JPS60193550U - フオトマスク基板 - Google Patents
フオトマスク基板Info
- Publication number
- JPS60193550U JPS60193550U JP1984080759U JP8075984U JPS60193550U JP S60193550 U JPS60193550 U JP S60193550U JP 1984080759 U JP1984080759 U JP 1984080759U JP 8075984 U JP8075984 U JP 8075984U JP S60193550 U JPS60193550 U JP S60193550U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask board
- photomask substrate
- glass plate
- coloring
- photomask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のフォトマスク基板の形状を説明する斜視
図、第２図は本考案のフォトマスク基板の構成を説明す
る斜視図である。 図中、１・・・・・・フォトマスク基板、１ａ、１ｂ・
・・・・・カット、１１・・・・・・フォトマスク基板
、１１ａ。 １１ｂ・・・・・・カット。
図、第２図は本考案のフォトマスク基板の構成を説明す
る斜視図である。 図中、１・・・・・・フォトマスク基板、１ａ、１ｂ・
・・・・・カット、１１・・・・・・フォトマスク基板
、１１ａ。 １１ｂ・・・・・・カット。
Claims (2)
- （１）ガラス製板体からなり、内部に着色性無機質不純
物を、該板体の側面を介して着色を識別できる十分な量
、混入してなることを特徴とするフォトマスク基板。 - （２）ガラス製板体が四角形状をなし、その角部の少な
くとも一つにカットを有する実用新案登録請求の範囲第
１項記載のフォトマスク基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984080759U JPS60193550U (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | フオトマスク基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984080759U JPS60193550U (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | フオトマスク基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60193550U true JPS60193550U (ja) | 1985-12-23 |
| JPS6350664Y2 JPS6350664Y2 (ja) | 1988-12-27 |
Family
ID=30626913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984080759U Granted JPS60193550U (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | フオトマスク基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60193550U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195036A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Fujitsu Ltd | ガラス基板のマ−キング方法 |
-
1984
- 1984-05-31 JP JP1984080759U patent/JPS60193550U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195036A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Fujitsu Ltd | ガラス基板のマ−キング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6350664Y2 (ja) | 1988-12-27 |
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