粒子計数器3
の空気吸引口4に順次切換接続して、各測定点2から吸
引された被検空気中の微小粒子を計数するもので、接続
切換器11には通常電磁弁を用いて一定時間ごとに順次
切換を行なうものが多い。
この方式によると、高価な微小粒子計数器が1台ですみ
、装置全体が安価になるが、下記のような大きな欠点が
ある。
(1)空気吸引管路10が長くなるため、測定点2から
微小粒子計数器3に被検空気がとどくまでにかなりの時
間がかかり、測定の待ち時間が長くなる。
特に01μ粒子測定用のレーザダストモニタ(レーデ光
を利用した微小粒子計数器)などでは吸引空気量が微小
であるために待ち時間が非常に長くなる。
(2)微粒子計数器に接続されていない空気吸引管路1
0には空気が滞留して、管内に塵埃かたまる原因となり
、測定の精度を悪くする。
以上のように従来技術では、測定精度を上げようとする
と装置が非常に高価となり、安価な装置では十分な測定
精度が得られず、また測定の待ち時間が長くなるという
問題点があった。
〔発明の目的) 本発明の目的は、測定点が多数ある場合でも比較的安い
費用で正確で特に待時間が少い空気清浄度の遠隔測定が
できるクリーンルームの清浄度遠隔測定装置を提供する
ことにある。
〔発明の概要〕
本発明は、クリーンルームの空気清浄度を微小粒子計数
器により遠隔測定する装置において、測定点から微小粒
子計数器の近くまで一端が測定点に開口し、他端が吸引
ポンプに接続された空気吸引用主管路を布設する2=と
もに、この主管路に微小粒子計数器へ被検空気を導く分
岐管路を接続し、上記主管路の測定点からの吸引空気量
を微小粒子計数器の吸引空気量より多量としたことを特
徴とするものである。
〔発明の実施例) 本発明の一実施例を第3図により説明する。
第3図に示すように、空気吸引(コ4および空気排出口
5を有する微小粒子計数器3を管理室7に設置し、複数
のクリーンルーム1−1〜l−nの各測定点2から微小
粒子計数器3の近くまで空気吸引用主管路12を布設す
る。この空気吸引用主管路12は、一端が各測定点2に
それぞれ開口し、他端が吸引ポンプ13に接続されてい
る。本例では、1台の吸引ポンプ13により各測定点2
から同時に空気を吸引するようにしているが、各測定点
2からの空気吸引用主管路12を別々の吸引ポンプに接
続して空気を吸引させてもよい。上記主管路12の各測
定点2からの吸引空気量は微小粒子計数器3の計測に必
要な吸引空気量より十分多くし、各測定点2から同等量
の空気を吸引するように風量調節弁14によって調節す
る。
]5は上記主管路12から微小粒子計数器3へ被検空気
を導く分岐管路で、上記主管路12内の発蝿によって測
定精度が影響を受けないよう吸引ポンプ13および風量
調節弁14より上流側において、分岐管路15の一端を
各測定点からの空気吸引用主管路12内に開口させて接
続し、分岐管路15の他端は接続切換器16を介して微
小粒子計数器3の空気吸入口4に切換接続されるように
する。接続切換器16は第2図の接続切換器11と同様
に電磁弁を用いて構成することができる。
本実施例では、常時吸引ポンプ13によりクリーンルー
ム1−1〜l−nの各測定点2から主管路12を通して
空気を吸引し、接続切換器16により分岐管路15を微
小粒子計数器3の空気吸引口4に順次切換接続して主管
路12に流れる各測定点の被検空気を微小粒子計数器3
へ導くことにより、被検空気中の微小粒子を計数し、そ
の計数結果を処理装置8へ送り、表示装置9に各クリー
ンルーム1−1〜1−X1の空気清浄度を表示させるも
のである。
この構成によれば、主管路12iこは常時性測定点2か
ら吸引された空気が流イユており、また分岐′すb 管路15の接続点から微小粒子計数器3までの距離は比
較的短く、この間の空気が流れ去る時間はわずかである
ため、測定の待ち時間は第2図の装置に比べて著しく短
縮される。それに加えて測定精度の面でも、主管路12
内に常時クリーンルームから吸引された清浄空気が多量
に流れていて空気の滞留がなく、したがって主管路12
内に塵埃がたまるこ七がないので、クリーンルームの空
気清浄度を正確に測定できる。
なお、接続切換器16に三方電磁弁を用い、次曳 の測定点からの被検空気を微小粒子計数器3へ導入する
前に別に設けた清浄空気供給源17から管へ1 路18を通して接続切換器16と微小粒子計数器3の空
気吸引口4(!:の間の接続チューブ19に清浄空気を
流すようにすれば、接続チューブ19内の残存粒子を排
除して測定精度を一層高めることができる。
上記装置において、主管路12の吸引空気量は各クリー
ンルーム1−1〜l−nの循環空気量に比べれば極くわ
ずかであり、クリーンルームの空気清浄度に悪影響を与
える恐れは全くない。
〔発明の効果〕
〜、 本発明によれば、主管路lご微小粒子計数器の吸引空気
量より多量の空気を流しておくこ七により慟、 微小粒子計数器1台で多数の測定点の空気清浄度を正確
に特に少い待時間で遠側測定することができる、クリー
ンルームの清浄度遠隔測定装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は従来技術によるクリーンルームの
清浄度遠隔測定装置を示す概要図、第3図は本発明の一
実施例を示す概要図である。 1−1〜1−n:クリーンルーム、2:測定点、q畝 3:微小粒子計数器、12:空気吸引用主管路、13:
吸引ポンプ、15:分岐管路 代理人 弁理士 高 橋 明 夫 2 36−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. クリーンルームの空気清浄度を微小粒子計数器により遠
    隔測定する装置において、測定点から微小粒子計数器の
    近くまで、一端が測定点に開口し、他端が吸引ポンプに
    接続された空気吸引用主管路を布設するとともに、この
    主管路に微小粒子計数器へ被検空気を導く分岐管路を接
    続し、上記主管路の測定点からの吸引空気量を微小粒子
    計数器の吸引空気量より多量としたことを特徴とするク
    リーンルームの清浄度遠隔測定装置。
JP5600484A 1984-03-26 1984-03-26 クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置 Pending JPS60200145A (ja)

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JP5600484A JPS60200145A (ja) 1984-03-26 1984-03-26 クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置

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JPS60200145A true JPS60200145A (ja) 1985-10-09

Family

ID=13014912

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JP5600484A Pending JPS60200145A (ja) 1984-03-26 1984-03-26 クリ−ンル−ムの清浄度遠隔測定装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62178348U (ja) * 1986-05-02 1987-11-12
US5708218A (en) * 1994-07-14 1998-01-13 Siemens Aktiengesellschaft Method and device for locating accumulations of pollutants
JP2002090269A (ja) * 2000-09-13 2002-03-27 Otsuka Denshi Co Ltd ガス検知システム
US6615679B1 (en) * 2000-08-15 2003-09-09 Particle Measuring Systems, Inc. Ensemble manifold, system and method for monitoring particles in clean environments
JP2021183973A (ja) * 2016-04-29 2021-12-02 トライコーン テック タイワン 空気汚染及び処理健全性のインラインモニタのためのシステム及び方法

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