JPS60188621A - 空気軸受装置 - Google Patents
空気軸受装置Info
- Publication number
- JPS60188621A JPS60188621A JP4321684A JP4321684A JPS60188621A JP S60188621 A JPS60188621 A JP S60188621A JP 4321684 A JP4321684 A JP 4321684A JP 4321684 A JP4321684 A JP 4321684A JP S60188621 A JPS60188621 A JP S60188621A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- guide
- air
- guide surfaces
- bearing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
本発明は精密測定機、精密ロボット、精密工作機等に適
用する空気軸受装置に関する。
用する空気軸受装置に関する。
〈発明の背景〉
従来、斯種空気軸受装置（公知文献：株式会社トリケツ
ブス主催「小型高精度空気軸受、動圧空気軸受の開発と
応用設計」セミナーテキスト）の実用例として、第７図
に示す如く、位置決め装置のりニアモータ摺動ガイドに
実施されている。上記ガイドは、上面に水平案内面３１
ａ、長手方向の両側面に垂直案内面３１ｂ、３１ｅを形
成した固定ガイド３と、各案内面３１ａ。
ブス主催「小型高精度空気軸受、動圧空気軸受の開発と
応用設計」セミナーテキスト）の実用例として、第７図
に示す如く、位置決め装置のりニアモータ摺動ガイドに
実施されている。上記ガイドは、上面に水平案内面３１
ａ、長手方向の両側面に垂直案内面３１ｂ、３１ｅを形
成した固定ガイド３と、各案内面３１ａ。
３１ｂ、３１Ｃに対向してそれぞれ空気軸受り。
５ａ、５ｂ、５ｃを取付けた可動枠４とから構成され、
前記空気軸受は、第８図に示す如く、空気導孔５１の端
部にその孔径を絞ったオリフィス５２およびオリフィス
噴出部にエアポケット５３が形成され、圧力空気をオリ
フィス５２からエアポケット５３に噴射して案内面３１
ａに対し空気浮上する所謂平面型空気軸受である。
前記空気軸受は、第８図に示す如く、空気導孔５１の端
部にその孔径を絞ったオリフィス５２およびオリフィス
噴出部にエアポケット５３が形成され、圧力空気をオリ
フィス５２からエアポケット５３に噴射して案内面３１
ａに対し空気浮上する所謂平面型空気軸受である。
斯る軸受を用いて摺動ガイドを構成する場合、浮上用と
摺動案内用の少なくとも４個の軸受を要して構造が複雑
化し、組立て作業に手数を要すと共に、特に、各軸受５
，５ａ、５ｂ、５Ｃに対する空気供給圧力がアンバラン
スな状態或いは圧力変動を生じると、可動枠４の摺動精
度が劣化する等の問題があった。
摺動案内用の少なくとも４個の軸受を要して構造が複雑
化し、組立て作業に手数を要すと共に、特に、各軸受５
，５ａ、５ｂ、５Ｃに対する空気供給圧力がアンバラン
スな状態或いは圧力変動を生じると、可動枠４の摺動精
度が劣化する等の問題があった。
〈発明の目的〉
本発明は軸受案内面とエアポケットとを簡単な特殊構造
となすことにより、単一軸受にて異なる２方向の力を支
承し得、位置決め装置等における軸受数の減少、装置の
小型化、走り精度の向上等に優れた効果を発揮する新規
な空気軸受装置を提供することを目的とする。
となすことにより、単一軸受にて異なる２方向の力を支
承し得、位置決め装置等における軸受数の減少、装置の
小型化、走り精度の向上等に優れた効果を発揮する新規
な空気軸受装置を提供することを目的とする。
〈実施例の説明〉
図面は本発明にかかる空気軸受装置を示す。
図示例の空気軸受装置は、９０度の角度で直交する平面
方向の異なる２つの軸受案内面１１ａ。
方向の異なる２つの軸受案内面１１ａ。
１１ｂを形成した軸受ガイド１と、該軸受ガイド１上へ
浮上支持される軸受パッド２とから構成される。軸受パ
ッド２は前記ガイド１と略同−幅を有し、且つ、下面を
２つの軸受案内面１１ａ、ｌｌｂと適合する９０度の逆
Ｖ状となし、両軸受案内面１１ａ、ｌ’ｌｂに対向して
、外周部に立上部２１を周設して一定深さの凹部２２ａ
、２２ｂが形成され、２つの軸受案内面１１ａ 、ｌ
ｌｂおよび両凹部２２ａ、２２ｂ によって直交部分で
連通ずる一連のエアポケット２３を構成するようになし
ている。上記エアポケット２３には、その中央部に１つ
のオリフィス２４が開口され、このオリフィス２４は空
気導孔２５、送気管２６を介して圧力空気源（図示せず
）に接続される。
浮上支持される軸受パッド２とから構成される。軸受パ
ッド２は前記ガイド１と略同−幅を有し、且つ、下面を
２つの軸受案内面１１ａ、ｌｌｂと適合する９０度の逆
Ｖ状となし、両軸受案内面１１ａ、ｌ’ｌｂに対向して
、外周部に立上部２１を周設して一定深さの凹部２２ａ
、２２ｂが形成され、２つの軸受案内面１１ａ 、ｌ
ｌｂおよび両凹部２２ａ、２２ｂ によって直交部分で
連通ずる一連のエアポケット２３を構成するようになし
ている。上記エアポケット２３には、その中央部に１つ
のオリフィス２４が開口され、このオリフィス２４は空
気導孔２５、送気管２６を介して圧力空気源（図示せず
）に接続される。
然して、軸受装置に圧力空気が供給されると第３図Ａに
示す如く軸受パッド２は、エアポケット２３の圧力上昇
により２つの軸受案内面１１ａ、ｌｌｂに対して浮上し
、軸受案内面］１ａ。
示す如く軸受パッド２は、エアポケット２３の圧力上昇
により２つの軸受案内面１１ａ、ｌｌｂに対して浮上し
、軸受案内面］１ａ。
１１ｂとの間に一定の微小隙間りを形成保持する。
エアポケット２３内の圧力は、平面方向が異なる２つの
案内面１１ａ、ｌｌｂに対してそれぞれ垂直方向に作用
し、従って軸受パッド２の浮上、および、両案内面１１
ａ、ｌｌｂとの間の隙間り。
案内面１１ａ、ｌｌｂに対してそれぞれ垂直方向に作用
し、従って軸受パッド２の浮上、および、両案内面１１
ａ、ｌｌｂとの間の隙間り。
ｈが一定に保たれる。しかもこの場合のエアポケット２
３内の圧、力分布は第３図Ｂに示す如く２つの軸受案内
面１１ａ、ｌｌｂの全幅に亘り均等な圧力状態を示して
おり、従来の平面型空気軸受５の如く（第１０図）、エ
アポケット５３の領域内では略一定の圧力状態を示し、
ポケットを越えた微小隙間５４の領域では徐々に圧力が
低下するのに比べて、本発明軸受は圧力分布を拡大して
いることが判る。
３内の圧、力分布は第３図Ｂに示す如く２つの軸受案内
面１１ａ、ｌｌｂの全幅に亘り均等な圧力状態を示して
おり、従来の平面型空気軸受５の如く（第１０図）、エ
アポケット５３の領域内では略一定の圧力状態を示し、
ポケットを越えた微小隙間５４の領域では徐々に圧力が
低下するのに比べて、本発明軸受は圧力分布を拡大して
いることが判る。
第４図および第５図は、２つの軸受案内面１１ａ、、１
１ｂが９０度以内で直交する場合、および９０度以上で
直交する場合の一例を示し、また第６図に示す実施例は
エアポケット２３を ・構成した立上部２１の内側壁を
鉛直面に形成したもので、第１図の実施例に比べて加工
性がよい。
１ｂが９０度以内で直交する場合、および９０度以上で
直交する場合の一例を示し、また第６図に示す実施例は
エアポケット２３を ・構成した立上部２１の内側壁を
鉛直面に形成したもので、第１図の実施例に比べて加工
性がよい。
〈発明の効果〉
本発明は上記の如く、軸受ガイド１には任意角度で交わ
る複数の案内面１１ａ 、ｌｌｂを形成し、軸受パッド
２には両案内面１１ａ、ｌｌｂ に対応して連続したエ
アポケット２３を形成し、オリフィス２４を介して空気
導孔２５に連通したから、軸受パッド２は異なる方向の
カを支えることかでき、以てリニアモータ摺動ガイド位
置決め装置等を構成する場合、従来の平面型軸受使用に
比べて軸受使用数量を半減でき、組立作業の簡易化、装
置の小型化、コストダウンを実現できる。しかも、本発
明は単一オリフィスからのエア供給により複数方向のカ
を支え得るから、従来の如くエア供給圧力のアンバラン
スによる不都合がなく、走り精度を向上し得る等、構成
簡易にして発明目的を達成した効果を有す。
る複数の案内面１１ａ 、ｌｌｂを形成し、軸受パッド
２には両案内面１１ａ、ｌｌｂ に対応して連続したエ
アポケット２３を形成し、オリフィス２４を介して空気
導孔２５に連通したから、軸受パッド２は異なる方向の
カを支えることかでき、以てリニアモータ摺動ガイド位
置決め装置等を構成する場合、従来の平面型軸受使用に
比べて軸受使用数量を半減でき、組立作業の簡易化、装
置の小型化、コストダウンを実現できる。しかも、本発
明は単一オリフィスからのエア供給により複数方向のカ
を支え得るから、従来の如くエア供給圧力のアンバラン
スによる不都合がなく、走り精度を向上し得る等、構成
簡易にして発明目的を達成した効果を有す。
第１図は本発明にかかる空気軸受装置の縦断面図、第２
図は軸受パッドの下面図、第３図（ト）は作動状況を示
す断面図、第３図（Ｂ）は作動時のエアポケット内の圧
力分布を示す図、第４図乃至第６図は他の実施例を示す
断面図、第７図は従来の軸受を用いた摺動ガイドの断面
図、第８図は第７図の摺動ガイドに適用した軸受の拡大
断面図、第９図はその軸受パッドの下面図、第１０図は
従来品の圧力分布状況を示す断面図である。 １・・・・・・軸受ガイド １１ａ、ｌｌｂ・・・・・・軸受案内面２・・・・・・
軸受パッド ２１・・・・・・立上部２２ａ、２２ｂ・
・・・・・凹部 ２３・・・・・・エアポケット ２４・・・・・・ オ
リフィス２５・・・・・・空気導孔 特許出願人 立石電機株式会社 媚−／７ 図 、５ｋ ３ ６ｃ 弁／θ図
図は軸受パッドの下面図、第３図（ト）は作動状況を示
す断面図、第３図（Ｂ）は作動時のエアポケット内の圧
力分布を示す図、第４図乃至第６図は他の実施例を示す
断面図、第７図は従来の軸受を用いた摺動ガイドの断面
図、第８図は第７図の摺動ガイドに適用した軸受の拡大
断面図、第９図はその軸受パッドの下面図、第１０図は
従来品の圧力分布状況を示す断面図である。 １・・・・・・軸受ガイド １１ａ、ｌｌｂ・・・・・・軸受案内面２・・・・・・
軸受パッド ２１・・・・・・立上部２２ａ、２２ｂ・
・・・・・凹部 ２３・・・・・・エアポケット ２４・・・・・・ オ
リフィス２５・・・・・・空気導孔 特許出願人 立石電機株式会社 媚−／７ 図 、５ｋ ３ ６ｃ 弁／θ図
Claims (1)
- 軸受ガイド１と、この軸受ガイド上へ浮上支持された軸
受パッド２とからなる空気軸受装置において、前記軸受
ガイド１は、任意角度で直交する複数の軸受案内面１１
ａ 、Ｉｌｂを備え、軸受パッド・２１には、前記複数
の軸受案内面１１ａ、１１ｂｌＣ対応して連続する一定
深さのエアポケット２＋３を形成し、該エアポケットは
１つのオリフィス２４を介して空気導孔２５に連設した
ことを特徴とする空気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4321684A JPS60188621A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | 空気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4321684A JPS60188621A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | 空気軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60188621A true JPS60188621A (ja) | 1985-09-26 |
Family
ID=12657716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4321684A Pending JPS60188621A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | 空気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60188621A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02193561A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-07-31 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
| JPH02202348A (ja) * | 1989-01-27 | 1990-08-10 | Hitachi Metals Ltd | ボイスコイルモータ |
| CN102121500A (zh) * | 2010-12-24 | 2011-07-13 | 东莞市尚正机电科技有限公司 | 高承载机械运动液体压强支撑悬浮系统 |
-
1984
- 1984-03-06 JP JP4321684A patent/JPS60188621A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02193561A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-07-31 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
| JPH02202348A (ja) * | 1989-01-27 | 1990-08-10 | Hitachi Metals Ltd | ボイスコイルモータ |
| CN102121500A (zh) * | 2010-12-24 | 2011-07-13 | 东莞市尚正机电科技有限公司 | 高承载机械运动液体压强支撑悬浮系统 |
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