JPS60195958A - Lead frame - Google Patents

Lead frame

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Publication number
JPS60195958A
JPS60195958A JP5094284A JP5094284A JPS60195958A JP S60195958 A JPS60195958 A JP S60195958A JP 5094284 A JP5094284 A JP 5094284A JP 5094284 A JP5094284 A JP 5094284A JP S60195958 A JPS60195958 A JP S60195958A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frame
lead
tab
resin
molding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5094284A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshio Sugano
利夫 菅野
Shunji Koike
俊二 小池
Takeshi Komaru
小丸 健
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP5094284A priority Critical patent/JPS60195958A/en
Publication of JPS60195958A publication Critical patent/JPS60195958A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enhance the reliability and dimensional stability by forming the tab hanging lead connector of a frame in a recess shape of the prescribed width, thereby obtaining a range necessary to cut the tab hanging lead after molding. CONSTITUTION:A portion necessary to insert a tab hanging lead cutting jig is obtained in advance as a recess shape 7 formed on a frame 1, thereby cutting sufficiently the lead 2 even if the frame 1 except the portion required for inserting the jig is increased in width. Therefore, even if a semiconductor device made of a package of the size near the frame 1 as shown by two-dotted chain line is manufactured, the leads 2 are effectively cut after molding, and the cavity formed in a mold is the same as the package 8. Thus, a distance from the end of the frame can be very shortened. Accordingly, a resin flash occurred therebetween can be reduced extremely.

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] 本発明は、半導体装置の信頼性向上に通用して有効な技
術に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a technique that is generally effective in improving the reliability of semiconductor devices.

[背景技術] 通常、樹脂モールド型半導体装置は、゛リードフレーム
のタブのベレットを取り付け、次゛いで該ベレットのポ
ンディングパッドとリードとをワイヤボンディングする
ことにより電気的接続を行った後、金型を用いてエポキ
シ樹脂等の樹脂でモールドを行い、次いでリードの切断
さらには折り曲げの工程を経て形成されるものである。
[Background Art] Usually, a resin molded semiconductor device is manufactured by attaching a pellet to the tab of a lead frame, and then making an electrical connection by wire bonding the bonding pad of the pellet to the lead. It is formed by molding with a resin such as epoxy resin using a mold, and then cutting and bending the leads.

前記の樹脂モールドの工程は、リードフレームを金型の
上型と下型との間に挟持した状態で樹脂を所定の圧力で
上型と下型の間に形成されているキャビティ内に注入す
ることにより行われる。
The resin molding process described above involves injecting resin at a predetermined pressure into the cavity formed between the upper and lower molds while the lead frame is held between the upper and lower molds. This is done by

その際、上型と下型の間に生じている僅かの隙間から樹
脂が飛び出す、いわゆるレジンフラッシュという現象が
生じるが、この現象で飛び出た樹脂(パリ)は樹脂流出
防止用のダムとして作用するリードフレームのフレーム
部まで達する(特開昭50−128466号公報)。
At that time, a so-called resin flash phenomenon occurs in which the resin pops out from the small gap created between the upper mold and the lower mold, but the resin (paris) that pops out due to this phenomenon acts as a dam to prevent the resin from flowing out. It reaches the frame portion of the lead frame (Japanese Unexamined Patent Publication No. 128466/1983).

一方、タブ吊りリード方向では、樹脂モールド後に該タ
ブ吊りリードを切断する必要があるため、切断用金型を
挿入するだけの余裕をもってフレームが形成されている
。それ故、タブ吊りリード方向の前記金型に形成される
キャビティ端部からダムであるフレームまでの距離が、
前記金型挿入用に必琴な寸法分だけ大きくなり、結果と
して樹脂モールド時に発生するレジンフラッシュが大き
くなってしまうという問題が考えられる。
On the other hand, in the tab suspension lead direction, since it is necessary to cut the tab suspension lead after resin molding, the frame is formed with enough room to insert a cutting mold. Therefore, the distance from the end of the cavity formed in the mold in the direction of the tab suspension lead to the frame, which is the dam, is
A possible problem is that the size is increased by the necessary size for insertion into the mold, and as a result, the resin flash that occurs during resin molding becomes large.

また、このように大きなレジンフラッシュが発生した半
導体装置では、パンケージの寸法安定性が悪いという問
題があり、そのためレジンフラッシュを切除するいわゆ
るパリ取り工程が余分に必要になり、さらに前記パリ取
り工程においてパッケージ部にストレスが加わることに
よりパフケージ内のベレット割れ等の欠陥を生じ易くな
る等の問題があることが本発明者によって見い出された
In addition, in semiconductor devices in which such a large resin flash has occurred, there is a problem in that the dimensional stability of the pancage is poor, which requires an extra so-called deburring process to remove the resin flash, and furthermore, in the deburring process, The inventors have discovered that the application of stress to the package portion causes problems such as defects such as pellet cracking within the puff cage.

[発明の目的コ 本発明の目的は、半導体装置の信頼性向上に通用して有
効な技術を提供することにある。
[Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a technique that is generally applicable and effective for improving the reliability of semiconductor devices.

本発明の他の目的は、信頼性の高い半導体装置を安価に
製造するに適用して有効な技術を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a technique that is applicable and effective in manufacturing highly reliable semiconductor devices at low cost.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

[発明の概要] 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
[Summary of the Invention] A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、樹脂モールド型半導体装置を形成する際に使
用するリードフレームについて、フレームのタブ吊りリ
ード接続部を凹形状にすることにより、タブ吊りリード
切断用治具を挿入する部分を確保した上で、それ以外の
フレーム部の巾を広くして、樹脂モールド時の金型のキ
ャビティ端部とダムであるフレームとの間の距離を小さ
くすることができることにより、樹脂モールド時に発生
するレジンフラッシュの巾を縮小させることができるも
のである。
That is, for a lead frame used when forming a resin molded semiconductor device, the tab suspension lead connection portion of the frame is made concave to secure a portion into which a tab suspension lead cutting jig is inserted. By increasing the width of the other frame parts and reducing the distance between the end of the mold cavity and the dam frame during resin molding, the width of the resin flash that occurs during resin molding can be reduced. It is something that can be reduced.

[実施例] 図は、本発明による一実施例であるDIP型半導体装置
用リードフレームの一部を、その概略平面図で示したも
のである。通常用いられるフレームは、本図に示す形状
のものを一単位として、左右方向に複数を連結した形状
からなるものである。
[Example] The figure shows a schematic plan view of a part of a lead frame for a DIP type semiconductor device, which is an example of the present invention. A commonly used frame has a shape shown in this figure as one unit, and a plurality of frames are connected in the left and right direction.

本実施例に示すリードフレームは、フレーム1と該フレ
ーム1に直結するタブ吊りリード2、ダム3および隣接
する単位との間に形成されている仕切り枠4によって骨
格が形成されており、タブ吊りリード2の先端には単位
形状の中央部にタブ5が固定され、さらにそのほぼ中央
部がダム3で支持されてタイバー(仕切り枠)4よりタ
ブ5近傍まで延在するリード6により形成されてなるも
のである。
The lead frame shown in this embodiment has a skeleton formed by a frame 1, a tab suspension lead 2 directly connected to the frame 1, a dam 3, and a partition frame 4 formed between an adjacent unit. A tab 5 is fixed to the tip of the lead 2 at the center of the unit shape, and a lead 6 is formed approximately at the center of the lead 6, which is supported by a dam 3 and extends from a tie bar (partition frame) 4 to the vicinity of the tab 5. It is what it is.

本実施例によるリードフレームは、フレーム1のタブ吊
りリード接続部を所定中の凹形状7で形成し、それ以外
の位置のフレームlの巾を十分大きくできるようにした
ものであり、その他のほとんどの部分は通常用いられて
いるリードフレームとほぼ同様のものである。
In the lead frame according to this embodiment, the tab suspension lead connection portion of the frame 1 is formed with a predetermined concave shape 7, and the width of the frame l at other positions can be made sufficiently large. This part is almost the same as a commonly used lead frame.

本実施例のリードフレームを用いて樹脂封止型パッケー
ジからなる半導体装置を製造する場合、タブ吊りリード
切断用治具を挿入するに必要な部分を予めフレーム1に
形成した凹形状7として確保しておくことにより、咳治
具挿入に要する部分以外のフレーム1を巾広く形成して
も十分にタブ吊りリード2の切断を行うことができるも
のである。
When manufacturing a semiconductor device consisting of a resin-sealed package using the lead frame of this example, a concave shape 7 formed in the frame 1 is provided in advance to provide a portion necessary for inserting a tab suspension lead cutting jig. By doing so, even if the frame 1 is made wider than the portion required for inserting the cough jig, the tab hanging lead 2 can be sufficiently cut.

したがって、二点鎖線で示すようなフレームlと近接し
た大きさのパンケージからなる半導体装置を製造する場
合であっても、モールド後のタブ吊りリード2の切断は
確実に行うことができるとともに、モールド金型に形成
されているキャビティもパンケージ8と同じであるため
、該キャビティ端部からフレームまでの距離を非常に短
くすることができるので、その間に発生するレジンフラ
ッシュも非常に小さくすることができる。
Therefore, even when manufacturing a semiconductor device consisting of a pancage of a size close to the frame l as shown by the two-dot chain line, the tab suspension lead 2 can be reliably cut after molding, and the mold Since the cavity formed in the mold is also the same as the pan cage 8, the distance from the end of the cavity to the frame can be made very short, so the resin flash that occurs during that time can also be made very small. .

このように、本実施例によるリードフレームを用いて製
造される樹脂封止型半導体装置は、発生するレジンフラ
ッシュを極めて小さくすることができることにより、安
定した寸法のパンケージからなる製品を提供することが
できるものであり、それ故、いわゆるパリ取り工程が不
要となり、結果として該パリ取り工程でパンケージにス
トレスが加わることが原因で生じるベレット割れ等の欠
陥の発生も無くすることができる。
As described above, the resin-sealed semiconductor device manufactured using the lead frame according to the present example can minimize the generated resin flash, thereby making it possible to provide a product consisting of a pancage with stable dimensions. Therefore, the so-called deburring process becomes unnecessary, and as a result, defects such as pellet cracking caused by stress applied to the pan cage in the deburring process can also be eliminated.

さらに、前記レジンフラッシュは、フレーム1の凹形状
7の部分では、くぼみ分だけ大きくなるが、それはタブ
吊りリード切断用治具を挿入する程度の狭い巾であるた
め、モールド後のタブ吊りリード切断時に同時に取り除
くことができる。
Furthermore, although the resin flash is larger by the amount of the recess in the concave portion 7 of the frame 1, the width is narrow enough to insert the tab hanging lead cutting jig, so the tab hanging lead can be cut after molding. Sometimes they can be removed at the same time.

なお、本実施例のリードフレームは、通常用いられる材
料である4270イまたはコバール等の金属でプレス加
工またはエツチング等の通常用いられる方法で容易に製
造することができるものである。
The lead frame of this embodiment can be easily manufactured from a commonly used material such as 4270 or metal such as Kovar by a commonly used method such as press working or etching.

[効果] (1)、樹脂封止型パッケージからなるDIP型半導体
装置に使用するリードフレームについて、フレームのタ
ブ吊りリード接続部を所定中の凹形状で形成することに
より、モールド後のタブ吊りリード切断に必要な範囲を
確保することができるので、モールド金型に形成されて
いるキャビティ端部をフレームに近接した状態で樹脂モ
ールドをすることができる。
[Effects] (1) Regarding the lead frame used in a DIP type semiconductor device consisting of a resin-sealed package, by forming the tab-suspended lead connection portion of the frame in a predetermined concave shape, the tab-suspended lead after molding is Since the area necessary for cutting can be secured, resin molding can be performed with the end of the cavity formed in the molding die close to the frame.

(2)、前記(1)により、モールド金型に形成されて
いるキャビティ端部とフレームとの間に、樹脂モールド
時に発生するレジンフラッシュを小さくすることができ
るので、安定した寸法のパンケージからなる半導体装置
を提供することができる。
(2) According to (1) above, the resin flash that occurs during resin molding can be reduced between the end of the cavity formed in the mold and the frame, so a pan cage with stable dimensions is formed. A semiconductor device can be provided.

(3)、前記(2)゛より、パリ取り工程を省略するこ
とができる。
(3) From (2) above, the deburring step can be omitted.

(4)、前記(3)により、パリ取り工程におけるスト
レスがパッケージに加わることが無くなるので、該スト
レスが原因で生じるペレット割れ等の欠陥の発生を完全
に無くすることができる。
(4) According to (3) above, stress in the deburring process is not applied to the package, so it is possible to completely eliminate defects such as pellet cracking caused by the stress.

(5)、前記+11〜(4)により、信頼性が高く、寸
法安定性の良い樹脂封止型パッケージからなる半導体装
置を安価に提供することができる。
(5) According to +11 to (4) above, it is possible to provide a semiconductor device comprising a resin-sealed package with high reliability and good dimensional stability at a low cost.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.

たとえば、フレームのタブ吊りリード接続部の凹形状を
、底部が矩形のものについて説明したが、これに限るも
のでなく、たとえば円弧状等の切断内治具を挿入できる
形状であれば如何なる形状であってもよい。
For example, although the concave shape of the tab hanging lead connection part of the frame has been described as having a rectangular bottom, the concave shape is not limited to this, but any shape can be used as long as it is a shape that allows insertion of a cutting jig, such as an arc shape. There may be.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図は、本発明による一実施例であるリードフレームの一
部を示す概略平面図である。 1・・・フレーム、2・・・タブ吊りリード、3・・・
ダム、4・・・仕切り枠、5・・・タブ、6・・・リー
ド、7・・・凹形状、8・・・パンケージ。 代理人 弁理士 高 橋 明 夫
The figure is a schematic plan view showing a part of a lead frame that is an embodiment of the present invention. 1...Frame, 2...Tab hanging lead, 3...
Dam, 4... Partition frame, 5... Tab, 6... Lead, 7... Concave shape, 8... Pan cage. Agent Patent Attorney Akio Takahashi

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、フレームのタブ吊りリード接続部が所定中の凹形状
で形成されているリードフレーム。 2、フレームの巾が前記凹形状以外の位置で十分法<形
成さiていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載のリードフレーム。
[Scope of Claims] 1. A lead frame in which the tab suspension lead connection portion of the frame is formed in a predetermined concave shape. 2. The lead frame according to claim 1, wherein the width of the frame is substantially equal to the width of the frame at a position other than the concave shape.
JP5094284A 1984-03-19 1984-03-19 Lead frame Pending JPS60195958A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5094284A JPS60195958A (en) 1984-03-19 1984-03-19 Lead frame

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JP5094284A JPS60195958A (en) 1984-03-19 1984-03-19 Lead frame

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JPS60195958A true JPS60195958A (en) 1985-10-04

Family

ID=12872874

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5094284A Pending JPS60195958A (en) 1984-03-19 1984-03-19 Lead frame

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JP (1) JPS60195958A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62162837U (en) * 1986-04-04 1987-10-16

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62162837U (en) * 1986-04-04 1987-10-16

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