JPS60177222A - 流量信号発生器 - Google Patents
流量信号発生器Info
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- JPS60177222A JPS60177222A JP59031394A JP3139484A JPS60177222A JP S60177222 A JPS60177222 A JP S60177222A JP 59031394 A JP59031394 A JP 59031394A JP 3139484 A JP3139484 A JP 3139484A JP S60177222 A JPS60177222 A JP S60177222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- flow
- light
- signal generator
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/06—Indicating or recording devices
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は流−信号発生器に関し、更に詳細に述べると、
非円形式歯車流量計を用いた流量信号発生器に関する。
非円形式歯車流量計を用いた流量信号発生器に関する。
従来、簡単な構成で精度よく流体の流量を測定すること
ができる装置として、非円形式歯車流量計がよく用いら
れている。この非円形式歯車流量−計は、流体の流れに
よって回−動し、且つ回動に応じた分の流体のみを送出
する１組の非円形歯車を備えておシ、非円形歯車の回転
数から流量を測定することができるように構成された流
量計である。
ができる装置として、非円形式歯車流量計がよく用いら
れている。この非円形式歯車流量−計は、流体の流れに
よって回−動し、且つ回動に応じた分の流体のみを送出
する１組の非円形歯車を備えておシ、非円形歯車の回転
数から流量を測定することができるように構成された流
量計である。
ところで、この種の流量計を用いて流量を示す信号を発
生させる装置としては、特開昭５７−１４６１１５号公
報に、光ファイバによって光を導びき、この光を回転子
の側面に配設した反射体に投射してこれを反射させ、こ
の反射光をパルス量として発信計測できるようにした流
計発振器が開示されている。ところで、この開示された
装置では、光ファイバによ９回転子の回転を光学的に検
出し、回転子１回転当りの発信パルス数を複数としてい
るが、反射体を非円形回転子の回転角速度の関数と比例
した間隔で配列しており、且つ流量と回転子の角速度と
が比例関係にないため、流量に比例して周波数が変化す
るパルス信号を得ることができない。更に、反射体とし
てガラス球を使用しているため回転子１回転当りのパル
ス発生数を大きくとることができないという不具合も有
している。従って、流量の検出精度が低い上に分解能を
所定値以上に上げることができず、特に、微少流量を精
度よく測定することができないという欠点を有している
。
生させる装置としては、特開昭５７−１４６１１５号公
報に、光ファイバによって光を導びき、この光を回転子
の側面に配設した反射体に投射してこれを反射させ、こ
の反射光をパルス量として発信計測できるようにした流
計発振器が開示されている。ところで、この開示された
装置では、光ファイバによ９回転子の回転を光学的に検
出し、回転子１回転当りの発信パルス数を複数としてい
るが、反射体を非円形回転子の回転角速度の関数と比例
した間隔で配列しており、且つ流量と回転子の角速度と
が比例関係にないため、流量に比例して周波数が変化す
るパルス信号を得ることができない。更に、反射体とし
てガラス球を使用しているため回転子１回転当りのパル
ス発生数を大きくとることができないという不具合も有
している。従って、流量の検出精度が低い上に分解能を
所定値以上に上げることができず、特に、微少流量を精
度よく測定することができないという欠点を有している
。
本発明の目的は、従って、流量に比例してパルス密度の
変化する流量信号を出力することができ、且つ分解能を
著しく改善することができる、微少流量の測定に好適な
流量信号発生器を提供することにある。
変化する流量信号を出力することができ、且つ分解能を
著しく改善することができる、微少流量の測定に好適な
流量信号発生器を提供することにある。
本発明の構成は、非円形式歯車流量計の回転体上に形成
された反射体と、上記回転体の回転に伴なって上記反射
体がその検出端面に順次接近離反する投光／受光用光フ
アイバ体とを備え、核光ファイバ体からの光による上記
反射体からの反射光を上記光フアイバ体により検出し該
反射光による光パルス信号を流量信号として取出すよう
に構成された流量信号発生器において、上記反射体がフ
ｔトエッチングにより上記回転体上に形成され、且つ上
記光パルス信号の周波数が流量に比例するよう上記反射
体が配置されている点に特徴を有する。
された反射体と、上記回転体の回転に伴なって上記反射
体がその検出端面に順次接近離反する投光／受光用光フ
アイバ体とを備え、核光ファイバ体からの光による上記
反射体からの反射光を上記光フアイバ体により検出し該
反射光による光パルス信号を流量信号として取出すよう
に構成された流量信号発生器において、上記反射体がフ
ｔトエッチングにより上記回転体上に形成され、且つ上
記光パルス信号の周波数が流量に比例するよう上記反射
体が配置されている点に特徴を有する。
この反射体は、例えば、白と黒の扇状セグメントを周方
向に交互に配置した形態の光学ノ４ターンとすることが
できる。このような光学パターンをフォトエツチング技
術を用いて形成すると、パターンを形成するセグメント
の数を１００乃至２００程度とした微細パターンとする
ことが可能であり、これにより分解能を著しく向上させ
ることができ、微小流量の測定を精度よく行なうことが
可能となる。
向に交互に配置した形態の光学ノ４ターンとすることが
できる。このような光学パターンをフォトエツチング技
術を用いて形成すると、パターンを形成するセグメント
の数を１００乃至２００程度とした微細パターンとする
ことが可能であり、これにより分解能を著しく向上させ
ることができ、微小流量の測定を精度よく行なうことが
可能となる。
以下、図示の実施例により本発明の詳細な説明する。
第１図及び第２図には、本発明による流量信号発生器の
一実施例が示されている。流量信号発生器１は、非円形
式歯車流量計２を備え、非円形式歯車流量計２は、下部
ケーシング３と、下部ケーシング３にねじ止めされる上
部ケーシング４とを有している。下部ケーシング３に形
成された凹部５には、一対の非円形歯車６．７が設けら
れておル、各非円形歯車６，７に固着されているシャフ
ト８，９が凹部５の底面に形成された軸受は穴ｉｏ、ｉ
１内に収納され、これらの非円形歯車６゜７は、相互に
噛合状態を保持しつつ、四部５の内周壁５ａに摺接する
ようにして回転する構成となっている。
一実施例が示されている。流量信号発生器１は、非円形
式歯車流量計２を備え、非円形式歯車流量計２は、下部
ケーシング３と、下部ケーシング３にねじ止めされる上
部ケーシング４とを有している。下部ケーシング３に形
成された凹部５には、一対の非円形歯車６．７が設けら
れておル、各非円形歯車６，７に固着されているシャフ
ト８，９が凹部５の底面に形成された軸受は穴ｉｏ、ｉ
１内に収納され、これらの非円形歯車６゜７は、相互に
噛合状態を保持しつつ、四部５の内周壁５ａに摺接する
ようにして回転する構成となっている。
上部ケーシング４は、下部ケーシング３の環状溝１２内
に設けられたＯ ＩＪソング３を介して下部ケーシング
３にねじ止めされており、この結果、四部５は上部ケー
シング４により液密に密閉されている。
に設けられたＯ ＩＪソング３を介して下部ケーシング
３にねじ止めされており、この結果、四部５は上部ケー
シング４により液密に密閉されている。
下部ケーシング３には、入力、Ｊｅ−１１４及び出力ｚ
−）１５が設けられており、下部ケーシング３内には、
入力ボート１４と凹部５とを連通ずる通路１６と、出力
、Ｊｅ−）１５と四部５とを連通せしめる通路１７とが
形成されている。従って、入力ポート１４から供給され
る流体は、通路１６を通って凹部５内に流入し、一対の
非円形歯車６゜７のうちの一方の非円形歯車（図示の状
態では非円形歯車７）と凹部５の内周壁５ａとの間に形
成される空間ＳＫ溜っているのと同量の流体、即１マス
分の流体が、非円形歯車が１／４回転することによυ出
力ボート１５から送り出される。
−）１５が設けられており、下部ケーシング３内には、
入力ボート１４と凹部５とを連通ずる通路１６と、出力
、Ｊｅ−）１５と四部５とを連通せしめる通路１７とが
形成されている。従って、入力ポート１４から供給され
る流体は、通路１６を通って凹部５内に流入し、一対の
非円形歯車６゜７のうちの一方の非円形歯車（図示の状
態では非円形歯車７）と凹部５の内周壁５ａとの間に形
成される空間ＳＫ溜っているのと同量の流体、即１マス
分の流体が、非円形歯車が１／４回転することによυ出
力ボート１５から送り出される。
第３図には、非円形歯車６の回転位置θが第２図に示す
位置（θ＝０）からθ＝９０°となるまで変化した場合
の累積送出流量Ｑを示す曲線が示されており、第３図か
ら判るように、非円形歯車６が１／４回転することによ
り送出される１マス分の流量けＱＭとなっている。上記
説明から判るように、非円形歯車６が更に１８００の位
置にまで回転した場合の累積送出流量Ｑの特性は、第３
図に示したθ−〇０からθ−９０°までの場合と同一の
パターンとなり、以後９０°回転する毎に同一の流量パ
ターンに従って流体が送出される。
位置（θ＝０）からθ＝９０°となるまで変化した場合
の累積送出流量Ｑを示す曲線が示されており、第３図か
ら判るように、非円形歯車６が１／４回転することによ
り送出される１マス分の流量けＱＭとなっている。上記
説明から判るように、非円形歯車６が更に１８００の位
置にまで回転した場合の累積送出流量Ｑの特性は、第３
図に示したθ−〇０からθ−９０°までの場合と同一の
パターンとなり、以後９０°回転する毎に同一の流量パ
ターンに従って流体が送出される。
非円形歯車６の回転量に従って流量信号を出力するため
、非円形歯車６の上面６ａには、光学パターン１８が７
オトエソチング技術により形成され、この光学パターン
１８には、投光／受光用光７アイバ体１９の検出端面１
９ａが光学パターン１８と微小距離をおいて対向せしめ
られている。
、非円形歯車６の上面６ａには、光学パターン１８が７
オトエソチング技術により形成され、この光学パターン
１８には、投光／受光用光７アイバ体１９の検出端面１
９ａが光学パターン１８と微小距離をおいて対向せしめ
られている。
図示の実施例では、投光／受光用光フアイバ体１９は、
その端部に嵌められた筒状ホルダ２０によって、上部ケ
ーシング４の収納孔２１内に収納、保持されており、筒
状ホルダ２０のフランジ２２を上部ケーシング４にねじ
止めすることにより、その検出端面１９ａが非円形歯車
６の上面６ａに形成された光学パターン１８に所定の間
隔を保って対向するようになっている（第４図参照）。
その端部に嵌められた筒状ホルダ２０によって、上部ケ
ーシング４の収納孔２１内に収納、保持されており、筒
状ホルダ２０のフランジ２２を上部ケーシング４にねじ
止めすることにより、その検出端面１９ａが非円形歯車
６の上面６ａに形成された光学パターン１８に所定の間
隔を保って対向するようになっている（第４図参照）。
尚、筒状ホルダ２０の外局に形成された環状溝２３内に
はＯリング２４が設けられており、これＫより、筒状ホ
ルダ２０と収納孔２１との間の液密状態が保たれるよう
罠なっている。
はＯリング２４が設けられており、これＫより、筒状ホ
ルダ２０と収納孔２１との間の液密状態が保たれるよう
罠なっている。
投光／受光用光フアイバ体１９は、第５図から判るよう
に、ハウジング２５の中心に配置された受光用ファイバ
２６の囲りに投光用ファイバ２７が複数本配設されてお
り、ハウジング２５と各ファイ−４６２６，２７との間
のすき間に充填された樹脂２８によシ各ファイバ２６．
２７がハウジング２５に固定されている。各投光用ファ
イバ２７は、適宜の光源２９に接続されており、光源２
９からの光が各投光用ファイバ２７に導びかれ、非円形
歯車６上の光学パターン１８に投光される。この状態に
おいて、非円形歯車６が流量に［６じた回転速度で回転
すると、受光用ファイバ２６に入力される反射光の強度
は、光学パターン２８及び回転速度に応じて変化する。
に、ハウジング２５の中心に配置された受光用ファイバ
２６の囲りに投光用ファイバ２７が複数本配設されてお
り、ハウジング２５と各ファイ−４６２６，２７との間
のすき間に充填された樹脂２８によシ各ファイバ２６．
２７がハウジング２５に固定されている。各投光用ファ
イバ２７は、適宜の光源２９に接続されており、光源２
９からの光が各投光用ファイバ２７に導びかれ、非円形
歯車６上の光学パターン１８に投光される。この状態に
おいて、非円形歯車６が流量に［６じた回転速度で回転
すると、受光用ファイバ２６に入力される反射光の強度
は、光学パターン２８及び回転速度に応じて変化する。
受光用ファイバ２６によシ検出された反射光は、光電変
換器３０に導びかれ、ここで反射光の強弱に応じてレベ
ルが変化する電気信号Ｓｔに変換される。
換器３０に導びかれ、ここで反射光の強弱に応じてレベ
ルが変化する電気信号Ｓｔに変換される。
第６図には、電気信号Ｓ１を、流量に比例して周波数が
変化する・やルス信号として取出すための光学）４ター
ンの一例が示されている。この光学／臂ターンは、非円
形歯車６の上面６ａに、フォトエツチング技術によシ、
黒く塗りつぶされている低反射率セグメント（図面では
黒点をつけて示しである。）と白く表示しである比較的
細い一定幅の高反射基セグメントとが、図示の如く環状
に配置されて成っている。この光学パターンは、１マス
分の流量に対応する９０°の区間に与えられた所要の基
本パターンＢＰが４つ繰返えされるよう配置されて成っ
ている。
変化する・やルス信号として取出すための光学）４ター
ンの一例が示されている。この光学／臂ターンは、非円
形歯車６の上面６ａに、フォトエツチング技術によシ、
黒く塗りつぶされている低反射率セグメント（図面では
黒点をつけて示しである。）と白く表示しである比較的
細い一定幅の高反射基セグメントとが、図示の如く環状
に配置されて成っている。この光学パターンは、１マス
分の流量に対応する９０°の区間に与えられた所要の基
本パターンＢＰが４つ繰返えされるよう配置されて成っ
ている。
基本パターンＢＰにおいては、低反射率セグメンＦ Ｌ
ｌ ＋ Ｈ２、・・・Ｈ６の幅Ａｒ ｔ Ａ２ ＊・・
Ａ６は、第７図に示す非円形歯車６の回転位置θがσか
ら９０°壕で変化したときの累積流量Ｑを示す特性曲線
から次のようにして定められる。まず、流量ＱＭを縦軸
に沿りて６等分し、その等分割点Ｑｌ乃至Ｑｓに対する
回転位置θ亀乃至θ５をめ、これらの回転位置θ１乃至
θ５が低反射率セグメントの分境位置を示すことになる
。実際には、θ＝０゜及びこれらの回転位置θ蒐乃至θ
、に高反射率セグメントＨ，乃至Ｈ６が配置され、これ
により形成された不等中スイース内に低反射基セグメン
トＬ、乃至Ｌ６が配置される。このよりなノンターンに
よれば、１７６マス分の流体が流れる毎に高反射基セグ
メン）Ｈｔ乃至Ｈ６から高輝度の光／４’ルスが１幀次
、出力されることになる。この基本パターンＢＰは、４
つ繰返して、環状に形成されており、非円形歯車６が回
転すると、１／６マス分の流体が通過する毎に／マルス
信号が出力されることになる。
ｌ ＋ Ｈ２、・・・Ｈ６の幅Ａｒ ｔ Ａ２ ＊・・
Ａ６は、第７図に示す非円形歯車６の回転位置θがσか
ら９０°壕で変化したときの累積流量Ｑを示す特性曲線
から次のようにして定められる。まず、流量ＱＭを縦軸
に沿りて６等分し、その等分割点Ｑｌ乃至Ｑｓに対する
回転位置θ亀乃至θ５をめ、これらの回転位置θ１乃至
θ５が低反射率セグメントの分境位置を示すことになる
。実際には、θ＝０゜及びこれらの回転位置θ蒐乃至θ
、に高反射率セグメントＨ，乃至Ｈ６が配置され、これ
により形成された不等中スイース内に低反射基セグメン
トＬ、乃至Ｌ６が配置される。このよりなノンターンに
よれば、１７６マス分の流体が流れる毎に高反射基セグ
メン）Ｈｔ乃至Ｈ６から高輝度の光／４’ルスが１幀次
、出力されることになる。この基本パターンＢＰは、４
つ繰返して、環状に形成されており、非円形歯車６が回
転すると、１／６マス分の流体が通過する毎に／マルス
信号が出力されることになる。
このように、流量信号、として取出される／４’ルス信
号の１周期当りの流量が必ず予め定められた流量となっ
ているので、パルス信号の単位時間当りのパルス発生数
を計数することにより、即ち、パルス信号の周波数を計
測することにより、その時々の単位時間当りの流量及び
累積流量を正確に測定することができる。
号の１周期当りの流量が必ず予め定められた流量となっ
ているので、パルス信号の単位時間当りのパルス発生数
を計数することにより、即ち、パルス信号の周波数を計
測することにより、その時々の単位時間当りの流量及び
累積流量を正確に測定することができる。
尚、上記実施例では、説明を簡単にするため、光学ノ’
？ターンにおける高反射率セグメントの数を２４個とし
た場合について述べたが、実際には、フォトエツチング
技術により、セグメントの数は１００乃至２００程度と
することが可能であり、流量計測の分解能を著しく向上
させることが可能である。また、このようにセグメント
数を増やした場合においても、・ぐルス信号の周波数と
その時の単位時間当りの流量との間の直線関係は維持さ
れるので、測定の精度を低下させることなく、高分解能
の流量測定が可能である。
？ターンにおける高反射率セグメントの数を２４個とし
た場合について述べたが、実際には、フォトエツチング
技術により、セグメントの数は１００乃至２００程度と
することが可能であり、流量計測の分解能を著しく向上
させることが可能である。また、このようにセグメント
数を増やした場合においても、・ぐルス信号の周波数と
その時の単位時間当りの流量との間の直線関係は維持さ
れるので、測定の精度を低下させることなく、高分解能
の流量測定が可能である。
更に、上記実施例では、９０°分の基本・ぐターンＢＰ
の繰返しによって１つの環状ノイターンを構成した場合
について述べたが、このような基本ノ９ターンの設定は
必ずしも必要ではなく、例えば第８図に示すように、４
マス分の累積流量特性に基づいて３６０°を等流量・臂
ターンとなるよう１０分割してもよい。尚、この場合に
おいても、・やターンの分割数は１０に限定されるもの
ではなく、フォトエツチング技術によりパターンの分割
数を数百とし、分解能を所望の値とすることが可能であ
る。
の繰返しによって１つの環状ノイターンを構成した場合
について述べたが、このような基本ノ９ターンの設定は
必ずしも必要ではなく、例えば第８図に示すように、４
マス分の累積流量特性に基づいて３６０°を等流量・臂
ターンとなるよう１０分割してもよい。尚、この場合に
おいても、・やターンの分割数は１０に限定されるもの
ではなく、フォトエツチング技術によりパターンの分割
数を数百とし、分解能を所望の値とすることが可能であ
る。
第９図には、筒状ホルダ２０をフランジ止めとする第１
図の流量信号発生器の変形例が示されている。第９因に
示す流量信号発生器４１では、筒状ホルダ２０の上端部
にねじ溝４２を形成すると共に、収納孔２１の内周面上
部に、ねじ溝４２に対応するねじ溝４３を形成し、これ
らのねじ溝４２．４３により筒状ホルダ２０を収納孔２
１内に螺入せしめ、且つ、調節ナツト４４を筒状ホルダ
２０．のねじ溝４２に螺着し、これにより筒状ホルダ２
０′５ｒ上部ケーシング４に固着するようにした点で第
１図に示す実施例と異なる。筒状ホルダ２０を上述の如
くねじ止めにすると、投光／受光用光フアイバ体１９の
検出端面１９ａと光・学ノ４ターフ１８との間の間隔長
の調節を自由に行なうことができる。尚、第９図におい
て、第１図の各部と対応する部分に同一の符号を付して
説明を省略する。
図の流量信号発生器の変形例が示されている。第９因に
示す流量信号発生器４１では、筒状ホルダ２０の上端部
にねじ溝４２を形成すると共に、収納孔２１の内周面上
部に、ねじ溝４２に対応するねじ溝４３を形成し、これ
らのねじ溝４２．４３により筒状ホルダ２０を収納孔２
１内に螺入せしめ、且つ、調節ナツト４４を筒状ホルダ
２０．のねじ溝４２に螺着し、これにより筒状ホルダ２
０′５ｒ上部ケーシング４に固着するようにした点で第
１図に示す実施例と異なる。筒状ホルダ２０を上述の如
くねじ止めにすると、投光／受光用光フアイバ体１９の
検出端面１９ａと光・学ノ４ターフ１８との間の間隔長
の調節を自由に行なうことができる。尚、第９図におい
て、第１図の各部と対応する部分に同一の符号を付して
説明を省略する。
第１０図及び第１１図には、第１図に示した光源２９及
び光電変換器３０を上部ケーシング内に収納するように
した流量信号発生器の実施例が示されている。この流量
信号発生器５１は、下部ケーシング５２の凹部５３内に
一対の非円形歯車５４．５５が収納され、下部ケーシン
グ５２の上に中間ケーシング５６がねじ止めされて成る
非円形式歯車流量針を備えておυ、この流量計の機械的
構成自体は第１図に示した非円形式歯車流量計と同一で
ある。非円形歯車５４の上面に形成されている光学パタ
ーン（図示せず）にその検出端面５７ａが対向するよう
に設けられている投が受光用光フアイバ体５７は、その
端部に固着されているホルダ５８によって中間ケーシン
グ５６に固定されている。
び光電変換器３０を上部ケーシング内に収納するように
した流量信号発生器の実施例が示されている。この流量
信号発生器５１は、下部ケーシング５２の凹部５３内に
一対の非円形歯車５４．５５が収納され、下部ケーシン
グ５２の上に中間ケーシング５６がねじ止めされて成る
非円形式歯車流量針を備えておυ、この流量計の機械的
構成自体は第１図に示した非円形式歯車流量計と同一で
ある。非円形歯車５４の上面に形成されている光学パタ
ーン（図示せず）にその検出端面５７ａが対向するよう
に設けられている投が受光用光フアイバ体５７は、その
端部に固着されているホルダ５８によって中間ケーシン
グ５６に固定されている。
中間ケーシング５６の上には、更に、上部ケーシング５
９が取付けられており、上部ケーシング５９に形成され
た空間６０内に、発光素子６１と受光素子６２とがフレ
ーム６３に固着されて設けられている。投光／受光用光
ファイバ体５７０投光用ファイバ６４は、ファイバ押え
６５によりでフレーム６２に固定され、発光素子６１に
対向せしめられており、一方その受光用ファイ・シロ６
は、ファイバ押え６７によってフレーム６３に固定され
、受光素子６２に対向せしめられている。そして、発光
素子６１はワイヤ６８．６９により直流電源に接続され
ており、受光素子６２において変換された電気信号がワ
イヤ７０．７１を介して取出されるようになっている。
９が取付けられており、上部ケーシング５９に形成され
た空間６０内に、発光素子６１と受光素子６２とがフレ
ーム６３に固着されて設けられている。投光／受光用光
ファイバ体５７０投光用ファイバ６４は、ファイバ押え
６５によりでフレーム６２に固定され、発光素子６１に
対向せしめられており、一方その受光用ファイ・シロ６
は、ファイバ押え６７によってフレーム６３に固定され
、受光素子６２に対向せしめられている。そして、発光
素子６１はワイヤ６８．６９により直流電源に接続され
ており、受光素子６２において変換された電気信号がワ
イヤ７０．７１を介して取出されるようになっている。
このような構成によれば、流量信号発生器５１の外に光
ケーブルを取出す必要がなくなるので、取扱いに１史利
である。
ケーブルを取出す必要がなくなるので、取扱いに１史利
である。
本発明によれば、上述の如く、光学パターンをフォトエ
ツチング技術によシ形成するので微細なノ９ターンを形
成することができ、測定の分解能を著しく向上させるこ
とができる。また、光学・母ターンは、流量信号の周波
数がその時々の流量に比ψ１１して正確に変化するよう
に形成されているので、瞬時流量を極めて正確に把握す
ることができ、従って、微小流量を極めて精度よく測定
す乞ことが可能となる。
ツチング技術によシ形成するので微細なノ９ターンを形
成することができ、測定の分解能を著しく向上させるこ
とができる。また、光学・母ターンは、流量信号の周波
数がその時々の流量に比ψ１１して正確に変化するよう
に形成されているので、瞬時流量を極めて正確に把握す
ることができ、従って、微小流量を極めて精度よく測定
す乞ことが可能となる。
第１図は本発明による流量信号発生器の一実施例の断面
図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は非円形
歯車の回転位置と流量との間の関係を示す特性線図、第
４図は第１図に示す流量信号発生器の平面図、第５図は
投光／受光用光ファイバの検出端面を示す端面図、第６
図は光学・ぐターンの一例を示す拡大平面図、第７図は
第６図に示した光学・９ターンの決定方法を説明するた
めの特性線図、第８図は光学／ダターンの他の例を示す
拡大平面図、第９図は第１図に示した流量信号発土器の
髪形例を示す断面図、第１０図は第１図に示した流量・
信号発生器の更に他の変形例を示す断面図、第１１図は
第１０図の上部ケーシングを取り外した状態における流
量信号発生器の平面図である。 １・・・流量信号発生器、２・・・非円形式歯車流量計
、６．７・・非円形歯車、１８・・・光学・ぐターン、
１９゜５７・・・投光／受光用光フアイバ体、１９ａ・
・・検出端面、２６．６４ ・・受光用ファイバ、２７
．６６・・・投光用ファイバ、２９・・・光源、３０・
・・光電変換器、６１・・発光素子、６２・・・受光素
子。 特許出願人 ヂーゼル機器株式会社 代理人 弁理士 高 野 昌 俊 第１図 第２図 第３図
図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は非円形
歯車の回転位置と流量との間の関係を示す特性線図、第
４図は第１図に示す流量信号発生器の平面図、第５図は
投光／受光用光ファイバの検出端面を示す端面図、第６
図は光学・ぐターンの一例を示す拡大平面図、第７図は
第６図に示した光学・９ターンの決定方法を説明するた
めの特性線図、第８図は光学／ダターンの他の例を示す
拡大平面図、第９図は第１図に示した流量信号発土器の
髪形例を示す断面図、第１０図は第１図に示した流量・
信号発生器の更に他の変形例を示す断面図、第１１図は
第１０図の上部ケーシングを取り外した状態における流
量信号発生器の平面図である。 １・・・流量信号発生器、２・・・非円形式歯車流量計
、６．７・・非円形歯車、１８・・・光学・ぐターン、
１９゜５７・・・投光／受光用光フアイバ体、１９ａ・
・・検出端面、２６．６４ ・・受光用ファイバ、２７
．６６・・・投光用ファイバ、２９・・・光源、３０・
・・光電変換器、６１・・発光素子、６２・・・受光素
子。 特許出願人 ヂーゼル機器株式会社 代理人 弁理士 高 野 昌 俊 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- １、非円形式歯車流量計の回転体上に形成された複数の
反射体と、前記回転体の回転に伴なって前記反射体がそ
の検出端面に順次接近離反する投光／受光用光フアイバ
体とを備え、核投光／受光用光ファイバ体からの投光に
よって生じる前記反射体からの反射光を前記投光／受光
用光フアイバ体によって検出し前記反射光による光パル
ス信号を流量信号として取出すように構成された流量信
号発生器において、前記反射体がフォトエツチングによ
り前記回転体上に形成され、且つ前記光・ぐルヌ信号の
周波数が流量に比例するように前記反射体が配置されて
いることを特徴とする流量信号発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59031394A JPS60177222A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 流量信号発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59031394A JPS60177222A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 流量信号発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177222A true JPS60177222A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12330045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59031394A Pending JPS60177222A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 流量信号発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177222A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286516U (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-02 | ||
| JPS62228914A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-07 | Mitsuba Electric Mfg Co Ltd | 容積型流量計 |
| JPH055642A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-14 | Trinity Ind Corp | 容積式流量計 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5847130B2 (ja) * | 1981-02-18 | 1983-10-20 | 泰東製鋼株式会社 | トロ−ル網 |
-
1984
- 1984-02-23 JP JP59031394A patent/JPS60177222A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5847130B2 (ja) * | 1981-02-18 | 1983-10-20 | 泰東製鋼株式会社 | トロ−ル網 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286516U (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-02 | ||
| JPH0323536Y2 (ja) * | 1985-11-20 | 1991-05-22 | ||
| JPS62228914A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-10-07 | Mitsuba Electric Mfg Co Ltd | 容積型流量計 |
| JPH0582892B2 (ja) * | 1986-03-31 | 1993-11-22 | Mitsuba Electric Mfg Co | |
| JPH055642A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-14 | Trinity Ind Corp | 容積式流量計 |
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