JPS60188831A

JPS60188831A - アセチレンガス濃度の測定方法およびその装置

Info

Publication number: JPS60188831A
Application number: JP59043876A
Authority: JP
Inventors: Akio Shinohara; 篠原　彰男; Yoshiaki Arakawa; 荒川　美明; Fumio Inaba; 稲場　文男
Original assignee: Showa Denko KK; Research Development Corp of Japan; Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan
Current assignee: Japan Science and Technology Agency; Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan; Resonac Holdings Corp
Priority date: 1984-03-09
Filing date: 1984-03-09
Publication date: 1985-09-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、４１１１定地点から遠く離れている箇所での
アセチレンカス濃度の測定にに’ｆ適なガス濃度Ａ１１
１定法およびその装置に関するものである。

アセチレンカスは有機合成用の原料、高温瓜を得るだめ
の切断用燃料ガス等で４１用なガスであるが、他方２．
５ｖｏ１％〜ｌ００ｖｏ１％で爆発するカスであって、
このガスを取り扱う場合にはカス漏洩に充分子］意しな
いと小火な人身・ハ故、爆発ｂ　ｌｌｔを起こしかねな
い。実際にボンベや貯蔵タンクのメ￥発事故例の報告が
なされており、従ってこの災害防１にのための有効な検
知、？？報装置の開発が望まれるところであった。又、
これらの可燃性ガスの漏洩検知に際しては、集中監視室
からの遠隔４１１１定によって監視することが望まれる
こと、そして着火Ｊｌｊをもたない本性的に安全な防爆
検知方式であることが８貿である。

従来より用いられている半導体式ガスセンサや燃焼式ガ
スセンサ、光干渉式検知方法等ではガスの選択検知や動
作の安定性、湿度の影響、稀薄カスの検知等々で問題が
あり、さらに保守の面で考慮しなければならない点があ
った。また遠隔監視、遠隔Ａ１１定の場合、電気信号が
送受されるので′ｉｔ磁誘導による誤報やケーブルの損
傷にょるＩバ故、１Ａ発などの危険十ノ（も無視するこ
とができなかった。

本発明は、以１．のような事情に鑑みてなされたやものであって、アセチレンガスの漏出を確実に、迅速に
検知して警報を発するようにしたものであって、厳しい
測定条件下でも信頼性が高く、実１１１５１ｉｉ１　′
Ａｌｌ＋定ができ、かつ極めて遠隔の箇所におけるＡｌ
ｌ＋定が可能であると共に小絞誘発などの危険性の全く
ないアセチレンガス濃度の′Ａ１１定方法およびその装
置１を１に供するものである。

以下図面を参照しながら本発明のアセチレンガス濃度の
４（４定方法およびその装置の詳しい内容を説明する。

本発明は、近年光通信用として開発された例え用するも
のである。このような光ファイバーは１．０〜１．８ｇ
ｍの波長領域では光の伝送損失が低い。一方アセチレン
ガスは、前記の１．０〜１．８７ｔブロードな波長帯域
において粘性吸収り；？がある。

て水蒸気（Ｈ２Ｏ）および炭酸ガス（Ｃ０２）による光
の吸収がほとんどない狭い波長域が選択できる。　。

本発明は以上のような新たな知見にもとづいてよって本
発明の目的である遠隔の地点においてアセチレンガスの
０度を１１（確に、しかも迅速に測定できるようにした
ものである。

第を図は石英系光ファイバーの０．Ｅｆ〜１．８用ｍの
波長域における伝送損失を示すグラフである。

この図より明らかなように波長１．１〜１．７ｇ　ｍで
の伝送損失が１ｄＢ／ｋｍ以下であり、そして実用的て
ａｌｌｌ定することがＴｉ丁能である。

第２図、第３１Δは、本発明において対象になるアセチ
レンガスの特性吸収を示す図である。

第２１Δはアセチレンガスの特性吸収イ１）がブロード
な一つの波長域であることを示し、その領域は約　１．
５１０〜１．５２ｇｍである。第３図は、第２Ｅ項のブ
ロードな波長帯としてノ１＜シた根拠となる実際の吸収
特性である。アセチレンカスの圧力は３００Ｔｏｒｒ、
検出セルのＬｌさは５０ｃｍであり、分光器の分解能は
０．１５ｎｍとして得たものである。実際には多数の特
性吸収波長の川なりから−・つのブロードな吸収帯が形
成されていることがわかる。アセチレンガスの濃度を吸
光光度法によってＡｌｌ＋定する場合はまず、　１．５
１０〜１．５４２μｍの特性吸収帯のうちの・つの狭い
波長・１１）、又は複数の狭い波長帯を選ぶ。たとえば
、帯域透過フィルターによって、１．５１５〜１．５２
０　ｇ　ｍの狭い＋１１１１定波長帯、あるいは１．５
２５〜１．５３０　μｍの狭い測定波長り；シが彦ばれ
る。そして、これらの波長帯で、発光源から発した光が
アセチレンガスの存在する検出セル中を通過した際にと
のＦ１′度の吸収を受けるかによってアセチレンカスの
ｌｂｉ度を検知することができる。

」二連のような測定波長（狭い波長帯）の光を一つ又は
、複数個求め、これと既知の濃度のアセチレンガスにも
とづきｔめめておいた、吸収イにと濃Ｉ隻との関係をも
とにして測定すべきアセチレンガスの濃度をめることが
出来る。

このような本発明の測定方法によれば、選択された測定
波長と参照波長が夫々一つであっても従来のガス検知法
に比べて高い精１隻で又高い信頼性の結果が得られる。

しかし測定波長、参照波長のいずれか一方または両方に
一つ以上の波長帯の光を用いれば一層高い精度および信
頼度の測定結果が得られる。それは、複数の波長を選択
することによって複数の吸光光度比が得られるので、こ
れらのイ１６を相互に比較することによってより信頼度
の高い結果が得られると共に、測定装置に原因する誤差
やアセチレンガス以外のガスによる吸収の影響を検知す
ることがｉｌ（能となり、これら誤差の原因を除去する
ことによって信頼性の高い測定が可能になり、また極め
て低濃度のアセチレンガスの検出も可能になる。

第４図は、Ｈ２Ｏの吸収波長特性曲線を示すものである
。この図より明らかなように１２０の強い吸収帯は　１
．２〜１．？７Ｌｍにおいては１．３５０〜１．３９３
μｍ波長帯に集中している。したがってこの波長帯を除
けばＨ２Ｏの影響の少ない測定が可能になる。同様にし
てＧＯ２の特性吸収の強い波Ｌ（帯を除いた波長）１）
を利用することによって炭酸ガスの影響の少ない′Ａｌ
１１定が＋＋ｌ能になる。

以４丁述べた内容から明らかなように、例えば石英ガラ
ス系の光ファイバーを光伝送路として用い、ｔ５２乃全
ｉ３図に示すようなアセチレンガスの特性吸収波長帯を
利用すれば遠隔地にあるアセチレンガスのｅ１良を共存
するＨ２Ｏ（水蒸気、水分）やＣ０２の影響をほとんど
受けることなく、又光伝送路における光損失などの影響
もほとんど受けることなく高精度、高信頼性にて測定が
できる。

次に以１：　１ｉｆ細に説りｊした本発明のアセチレン
カス濃度測定方法にもとづいて構成された本発明の装置
について説明する。

本発明の詳細な説明の前にその装置にて用いられる光源
、すなわちアセチレンガスの特性吸収波長帯に対応する
近赤外域の光を発光する光源１こついて説明する。この
波長域の光源としては１．一般に半導体レーザーダイオ
ード（ＬＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）　、放電／Ｆ
　（キセノンランプなど）、加熱線などが挙げられる。

いずれにしても測定波長域をカバーする光を連続的に、
あるいはパルス的に発し、しかも発光エネルギー強度の
大きいものほど低濃度カスの検知ができるので望ましい
。

ＬＤは高出力が得られやすく、単色性が強いのでアセチ
レンガスの４８＋ｒ性波長帯のようなブロードな波長帯
である場合は発振波長が選びやすく望ましい。ただし、
電源電圧の変動や温度変化などによる発振波長の変動が
ないように留意する必要がある。又１０を光源として用
いる場合は、参照波長用と特性吸収波長（測定波長）用
の少なくとも２つの異なるＬＤを用いることが必要であ
るが、帯域透過フィルター等の分光器を用いる必要はな
い。

尚、４．Ｓ性波長用のＬＤ、あるいは参照波長用のＬＤ
の一方又は両方において発光波長の異なるものを複数用
いることによって感度や精度のより高い測定が可能とな
る。

またＬＥＤや放電管などは、出力は低いが出力の安定性
や長寿命性などは良い。又１発光スペクトルはブロード
であるのでこれらの光源を用いる場合には、分光器を用
いて検出波長帯を狭め、所望の特性吸収波長帯や参照波
長帯での選４ｊ！　した波長における変化量をキャッチ
して、アセチレンガス濃度を測定するようにすればよい
。この場合の分光器としては安価な帯域透過フィルター
、プリズム等が考えられる。後にのべる本発明の装置の
実施例では、この帯域透過フィルターが用られている。

この帯域透過フィルターの透過幅は一般に広く、■−数
ｎｍ程度であり、被測定ガスの特性吸収波長域が、この
透過幅よりも狭い場合は効率的に不利となる。しかし、
アセチレンガスの特性吸収汲上−）１）は前述のように
ブロードであるので、このような帯域透過フィルターを
用いても測定は充分に行ない得る。

第５図は中心波長が１．５１８庄ｍ、半値幅が３ｎｍで
ある透過特性がガウス分布型の帯域透過フィルターを用
い、このフィルターを透過した後の光の強度分布を模式
的に示した図である。この図において、破腺はアセチレ
ンガスが光路長５０　ｃ　ｍの１ｌｌｌｌ　：ｊ：セル
内に３００Ｔｏｒｒのノ１：力で含まれている場合を表
わし、実線はアセチレンガスが存在しない場合を４Ｎｌ
、ている。この図における６曲線内の面！ｊ〜の差を実
線にて囲まれた面）Ｊｌｌで溺ることによってアセチし
・ンカヌによる吸光比Ａがめられる。このフィルターｌ
ヨ、半４１′ｉ幅か例えば２ｂｍや５ｂｍのものを用い
ても良い・続いて本発明のアセチレンガス濃度のｆｉｌｌｌ定装置
の各装置例を説明する。第６図は、本発明のアセチレン
ガス濃度のｌｌ１ｌｌ　：？装置の第１の実施例の構成
を示す図で、′Ａｌ１１定波長二つと参照波長一つを使
用してＡ１１ｌ定を行なうようにした装置である。この
図において　１は例えばＬＥＤ等よりなる発光源、　３
は発光０；１１より発ぜられる例えば１．５０　ｐＬｍ
　（キイ１？１幅０．１７ｉ’ｍ）の光を光結合器２を
経て伝送する低損失の光ファイバー（例えば石莢系光フ
ァイバー）よりなる光伝送路、４は円筒状体４ａの両端
に光結合ニジ：ゆ４ｂ、４ｂ’を設りた構造のＡｌｌ＋
定セルで、この４１１１定セル４の円筒状体４ａは、露
四気ガス（被Ａ１１ｌ定ガス）の自然流出入をＩＩ工能
にするために多孔性焼結金属や連続気孔構造のプラスチ
ックフオームなどにて構成されている。またこのＪｌｌ
ｌ定セル４は５−・例として光路ｇ：（光結合器４ｂ、
４ｂ’間の距＃）が５０〜ｌ００ｃｒｎのものが用いら
れる。しかしアセチレンガスか低いＣ度の場合にはＡ１
１ｌ定セルの光路長を長くしたほうがよい。この場合周
知の多年光路４り吸収セル等を用いてもよい。５は測定
セル４よりの光を光結合器４ｂ’を経て伝送する低伝送
損失の光ファイバー例えば石芙系光ファイバー等よりな
る光伝送路、７は光伝送路５により伝送され光結合器６
を通って来る光を第１の光束８と第２の光束ＩＯに分割
するビームスプリッタ−１８は第１の光束８中に配置さ
れた第１の帯域透過フィルター、１１は第２の光束１０
中に配置されこれを第３の光束１２と第４の光束１３と
に分割するビームスプリッタ−１１４は第３の光束１２
中に配置された第２の（（シ域透過フィルター、１５は
第４の光束１３中に配置された第３の帯域透過フィルタ
ーである。これらの帯域透過フィルター９．１４．１５
は、例えば薄膜による光のｌ渉ｆｉ用を利用した１−１
社、フィルターで、多層膜干渉フィルターが好適に用い
られ、中心波長の透過−（イが出来る限り高く半イ１’
ｔ　ｉ＃、＋が２〜５ｂｍと狭いものが塑ましい。そし
て例えば第１の帯域透過フィルター９の中心波長は１．
５１８＃Ｌｍ、ｆシ２の帯域透過フィルター１４の中心
波長は１．５３０　ｇ　ｍ　（逆に第１の帯域透過フィ
ルター９の中心波長が１．５３０　ｇ　ｍで第２の帯域
透過フィルター１４の中心波１．Ｌが　１．５１８　舊
ｍでもよい〕つまりアセチレンガスのｌ！ｉ　ＰＩ吸収
波長ａ′Ｉ内の波長で□Ａ１１１定波Ｉそに選定された
波長である。また第３の帯域透過フィルター１５は、ア
セチレンガスの４．′ｆ性吸収波長以外の波長（参照波
長）で例えば１．５６０ルｍが選ばれる。尚これらフィ
ルターの中心波長は　Ｇ！’＋然ながらＨ２Ｏ。

ＣＯ２の４．１性吸収を示さない波長が訳ばれる。

更に１Ｇ、１７．１８は夫々第１．第３．第４の光路８
，１２゜１３中に配ＩＩ′１されたｔ５Ｉ、第２．第３
．の光検出器で、アバランシェフォトダイオート（ａｐ
Ｄ）　、フォ）・ダイオード（ＰＤ）　（例えばＧｅ半
導体又はＰｂＳ検出器）ト−６・が用いられる。ＩＪ２
０．２１は増幅器、２２は各光検出器１（ｉ、１７．１
８よりの電気イ：ｕＪで夫）ｌ増１１す、）器１９．２
０゜２１にて増幅された信号をもとにしてアセチレンガ
スの吸光比更にアセチレンガスの濃ｊ此をめるための演
９等を行なう信号処理装置である。

以上述べたような構成の第１の実施例において、光０；
口よりの光は、光結合器２を通り光伝送路３により伝送
されて′Ａｌ１１定セル４へ送られる。この測疋セル４
の円筒状体４ａは、前述のように雰囲気ガスが流出入し
得る構造であるので、これをｌｌ１ｌｌ定すべき個所に
置けばその個所の雰囲気カスにて満たされる。したがっ
て光源１よりの光は、測Ｗセル４内の雰囲気ガスにより
吸収を受けた後に光伝送路５により伝送される。続いて
ビームスプリンター７にて分；’；ｉされた光のうちイ
５１の光栄８は、第１のり１？域透過フイルター８によ
り４１！１定波長である　１．５１８ＪＬｍを中心波長
とする狭い’：’Ｉ’ｊ域の光のみが透過され第１の光
検出器１６にて受光されその受光量に対応した電気信号
として出力され増１ｑ１１器１θにて増幅されてから信
号処理装ｊ＃（２２へ入力される。

て検出されそのｌＪ、ｉ力信号は増幅器２１にて増幅さ
れてから信す処理装置２２に入力される。

２１に異常を生じたことを意：ｌ！４：するのかのどち
ら力であるのでその旨の表示が表示器２３に示される。

この場合、光昂合器６とビームスプリッタ−７との間に
テスト用の発光源を設け、」−記の異常時に光源を発光
させて測定装置自体の異常を判断し得るようにすれば、
少なくともビームスプリッタ−以陵の光、電気系統での
異常は検知できるので、装置の信頼に１は−１−がる。

また第２の光検出器１７と第３の光検出器１８よりのこ
の第２の実施例は、チョッパー２８を用いたこいる。

実施例は、信号処理装ｙことしてブイクロコノニーター
を用いることによって、この信号処押装置２２よりの信
号にもとづいてＬＥＤよりなる光源１をｉ！１！続発光
でなくパルス発光させる点と、各帯域透過フィルター８
．１４．１５を回転セクター３１に配置してこれらフィ
ルターを透過する測定波長、参！１（１波長の光が光検
出器１６に交互に（時間をずらして順次）入射せしめる
ようにして光検出器および増幅器が−・つのみにて構成
し得るようにした点において前述の実施例１．２と異な
っている。即ち、信号処理装置２２よりの信号にもとづ
いてパルス発光した光源ｌよりの光は、測定セル４を通
って光伝送路５により伝送され光結合器６を通ってから
、１１目シ：セクター３１の回転により順次時間間隔を
おいて第１の帯域透過フィルター８を透過して光検出器
１６へ、第２の帯域透過フィルター１４を透過して光検
出器ＩＣへ、第３の帯域透過フィルター１５を透過して
光検出器１８へ入射される。これにもどづいて光検出器
１６より各帯域透過フィルターの透過ｐ？域に応じたＡ
ｌｌ定波長、参照波長に対する電気イ「１号が順次出力
され増幅器１９により増幅されてから信号処理装置２２
へ入力される。３２，３３．３４は回転セクター３１の
近傍に設置されたフォｉ・ダイオードなどの受光器とラ
ンプとからなる同期信り発生器で、この同期信号発生器
３２，３３．３４より帖号処岬装置２２へ入力される（
ｌ’ｉ号によって増幅器１９より入力された゛心気信号
がどの信号であるかを判別し、それにもとづいて前述の
各実施例と同様の演９によりアセチレンガスｅ度をめる
。以１−の他は前述の実施例と実質的に同じである。こ
の実施例で、光検出器、増幅器が夫々一つで済む等安価
に４’６成し得る。４１）に最近ではマイクロコンピュ
ータ−の１１及がめざましく廉価になっているので天川
１．極めてイＪ効である。

第９図は、未発ＩＪＩのアセチレンガス濃度測定装置の
第４の実施例を示す図である。この第４の実施例は、発
光源としてＬＤを用いたもので、例えばアセチレンガス
の特性吸収波長内の波長である１、５３０　ｇ　ｍを発
光の中心波長とする第１の発光０；（ｌａを測定波長用
発光源とし、アセチレンガス峙性吸収波長以外の波長で
ある１、５８０７ｚｍを発光の中心波長とする第２の発
光源１ｂを参照波長用発光＃；（とする−二つの発光源
を用いることによって多層膜干渉フィルター等の帯域透
過フィルター（分光器）を用いない構成とした点でこれ
まで述べた他の実施例と異なっている。

またこの第４の実施例では、第１の発光源１ａと第２の
発光源１ｂの前にチョッパー２８を泥層しこれら発光源
よりの光を交互に光伝送路３ａ又は３ｂ、光伝送路３Ｃ
を通して測定セル４に導いている。更にナヨッパー２８
の近傍にランプとフォトダイオード等の受光器とよりな
る同期信号発生器３２を配ｌし、この同期信号発生器３
２よりの出力信号を信号・処理装置２２に入力せしめて
、この信号により検出器１Ｂよりの増幅器１９を介して
の信号が第１の発光汎ｉ１ａのものか第２の発光源１ｂ
のものかを判別して信号処理装置２２にて演算しアセチ
レンガスの濃度をめるようにしている。その他の構成は
他の実施例と実質的に同一である。

このり゛シ４の実施例において第１．第２の発光０；（
ｌａ、ＩｂをＬＥＤにした場合でも、次に述べる手段に
よって・：１シ域透過フイルター（分光器）を用いるこ
となしにアセチレンガス濃度を測定出来る。即ちＬＥＤ
の発光波長はＬＤに比ベブロードであるがその幅（’ｌ
’−イＩｆｔ　ｌ１ｑＸ　）は約０．１終ｍｆｌｊｌＮ
テアル。シタカッて　１．７ｇｍを中心波長とする発光
ダイオードと１．８　ｌＬｍを中心波長とする発光ダイ
オードとを夫々測定光用光源および参照光用光源として
用いることによって第４の実施例の構成の測定装；４で
（帯域透過フィルターを用いることなしに）アセチレン
ガスの濃度を測定出来る。この場合検出のためのエネル
ギーが大になる利点を有するが、波長が選択的でなく波
長幅が比較的広いので他のガスの影響が若干大になるお
それがある。

ｆｆ５１０図は本発明のアセチレンガス濃度測定装置の
第５の実施例の構成を示すものである。

本発明は、遠隔の地でアセチレンガス濃度をｒｌｌｌｌ
定することを目的とするので、光伝送路としての光ファ
イバーの長さは長い。この光ファイバーは往復用いられ
るため−・層Ｌ（さを惑星とすることになる。

この実施例５は、光分波器３６．光合波器３７を川いる
ことによって一つの光ファイバー３を往路と復路を兼用
しても大射光と出用光か干渉することなしに低損失にて
伝送し得るようにしたもので。

これによって光ファイバーのコストを半分にすることが
＋ｊｆ能である。第１０図（ａ）は測定セル４よりの光
を光ファイバー５゛により伝送し光合波器３７を介して
光伝送路３へ人１１せしめ光伝送路３の大部分を復路と
しても使用して伝送した後光分波器３６を介して光検出
器側へ送るようにしたものである。このように第１の実
施例乃至第４の実施例にて用いる復路である光伝送路５
°をほんの−７；ｌ（用いるだけで、行路の光伝送路３
の大部分を兼用したものである。

第１Ｏ図（ｂ）は、Ａｔ１定セル４内に反射鏡４ｃを配
置し、これによって測定セル４に入射した光は、この反
射鏡４ｃにて反則された後、入用側に戻され、光合波器
３７を介して光伝送路３に入射せしめたものである。こ
の第１０図（ｂ）の例の場合は光が測定セル４内を往復
するのでｊｌｌｌ定セル４の大きさに比較してＪｌｌｌ
定セル内の光路長が長くなる。

以」二説明した様に本発明のアセチレンガス濃度の測定
ノ」法によれば、アセチレンカスの特性吸収波長帯で、
光ファイバーの最も低損失な波長領域でしかもＣＯ２，
Ｈ２Ｏの吸収帯がほとんど存在しない狭い波長帯を選択
してアセチレンガス濃度を７１１１１定するものである
から、極めて遠隔な地点より６０２゜ｎ　２　ｏ　Ａｔ
；・の影響をほとんど受けることなく高粘度の測定が可
能である。又、本発明の装置によれば、発光源としてＬ
Ｄや安定性のよいＬＥＤを、また光伝送路として低伝送
損失の石英系光ファイバー？、波長選択に安価なイ１シ
城透過フィルターを用いるので遠隔地点における測定を
電磁誘導を受けたり、ケーブル断線時の短絡事故を生ず
ることなしに測定出来る。また広いＪ１！！域にわたっ
て配置された複数のセルでの測定を一点にて行なうこと
が出来るので、複敬の地点での４１１１定を集中監視す
る場合などに好適である。また、吸光光度法を利用り、
てのｉ１＋１１定であるので、実時間測定が＋ｒｆ能で
あり、アセチレンガス濃度の変動に対して迅速な対応が
口ｆ能であって、実用性の高い、高信頼性、高精度の装
置が提供できる。尚第５の実施例のように光ファイバー
を往復路兼用するような装置にすれば光フｒイバーの節
約になる。また第４の実施例のように光光葛（とじて適
宜なレーザーダイオードを選択することによって分光器
の省略が可能となり装置を１；９中化しｔｌｊる。

４．１図ｉｎｉのＯ’＋ＩＱ’な説明第１図は本発明に用いる石英系光ファイバーの伝送４Ｄ
失をｉ）＜すグラフ、第２図、第３図はアセチレンカス
のブロードな特性吸収帯を示した図、第４図は１１２０
の吸収波長特性を示す図、第５図はカラス分布型の帯域
透過フィルターを通過した光の強度分７１」を小す図、
第６図乃至第１０図は夫々本発明の装置のε（’ｒＪｌ
の実施例乃至第５の実施例の構成を小才図である。

１、ｌａ、ｌｂ、−発光ｊＨ；ｉ　、　２−光結合器、
３−光７フィバ−、４−４１１足セル、５−光ファイバ
ー、６−光結合器、７．１１−ビームスプリッタ−１８
−ｆ７’）１の光−ｊ、４．９〜第１の帯域透過フィル
ター、１０−第２の光中、１２−第３の光束、１３−第
４の光束。

１４−２′ｚ２の帯域透過フィルター、１５−第３の帯
域透過フィルター、１６−第１の光検出器。

１７−第２の光検出器、１８−第３の光検出器。

！９．２０．２１−増幅÷！：’ｉ＋　２２−イ、；−
Ｊ処理装置、２３−表示器、２５．２［ｉ、２７−光鼾
１合器、２８−チョッパー。

２９．３０−増幅器、３１一回転セクター、　３２，３
３゜３４−回期イ１）号発生器、３５−光結合’Ｊ、：
：、３Ｂ−光分波器、３７−光合波器出願人　昭和゛屯工株式会ネー１稲　場　文　男新技術開発中、業団代理人　菊　地　精　− 第９図（α）　第１０図（ｂ）受光系へ方式′ 「続補ＩＦ　：’：　（吋）１　、４％イ１１０表小昭和５９年’ｌ’！＋’　＋ｉ’ｌ願’Ｉｓ　０４３８
７６号２、発明の名称アセチレンカス製置の測定ノｊ法およびその装置３、補正をする渚・１１件との関係　４鴇ｉ１出願人住所　東京都港区芝大門−・−１−１：＋　１３番８号
−名称　（２００）　昭和電二■二株式会社代表名　ｊ
″１ち　本　泰　延（他２名）４　代ＪＩＰ人　（郵便
番り１０５）届所　東京都港区芝大門−丁１１１３蓄９４；。

閉和電圧株式会社内電話　東京　４３２−５１１１番（大代表）氏名　（７
０３７，）弁理士　１匁４ムシ精堀゛′、補正。対象　
゛イ、明細１１７の「発明の名称」の根１０、代理権を証
明する書面　２通６　、補１１の内容イ、「アセチレンガス濃度測定法およびその装置」を［
アセチレンガス濃度のＡ１１１気二カが、およびその装
；Ｉη」と訂正口、委任状２通を補充いたします。

７、備考口、については、昭和５８年５月２９１１１（発送１１
）伺−ト続補市指令１！；（力戊）により提出を命ぜら
れ、そのうち稲場文男の分については昭和５９年６月５
１１伺「、続柚Ｉｆ：　ｔ’：中において同年４月１６
１１伺ト続補止１！；（自発）にて提出ずみである旨な
に中いたしましたところ、願、＋Ｘと明ａ１；’：の発
明の名称が相違するとの理由で４月１６１１伺手続補正
書（自発）が不受理となり、よってに記６月　５１１４
＝１手続補正書も不受理となりましたのでここに＋＋１
提出するものであります。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　発光０；（からの光を伝送損失の小さい光ファ
イバーを通して、雰囲気ガスの流出入する１１１１定セ
ルへ伝送し、該測定セルを通った後、他の光ファイバー
にて伝送して光検出器にて検出して吸光光度法にて濃度
を検出する方法で、アセチレンカスの特性吸収波長・ｊ
ｌ）である１、５１０〜１．５４２ＩＬｍの波長帯内の
少なくとも・つの波長を中心波長とした光を測定光とし
、前記特性吸収波長帯外の少なくとも一つの波長を中心
波長とする光を参照光とし、前記測定光と前記参１；（
ｉ光を検出器にて検出して、その比をめることによって
濃度を測定することを特徴とするアセチレンガス濃度の
測定方法。
（２）　アセチレンカスの特性吸収波長帯である１、、
５１０〜１．５４２ルｍの波長領域内の波長を少なくと
も含んでいる波長領域の光を発光する発光源と、雰囲気
ガスの流出入する測定セルと、前記発光０：（の光を前
記Ｚｌｌｌｌｌｌへ伝送するために用いられる前記波長
領域での伝送損失の少ない第１の光ファイバーと、前記
＋１１１１定セルよりの光を伝送するための前記波長領
域での伝送損失の少ない他の第２の光ファイバーと、前
記第２の光ファイバーにて伝送された前記測定セルより
の光を前記特性吸収波長（１）内の少なくとも一つの波
長を中心波長とする測定光と、特性吸収波長帯外の波長
、ｊｌｉ；において、少なくとも一つの波長を中心波長
とする光の参！ＩＱ光とに分光する分光器と、前記分光
器にて分光された測定光および参照光を検出する光検出
器と、前記光検出器で検出された信号にもとづいて濃度
をめるための演算処理装置とを備えたアセチレンカス濃
度の測定装置。
（３）　発光源からの光を伝送損失の小さい光ファイバ
ーを通して雰囲気ガスの流出入する測定セルへ伝送し該
４１１１定セルを通った後、他の光ファイバーから光合
波器と光分岐器とによってｉｉｉ＋記光ファイバー中を
逆行させるがごとくして伝送して光検出器にて検出し、
吸光光度Ｖ、にて濃度を検出する方法で、アセチレンガ
スの特性吸収波長帯である１、５１０〜１．５４２）ｔ
ｍの波長・；；シ内の少なくとも１つの波長を中心波長
とする光をｌ’ｌｌｌ＋定光とし、足先特性吸収波長帯
外の少なくとも一つの波長を中心波長とする光を参照光
とし、前記７１１１１定光と前記参ｊｊ（ｉ光を検出器
にて検出してその比をめることによって濃度を測定する
ことを特徴とするアセチレンガス濃度の測定方法。
（４）　アセチレンガスの特性吸収波長帯である１、５
１０〜１．５４２ルｍの波長帯の波長領域内の波長を少
なくとも含んでいる波長領域の光を発光する発光源と、
雰囲気ガスの流出入する４１１１定セルと、前記発光源
の光を前記測定セルへ伝送し、かつ測定セルからの光を
他の光ファイバーを通した後、光合波器と光分波器を用
いることによって逆方向へも伝送するために用いられる
伝送損失の少ない光ファイバーと、該光ファイバーによ
り伝送された前記ｘｌｌｌ　：ｊ、’セルよりの光を前
記特性吸収波Ｌ（帯内の少なくとも一つの波長を中心波
長とする光の測定光と４、′ｆ性吸収波長帯外の少なく
とも一つの波長を中心波長とする光の参１ｊｌ＋、光と
に分光する分光器と、前記分光器にて分光された測定光
と参照光を検出する光検出器と、前記光検出器で検出さ
れた信号にもとづいて：Ｃ度をめるための浮（９処理装
置とを備えたアセもチレンガス濃度の測定装置。
（５）　アセチレンガスの特性吸収波長帯である１、５
１０−１．５４２ルｍの波長帯の少なくとも　・つの波
長を中心波長とするＸ＋＋＋定光と足先光を発光するレ
ーザーダイオードと、前記特性吸収波長帯外の少なくと
も−・っの波長を中心波長とする参照光となる光を発光
するレーザーダイオードとを含む、少なくとも２つのレ
ーザーダイオードからなる発光源と、雰囲気ガスの流出
入する測定セルと、前記発光０；（よりの光を前記４１
１定セルへ伝送するための伝送損失の小さい第１の光フ
ァイバーと、前記測定セルを通った後の光を伝送するた
めの伝送損失の小さい第２の光ファイバーと、前記第２
の光ファイバーにより伝送された光を検出する光検出器
とを備え、前記Ｍｌ（足先と前記参照光とを交力、に検
出し両者の強瓜比をめて濃度をＡｌ１定することを特徴
とするアセチレンガス濃度のＡ１り定装置。
（６）　ｊｆＳｌの光ファイバーがｆｉｒ、２の光ファ
イバーの一部を兼ねる構造にしたことを特徴とするＱ’
ｆ　ｉｎ請求の範囲（５）のアセチレンガスｃＩ＆の測
定装置。