JPS60173014U - 変位計 - Google Patents

変位計

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Publication number
JPS60173014U
JPS60173014U JP6052184U JP6052184U JPS60173014U JP S60173014 U JPS60173014 U JP S60173014U JP 6052184 U JP6052184 U JP 6052184U JP 6052184 U JP6052184 U JP 6052184U JP S60173014 U JPS60173014 U JP S60173014U
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JP
Japan
Prior art keywords
waveguide
substrate
displacement meter
detecting means
displacement
Prior art date
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Pending
Application number
JP6052184U
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English (en)
Inventor
雄三 南雲
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社島津製作所 filed Critical 株式会社島津製作所
Priority to JP6052184U priority Critical patent/JPS60173014U/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の変位計の構成図、第２図ないし第５図は
本考案の実施例を示し、第２図は変位計の構成図、第３
図はビーム整形手段の構成図、第　　　−４図は変位検
出手段の分解斜視図、第５図は変位検出手段の入射端側
からみた正面図、第６図は本考案の応用例を示す液体の
屈折率計の構成図である。 １・・・・・・変位計、１２・・・・・・変位検出手段
、１４・・・・・・第１基板、１６・・・・・・第２基
板、１８・・・・・・第１導波路、２０・・・・・・光
吸収体、２シ・・・・・・第２導波路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定物に取付けられる変位検出手段を備え、この変位
    検出手段は、第１基板と第２基板とが互いに接合されか
    つ、第１基板には第１導波路とこの第１導波路の一部に
    光導波方向の長さを連続的に変化させた光吸収体とがそ
    れぞれ設けられ、前記第２基板１′、は前記第１導波路
    と対象形をなす第２導波路が設けられて構成されている
    ことを特徴とする変位計。　　　−
JP6052184U 1984-04-23 1984-04-23 変位計 Pending JPS60173014U (ja)

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JP6052184U JPS60173014U (ja) 1984-04-23 1984-04-23 変位計

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JP6052184U JPS60173014U (ja) 1984-04-23 1984-04-23 変位計

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Publication Number Publication Date
JPS60173014U true JPS60173014U (ja) 1985-11-16

Family

ID=30587944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6052184U Pending JPS60173014U (ja) 1984-04-23 1984-04-23 変位計

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JP (1) JPS60173014U (ja)

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