JPS60167192U - タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 - Google Patents

タ−ボ分子ポンプを用いた排気系

Info

Publication number
JPS60167192U
JPS60167192U JP5640684U JP5640684U JPS60167192U JP S60167192 U JPS60167192 U JP S60167192U JP 5640684 U JP5640684 U JP 5640684U JP 5640684 U JP5640684 U JP 5640684U JP S60167192 U JPS60167192 U JP S60167192U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
molecular pump
turbo
driving
exhaust system
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5640684U
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH018713Y2 (zh
Inventor
健二 小原
平野　治男
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP5640684U priority Critical patent/JPS60167192U/ja
Publication of JPS60167192U publication Critical patent/JPS60167192U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH018713Y2 publication Critical patent/JPH018713Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
JP5640684U 1984-04-17 1984-04-17 タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 Granted JPS60167192U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5640684U JPS60167192U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 タ−ボ分子ポンプを用いた排気系

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5640684U JPS60167192U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 タ−ボ分子ポンプを用いた排気系

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60167192U true JPS60167192U (ja) 1985-11-06
JPH018713Y2 JPH018713Y2 (zh) 1989-03-08

Family

ID=30579968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5640684U Granted JPS60167192U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 タ−ボ分子ポンプを用いた排気系

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60167192U (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101686A (ja) * 1984-10-24 1986-05-20 Hitachi Ltd 真空排気装置
JP2009103124A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Pfeiffer Vacuum Gmbh 真空ポンプを含む装置およびその運転方法
JP2016008612A (ja) * 2014-06-26 2016-01-18 プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー 真空チャンバへの注気のための方法及び装置
EP4033516A1 (en) * 2021-01-26 2022-07-27 Jeol Ltd. Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61101686A (ja) * 1984-10-24 1986-05-20 Hitachi Ltd 真空排気装置
JP2009103124A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Pfeiffer Vacuum Gmbh 真空ポンプを含む装置およびその運転方法
JP2016008612A (ja) * 2014-06-26 2016-01-18 プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー 真空チャンバへの注気のための方法及び装置
EP4033516A1 (en) * 2021-01-26 2022-07-27 Jeol Ltd. Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof
US11929238B2 (en) 2021-01-26 2024-03-12 Jeol Ltd. Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JPH018713Y2 (zh) 1989-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60167192U (ja) タ−ボ分子ポンプを用いた排気系
JPS6070713U (ja) 車両用電動エア−ポンプの制御装置
JPS59177753U (ja) 除雪車の速度制御装置
JPS59149494U (ja) 直流モ−タの回転速度制御回路
JPH01166293U (zh)
JPS58132127U (ja) エンジンの冷却水ポンプ駆動装置
JPS6216760U (zh)
JPS6085203U (ja) タイヤ圧可変装置
JPS6121676U (ja) 産業車両の油圧回路
JPS5831794U (ja) 浚渫機器の利用率向上装置
JPS59186000U (ja) 舶用回転機械の駆動装置
JPS6092038U (ja) 熱交換器の状態検知装置
JPS59151061U (ja) エンジン駆動ヒ−トポンプの負荷制御装置
JPS5841095U (ja) 直流サ−ボモ−タの制御回路
JPS5969697U (ja) 機械ガバナモ−タ速度制御装置
JPS6078905U (ja) タ−ニング装置
JPS58140454U (ja) エンジン回転数制御装置
JPS60149365U (ja) カ−クリ−ナ
JPS5956539U (ja) 車両用走行パワ−表示装置
JPS5819311U (ja) 回転体の回転数制御装置
JPS58165212U (ja) 内燃機関の冷却フアン制御装置
JPS6052462U (ja) 油圧式変速駆動装置
JPS60166299U (ja) 直流モ−タ駆動装置
JPS60176112U (ja) 任意原点検出機
JPS58116728U (ja) 変速機のシフト位置変更表示装置