JPS60172347A - レ−ザ光誘起化学反応装置 - Google Patents
レ−ザ光誘起化学反応装置Info
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- JPS60172347A JPS60172347A JP2839084A JP2839084A JPS60172347A JP S60172347 A JPS60172347 A JP S60172347A JP 2839084 A JP2839084 A JP 2839084A JP 2839084 A JP2839084 A JP 2839084A JP S60172347 A JPS60172347 A JP S60172347A
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- chemical reaction
- laser light
- reaction
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
- B01J19/121—Coherent waves, e.g. laser beams
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レーザ光を利用して化学反応を制御し、ま
たは特定の反応系だけ全促進、抑制するためのレーザ光
誘起化学反応装置に関する。
たは特定の反応系だけ全促進、抑制するためのレーザ光
誘起化学反応装置に関する。
従来技術
石油精製や石油化学工業などで、従来高温、高圧で行な
わ九ていた熱化学プロセス（例えば塩ピモノマーの製造
等）ヲ、レーザ光誘起化学反応で代行することが行なわ
九ている。従来におけるレーザ光誘起化学反応装置は、
第１図に示すように、レーザ共振器１の外部に媒質全収
容した化学反応部２’ｆ−配置して、レーザ発生部３で
発生さ几たレーザの一部をレーザ出力鏡４全通して出力
し、化学反応部２に入力して光化学反応を発生させてい
た。５はレーザ用反射鏡、７はレーザ励起源、８は化学
反応部２の圧力、流量等を制御するコントローラ、９は
化学反応部２に媒質全量し入几する配管である。
わ九ていた熱化学プロセス（例えば塩ピモノマーの製造
等）ヲ、レーザ光誘起化学反応で代行することが行なわ
九ている。従来におけるレーザ光誘起化学反応装置は、
第１図に示すように、レーザ共振器１の外部に媒質全収
容した化学反応部２’ｆ−配置して、レーザ発生部３で
発生さ几たレーザの一部をレーザ出力鏡４全通して出力
し、化学反応部２に入力して光化学反応を発生させてい
た。５はレーザ用反射鏡、７はレーザ励起源、８は化学
反応部２の圧力、流量等を制御するコントローラ、９は
化学反応部２に媒質全量し入几する配管である。
上記のレーザ光誘起化学反応装置では、レーザ出力鏡４
の透過率を最適化することで最大のレーザ出力を得るよ
うにしているが、レーザ共振器１の外部に取シ出される
レーザ強度は、その内部に存在しているレーザ強度の数
分の１程度であるため、内部に存在するエネルギーを化
学反応に有効に利用することができず、エネルギーの利
用率が悪かった。このため、元来レーザ発生部３でのレ
ーザ発生効率が低いとと（通常数％〜２０％程度）およ
び化学反応部２でのレーザ光吸収係数が低く反応収率（
入力レーザ光のエネルギーに対する反応収ｆａ： （化
学反応により得ら九る目的物質の量））が低いことと相
俟って、反応収量ヲ高くしようとすると、大ノ々ワーの
レーザ装置が必要となり、あるいは、反応収率を高める
ために化学反応部２の反応有効長を長くとらなければな
らず、コスト的に非常に高いものになっていた。
の透過率を最適化することで最大のレーザ出力を得るよ
うにしているが、レーザ共振器１の外部に取シ出される
レーザ強度は、その内部に存在しているレーザ強度の数
分の１程度であるため、内部に存在するエネルギーを化
学反応に有効に利用することができず、エネルギーの利
用率が悪かった。このため、元来レーザ発生部３でのレ
ーザ発生効率が低いとと（通常数％〜２０％程度）およ
び化学反応部２でのレーザ光吸収係数が低く反応収率（
入力レーザ光のエネルギーに対する反応収ｆａ： （化
学反応により得ら九る目的物質の量））が低いことと相
俟って、反応収量ヲ高くしようとすると、大ノ々ワーの
レーザ装置が必要となり、あるいは、反応収率を高める
ために化学反応部２の反応有効長を長くとらなければな
らず、コスト的に非常に高いものになっていた。
発明の目的
この発明は、前記従来装置における欠点を解決する目的
でなさ九たもので、レーザ発振器で発生するレーザ光エ
ネルギーの利用率を高めて、小型で高い反応収量が得ら
几るレーザ光誘起化学反応装置を提供しようとするもの
である。
でなさ九たもので、レーザ発振器で発生するレーザ光エ
ネルギーの利用率を高めて、小型で高い反応収量が得ら
几るレーザ光誘起化学反応装置を提供しようとするもの
である。
発明の構成
この出願の第１の発明奴、化学反応部を、レーザ強度の
高いレーザ共振器内に入ｎることにより、レーザ光エネ
ルギーの利用率ヲ高めるようにしたものである。
高いレーザ共振器内に入ｎることにより、レーザ光エネ
ルギーの利用率ヲ高めるようにしたものである。
また、この出願の第２の発明は、第１の発明において、
レーザ共振器からレーザ出力を取り出し、そｎに応じて
化学反応部２に供給する流体の圧力、流量等あるいはレ
ーザ励起源等を制御することにより、化学反応を制御す
るようにしたものである。
レーザ共振器からレーザ出力を取り出し、そｎに応じて
化学反応部２に供給する流体の圧力、流量等あるいはレ
ーザ励起源等を制御することにより、化学反応を制御す
るようにしたものである。
実施例
本発明の一実施例を第２図に示す。第２図において、レ
ーザ共振器１４は、一対の鏡１５．１６が対向して設け
られ、その内部の光軸り上にレーザ発生部１７と化学反
応部１８を具えている。レーザ発生部１７には、レーザ
励起源（例えば、電子ビーム励起源や放電励起源など）
１９が接続さ九、パルス的にあるいは連続的にエネルギ
ーを供給して、レーザ発振に必要な反転分布全形成させ
る。化学反応部１８には、目的とする化学反応を起こす
媒質が入ｎらｎ、流量、圧力制御装置２゜により反応条
件が制御される。化学反応部１８で作らｎた反応物は捕
収器３０で捕集さｎる。
ーザ共振器１４は、一対の鏡１５．１６が対向して設け
られ、その内部の光軸り上にレーザ発生部１７と化学反
応部１８を具えている。レーザ発生部１７には、レーザ
励起源（例えば、電子ビーム励起源や放電励起源など）
１９が接続さ九、パルス的にあるいは連続的にエネルギ
ーを供給して、レーザ発振に必要な反転分布全形成させ
る。化学反応部１８には、目的とする化学反応を起こす
媒質が入ｎらｎ、流量、圧力制御装置２゜により反応条
件が制御される。化学反応部１８で作らｎた反応物は捕
収器３０で捕集さｎる。
レーザ共振器１４には外部レーザ発生器２１から厳密に
波長選択さｎｌかり出力が安定化さｆ′したレーザ光２
２がビーム注入器Ｃ半透過鏡）２３を介して注入される
。この結果、いわゆる「外部注入同期現象」により、レ
ーザ共振器１４内で安定に立つレーザの波長が決定さｎ
１反応に必要な波長に同調できる。レーザ発生部エフで
得らｎるレーザの利得が、化学反応部１８での吸収や散
乱損失および鏡１５．１６での損失等を含む全損失量を
越えると、レーザ共振器１４内に安定なレーザ光のフィ
ールドが形成され、発振状態になる。
波長選択さｎｌかり出力が安定化さｆ′したレーザ光２
２がビーム注入器Ｃ半透過鏡）２３を介して注入される
。この結果、いわゆる「外部注入同期現象」により、レ
ーザ共振器１４内で安定に立つレーザの波長が決定さｎ
１反応に必要な波長に同調できる。レーザ発生部エフで
得らｎるレーザの利得が、化学反応部１８での吸収や散
乱損失および鏡１５．１６での損失等を含む全損失量を
越えると、レーザ共振器１４内に安定なレーザ光のフィ
ールドが形成され、発振状態になる。
レーザ共振器１４内で発生したレーザの一部はわずかに
透過率を有する鏡１６’を透過して外部に出力さｎる。
透過率を有する鏡１６’を透過して外部に出力さｎる。
この出力レーザ光の強度は、化学反応部１８での反応状
態により変化する。したがって、この出力レーザ光の強
度？検出して、フィートノクック信号として用いること
により、化学反応を制御することができる。鏡１６を透
過して出力さｆｌ、たレーザ光は、ビーム反射鏡２４を
経てレーザ検出器（パワーメータ等）２５に入力される
。
態により変化する。したがって、この出力レーザ光の強
度？検出して、フィートノクック信号として用いること
により、化学反応を制御することができる。鏡１６を透
過して出力さｆｌ、たレーザ光は、ビーム反射鏡２４を
経てレーザ検出器（パワーメータ等）２５に入力される
。
レーザ検出器２５では、入力さｎるレーザビームに応じ
てレーザ励起源１９、流量、圧力制御装置２０ を制御
する。このようにすることで、レーザ共振器１４の内部
のレーザ光のフィールドパワー（エネルギー）が常に一
定となるようにでき、同時に化学反応部１８でのべ応量
も一定量に制御できる。また、レーザ共振器１４内での
レーザ光のフィールドパワーは、通常出力するパワーの
数倍から数十倍の強さになる。このため、従来の方法（
化学反応部をレーザ発振器の外部に設けるもの）に比べ
、レーザ発生と反応に必要な全入力エネルギーに対する
反応収量が格段に亮くなり、反応収率全高めら九ると同
時に全体効率が向上する利点がある。
てレーザ励起源１９、流量、圧力制御装置２０ を制御
する。このようにすることで、レーザ共振器１４の内部
のレーザ光のフィールドパワー（エネルギー）が常に一
定となるようにでき、同時に化学反応部１８でのべ応量
も一定量に制御できる。また、レーザ共振器１４内での
レーザ光のフィールドパワーは、通常出力するパワーの
数倍から数十倍の強さになる。このため、従来の方法（
化学反応部をレーザ発振器の外部に設けるもの）に比べ
、レーザ発生と反応に必要な全入力エネルギーに対する
反応収量が格段に亮くなり、反応収率全高めら九ると同
時に全体効率が向上する利点がある。
ところで、レーザ共振器１４の出力ビームの強度Ｉｏｕ
ｔ （ｋｗ／ｃｌ ） と、レーザ共振器１４の内部の
レーザ光のフィールトノぞワー１ｉｎｔ ｒｋｗ／ｃ＋
４）は、そｎぞれ次式で表わされる。
ｔ （ｋｗ／ｃｌ ） と、レーザ共振器１４の内部の
レーザ光のフィールトノぞワー１ｉｎｔ ｒｋｗ／ｃ＋
４）は、そｎぞれ次式で表わされる。
Ｉｏｕｔ＝Ｉｓ＊ ｔ（ｔ−ｇｏ−４′・Ｑｏ）（ｔ＋
ａｍ＋２（ｆｏ−６’）’−〔２（ｇｏ−Ｌ−Ｑｏ−１
’ｌ ）−’ （１）但し、 ■ｓ：飽和パラメータ（ｋｗ／ｃｔ＆）ｇｏ：レーザ発
生部１７の小信号利得（ｉ’）ｔ ：出力＠Ｃ部分反射
鏡）１６の透過率酋 ａｍ ： ＠ １５ ＊ １６における吸収、散乱、回
析損失 ａｏ：化学反応部１７での吸収係数（ｃｒｎ−’）ｔ
：レーザ発生部１７の有効長（ｃｍ ）ｔ′：化学反応
部１８の有効長（ｔｍ ）第（１）式、第（２）式は、
連続動作レーザに関するものであるが、ノソルスレーザ
の場合でもレーザ共振器１４によるレーザ光のフィール
ドが安定にできる条件下では成立することが知らｔ’し
ている。この式を用いて、レーザ共振器１４の出力ビー
ムの強度Ｉｏｕｔ と、レーザ共振器１４内のレーザ光
のフィールトノぞツーｌ１ｎｔヲ、出力＠１６の反射率
Ｒ（＝１−１）を様々に変えて算出した一例金第３図に
示す。ここでは放電励起００！レーザをレーザ発生部１
７として使用した場合について示している。代表的な値
として、ｇｏ ＝ ｌ ｍ−’、Ｉ ｓ ＝ １ ｋｗ
／ａｌ、（Ｉｍ ＝ ０．０２ 、 ａｏ＝ １．ＯＸ
１０−”個−１％ｔ＝０．８ｍ。
ａｍ＋２（ｆｏ−６’）’−〔２（ｇｏ−Ｌ−Ｑｏ−１
’ｌ ）−’ （１）但し、 ■ｓ：飽和パラメータ（ｋｗ／ｃｔ＆）ｇｏ：レーザ発
生部１７の小信号利得（ｉ’）ｔ ：出力＠Ｃ部分反射
鏡）１６の透過率酋 ａｍ ： ＠ １５ ＊ １６における吸収、散乱、回
析損失 ａｏ：化学反応部１７での吸収係数（ｃｒｎ−’）ｔ
：レーザ発生部１７の有効長（ｃｍ ）ｔ′：化学反応
部１８の有効長（ｔｍ ）第（１）式、第（２）式は、
連続動作レーザに関するものであるが、ノソルスレーザ
の場合でもレーザ共振器１４によるレーザ光のフィール
ドが安定にできる条件下では成立することが知らｔ’し
ている。この式を用いて、レーザ共振器１４の出力ビー
ムの強度Ｉｏｕｔ と、レーザ共振器１４内のレーザ光
のフィールトノぞツーｌ１ｎｔヲ、出力＠１６の反射率
Ｒ（＝１−１）を様々に変えて算出した一例金第３図に
示す。ここでは放電励起００！レーザをレーザ発生部１
７として使用した場合について示している。代表的な値
として、ｇｏ ＝ ｌ ｍ−’、Ｉ ｓ ＝ １ ｋｗ
／ａｌ、（Ｉｍ ＝ ０．０２ 、 ａｏ＝ １．ＯＸ
１０−”個−１％ｔ＝０．８ｍ。
１’−０，３ｍとしている。第３図で点線で示したもの
がレーザ共振器１４の外部に取シ出さ几るレーザ出力の
強度Ｉｏｕｔであシ、実線が共振器１４の内部で安定に
立っているレーザ光のフィールドパワー１１ｎｔである
。
がレーザ共振器１４の外部に取シ出さ几るレーザ出力の
強度Ｉｏｕｔであシ、実線が共振器１４の内部で安定に
立っているレーザ光のフィールドパワー１１ｎｔである
。
第３図では、レーザ共振器１４内に化学反応部１８があ
る場合とない場合についてレーザ出力Ｉｏｕｔ と内部
レーザ光フィールドパワーｌ１ｎｔ をそれぞ几示して
いる。こ几によｎば、今考えている程度の化学反応Ｔａ
１８の吸収係数α０および有効長ｔ′では、化学反応
部１８Ｗｒレーザ共振器１４内に具えても、レーザが十
分発振可能であることがわかる。
る場合とない場合についてレーザ出力Ｉｏｕｔ と内部
レーザ光フィールドパワーｌ１ｎｔ をそれぞ几示して
いる。こ几によｎば、今考えている程度の化学反応Ｔａ
１８の吸収係数α０および有効長ｔ′では、化学反応
部１８Ｗｒレーザ共振器１４内に具えても、レーザが十
分発振可能であることがわかる。
第３図によ几ば、出力鏡１６０反射率Ｒ”ＩＨＩに近づ
けていく（透過率をＯに近づけていく）と、レーザ出力
Ｉｏｕｔはある点で最大値を取り、その後減少している
ことがわかる。一方、この時レーザ共振器１４の内部に
立つレーザ光のフィールドパワーｌ１ｎｔは単調に増加
していることがわかる。
けていく（透過率をＯに近づけていく）と、レーザ出力
Ｉｏｕｔはある点で最大値を取り、その後減少している
ことがわかる。一方、この時レーザ共振器１４の内部に
立つレーザ光のフィールドパワーｌ１ｎｔは単調に増加
していることがわかる。
また、その強度ｌ１ｎｔは、外部に出力さ几たレーザ出
力強度ｒｏｕｔの数倍から１０倍程度になることがわか
る。例えば、反射率を几＝０．９５とした場合、外部へ
出力さｎるレーザ光の強度Ｉｏｕｔは約１００ Ｗ／’
ｃｒ１８であるが、内部での強度ｌ１ｎｔは約２ｋｗ％
−となり、非常に高いレーザ光の強度で化学反応部１８
ｔ１さらされることになる。通常、光誘起化学反応の反
応量は、媒質の密度ＮＲ，とレーザ光の強度■との積に
比例しあるいはその積を指数とした指数関数に比例する
ことが知ら几ており、レーザ共振器１４内に化学反応部
１８を具えたことにより、高いレーザ光強度が利用でき
、反応量の増大を期すことが可能となる。
力強度ｒｏｕｔの数倍から１０倍程度になることがわか
る。例えば、反射率を几＝０．９５とした場合、外部へ
出力さｎるレーザ光の強度Ｉｏｕｔは約１００ Ｗ／’
ｃｒ１８であるが、内部での強度ｌ１ｎｔは約２ｋｗ％
−となり、非常に高いレーザ光の強度で化学反応部１８
ｔ１さらされることになる。通常、光誘起化学反応の反
応量は、媒質の密度ＮＲ，とレーザ光の強度■との積に
比例しあるいはその積を指数とした指数関数に比例する
ことが知ら几ており、レーザ共振器１４内に化学反応部
１８を具えたことにより、高いレーザ光強度が利用でき
、反応量の増大を期すことが可能となる。
ここで、前記レーザ検出器２５で検出さｎるレーザ光の
強度により化学反応を制御する一例について説明する。
強度により化学反応を制御する一例について説明する。
第２図において、化学反応部１８に供給さ九る反応媒質
は、もともとレーザ光を吸収する量が大きいものである
。もし、反応媒質がＪヒ学反応部１８に封入さ几、外部
への流入、流出が行なわれない状態でレーザ光を照射し
続けると、レーザ光による解離反応や他物質への変化な
どによりレーザ光吸収量が徐々に減少していくことにな
る。すなわち、第４図に示すように、レーザ光吸収量（
またはレーザ光吸収係数）が小さくなっていくことにな
り、場合によっては、全くなくなってしまうこともある
。
は、もともとレーザ光を吸収する量が大きいものである
。もし、反応媒質がＪヒ学反応部１８に封入さ几、外部
への流入、流出が行なわれない状態でレーザ光を照射し
続けると、レーザ光による解離反応や他物質への変化な
どによりレーザ光吸収量が徐々に減少していくことにな
る。すなわち、第４図に示すように、レーザ光吸収量（
またはレーザ光吸収係数）が小さくなっていくことにな
り、場合によっては、全くなくなってしまうこともある
。
ここでレーザ光吸収係数ａと、レーザ光吸収量は次式の
ように定義さ九る。
ように定義さ九る。
△工（ｔ ）＝Ｉｏ −Ｉ（ｔ）＝＝Ｉｏ、ａここで
■Ｏ：反応媒質に入力さ几る前のレーザ光強度（ｗ／ｌ
ｒｉ ） Ｉ（ｔ） ：反応媒質から出力さ几るレーザ光強度（ｗ
Ａｊ） ａＨ＝ σ ・ Ｎ σ：反応媒質の吸収断面＄ （Ｃａ ）Ｎ：反応媒質の
密度 Ｌ：レーザ光が通過する反応媒質長（ｃｍ ）このよう
な反応媒質全封入した化学反応部１８全レーザ共振器１
４内に人乳ると、部分反射鏡１６から出力さｎるレーザ
出力は、第５図に示すような時間変化を示すと考えら几
る。
ｒｉ ） Ｉ（ｔ） ：反応媒質から出力さ几るレーザ光強度（ｗ
Ａｊ） ａＨ＝ σ ・ Ｎ σ：反応媒質の吸収断面＄ （Ｃａ ）Ｎ：反応媒質の
密度 Ｌ：レーザ光が通過する反応媒質長（ｃｍ ）このよう
な反応媒質全封入した化学反応部１８全レーザ共振器１
４内に人乳ると、部分反射鏡１６から出力さｎるレーザ
出力は、第５図に示すような時間変化を示すと考えら几
る。
そこで、今度は化学反応部２に反応媒質全流入、流出さ
せるようにすると、化学反応部２内に存在する未反応物
の量が一定となり、レーザ光吸収量、レーザ光吸収係数
が時間的に一定となる。したがって部分反射＠１６から
出力さ几るレーザ光出力も第６図に示すように一定とな
る。
せるようにすると、化学反応部２内に存在する未反応物
の量が一定となり、レーザ光吸収量、レーザ光吸収係数
が時間的に一定となる。したがって部分反射＠１６から
出力さ几るレーザ光出力も第６図に示すように一定とな
る。
化学反応部２′ｆｔ人ｎたレーザ共振器１４では、１／
−ザ励起エネルギー等他の条件が同一であれば、外部へ
取り出されるレーザ出力の大きさは、化学反応部２内の
レーザ吸収量またはレーザ吸収係数のみによって、第７
図のように示される。
−ザ励起エネルギー等他の条件が同一であれば、外部へ
取り出されるレーザ出力の大きさは、化学反応部２内の
レーザ吸収量またはレーザ吸収係数のみによって、第７
図のように示される。
以上のことから、第２図においてレーザ出力をレーザ検
出器２５で検出し、所定出力が得ら几る↓うに、流量、
圧力制御装置２０．化学反応部１８への反応媒質の流入
量を制御すれば（バルブ、圧力制御弁あるいは流量制御
弁等で制御する。）、反応物の全収量や時間ごとの収量
変化を制御することができる。例えば、時間的に反応量
を制御したい場合は、反応媒質の流入量を減少させると
、レーザ出力が増加し、流入量に応じた出力レベルに安
定する。この出力レベルの絶対値（例えば）ぞワーやエ
ネルギー）全読み取ることにより、反応収量と対応させ
ることができる。
出器２５で検出し、所定出力が得ら几る↓うに、流量、
圧力制御装置２０．化学反応部１８への反応媒質の流入
量を制御すれば（バルブ、圧力制御弁あるいは流量制御
弁等で制御する。）、反応物の全収量や時間ごとの収量
変化を制御することができる。例えば、時間的に反応量
を制御したい場合は、反応媒質の流入量を減少させると
、レーザ出力が増加し、流入量に応じた出力レベルに安
定する。この出力レベルの絶対値（例えば）ぞワーやエ
ネルギー）全読み取ることにより、反応収量と対応させ
ることができる。
発明の詳細
な説明したように、この出願の第１の発明によれば、レ
ーザ共振器内に化学反応部を入れるようにしたので、レ
ーザ共振器内の高いレーザ光のエネルギーを化学反応に
利用することができ、化学反応の効率を高めることがで
きる。したがって、レーザ装置を小型化し、あるいは化
学反応部の有効反応長の短縮化全図ることができ、コス
トの低減を図ることができる。
ーザ共振器内に化学反応部を入れるようにしたので、レ
ーザ共振器内の高いレーザ光のエネルギーを化学反応に
利用することができ、化学反応の効率を高めることがで
きる。したがって、レーザ装置を小型化し、あるいは化
学反応部の有効反応長の短縮化全図ることができ、コス
トの低減を図ることができる。
また、この出願の第２の発明によれば、第１の発明にお
いてレーザ共振器からレーザ出力を取り出して、それに
応じて化学反応部内の圧力、流量等あるいはレーザ励起
源の制御等に利用するようにしたので、化学反応全所望
の状態に制御することができる。
いてレーザ共振器からレーザ出力を取り出して、それに
応じて化学反応部内の圧力、流量等あるいはレーザ励起
源の制御等に利用するようにしたので、化学反応全所望
の状態に制御することができる。
第１図は従来におけるレーザ光誘起化学反応装置を示す
模式図、第２図はこの発明の一実施例を示す模式図、第
３図は第２図のレーザ光誘起化学反応装置によるレーザ
光の出力強度Ｉｏｕｔ と内部強１ｌｉｎｔの違いを示
す線図、第４図は化学反応部に反応媒質全封入した場合
のレーザ光吸収量またはレーザ光吸収係数の時間的変化
を示す線図、第５図は化学反応部に反応媒質を封入した
場合のレーザ出力の時間的変化を示す線図、第６図は、
化学反応部に反応媒質を流入、流出させた場合のレーザ
出力の時間的変化を示す線図、第７図は化学反応部での
レーザ吸収量またはレーザ吸収係数に対するレーザ出力
の変化を示す線図である。 １．１４・・・レーザ共振器、２．１８・・・化学反応
部、３．１７・・・レーザ発生部、４．１６・・・部分
反射鏡、５．１５・・・全反射鏡、７．１９・・・レー
ザ励起源、８．２０・・・流量、圧力制御装置、２３・
・・ビーム注入器、２４・・・ビーム反射鏡、３０・・
・捕集器。 第４図 時間 第６図 Ｂ＊Ｍ 第５図 第７図 ７７％＋−大 レーク）【ジレ■量 まｋば＠４１裸錠
模式図、第２図はこの発明の一実施例を示す模式図、第
３図は第２図のレーザ光誘起化学反応装置によるレーザ
光の出力強度Ｉｏｕｔ と内部強１ｌｉｎｔの違いを示
す線図、第４図は化学反応部に反応媒質全封入した場合
のレーザ光吸収量またはレーザ光吸収係数の時間的変化
を示す線図、第５図は化学反応部に反応媒質を封入した
場合のレーザ出力の時間的変化を示す線図、第６図は、
化学反応部に反応媒質を流入、流出させた場合のレーザ
出力の時間的変化を示す線図、第７図は化学反応部での
レーザ吸収量またはレーザ吸収係数に対するレーザ出力
の変化を示す線図である。 １．１４・・・レーザ共振器、２．１８・・・化学反応
部、３．１７・・・レーザ発生部、４．１６・・・部分
反射鏡、５．１５・・・全反射鏡、７．１９・・・レー
ザ励起源、８．２０・・・流量、圧力制御装置、２３・
・・ビーム注入器、２４・・・ビーム反射鏡、３０・・
・捕集器。 第４図 時間 第６図 Ｂ＊Ｍ 第５図 第７図 ７７％＋−大 レーク）【ジレ■量 まｋば＠４１裸錠
Claims (2)
- （１） レーザ共振器内に化学反応部を具えたことを特
徴とするレーザ光活起イヒ学反応装置。 - （２） レーザ共振器内に化学反応部を具えるとともに
、前記レーザ共振器からレーザ出力を取り出し、そのレ
ーザ出力に応じて前記化学反応部における＆質の流量、
圧力等あるいはレーザ励起源等を制御することにより、
化学反応を制御する制御装置を具えたことを特徴とする
レーザ光誘起化学反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839084A JPS60172347A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | レ−ザ光誘起化学反応装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2839084A JPS60172347A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | レ−ザ光誘起化学反応装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60172347A true JPS60172347A (ja) | 1985-09-05 |
| JPH057065B2 JPH057065B2 (ja) | 1993-01-28 |
Family
ID=12247324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2839084A Granted JPS60172347A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | レ−ザ光誘起化学反応装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60172347A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6178436A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-22 | Ulvac Corp | 光励起プロセス装置 |
| WO2018038130A1 (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 日本電気株式会社 | 化学反応装置、及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4923776A (ja) * | 1972-06-30 | 1974-03-02 |
-
1984
- 1984-02-17 JP JP2839084A patent/JPS60172347A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4923776A (ja) * | 1972-06-30 | 1974-03-02 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6178436A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-22 | Ulvac Corp | 光励起プロセス装置 |
| JPS6340574B2 (ja) * | 1984-09-25 | 1988-08-11 | Ulvac Corp | |
| WO2018038130A1 (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 日本電気株式会社 | 化学反応装置、及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057065B2 (ja) | 1993-01-28 |
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