JPS60171428A - 気体圧力計 - Google Patents
気体圧力計Info
- Publication number
- JPS60171428A JPS60171428A JP2762984A JP2762984A JPS60171428A JP S60171428 A JPS60171428 A JP S60171428A JP 2762984 A JP2762984 A JP 2762984A JP 2762984 A JP2762984 A JP 2762984A JP S60171428 A JPS60171428 A JP S60171428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- pressure
- voltage
- frequency
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、圧電振動子を利用した気体圧力計の新規な
測定回路に関するものである。
測定回路に関するものである。
圧力容器内に置かれた屈曲振動する圧電振動子の共振点
における交流抵抗値は、第１図に示すように圧力にろじ
て変化することが知られている。
における交流抵抗値は、第１図に示すように圧力にろじ
て変化することが知られている。
この交流抵抗値を知ることができれば、それに対応する
圧力を知ることができる。
圧力を知ることができる。
交流抵抗値の測定には、種々の方法があるが、代表的外
方法として第２図に示すような方法がある。これは、１
の発振器は周波数ｆの交流電圧Ｉ１．８を発生している
。２は被測定素子、６は増幅器で４の帰還抵抗ＲＦ と
共に電流−電圧変換器を構成しその出力電圧はｆｌｏで
ある。被測定素子に流れる電流１ｘ と帰還抵抗に流れ
る電流１ｙ は等しいような増幅器が選ばれる。この方
式によれば被測定素子の交流抵抗 Ｚｘは（１）式によ
って捷る。
方法として第２図に示すような方法がある。これは、１
の発振器は周波数ｆの交流電圧Ｉ１．８を発生している
。２は被測定素子、６は増幅器で４の帰還抵抗ＲＦ と
共に電流−電圧変換器を構成しその出力電圧はｆｌｏで
ある。被測定素子に流れる電流１ｘ と帰還抵抗に流れ
る電流１ｙ は等しいような増幅器が選ばれる。この方
式によれば被測定素子の交流抵抗 Ｚｘは（１）式によ
って捷る。
Ｚｘ ＝ Ｒｙ（ｕｓ／ｎｏ） −・・・・・（１）し
かし、圧力計のセンサーとして圧電振動子を用いた場合
第３図に示すように圧力の変化ＶＣ応じて、圧電、振動
子の共振周波数が変化するために、従来の方式である第
２図の方法で行うと、発振器１の発振周波数は常に共振
点を探しながら測定しなければならなく、時間のかかる
不都合がある。
かし、圧力計のセンサーとして圧電振動子を用いた場合
第３図に示すように圧力の変化ＶＣ応じて、圧電、振動
子の共振周波数が変化するために、従来の方式である第
２図の方法で行うと、発振器１の発振周波数は常に共振
点を探しながら測定しなければならなく、時間のかかる
不都合がある。
第４図は、このような不都合のない新規な圧電振動子を
用いた圧力計の測定回路の動作説明図で、ある。以下詳
細に説明する。
用いた圧力計の測定回路の動作説明図で、ある。以下詳
細に説明する。
５つ直圧制御発振器は圧電振動子６が測定する圧力範囲
での共振周波数の偏移よりやや広い周波数範囲ｆｍｉｎ
％ ｆｒｎａｘの同波数を、周波教訓（財）端子７の
電圧を制御することにより変化させることができる。こ
のＢ圧制御発振器の周波数制御端子は、８の鋸歯状波発
振回路の出力ＶＣ接続される。
での共振周波数の偏移よりやや広い周波数範囲ｆｍｉｎ
％ ｆｒｎａｘの同波数を、周波教訓（財）端子７の
電圧を制御することにより変化させることができる。こ
のＢ圧制御発振器の周波数制御端子は、８の鋸歯状波発
振回路の出力ＶＣ接続される。
この、鋸歯状波のくり返し周期をＴとすると、電圧制御
発振器は時間Ｔの１ｉＪｌに周波数範囲ｉ’ｍｉｎ〜ｆ
ｍａｘの周波数走査された交流電圧を出力する。
発振器は時間Ｔの１ｉＪｌに周波数範囲ｉ’ｍｉｎ〜ｆ
ｍａｘの周波数走査された交流電圧を出力する。
９の電流−電圧変換器は第２又と同じように構成される
。この電流−直圧変換器の出力車圧は、圧電振動子に周
波数掃引された交流電圧が印加されるために、周波数が
圧電１振動子のＩＭ列共振周波数と等しくなる時に圧電
振動子の交流抵抗は最小なる友め圧電振動子に流れる電
流は最大となるために最大となる。この電流−市、圧変
換器の出力と、電圧制御発振器の出力は１０の演痒回路
に導かれ（１）式に従った演算を行う。（１）式におい
て電流−直圧変換器の出力は分母となるため共振周波数
と等しい周波数の時、交流抵抗に対応する演算回路の出
力ｌｄ最小となる。１１のピーク・ホールド回路は、演
算回路からの出力の最小ピークをボールドする回路でホ
ールド［晦間ｔは周波数掃引時間Ｔよりやや長く設定す
れば、ピーク・ホールド回路の出力は常に共振時の交流
抵抗に対応する電圧となる。この出力を電圧計１２に接
続すれば圧力に対応する交流抵抗値が表示てれることに
なる。
。この電流−直圧変換器の出力車圧は、圧電振動子に周
波数掃引された交流電圧が印加されるために、周波数が
圧電１振動子のＩＭ列共振周波数と等しくなる時に圧電
振動子の交流抵抗は最小なる友め圧電振動子に流れる電
流は最大となるために最大となる。この電流−市、圧変
換器の出力と、電圧制御発振器の出力は１０の演痒回路
に導かれ（１）式に従った演算を行う。（１）式におい
て電流−直圧変換器の出力は分母となるため共振周波数
と等しい周波数の時、交流抵抗に対応する演算回路の出
力ｌｄ最小となる。１１のピーク・ホールド回路は、演
算回路からの出力の最小ピークをボールドする回路でホ
ールド［晦間ｔは周波数掃引時間Ｔよりやや長く設定す
れば、ピーク・ホールド回路の出力は常に共振時の交流
抵抗に対応する電圧となる。この出力を電圧計１２に接
続すれば圧力に対応する交流抵抗値が表示てれることに
なる。
回路をより簡略化するために、電圧制御発振器の出力を
常に一定にし、交流＃：Ｊｆ？ｃの代りに交流抵抗の逆
数であるアドミッタンスを圧力を示す量として利用すれ
ば第６図の演η°回路を省略することができる。たｙし
、ピーク・ホールド回路は最大ピークをホールドするよ
うに改めねばならない。
常に一定にし、交流＃：Ｊｆ？ｃの代りに交流抵抗の逆
数であるアドミッタンスを圧力を示す量として利用すれ
ば第６図の演η°回路を省略することができる。たｙし
、ピーク・ホールド回路は最大ピークをホールドするよ
うに改めねばならない。
このように周波数を掃引し、ピークをホールドすること
により、圧力の変化に応じて圧電振動子の共振周波数が
変化しても常に共振時の交流抵抗又はアドミッタンスを
知ることができ、その対応として圧力を知ることができ
、共振点を探すという繁雑０操作を必要としない圧力計
を構成することができる。
により、圧力の変化に応じて圧電振動子の共振周波数が
変化しても常に共振時の交流抵抗又はアドミッタンスを
知ることができ、その対応として圧力を知ることができ
、共振点を探すという繁雑０操作を必要としない圧力計
を構成することができる。
第１図および第２図は従来用いられていた構成を示すも
ので、第１図は特性図、第２図は測定回路図、第６図お
よび第４図は本発明ｖｒｃ、Ｊ：る構成を示すもので、
第６図は特性図、第４図は測定回路である。 ５は蜜、圧制御発振器、６は圧電振動子、７は周波数制
御端子、８は鋸歯状波発振回路、９は電流電圧変換器、
１０は演算回路である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ５−
ので、第１図は特性図、第２図は測定回路図、第６図お
よび第４図は本発明ｖｒｃ、Ｊ：る構成を示すもので、
第６図は特性図、第４図は測定回路である。 ５は蜜、圧制御発振器、６は圧電振動子、７は周波数制
御端子、８は鋸歯状波発振回路、９は電流電圧変換器、
１０は演算回路である。 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 ５−
Claims (1)
- 圧力容器内部に設けられた屈曲振動を行う圧電振動子の
交流抵抗値からその圧力を計る気体圧力計において、周
波数掃引回路からの出力を圧電振動子（（供給し、それ
によって得られる笥１気信号のピーク値をホールドする
ピークホールド回路からの出力でもって圧力を表示する
気体圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2762984A JPS60171428A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 気体圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2762984A JPS60171428A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 気体圧力計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60171428A true JPS60171428A (ja) | 1985-09-04 |
Family
ID=12226244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2762984A Pending JPS60171428A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 気体圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60171428A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0470853A2 (en) * | 1990-08-10 | 1992-02-12 | Vacuum Products Kabushiki Kaisha | Method of measuring pressures using a tuning fork crystal oscillator |
-
1984
- 1984-02-16 JP JP2762984A patent/JPS60171428A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0470853A2 (en) * | 1990-08-10 | 1992-02-12 | Vacuum Products Kabushiki Kaisha | Method of measuring pressures using a tuning fork crystal oscillator |
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