JPS60170137A - 熱陰極 - Google Patents
熱陰極Info
- Publication number
- JPS60170137A JPS60170137A JP59025027A JP2502784A JPS60170137A JP S60170137 A JPS60170137 A JP S60170137A JP 59025027 A JP59025027 A JP 59025027A JP 2502784 A JP2502784 A JP 2502784A JP S60170137 A JPS60170137 A JP S60170137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- coating layer
- impregnated
- electron
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/13—Solid thermionic cathodes
- H01J1/20—Cathodes heated indirectly by an electric current; Cathodes heated by electron or ion bombardment
- H01J1/28—Dispenser-type cathodes, e.g. L-cathode
Landscapes
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ブラウン管、撮像管等の電子管に用いる熱陰
極に関するものである。
極に関するものである。
含浸形陰極あるいはマトリックス形陰極は高電流密度陰
極で、電子管の高性能化を計るための陰極として有望視
されている。
極で、電子管の高性能化を計るための陰極として有望視
されている。
含浸形陰極及びマトリックス形陰極は、いずれも耐熱金
属基体と電子放出物質が共存した構造を採っている。含
浸形陰極は多孔質耐熱基体の細孔部に電子放出物質を溶
融含浸して製造している。
属基体と電子放出物質が共存した構造を採っている。含
浸形陰極は多孔質耐熱基体の細孔部に電子放出物質を溶
融含浸して製造している。
マトリックス形陰極は耐熱金属粉と電子放出物質とを混
合・焼結して製造している。両陰極とも基体はほとんど
の場合、Ｗ、Ｍｏから成るが、Ｔａ。
合・焼結して製造している。両陰極とも基体はほとんど
の場合、Ｗ、Ｍｏから成るが、Ｔａ。
Ｏｓ、Ｒｕ、Ｉ ｒ、Ｒｅなどの金属を含む場合もある
。電子放出物質としては、ＢａＯとＡＱ２０゜Ｃａ○＋
Ｍ ｇ Ｏｒ Ｓｃ、 ０３ｖ ＹＱＯｓ ｖ Ｚ
ｒＯ２Ｓｒ○などのうち少なくとも】種を含む化合物あ
るいは混合物を原料として用いているのが一般的である
。
。電子放出物質としては、ＢａＯとＡＱ２０゜Ｃａ○＋
Ｍ ｇ Ｏｒ Ｓｃ、 ０３ｖ ＹＱＯｓ ｖ Ｚ
ｒＯ２Ｓｒ○などのうち少なくとも】種を含む化合物あ
るいは混合物を原料として用いているのが一般的である
。
上記両陰極は、動作状態において、基体と電子放出物質
が反応して、Ｂａを生成し、生成されたＢａが基体表面
すなわち電子放出面に到達し、表面拡散して、電子放出
に適したＢａ単原子層を形成する。このような熱陰極は
、長時間に亘って。
が反応して、Ｂａを生成し、生成されたＢａが基体表面
すなわち電子放出面に到達し、表面拡散して、電子放出
に適したＢａ単原子層を形成する。このような熱陰極は
、長時間に亘って。
高い電子放出能を維持することから、ブラウン管、撮像
管などの陰極として開発が進められている。
管などの陰極として開発が進められている。
しかし、高い電子放出能を有する反面、動作温度が１１
． Ｏ０℃以上と高い。動作温度を下げるために、陰極
表面にＯｓ、Ｔｒなどの金属膜を被覆する方法が採られ
ているが、それでも動作温度は１０００℃と高い。動作
温度が高いために、電子放出に寄与しないＢａやＢ ａ
Ｏの蒸発が多くなり、他の電極へ付着し、管球特性に
悪影響を及ぼすために実用化の障害になっている。また
、金属と酸化物が混在している表面に異種金属膜を被覆
しても、陰極との馴染みが悪く、剥離し易くまた不均質
になるなど、特性のばらつき原因となっている。
． Ｏ０℃以上と高い。動作温度を下げるために、陰極
表面にＯｓ、Ｔｒなどの金属膜を被覆する方法が採られ
ているが、それでも動作温度は１０００℃と高い。動作
温度が高いために、電子放出に寄与しないＢａやＢ ａ
Ｏの蒸発が多くなり、他の電極へ付着し、管球特性に
悪影響を及ぼすために実用化の障害になっている。また
、金属と酸化物が混在している表面に異種金属膜を被覆
しても、陰極との馴染みが悪く、剥離し易くまた不均質
になるなど、特性のばらつき原因となっている。
本発明の目的は、余分なりａ及びＢａＯの蒸発を抑え、
かつ、特性のばらつきを少なくシ、信頼性の高い熱陰極
を提供することにある。
かつ、特性のばらつきを少なくシ、信頼性の高い熱陰極
を提供することにある。
上記目的に従って、本発明の詳細な説明する。
本発明の熱陰極は含浸形陰極及びマトリックス形陰極表
面上に第１の金属被覆層及び電子放出特性を向上させ得
る第２の金属被覆層を設けたごとを特徴とする熱陰極で
ある。上記、面陰極は製造法が異なる以外は、断面構造
、動作機構はほぼ同じである。以下、本発明の熱陰極に
ついての説明は、代表として含浸形陰極について述べる
。
面上に第１の金属被覆層及び電子放出特性を向上させ得
る第２の金属被覆層を設けたごとを特徴とする熱陰極で
ある。上記、面陰極は製造法が異なる以外は、断面構造
、動作機構はほぼ同じである。以下、本発明の熱陰極に
ついての説明は、代表として含浸形陰極について述べる
。
含浸形陰極３は、多孔質耐熱基体１内に電子放出物質２
を含浸した構造を採っている（第１図）。
を含浸した構造を採っている（第１図）。
多孔質耐熱基体としてはＷが一般的であるが、Ｍｏ２そ
の他に高融点金属が単体、合金あるいは２種類以上の混
合状態で用いられる。電子放出物質としては、一般にＢ
ａ３ＡＱ２０６化合物を基本として、Ｃａｂ、Ｓｃ、、
０３＊ Ｙｓａ Ｏ３ｔ Ｍｇ０ｔＺｒＯ２，ＳｒＯな
ど酸化物が添加され用いられる。含浸形陰極３の場合は
、電子放出物質２は多孔質基体１の細孔部の加熱溶融含
浸される。マトリックス形陰極の場合は、基体となる金
属粉と電子放出物質粉を混合、加圧成型後、高温で焼結
して製造される。含浸形陰極断面模式図を第１図に示す
。図中、１は多孔質Ｗ基体、２は電子放出物質のＢａ３
ＡＱ２０６合物、３は含浸形陰極である。
の他に高融点金属が単体、合金あるいは２種類以上の混
合状態で用いられる。電子放出物質としては、一般にＢ
ａ３ＡＱ２０６化合物を基本として、Ｃａｂ、Ｓｃ、、
０３＊ Ｙｓａ Ｏ３ｔ Ｍｇ０ｔＺｒＯ２，ＳｒＯな
ど酸化物が添加され用いられる。含浸形陰極３の場合は
、電子放出物質２は多孔質基体１の細孔部の加熱溶融含
浸される。マトリックス形陰極の場合は、基体となる金
属粉と電子放出物質粉を混合、加圧成型後、高温で焼結
して製造される。含浸形陰極断面模式図を第１図に示す
。図中、１は多孔質Ｗ基体、２は電子放出物質のＢａ３
ＡＱ２０６合物、３は含浸形陰極である。
第１図でも分るように、陰極表面は基体金属と電子放出
物質の酸化物が共存した状態である。動作機構は次の如
くである。陰極内部でＷとＢａ３ＡＱ２０６とが反応し
てＢａを生成する。生成されたＢａは細孔部を通って表
面に到達して、一部は表面拡散しＢａ単原子層を作り電
子放出に適した表面を構成し、他の一部のＢ１１とＢａ
３ＡＱ２０６の熱分解によって生じたＢａＯが電子放出
に寄与しないまま、真空中に放出され、管球特性に悪影
響を及ぼす。
物質の酸化物が共存した状態である。動作機構は次の如
くである。陰極内部でＷとＢａ３ＡＱ２０６とが反応し
てＢａを生成する。生成されたＢａは細孔部を通って表
面に到達して、一部は表面拡散しＢａ単原子層を作り電
子放出に適した表面を構成し、他の一部のＢ１１とＢａ
３ＡＱ２０６の熱分解によって生じたＢａＯが電子放出
に寄与しないまま、真空中に放出され、管球特性に悪影
響を及ぼす。
含浸形陰極など高電流密度熱陰極は、高い電流密度が得
られる反面、動作温度が、塗布形酸化物陰極に比べて３
００℃以上も高い。動作温度が高いために電子放出に寄
与しない余分なりａ。
られる反面、動作温度が、塗布形酸化物陰極に比べて３
００℃以上も高い。動作温度が高いために電子放出に寄
与しない余分なりａ。
ＢａＯの蒸発が多い。動作温度を下げるための研究開発
が盛んである。その中で最も有望な方法は、仕事関数の
高い金属（Ｏ８，Ｉ ｒ、Ｒｕあるいはこれらの合金）
を陰極表面に被覆する方法である。
が盛んである。その中で最も有望な方法は、仕事関数の
高い金属（Ｏ８，Ｉ ｒ、Ｒｕあるいはこれらの合金）
を陰極表面に被覆する方法である。
仕事関数の高い金属上に吸着することによって仕事関数
が低くなり電子放出特性が向上し、結果として動作温度
の低下に結びつく。この方法によれば、動作温度は約１
００℃下げることができる。
が低くなり電子放出特性が向上し、結果として動作温度
の低下に結びつく。この方法によれば、動作温度は約１
００℃下げることができる。
しかしＢａ、ＢａＯの蒸発量は、これまで使用されてい
る塗布形酸化物陰極に比べると、まだ１桁以上も大きい
。また、基体金属と被廖金属の材質が異なるトに、陰極
表面には酸化物（電子放出物質）領域が点在する。この
ため、被ＷＩ膜と陰極表面との馴染み（ｍれ性）が悪く
、被覆膜の剥離原因や不均一膜になり易く、特性の大き
なばらつき原因となっている。第２図はＯ８被覆した従
来型陰極５で含浸形陰極表面にＯｓ４を被覆した直後（
ａ）と使用中（ｂ）の断面模式図を示す。第２図（ａ）
のように、Ｏ８被覆４は均一に実施されても、使用中に
は、酸化物と被覆膜との馴染みが悪いために、第２図（
ｂ）のように変化してしまう９被覆膜のない領域からの
電子放出特性が悪い。
る塗布形酸化物陰極に比べると、まだ１桁以上も大きい
。また、基体金属と被廖金属の材質が異なるトに、陰極
表面には酸化物（電子放出物質）領域が点在する。この
ため、被ＷＩ膜と陰極表面との馴染み（ｍれ性）が悪く
、被覆膜の剥離原因や不均一膜になり易く、特性の大き
なばらつき原因となっている。第２図はＯ８被覆した従
来型陰極５で含浸形陰極表面にＯｓ４を被覆した直後（
ａ）と使用中（ｂ）の断面模式図を示す。第２図（ａ）
のように、Ｏ８被覆４は均一に実施されても、使用中に
は、酸化物と被覆膜との馴染みが悪いために、第２図（
ｂ）のように変化してしまう９被覆膜のない領域からの
電子放出特性が悪い。
このようになるには、基体金属と被覆膜との材質が異な
ることも加速している。
ることも加速している。
本発明の熱陰極８は、下地陰極の基体材料と同材質の金
属からなる第１の被覆層６を設け、さらに電子放出特性
を向上させる第２被覆層７を設け、陰極基体１と第１被
覆層６との濡れ性を良くし、且つ、第１被覆層６と第２
被覆層７の馴染みを良くし、剥離因子の減少と電子放出
特性の安定化とともに、余分なりａ、ＲｎＯの蒸発量を
も減少させようとするものである。第１被覆層６は下地
陰極の基体材料と同材質あるいは主成分とする合金膜で
あれば濡れ性を大巾に改善でき望ましい。したがって、
含浸形陰極及びマトリックス形陰極では、Ｗ、 Ｍ ｏ
、 Ｒｅあるいはこれらを含む合金膜が望ましい。ま
た、第２被覆層７は電子放出特性を向上させる金属すな
わちＯｓ、Ｒ，ｕ、Ｔｒ。
属からなる第１の被覆層６を設け、さらに電子放出特性
を向上させる第２被覆層７を設け、陰極基体１と第１被
覆層６との濡れ性を良くし、且つ、第１被覆層６と第２
被覆層７の馴染みを良くし、剥離因子の減少と電子放出
特性の安定化とともに、余分なりａ、ＲｎＯの蒸発量を
も減少させようとするものである。第１被覆層６は下地
陰極の基体材料と同材質あるいは主成分とする合金膜で
あれば濡れ性を大巾に改善でき望ましい。したがって、
含浸形陰極及びマトリックス形陰極では、Ｗ、 Ｍ ｏ
、 Ｒｅあるいはこれらを含む合金膜が望ましい。ま
た、第２被覆層７は電子放出特性を向上させる金属すな
わちＯｓ、Ｒ，ｕ、Ｔｒ。
Ｒｅあるいはこれらを含む合金膜である。両被覆層の厚
さは０．０２μｍ以上で効果があり、１μｍ以上では効
果は飽和する。特性に及ぼす効果と被覆に要する時間、
被覆材の値段から０．０２〜１μｍが本発明の熱陰極に
おける最適厚みと言える。被覆層はスパッター法、電子
線蒸着法などによる方法で形成することができる。この
ようにして作製した熱陰極は、使用中でも第３図に示す
模式図のように第１及び第２被覆層には急激な変化は見
られなく、Ｂａ、ＢａＯの蒸発量は、第１被覆層６の厚
さに依存するが第２図に示した従来型陰極５に比べて約
０．５桁減少さ仕ることができる。また、第２被覆層７
が切れ目なく平滑であることから、各陰極間の電子放出
特性にばらつきが見られなく、本発明の熱陰極特性１０
は従来型陰極特性９の上限に位置し、使用中にも変化し
なかった（第４図）以上は含浸形陰極についてであるが
、マトリックス形陰極でも同効果が得られる。
さは０．０２μｍ以上で効果があり、１μｍ以上では効
果は飽和する。特性に及ぼす効果と被覆に要する時間、
被覆材の値段から０．０２〜１μｍが本発明の熱陰極に
おける最適厚みと言える。被覆層はスパッター法、電子
線蒸着法などによる方法で形成することができる。この
ようにして作製した熱陰極は、使用中でも第３図に示す
模式図のように第１及び第２被覆層には急激な変化は見
られなく、Ｂａ、ＢａＯの蒸発量は、第１被覆層６の厚
さに依存するが第２図に示した従来型陰極５に比べて約
０．５桁減少さ仕ることができる。また、第２被覆層７
が切れ目なく平滑であることから、各陰極間の電子放出
特性にばらつきが見られなく、本発明の熱陰極特性１０
は従来型陰極特性９の上限に位置し、使用中にも変化し
なかった（第４図）以上は含浸形陰極についてであるが
、マトリックス形陰極でも同効果が得られる。
本発明によれば、以上、説明したようにＢａ。
ＢａＯの蒸発量を従来型陰極よりも約０．５桁減少させ
ることができ、しかも電子放出特性は上限に安定させた
信頼性の高い熱陰極を得ることができると言える。
ることができ、しかも電子放出特性は上限に安定させた
信頼性の高い熱陰極を得ることができると言える。
以下、本発明を実施例によって説明する。
平均粒径５μｍのＷ粉を用いて、陰極形状にプレス成径
後、真空中で焼結し、含浸形陰極の多孔質基体を作製し
、水素中で電子放出物質として予め用意した４Ｂａｏ−
ＡＱＱＯ３・ｃａ○組成の化合物を加熱溶融し、基体細
孔部に含浸した。そののち、表面の全面の余分な電子放
出物質を除去して、下地の含浸形陰極を作製した。この
含浸形陰極表面に第１被覆層６としてスパッタによって
Ｗｔｔｏ、 ０．０２．０．１ 、０．５．１．０．２
．Ｏｔｔｍノ厚みで被覆した。次に、第２被覆層７とし
て、電子線蒸着によってＯｓを上記陰極にそれぞれ０．
０２．０．１ 、０．２．０．５．１．０．２．０ ｐ
ｒｎＯＱ厚さで被覆した。このように第１被覆層６及び
第２被覆層７を設けた含浸形陰＠８を第５図に示すよう
に、障壁層１１としてのＴａカップの中に挿入し、さら
にＴａからなるスリーブ１２と朝み合せ、スリーブ１２
外側からレーザービーｌＳ＃￥接で固定した。さらに、
アルミナ被覆したＷヒータ１３と組み合せて特性評価に
供した。電子放出特性の評価は］ Ｏ−’ Ｔｏｒｒの
真空装置内で２極管形式で測定した時の零電界時の飽和
電流密度をリチャードソンプロットして評価した。Ｐ＋
ａ及びＢａＯの蒸発量は別の真空装置内に設けた質量
分析計を用い、陰極表面から飛び出すＢａ、Ｂａｄ＠イ
オン化し、その時のイオン電流凰で評価した。また、被
Ｎ層観察はＳＥＭを用い実施し、さらには斜め研磨後、
ｍ察した。陰臣は１０００℃Ｘ２００ｈ加熱後に観察し
た。電子放出特性及びＢａ、ＢａＯ蒸発量の特性評価に
はいずれも５個の含浸形陰極を用いた。
後、真空中で焼結し、含浸形陰極の多孔質基体を作製し
、水素中で電子放出物質として予め用意した４Ｂａｏ−
ＡＱＱＯ３・ｃａ○組成の化合物を加熱溶融し、基体細
孔部に含浸した。そののち、表面の全面の余分な電子放
出物質を除去して、下地の含浸形陰極を作製した。この
含浸形陰極表面に第１被覆層６としてスパッタによって
Ｗｔｔｏ、 ０．０２．０．１ 、０．５．１．０．２
．Ｏｔｔｍノ厚みで被覆した。次に、第２被覆層７とし
て、電子線蒸着によってＯｓを上記陰極にそれぞれ０．
０２．０．１ 、０．２．０．５．１．０．２．０ ｐ
ｒｎＯＱ厚さで被覆した。このように第１被覆層６及び
第２被覆層７を設けた含浸形陰＠８を第５図に示すよう
に、障壁層１１としてのＴａカップの中に挿入し、さら
にＴａからなるスリーブ１２と朝み合せ、スリーブ１２
外側からレーザービーｌＳ＃￥接で固定した。さらに、
アルミナ被覆したＷヒータ１３と組み合せて特性評価に
供した。電子放出特性の評価は］ Ｏ−’ Ｔｏｒｒの
真空装置内で２極管形式で測定した時の零電界時の飽和
電流密度をリチャードソンプロットして評価した。Ｐ＋
ａ及びＢａＯの蒸発量は別の真空装置内に設けた質量
分析計を用い、陰極表面から飛び出すＢａ、Ｂａｄ＠イ
オン化し、その時のイオン電流凰で評価した。また、被
Ｎ層観察はＳＥＭを用い実施し、さらには斜め研磨後、
ｍ察した。陰臣は１０００℃Ｘ２００ｈ加熱後に観察し
た。電子放出特性及びＢａ、ＢａＯ蒸発量の特性評価に
はいずれも５個の含浸形陰極を用いた。
電子放出特性は、第４図に示したように、第１被覆層の
厚み０、すなわら従来型陰極の特性９はばらつきが多か
った。しかし、本発明の熱陰極特性１０、すなわちＷに
よって第１被覆層を０．０２〜１μｍ設けることによっ
て、特性は上限に安定し、ばら−っきが少なくなった。
厚み０、すなわら従来型陰極の特性９はばらつきが多か
った。しかし、本発明の熱陰極特性１０、すなわちＷに
よって第１被覆層を０．０２〜１μｍ設けることによっ
て、特性は上限に安定し、ばら−っきが少なくなった。
特に第１被覆層の厚さが０．１μｉｎ以上ではさらに顕
著であった。
著であった。
Ｏｓによる第２被覆層の厚さが０．０２〜２μｍの範囲
では、特性に影響を及ぼさなかった。
では、特性に影響を及ぼさなかった。
１３ａ、ＢａＯ蒸発量は第１被覆層及び第２被覆層の厚
さに比例してほぼ直線的に減少した。第１被覆層が０．
５μｍ、第２被覆層が０．５μｍの時、従来型含浸形陰
極に比べて約０．５桁減少した。第１被覆層が２μｍ、
第２被覆層が２μｍと厚くなると、表面へのＢａ供給量
が少なく、電子放出特性が不安定になる傾向を示した。
さに比例してほぼ直線的に減少した。第１被覆層が０．
５μｍ、第２被覆層が０．５μｍの時、従来型含浸形陰
極に比べて約０．５桁減少した。第１被覆層が２μｍ、
第２被覆層が２μｍと厚くなると、表面へのＢａ供給量
が少なく、電子放出特性が不安定になる傾向を示した。
第１及び第２被覆層を設けた本発明の陰極を１０００’
Ｃｘ２００ｈ加熱後にも、その断面は、第３図に示すよ
うに、被覆膜が連続であることを確認した。
Ｃｘ２００ｈ加熱後にも、その断面は、第３図に示すよ
うに、被覆膜が連続であることを確認した。
以上、本発明の熱陰極によれば、従来型陰極に比べて、
ＢＡ、ＢａＯ蒸発量は約０．５桁減少させることができ
、しかも、電子放出特性をと限に安定させた信頼性の高
い熱陰極を得ることができた。
ＢＡ、ＢａＯ蒸発量は約０．５桁減少させることができ
、しかも、電子放出特性をと限に安定させた信頼性の高
い熱陰極を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
第１図は含浸形陰極の断面模式図、第２図（ａ）１（ｂ
）はＯｓ被覆した従来型陰極のＯｓ被覆直後の断面模式
図及び使用中の断面模式図、第３図は本発明による熱陰
極の断面模式図、第４図は従来型陰極と本発明による熱
陰極の電子放出特性を比較した図、第５図は本発明の熱
陰極と障壁層、スリーブ、Ｗヒータを組み合せた組立図
である。 １・・・多孔質Ｗ基体、２・・・電子放出物質（Ｒａ、
、 ＡＱ ２０ｓ ）、３・・・含浸形陰極、４・・・
Ｏ８被覆膜、５・・・Ｏｓ被覆した従来型陰極、６・・
・本発明の熱陰極における第１被覆層、７・・・本発明
の熱陰極における第２被覆層、８・・・本発明の熱陰極
、９・・・従来型陰極の電子放出特性、１０・・・本発
明の熱陰極の電子放出特性、１１・・・障壁層、１２・
・・スープ、１３・・・アルミナ被覆したＷヒータ、１
４・・・本発明の熱陰極と障壁層、スリーブ、Ｗヒータ
を組み合せた組立図。 等１邑 ￥ ２目 （良） （し） 竿４図 雲 １ 千′１ 噂←
）はＯｓ被覆した従来型陰極のＯｓ被覆直後の断面模式
図及び使用中の断面模式図、第３図は本発明による熱陰
極の断面模式図、第４図は従来型陰極と本発明による熱
陰極の電子放出特性を比較した図、第５図は本発明の熱
陰極と障壁層、スリーブ、Ｗヒータを組み合せた組立図
である。 １・・・多孔質Ｗ基体、２・・・電子放出物質（Ｒａ、
、 ＡＱ ２０ｓ ）、３・・・含浸形陰極、４・・・
Ｏ８被覆膜、５・・・Ｏｓ被覆した従来型陰極、６・・
・本発明の熱陰極における第１被覆層、７・・・本発明
の熱陰極における第２被覆層、８・・・本発明の熱陰極
、９・・・従来型陰極の電子放出特性、１０・・・本発
明の熱陰極の電子放出特性、１１・・・障壁層、１２・
・・スープ、１３・・・アルミナ被覆したＷヒータ、１
４・・・本発明の熱陰極と障壁層、スリーブ、Ｗヒータ
を組み合せた組立図。 等１邑 ￥ ２目 （良） （し） 竿４図 雲 １ 千′１ 噂←
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、多孔質耐熱体に電子放出物質を含浸した構造を採る
含浸形陰極あるいは耐熱金属粉と電子放出物質を焼結し
て作製したマトリックス形陰極において、陰極表面上に
、Ｗ、Ｍｏ、Ｒｅ及びこれらを含む合金からなる群から
選ばれた少なくとも１種の金属からなる第１被覆層を設
け、さらに第１被覆膜上に、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｒｕ。 Ｒｅ及びこれらを含む合金からなる群から選ばれた少な
くとも１種の金属からなる第２被覆層を設けたことを特
徴とする熱陰極。 ２、上記第１被覆層及び第２被覆層の厚さをそれぞれ０
．０２〜１μｍとしたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の熱陰極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59025027A JPS60170137A (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 熱陰極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59025027A JPS60170137A (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 熱陰極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60170137A true JPS60170137A (ja) | 1985-09-03 |
Family
ID=12154426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59025027A Pending JPS60170137A (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | 熱陰極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60170137A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4737679A (en) * | 1985-02-08 | 1988-04-12 | Hitachi, Ltd. | Impregnated cathode |
| US5757115A (en) * | 1994-05-31 | 1998-05-26 | Nec Corporation | Cathode member and electron tube having the cathode member mounted thereon |
-
1984
- 1984-02-15 JP JP59025027A patent/JPS60170137A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4737679A (en) * | 1985-02-08 | 1988-04-12 | Hitachi, Ltd. | Impregnated cathode |
| US5757115A (en) * | 1994-05-31 | 1998-05-26 | Nec Corporation | Cathode member and electron tube having the cathode member mounted thereon |
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