JPS60175475A - Automatic aligning device of laser oscillator - Google Patents
Automatic aligning device of laser oscillatorInfo
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- JPS60175475A JPS60175475A JP3019884A JP3019884A JPS60175475A JP S60175475 A JPS60175475 A JP S60175475A JP 3019884 A JP3019884 A JP 3019884A JP 3019884 A JP3019884 A JP 3019884A JP S60175475 A JPS60175475 A JP S60175475A
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はレーザ発振器の自動アライメント装置に関す
るものである１
〔従来技術〕
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an automatic alignment device for a laser oscillator.1 [Prior Art] Conventionally, there has been a device of this type as shown in FIG.
第２図は第１図の縦断面図である。これらのＩＲＩＫ示
すように、容器（１）内にはレーザ媒質体（２）があり
、グローか１！＃により励起される。（３） （４）は
光学基板であり、６本以上のインバー（５）により連結
され、容器（１）の変形に影繁されないよう安定な坪行
面を保つようになっている。（６）（７）も光学基板で
あり、中心に部分透過鏡αＱのホルダ（８）または全反
射１（１！Ｓのホルダ（９）を有し、支点６Ｑ←ルとマ
イクロメータ（１２ｘ） （１２ｙ） （１３ｘ） （
１３ｙ）により手動でアライメントすることができ、レ
ーザ光（１に４の出力が最大になるようＫすることがで
きる。なお、光学基板（６＋（７）は容器（１）とベロ
ーズα′ｆ）ｏｅにより連結されており、アライメント
を行なっても自由に動くことができる、Ｑ！ｊ〆４はア
パーチャであり、ｌ／−ザ発振のモードネ制御するもの
である。レーザ媒質体（２）が励起されると全反射鏡０
りと部分透過鏡０→との間でレーザ発振が起り、レーザ
光０４を出力することができる。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of FIG. 1. As shown in these IRIKs, there is a laser medium (2) inside the container (1), and there is a glow or 1! Excited by #. (3) and (4) are optical substrates, which are connected by six or more invars (5) to maintain a stable plane surface so as not to be affected by the deformation of the container (1). (6) and (7) are also optical substrates, with a holder (8) for a partially transmitting mirror αQ or a holder (9) for a total reflection 1 (1!S) at the center, and a fulcrum 6Q← and a micrometer (12x). (12y) (13x) (
13y) can be manually aligned, and the laser beam (1 to 4) can be adjusted to maximize the output. Note that the optical substrate (6+(7) is the container (1) and the bellows α′f) Q!j〆4 is an aperture that controls modene of l/- laser oscillation. When it is, the total reflection mirror is 0
Laser oscillation occurs between the mirror 0 and the partially transmitting mirror 0→, and laser light 04 can be output.
従来のレーザ発振器は以上のように構成されているので
容器（１）の湿度や圧力による変形、インバー（５）の
たわみ、光学基板（３） （４） （６）（７）の変組
１、全反射＃Ｏ１や部分透過紳α叶の歪等により一度ア
ライメントをしても時間が経過すると最適値からずれて
Ｌまい、レーザ光◇４の出力が低下ｔ７、レーザ光α◆
のモードも悪くなる。そのため再度手動によるアライメ
ントを行う必要があり、長時間におけるレーザ光α→の
安定度が想い等の欠点があった。Since the conventional laser oscillator is configured as described above, deformation of the container (1) due to humidity and pressure, deflection of the Invar (5), and deformation of the optical substrates (3) (4) (6) (7) 1 , Due to total reflection #O1 and partial transmission α distortion, etc., even if alignment is done once, it will deviate from the optimum value as time passes, and the output of laser beam ◇4 will decrease t7, laser beam α◆
The mode also gets worse. Therefore, it is necessary to perform manual alignment again, and there are drawbacks such as the stability of the laser beam α→ over a long period of time.
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、レーザビームのずれを検出し、ア
ライメントをモータで角度補正を行なうことにより自動
的にアライメントをするこしている。This invention was made to eliminate the above-mentioned drawbacks of the conventional laser beam, and automatically aligns the laser beam by detecting the deviation of the laser beam and correcting the alignment angle using a motor.
以下、この発明の一実施例を図により説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第３図において光学基板（６１（７）は容器（１）に直
接取付けてあり、第１，２図に示す光学基板（３１（４
）と、インバー（５）はこの発明では不要であるので省
略１７である。また第１，２図と回−ヌは相当部分は同
一の符号を付ｔ、て峠明は省略する。In FIG. 3, the optical substrate (61(7)) is directly attached to the container (1), and the optical substrate (31(4) shown in FIGS. 1 and 2 is attached directly to the container (1).
) and invar (5) are omitted in 17 because they are unnecessary in this invention. In addition, corresponding parts in FIGS. 1 and 2 are given the same reference numerals, and the numbers are omitted.
ｆａｎはとの発明の要部であるレーザビームのずれを栓
出す乙ｔ・めの＄小用センサであり、そわぞれ全反射Ｐ
Ｑ！ｖ及び部分透鍋錦（ｌｆ＋の近傍に設けられている
。その構造は舞４図に示すようになっている。The fan is a small-sized sensor that detects the deviation of the laser beam, which is the main part of the invention, and the total reflection P
Q! v and a partially transparent pot brocade (provided near lf+. Its structure is as shown in Figure 4).
′ｔｔ（わち、この検出用センサｅ１１は、基台（ハ）
Ｋ２対の１７−ザセンザｒ２３ｘ＋） ｒ２３ｘ−）（
２３ｙ＋） （２３ｙ−）を亙に偵交する方向に配置し
、それぞわ対向する１対のレーザセンサはその、ｓｔ’
ｗカの方向を逆釦して直列接続１．てｔ「るものであり
、そわらの出力電圧をそｆ−１矛セＶｘ、Ｖｙとする。'tt (In other words, this detection sensor e11 is
K2 pair 17-zasenza r23x+) r23x-)(
23y+) (23y-) are disposed in a rectangular direction, and a pair of laser sensors facing each other are connected to the st'
Connect in series by reversing the direction of w.1. Assume that the output voltages of the output voltages are Vx and Vy.
なお、この実施例ではレーザセンサ（２３ｘ＋） （２
３ｘ−） （２３ｙ＋） （２３ｙ−）は熱電対を使用
しているが、その他の温度センサやレーザセンサを用い
ても良いものである、上記のよへな構成の検出用センサ
Ｑυによりレーザビームのずれを検出する場１合を説明
すると、第５図に示ずようにアパーチャ（ホ）を辿った
あとのレーザ光（ハ）はアパーチャＯＩ↓１の口径によ
り決定されるが、アパーチャｍ）を通る前のレーザ光（
ハ）は（ハ）のような強度分布を示しているので、レー
ザセンサＣ２３Ｖ＋） （２３ｙ−）には点＠（ハ）に
おける強度をもつレーザ光が照射され、同一の熱起電力
を発生ｉする。In addition, in this example, the laser sensor (23x+) (2
3x-) (23y+) (23y-) uses a thermocouple, but other temperature sensors or laser sensors may also be used. Laser beam To explain the first case of detecting the deviation of the aperture, as shown in Fig. 5, the laser beam (c) after tracing the aperture (e) is determined by the diameter of the aperture OI↓1, but the aperture m) Laser light before passing through (
Since c) shows an intensity distribution like (c), the laser sensor C23V+) (23y-) is irradiated with a laser beam having the intensity at point @(c), generating the same thermoelectromotive force i. do.
そのため検出用センサ０１の出力Ｖｙはゼロである一部
分透ｉ ＃ ｎｏのアライメントがずれてレーザ光（ハ
）の強度分布が点線−のように変化するとレーザセンサ
（２３Ｙ＋）は膚（）の、（２３ｙ−”）は点０１５の
強度となり、（２３ｙ＋）の方が熱起電力が大きくなる
ので検出用センサＱηの出力ｖｙは第４図のよ５に正の
電圧が発生する。逆にレーザ光（２）が第４図にお℃・
て下側へずれるとｖｙは弁の電圧を出力する。レーザセ
ンサ（２３ｘ＋） （２３ｘ−）の動作も同様であり、
第４図において右側へずれるとＶｘに正の電圧が発生し
、逆に左側へずれると命の電圧が発生するようになって
いる。Therefore, the output Vy of the detection sensor 01 is zero. When the alignment of the partially transparent i#no shifts and the intensity distribution of the laser beam (c) changes as shown by the dotted line -, the laser sensor (23Y+) detects the skin (), ( 23y-'') has the intensity at point 015, and (23y+) has a larger thermal electromotive force, so the output vy of the detection sensor Qη generates a positive voltage at 5 as shown in Figure 4.On the contrary, the laser beam (2) is shown in Figure 4 at °C.
When the voltage shifts downward, vy outputs the voltage of the valve. The operation of the laser sensor (23x+) (23x-) is also similar.
In FIG. 4, if it shifts to the right, a positive voltage is generated at Vx, and conversely, if it shifts to the left, a critical voltage is generated.
再び＃： ３１Ｆ＋に戻って、一方のアライメント制御
回路妙ぐ１は全反射鎖側の検出用センサナ１）の出力電
圧Ｖｘ、Ｖｙをそれソネ入力し、各々の出力電圧Ｖｘ、
Ｖｙに基いて部分透治１側のパルスモータ−幹を制御し
、マイクロメータ（１２Ｘ） （１２Ｖ）を回転させる
。他方のアライメント制御回路０冶（ロ）は部分達ｉｎ
ｉｆｉ側の検出用センサＱ１）の出力電圧Ｖｘ、Ｖｙ
をそわぞわメカし、各々の出力電圧Ｖｘ、Ｖｙに基いて
全反射釘伸び）パルスモータ←（社）を卸御し、マイク
ロメータ（１３Ｘ） （１３Ｙ）を１１転させる。Returning to #31F+ again, one alignment control circuit 1 inputs the output voltages Vx and Vy of the sensor sensor 1) for detection on the side of the total reflection chain, and outputs the respective output voltages Vx,
Based on Vy, the pulse motor stem on the partial dialysis 1 side is controlled to rotate the micrometer (12X) (12V). The other alignment control circuit 0 (b) is partially reached in
Output voltages Vx, Vy of the ifi side detection sensor Q1)
, the total reflection nail extension) pulse motor (company) is controlled based on each output voltage Vx, Vy, and the micrometer (13X) (13Y) is rotated 11 times.
躯６図に十Ｆのアライメント制御回路棹ｅ（財）邸の一
例を示す。この１１１作を例えば第６図の０傳にっ（・
てＮｕ ８７１すると、検出用センサＱ１）のレーザセ
ンサ（２３ｙ＋）と（２３ｙ−）の熱起電力の差ｖｙを
増幅器θｉにより増重する。Ｇ１１）はメーターやデジ
タル電圧計等の表示器であり、増幀器θｉの用力Ｖ圧θ
２’ｌ示する。このｐｙｒ＜ ｆ！％ ＠１） Ｋより
レーザビーム（イ）のずれの状態を目視により容易に知
ることができる。レーザビーム（イ）が第５図において
Ｈ側へずねるとｖＹは正の電圧となり、表示器Ｏ◇は＋
側へ垢れる。Ｇｌｌ 白＆はレベル判別器であり、増幅
器θｄの出力する電圧りが正の電圧で、あらかじめ設定
された値ｐ−１±になるとデジタル信号０４Ｈレベルを
出力すム、６４は電圧（６）が負の電圧で、あらかじめ
設定された値以下になったときデジタル信号−１ｊＪＨ
レベルを出力するものであるにのレベル判別ｍ Ｇｌｌ
Ｇ１−１の一例をそれぞれ第７図、第８図に示す。電
圧源ｈ４ ＩＱをコンパレータ艶的に接続し、雷、圧便
を図の極性Ｉ７ｒ接続すると目的のデジタル信号ｌｌＩ
ｎを得ることができる。Figure 6 shows an example of the alignment control circuit on the 10th floor. For example, these 111 works can be seen in Figure 6.
Then, the difference vy between the thermoelectromotive force of the laser sensor (23y+) and (23y-) of the detection sensor Q1) is amplified by the amplifier θi. G11) is an indicator such as a meter or digital voltmeter, and indicates the utility V pressure θ of the intensifier θi.
2'l is shown. This pyr<f! % @1) From K, the state of deviation of the laser beam (a) can be easily determined by visual inspection. When the laser beam (A) shifts to the H side in Fig. 5, vY becomes a positive voltage, and the display O◇ becomes +
Move to the side. Gll white & is a level discriminator, which outputs a digital signal 04H level when the voltage output from the amplifier θd is a positive voltage and reaches a preset value p-1±, and 64 indicates that the voltage (6) is a positive voltage. Digital signal -1jJH when negative voltage is below the preset value
Level discrimination m Gll that outputs the level
An example of G1-1 is shown in FIG. 7 and FIG. 8, respectively. Connect the voltage source h4 IQ to the comparator, and connect the lightning and pressure to the polarity I7r shown in the diagram to get the desired digital signal llI
n can be obtained.
第３図に示すレーザ出力センサｅ１はビーム７、プリッ
タｌ５４）等でレーザ光０４の１部を取り出したレーザ
升軒を検出ｔ、ｍ幀器６６１（第６シ１参胛）により増
幅１２、第７図に示すものと同等なｔ／ベル判％＋Ｉ器
６７Ｎにより、レーザ出力があらかじめ沖めらねた値ｐ
ｔ土であるときにデジタル信号１１１１Ｈレベルを出力
しパルス発生器ｅｉ１１の信号６′）ｌとともＫＡＮＤ
回路Ｃ３ｒｉ・に入力すると、パルス発生器６１１の信
号Ｐはレーザ出力が決められた値以上であるときにのみ
ＡＮＤ回路ｌｌ１１１に信号Ｉ２１を送る。これは、レ
ーザ発振器が弱いと検出用センサＱＩ）のレーザセンサ
（２６ｙ＋）（２３ｙ−） （２３ｘ＋） （２３ｘ−
） ＩＣ十分な熱起電力が発生しないため、レーザビー
ムのずれを検出する誤差が大きくなり、これを防止する
ためである２、このようにすること忙より十分に強度の
あるレーザビームに対して角度補正を正確に行うことが
できる。The laser output sensor e1 shown in FIG. 3 detects the laser beam from which a part of the laser beam 04 is extracted by the beam 7, splitter 154), etc., and is amplified 12 by the detector 661 (visited in the 6th column 1). Using a t/Bell size %+I device 67N equivalent to that shown in Fig. 7, the laser output is set to a value p in advance.
When it is t, the digital signal 1111H level is output and KAND is performed with the signal 6')l of the pulse generator ei11.
When input to the circuit C3ri, the signal P of the pulse generator 611 sends the signal I21 to the AND circuit 1111 only when the laser output is above a predetermined value. This means that if the laser oscillator is weak, the laser sensor (26y+) (23y-) (23x+) (23x-
) Since the IC does not generate sufficient thermal electromotive force, the error in detecting the deviation of the laser beam becomes large, and this is to prevent this.2. Angle correction can be performed accurately.
パルス発生器６１１の信号−はレベル判別器６１−の信
号とともにＡＮＤ回路ｔｉｌｌ）Ｉｌｌに入力（７、パ
ルスモータ駆動回路輸に、Ａ Ｎ Ｄ回路１は正転信号
伯４１を、ＡＮＤ回路ｉ１１は反転信号６５１を出力し
、パルスモータＯｆＩの回転方向を制御する。The signal from the pulse generator 611 along with the signal from the level discriminator 61 is input to the AND circuit (7). A reversal signal 651 is output to control the rotation direction of the pulse motor OfI.
第９図においてアライメント制御回路の動作をさらに駁
明すると、同図（旬の６棒はレベル判別器６ηの出力す
るデジタル信号である。デジタル信号６１（１が１ルベ
ルのときパルス発生器６１−の信号は同図（（Ｉ）のパ
ルス佃号紅−とし、てＡＮＤ回路Ｉｎり帽＼に出力する
。To further clarify the operation of the alignment control circuit in FIG. The signal is the pulse number red in the figure ((I)) and is output to the AND circuit.
同図（Ｒ）に示すθ２け増枦）器θ１の出力電圧であり
、伯７１はレベル判別０θ、ｔの判別レベルであり、こ
のレベル藺に刻して出力電圧拗が高いときは同図（ｂ）
に示すデジタル信号−のようにＨレベルを出力するので
同図（ｅ）に示すように正転信号嚇をパルスモータ駆動
回路轍に送り、パルスモータ（ロ）を正転させ出力電圧
（／４埠がレベルＩη以下になるまで止転信号例を送り
角度補正を行なう。その結果、出力電圧θ陣がレベルｌ
６７）以下になるとｍ１図（ｂ）のデジタル信号θ→は
Ｌレベルになり正転信号伯ａは停止し角度補ｉＥは行な
われない。It is the output voltage of the θ2 multiplier θ1 shown in the same figure (R), and 71 is the discrimination level of level discrimination 0θ, t. (b)
Since it outputs an H level digital signal as shown in (e), it sends a forward rotation signal threat to the pulse motor drive circuit track as shown in (e), causing the pulse motor (b) to rotate forward and increase the output voltage (/4). The stop rotation signal example is sent and the angle correction is performed until the voltage becomes below the level Iη.As a result, the output voltage θ reaches the level l
67) or less, the digital signal θ→ of m1 (b) becomes the L level, the normal rotation signal a stops, and the angle correction iE is not performed.
またレーザビーム（ハ）が逆方向にずれたと？！！第９
図（ａ）の出力電圧＠埠は負の電圧となり、レベル判別
器■の判別レベル−以下になると同図（ｃ） Ｋ示すデ
ジタル信号−のようにＨレベルを出力し同図（ｆ）に示
す逆転信号Ｉ５１をパルスモータ駆動回路−・（（送り
、パルスモ タ仲）を逆転させ角度補正を行なうので、
レーザビーム（ハ）を自動的に角度補正することができ
る。Also, the laser beam (c) shifted in the opposite direction? ! ! 9th
The output voltage in Figure (a) becomes a negative voltage, and when it falls below the discrimination level of the level discriminator ■, it outputs an H level as shown in Figure (c), the digital signal shown by K, and goes to Figure (F). The angle is corrected by reversing the reverse signal I51 shown in the pulse motor drive circuit ((feed, pulse motor).
The angle of the laser beam (c) can be automatically corrected.
第１０図はパルス発振器６１１のパルス信号６りをパル
ス分配器−により第１１図（ｂ）〜（ｅ） Ｋ示すよう
にパルス信号軸を分配し６【卜〜（７３１とし、それぞ
れＡ Ｎ Ｉ）回路ｔ！＋Ｑｌ ｆｆ４） （７５）ｔ
’１１６１ Ｋよりレーザ出力が一定値以上のときパル
ス信号６ｚσηＣ７８）ｆｆ９１を第６図のアライメン
ト制御回路０う〜Ｇυへ送り角度補正を順番に行う、他
の例を示すものである。このようにすることにより異な
るパルスモータ（２）〜（２）を同時に回転させること
が無く安定した制御を行うことができる１、第１２図は
増幅器に）の出力電圧０→を絶対値アンプ呻）により同
極性の電圧（８Ｉ）に変換し、Ｖ／Ｆ発搗器ｌ８２Ｉに
より電圧（８１）に応じた周波数のパルス信号［Ｆ］３
）を発生する、その他の例を示すものである。この動作
を第１６図（ａ、ｌ〜（Ｃ）に示す。Ｖ／ド発振器りの
周波数は電圧呻に比例する必９はなく段階的に変化して
もよい。このよう圧することにより、レーザビームのず
れの太きいときは高速でパルスモータを回転し早く角度
補正を行い、レーザビームのずれの少ないときは低速て
・パルスモータ幹を回転することにより高精度で角度袖
ｉＦを行うことができる。FIG. 10 shows that the pulse signal 6 of the pulse oscillator 611 is distributed by a pulse distributor to the pulse signal axes as shown in FIGS. 11 (b) to (e). ) circuit t! +Ql ff4) (75)t
Another example is shown in which the pulse signal 6zσηC78)ff91 is sent to the alignment control circuits 0 to Gυ in FIG. 6 to sequentially perform angle correction when the laser output is above a certain value from '1161K. By doing this, it is possible to perform stable control without rotating different pulse motors (2) to (2) at the same time. ) to a voltage (8I) of the same polarity, and a V/F generator l82I generates a pulse signal [F]3 with a frequency corresponding to the voltage (81).
) occurs. This operation is shown in FIG. When the beam deviation is large, the pulse motor is rotated at high speed to quickly correct the angle, and when the laser beam deviation is small, the angle correction can be performed with high precision by rotating the pulse motor stem at a low speed. can.
辺土の実施例ではモータとしてパルスモータを使用した
が、Ｉ） Ｃモータ等の他のモータであっても同等の節
制御を行うことができる。In Hedo's embodiment, a pulse motor was used as the motor, but equivalent node control can be performed using other motors such as an I) C motor.
第１４図は第６図の部分透過鏡θＧ側の検出用センサぐ
◇を加工ヘッド＠４）の加工レンズ（８印の近傍に設け
た他の実施例を示すもので、ベンドミラー（８’の角度
ずれや機械的変動を含んだ全反射鋳０１の角度補正を行
うことができ、加工レンズ鄭１の中心にレーザ光α◆を
入射することができるので安定１−たレーザ加工を行う
ことができ、上記実施例と同様の効果を奏する。Figure 14 shows another embodiment in which the detection sensor ◇ on the side of the partially transmitting mirror θG in Figure 6 is installed near the processing lens (mark 8) of the processing head @4. It is possible to correct the angle of the total reflection casting 01 including angular deviations and mechanical fluctuations, and it is possible to perform stable laser processing because the laser beam α◆ can be incident on the center of the processing lens 1. , and the same effects as in the above embodiment can be achieved.
以上のようにこの発明によれば、レーザビームのずれを
検出しアライメントをモータで行ない角度補正を行なう
ことにより自動的にレーザ発振器のアライメントを行う
ように構成したので、インバー等の複雑な光学平行板を
必要としないため装置が安価にでき、かつ長時間におけ
るレーザ光の安定度が非常に高いものが得られる効果が
ある。As described above, according to the present invention, the laser oscillator is automatically aligned by detecting the deviation of the laser beam, performing alignment using a motor, and performing angle correction. Since no plate is required, the device can be made at low cost, and the stability of the laser beam over a long period of time can be extremely high.
第１図は従来のレーザ発振器を示す構成図、第２図は従
来のレーザ発振器を示す断面図、第６１ｖＩはこの発明
の一実施例によるレーザ発振器を示す断面構成図、第４
図及び第５図は検出用センサの構成及び作用を説明する
ための説明図、第６図はアライメント制御回路の一実施
例を示す回路図、卯、７図及び第８図はレベル判定器の
一例も〜９は第６図のアライメント制御回路の動作を説
明するためのタイムチャート図、第１０図及び第１２図
はアライメント制御回路の仙の実施例を示す回路図、第
１１図は第１０図のパルス分配器の動作を駁１明するた
めのタイムチャート図、第１３図は卯、１２図の動作を
説明するためのタイムチャート図、第１４図はこの発明
の他の実施例を示す構成図である。
（］）・・・容器 （２）・・パレーザ謀質体 （３）
（４）・・・光学基板（５）・・・インバー （６）
（７）・・・光学基板 （８） （９）・・・ホルダ
α＊ （＋１）−・・支点’ Ｎ２ｘ）（１２ｙ）（１
３ｘ）（ｊ３ｙ）−マイクロメータ Ｈ・・・レーザ光
０５・・・全反射鯉０Ｏ・・部分透過−Ｃ７１（１８
１・・・ベローズ Ｈに）・・・アパーチャな】）・・
・検出用センサ に）・・・基台 （２３ｘ＋） （７
３ｘ＝） Ｃ２３Ｖ＋）（２３Ｍ−）・・・レーザセン
サ （ハ）（ハ）６央・・・レーザ光 ０り廼０擾０つ
・・アライメント制御回路 ＯＱ＠（２）（ロ）・・・
パルスモ タ ０１輪）・・・増幅器 ＠υ・・・表示
器 （ハ）Ｕ・・・コンパレータ （へ）−・・・電圧
源 ６１）・・・パルス発生器６３）・・・レーザ出力
センサ ｆ８４）・・・ビームスプリッタに）Ｈ６７＋
・・・レベル判別器 （５９１１ｆ、ｌｌ ｌｉ＋・６
イ）０５）Ｃ６１・・・Ａ Ｎ Ｊ）回路 ＋３１・・
・パルスモータ駆動回路 ■・・・パルス分配器 ＠Ｃ
０・・・絶対値アンプ 曽・・・Ｖ／Ｆ発振器なお図中
、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
代理人 弁理士 木 利 三 朗FIG. 1 is a configuration diagram showing a conventional laser oscillator, FIG. 2 is a sectional view showing a conventional laser oscillator, No. 61vI is a sectional configuration diagram showing a laser oscillator according to an embodiment of the present invention, and FIG.
5 and 5 are explanatory diagrams for explaining the structure and operation of the detection sensor, FIG. 6 is a circuit diagram showing one embodiment of the alignment control circuit, and FIGS. As an example, Fig. 9 is a time chart diagram for explaining the operation of the alignment control circuit shown in Fig. 6, Figs. 10 and 12 are circuit diagrams showing other embodiments of the alignment control circuit, and Fig. 13 is a time chart diagram for explaining the operation of the pulse distributor shown in FIG. 1, FIG. 13 is a time chart diagram for explaining the operation of FIG. FIG. (])...Container (2)...Pareza conspiracy (3)
(4)...Optical board (5)...Invar (6)
(7)...Optical board (8) (9)...Holder α* (+1)--Fully point' N2x) (12y) (1
3x) (j3y) - Micrometer H... Laser light 05... Total reflection carp 0O... Partial transmission - C71 (18
1...Bellows H)...Aperture])...
・Detection sensor)...Base (23x+) (7
3x=) C23V+) (23M-)...Laser sensor (C) (C) 6 center...Laser light 0 rotation 0 rotation 0...Alignment control circuit OQ@(2) (B)...
Pulse motor 01 wheel)... Amplifier @υ... Display (c) U... Comparator (f) -... Voltage source 61)... Pulse generator 63)... Laser output sensor f84 )...to beam splitter) H67+
...Level discriminator (5911f, ll li+・6
B) 05) C61...A N J) Circuit +31...
・Pulse motor drive circuit ■...Pulse distributor @C
0: Absolute value amplifier Zeng: V/F oscillator In the drawings, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts. Agent Patent Attorney Sanro Ki Toshi
Claims (7)
ることによりレーザ光を発生するレーザ発振器において
、前記全反射！Ｅｔび部分透過鯉をそれぞれ光学基板に
増付けると共に該光学基板を介して全反＃Ｉ鈴及び部分
ｘ鍋鉾の角度ずれを補正するモータをそれぞれ独立に設
け、また前記全反射針Ｉ及び部分透過針の近傍にそれぞ
れレーザビームのずれを検出するセンサを設け、各々の
センサを自動ア、ライメント制御回路を介１２て前記モ
ータにそれぞわ接続してなることを特徴とするレーザ発
振器の自動アライメント装置。(1) In a laser oscillator that generates laser light by exciting a laser medium between a total reflection needle and a partially transparent needle, the total reflection! Et and partial transmission carp are added to the optical substrate, and motors for correcting the angular deviation of the total reflection #I bell and the partial x pot hoko are provided independently through the optical substrate, and the total reflection needle I and the partial An automatic laser oscillator characterized in that a sensor for detecting a deviation of a laser beam is provided in the vicinity of each transmission needle, and each sensor is connected to the motor through an automatic alignment control circuit. alignment device.
る方向に配置した２対の・レーザセンサにて構成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の自動
アライメント装！１、(2) The automatic alignment device according to claim 1, wherein the sensor is composed of two pairs of laser sensors arranged in a direction perpendicular to the cross section of the laser beam! 1,
力を増幅する手段、レーザビームのずねている方向を判
別する手段及びパルスを発生する手段を有し、前記全反
射＃及び部分透過針の角度ずれを補圧する方向にＷｌ記
パルスの発生毎に前記モー □りを一定量回１せ［７め
るようにしたことを特徴とする弔！’ｒ 請求の廓囲ル
１１ｒ記ｐの自動アライメント装置、。(3) The automatic alignment control circuit has a means for amplifying the output of the sensor, a means for determining the direction in which the laser beam is deflected, and a means for generating a pulse, and the automatic alignment control circuit has a means for amplifying the output of the sensor, a means for determining the direction in which the laser beam is deflected, and a means for generating a pulse; A condolence device characterized in that the motor □ is repeated a certain amount of times in the direction of compensating for the deviation every time the Wl pulse is generated. 'r The automatic alignment device of Claims 11r, p.
出力があらかじめ設定さねた値以上であるときに行へよ
うにしたことを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の
自動アライメント装置。(4) Automatic alignment according to claim 6, characterized in that the angle correction of the total reflection needle and the partial transmission needle is performed when the laser output is equal to or higher than a preset value. Device.
タ忙対して該パルスを交互に分配する手段を備えたこと
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の自動アライメ
ント装置。(5) The automatic alignment apparatus according to claim 3, further comprising means for alternately distributing the pulses to a number of motors rotated by a certain amount by the pulses.
スを発生する手段を備えたことを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載の自動アライメント装置。(6) The automatic alignment device according to claim 3, further comprising means for generating a pulse having a frequency corresponding to the absolute value of the output voltage of the amplifier.
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の自動アライメ
ント製電。(7) The automatic alignment electrical manufacturing device according to claim 3, further comprising means for displaying the output voltage of the amplifier.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3019884A JPS60175475A (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Automatic aligning device of laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3019884A JPS60175475A (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Automatic aligning device of laser oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60175475A true JPS60175475A (en) | 1985-09-09 |
| JPH0249542B2 JPH0249542B2 (en) | 1990-10-30 |
Family
ID=12297046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3019884A Granted JPS60175475A (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Automatic aligning device of laser oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60175475A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991016745A1 (en) * | 1990-04-16 | 1991-10-31 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laser device |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5719583A (en) * | 1980-07-10 | 1982-02-01 | Nobuyoshi Kuboyama | Decompressive drying method and apparatus |
| JPS5893294A (en) * | 1981-11-30 | 1983-06-02 | Hitachi Ltd | Laser oscillator |
| JPS58115716U (en) * | 1982-01-29 | 1983-08-08 | 株式会社日立製作所 | Optical axis automatic adjustment device |
-
1984
- 1984-02-22 JP JP3019884A patent/JPS60175475A/en active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5719583A (en) * | 1980-07-10 | 1982-02-01 | Nobuyoshi Kuboyama | Decompressive drying method and apparatus |
| JPS5893294A (en) * | 1981-11-30 | 1983-06-02 | Hitachi Ltd | Laser oscillator |
| JPS58115716U (en) * | 1982-01-29 | 1983-08-08 | 株式会社日立製作所 | Optical axis automatic adjustment device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991016745A1 (en) * | 1990-04-16 | 1991-10-31 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laser device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0249542B2 (en) | 1990-10-30 |
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